BÀI GIẢNG - Kỹ thuật sensor (Nguyễn Hoài Nam)

BÀI GIẢNG KỸ THUẬT SENSOR
http://www.ebook.edu.vn 1
1. Nội dung chi tiết
Tài liệu học
Hình
Nội dung tập, tham
thức học
khảo
Chương 1: Những kiến thức chung về
chuyển đổi sơ cấp
1.1 Khái niệm và định nghĩa
1.2 Các đặc tính của chuyển đổi sơ cấp
1.3 Phân loại chuyển đổi sơ cấp
Chương 2: Chuyển đổi điện trở
2.1 Chuyển đổi điện trở tiếp xúc 1,2 Giảng
2.2 Chuyển đổi biến trở
2.3 Chuyển đổi Tenzô
Chương 3: Chuyển đổi điện từ
3.1 Chuyển đổi điện cảm
3.2 Chuyển đổi hồ cảm
3.3 Chuyển đổi cảm ứng
Chương 4: Chuyển đổi tĩnh điện
4.1 Chuyển đổi điện dung
4.2 Chuyển đổi áp điện
Chương 5: Chuyển đổi nhiệt điện 1,2 Giảng
5.1 Khái niệm chung
5.2 Chuyển đổi nhiệt ngẫu (cặp nhiệt điện)
5.3 Nhiệt điện trở
Chương 6: Chuyển đổi quang điện
6.1 Ánh sáng và phép đo quang
6.2 Tế bào quang dẫn Giảng+
6.3 Photodiot 1,2 Thảo
6.4 Phototranzito luận
6.5 Chuyển đổi Quang phát xạ
Thảo luận chương 1 (2 tiết)
Thảo luận chương 2,3 Thảo
1,2
luận
Thảo luận chương 4,5 Thảo
1,2
luận
Ch−¬ng I: Nh÷ng kiÕn thøc chung vÒ chuyÓn ®æi s¬ cÊp
Bµi 1.1 Kh¸i niÖm vµ ®Þnh nghÜa
1. Kh¸i niÖm chung vÒ chuyÓn ®æi ®o l−êng
Trong s¶n xuÊt còng nh− trong nghiªn cøu khoa häc, trong çc qu¸ tr×nh c«ng
nghÖ míi, hay çc qu¸ tr×nh s¶n xuÊt phøc t¹p hoÆc trong c«ng nghiÖp hiÖn ®¹i liªn
quan ®Õn viÖc ®o l−êng çc ®¹i l−îng vËt lý nh− c¬ häc, ho¸ häc, quang häc, nhiÖt häc.
Çc thiÕt bÞ ®o hiÖn ®¹i kh«ng chØ t¸c dông lªn gi¸c quan con ng−êi mµ cßn dïng vµo
viÖc tù ®éng thu thËp sè liÖu truyÒn kÕt qu¶ ®ã ®i xa, tÝnh to¸n kh«ng cÇn sù tham gia
cña con ng−êi hay tù ®éng ®iÒu khiÓn mét qu¸ tr×nh nµo ®ã. Do ®ã trªn quan ®iÓm kü
thuËt qu¸ tr×nh ®o trong çc thiÕt bÞ hiÖn ®¹i lµ biÕn ®æi nh÷ng tin tøc vÒ ®¹i l−îng ®o
thµnh d¹ng nµo ®ã thÝch hîp nhÊt ®èi víi con ng−êi hoÆc m¸y mãc ë tr×nh ®é ph¸t triÓn
cña kü thuËt.
¦u ®iÓm cña ph−¬ng ph¸p ®iÖn ®Ó ®o çc ®aÞ l−îng kh«ng ®iÖn nh− sau:
+ Cã thÓ thay ®æi ®é nh¹y cña thiÕt bÞ mét çch ®¬n gi¶n trong ph¹m vi réng cña
®¹i l−îng ®o v× vËy cho phÐp cã nh÷ng thiÕt bÞ v¹n n¨ng cã thÓ thu thËp ®−îc nh÷ng
th«ng tin rÊt bÐ vµ rÊt lín. Kü thuËt ®iÖn tö cho phÐp khuÕch ®¹i lªn hµng ngµn lÇn, v×
vËy ®é nh¹y cña thiÕt bÞ t¨ng lªn rÊt nhiÒu.
+ Çc thiÕt bÞ ®iÖn cã qu¸n tÝnh nhá, cã d¶i tÇn sè réng. V× vËy kh«ng chØ ®o ®−îc
çc ®¹i l−îng kh«ng ®iÖn biÕn ®æi chËm mµ cßn cã thÓ ®o ®−îc nh÷ng ®¹i l−îng biÕn
®æi nhanh mµ çc ph−¬ng ph¸p kh¸c kh«ng ®o ®−îc.
+ Cã kh¶ n¨ng ®o tõ xa, cho phÐp tËp trung ho¸ vµ cïng mét lóc cã thÓ ®o ®−îc
nhiÒu ®¹i l−îng kh¸c nhau vÒ sè l−îng vµ tÝnh chÊt, cho phÐp truyÒn kÕt qu¶ ®o trªn
kho¶ng çch lín.
+ Cã kh¶ n¨ng liªn hîp çc thiÕt bÞ ®o vµ ®iÒu khiÓn tù ®éng nh÷ng khèi thiÕt bÞ
cïng kiÓu.
Vai trß quan träng ®Çu tiªn trong viÖc thu thËp th«ng tin ®o lµ çc bé chuyÓn ®æi
®o l−êng hay cßn gäi lµ çc bé c¶m biÕn (sensor).
2. §Þnh nghÜa vÒ chuyÓn ®æi ®o l−êng
ChuyÓn ®æi ®o l−êng lµ thiÕt bÞ thùc hiÖn mét quan hÖ hµm ®¬n trÞ gi÷a hai ®¹i
l−îng vËt lý víi mét ®é chÝnh x¸c nhÊt ®Þnh.
ChuyÓn ®æi ®o l−êng s¬ cÊp lµ mét kh©u chøc n¨ng biÕn mét tÝn hiÖu kh«ng ®iÖn
thµnh tÝn hiÖu ®iÖn.
X ChuyÓn ®æi Y
®o l−êng s¬ cÊp(s)
H×nh 3.1 S¬ ®å cÊu tróc cña chuyÓn ®æi ®o l−êng
X: lµ tÝn hiÖu vµo thuéc nhiÒu ®¹i l−îng kh¸c nhau

Y: lµ tÝn hiÖu ra th«ng th−êng lµ tÝn hiÖu ®iÖn
Ph−¬ng tr×nh cña chuyÓn ®æi lµ: Y = f(X)
Quan hÖ cña hµm nµy cã thÓ lµ tuyÕn tÝnh hoÆc phi tuyÕn, tuy nhiªn trong kü thuËt
ng−êi ta cè g¾ng chän ®iÓm lµm viÖc trªn ®o¹n tuyÕn tÝnh cña quan hÖ ®ã ®Ó n©ng cao
®é chÝnh x¸c cña phÐp ®o.
Bµi 1.2: Çc ®Æc tÝnh cña chuyÓn ®æi ®o l−êng s¬ cÊp
1. §¹i l−îng chñ
Khi lµm viÖc mçi chuyÓn ®æi chÞu ¶nh h−ëng cña ®ång thêi nhiÒu ®¹i l−îng t¸c
dông, song nã chØ tiÕp thu mét ®¹i l−¬ng gäi lµ ®¹i l−îng chñ cña chuyÓn ®æi.
VÝ dô nh− ®iÖn trë cña chuyÓn ®æi, biÕn trë chÞu ¶nh h−ëng nµo ®ã cña ®iÖn trë d©y
quÊn, ®é Èm cña lâi…nh−ng ®¹i l−îng chñ cña chuyÓn ®æi lµ di chuyÓn cña con ch¹y.
2. §Æc tÝnh cña chuyÓn ®æi
Ph−¬ng tr×nh cña chuyÓn ®æi: Y = f(X) (1)
Quan hÖ trªn x¶y ra çc tr−êng hîp:
+ Quan hÖ (1) lµ tuyÕn tÝnh
ΔY
S= gäi lµ ®é nh¹y cña chuyÓn ®æi. §é nh¹y nµy th−êng cã thø nguyªn rÊt
ΔX
kh¸c nhau phô thuéc vµo b¶n chÊt cña çc ®¹i l−îng vµo ra, (trªn thùc tÕ ®Ó cã ®−îc ®Æc
tÝnh Êy ng−êi ta cã thÓ tÝnh to¸n gi¶i tÝch hoÆc b»ng ph−¬ng ph¸p thùc nghiÖm)
+ Quan hÖ trªn lµ phi tuyÕn
Ng−êi ta kh¾c phôc b»ng çch tuyÕn tÝnh ho¸ quan hÖ ®ã b»ng çc m¹ch ®iÖn tö
hoÆc dïng çc thuËt to¸n thùc hiÖn gia c«ng b»ng m¸y tÝnh, vi xö lý…
+ Quan hÖ trªn lµ ®a biÕn
Thùc tÕ ®¹i l−îng ta cña chuyÓn ®æi kh«ng nh÷ng phô thuéc vµo X (®¹i l−îng
chñ) mµ cßn phô thuéc vµo ®iÒu kiÖn bªn ngoµi Z: Y =f(X, Z) ; víi X lµ ®¹i l−îng chñ.
VËy khi xÐt tíi ®Çu ra cña chuyÓn ®æi ta ph¶i cè ®Þnh ®iÒu kiÖn Z, gi¸ trÞ nhá nhÊt cña
®¹i l−îng vµo X mµ chuyÓn ®æi cã thÓ ph¸t hiÖn ®−îc mét çch ch¾c ch¾n goÞ lµ ng−ìng
®é nh¹y.
3. Sai sè
§Æc tÝnh quan träng nhÊt cña chuyÓn ®æi lµ sai sè:
+ Sai sè c¬ b¶n: lµ sai sè g©y ra do nguyªn t¾c cña chuyÓn ®æi, sù kh«ng hoµn thiÖn cña
cÊu tróc, yÕu kÐm vÒ mÆt c«ng nghÖ chÕ t¹o. Theo tÝnh chÊt biÓu hiÖn ta cã thÓ chia
thµnh 1 sè d¹ng sai sè c¬ b¶n nh− sau:
- Sù lÖch cã hÖ thèng cña ®−êng ®Æc tÝnh ®èi víi hµm ®· lý t−ëng ho¸
- Sù phô thuéc cña ®−êng ®Æc tÝnh vµo chiÒu s©u cña ®¹i l−îng vµo, tøc lµ tÝnh trÔ
hay cßn gäi lµ sù biÕn h×nh
- Sù sai lÖch cña ®−êng ®Æc tÝnh ®èi víi nhiÔu
- §é lÖch g©y ra bëi sù chän kh«ng tèt çc tham sè cña ®Æc tÝnh chuÈn tøc lµ sai
sè do kh¾c ®é
+ Sai sè phô:
G©y ra do çc ®iÒu kiÖn bªn ngoµi kh¸c ®iÒu kiÖn tiªu chuÈn nh− lµ ®iÖn ¸p
nguån, nhiÖt ®é, tõ tr−êng, ®é chÊn ®éng v.v
ChuyÓn ®æi lµ kh©u ®Çu tiªn ®Ó lÊy th«ng tin tõ ®èi t−îng, phôc vô cho çc hÖ
thèng th«ng tin ®o l−êng, hÖ thèng ®iÒu khiÓn tù ®éng do vËy viÖc gi¶m sai sè cã ý
nghÜa quan träng.
d. §Æc tÝnh ®éng
Lµ mét trong nh÷ng ®Æc tÝnh quan träng, khi ta ®−a tÝn hiÖu vµo chuyÓn ®æi
th−êng xuÊt hiÖn qu¸ tr×nh qu¸ ®é. §Æc tÝnh ®éng thÓ hiÖn b»ng hµm truyÒn ®¹t cña
chuyÓn ®æi S(p), tøc lµ quan hÖ gi÷a ®¹i l−îng ra vµ ®¹i l−îng vµo ë tr¹ng th¸i ®éng
Z( p )
S(p) =
X (p )
§Æc tÝnh ®éng thÓ hiÖn ë ®Æc tÝnh biªn tÇn A(ω) vµ pha tÇn ϕ(ω)
e. Ph¶n t¸c dông cña chuyÓn ®æi lªn ®èi t−îng ®o
Ph¶n t¸c dông cña chuyÓn ®æi thÓ hiÖn ë tiªu hao n¨ng l−îng cña ®èi t−îng cÇn ®o,
tiªu hao n¨ng l−îng nµy ®−îc thÓ hiÖn ë ®iÖn trë vµo cña chuyÓn ®æi ®o l−êng
Bµi 1.3 Ph©n lo¹i chuyÓn ®æi s¬ cÊp
1. Ph©n lo¹i dùa trªn nguyªn lý cña chuyÓn ®æi
- ChuyÓn ®æi ®iÖn trë: lµ chuyÓn ®æi mµ ®¹i l−îng kh«ng ®iÖn X ®−îc biÕn thµnh
®¹i l−îng ra Y lµ ®iÖn trë cña chuyÓn ®æi
- ChuyÓn ®æi ®iÖn tõ: lµ chuyÓn ®æi mµ ®¹i l−îng kh«ng ®iÖn X lµm thay ®æi çc
th«ng sè cña m¹ch tõ nh−: L, M, ®é tõ thÈm μ, tõ th«ng φ…
- ChuyÓn ®æi tÜnh ®iÖn: ®¹i l−îng kh«ng ®iÖn X lµm thay ®æi ®iÖn dung C hay ®iÖn
tÝch cña nã
- ChuyÓn ®æi ho¸ ®iÖn: ®¹i l−îng kh«ng ®iÖn X lµm thay ®æi ®iÖn dÉn hay søc ®iÖn
®éng ho¸ ®iÖn, ®iÖn c¶m…
- ChuyÓn ®æi nhiÖt ®iÖn: ®¹i l−îng kh«ng ®iÖn X lµm thay ®æi søc ®iÖn ®éng nhiÖt
®iÖn hay ®iÖn trë ®Çu ra cña nã.
2. Ph©n lo¹i theo tÝnh chÊt cña nguån ®iÖn
- ChuyÓn ®æi ph¸t ®iÖn: ®¹i l−îng kh«ng ®iÖn sÏ lµm thay ®æi tÝn hiÖu ®Çu ra lµ E,
U, I, Q v.v
- ChuyÓn ®æi th«ng sè: ®Çu ra cña chuyÓn ®æi lµ çc ®¹i l−îng R, L, C, M. Lóc ®ã
cÇn thªm çc nguån ®iÖn phô th× míi biÕn ®æi thµnh çc ®¹i l−îng U, I
3. Ph©n lo¹i theo ph−¬ng ph¸p ®o
- ChuyÓn ®æi biÕn ®æi trùc tiÕp: lµ chuyÓn ®æi trong ®ã çc ®¹i l−îng kh«ng ®iÖn
®−îc biÕn trùc tiÕp thµnh ®¹i l−îng ®iÖn
- ChuyÓn ®æi bï: S¬ ®å nh− sau: X ΔX Y
K
Ta cã ®¹i l−îng cÇn ®o X ®−îc bï bëi ®¹i l−îng (-)
cïng lo¹i Xk do m¹ch ph¶n håi t¹o ra:
⎧ X k = βY Xk
⎪ β
⎨ΔX = X − X k ⇒ Y = ( X − X k ) K = ( X − Yβ ) K
⎪Y = ΔX .K
⎩ H×nh 3.2 S¬ ®å cÊu tróc chuyÓn ®æi bï
K
⇒ KX = Y + YβK ⇒ Y = X
1 + Kβ
X
NÕu K rÊt lín hay Kβ >>1, vËy Y = , lóc ®ã Y chØ phô thuéc vµo ®é chÝnh x¸c cña
β
m¹ch ph¶n håi. Do ®ã nÕu m¹ch thuËn cã sai sè lín. Song nÕu ®¶m b¶o hÖ sè K lín th×
®é chÝnh x¸c cña chuyÓn ®æi kiÓu bï chØ phô thuéc vµo ®é chÝnh x¸c cña m¹ch ph¶n håi
(chuyÓn ®æi ng−îc), mµ th−êng chuyÓn ®æi ng−îc lµ chuyÓn ®æi biÕn ®æi trùc tiÕp nªn
cã ®é chÝnh x¸c cao.
Ch−¬ng 2. ChuyÓn ®æi ®iÖn trë
Bµi 1. ChuyÓn ®æi ®iÖn trë tiÕp xóc
1. Nguyªn lý c¬ b¶n
ChuyÓn ®æi ®iÖn trë tiÕp xóc lµ 1 chuyÓn ®æi ®o l−êng trong ®ã di chuyÓn c¬ häc
®−îc biÕn thµnh sù thµnh sù ®ãng më çc tiÕp ®iÓm, çc tiÕp ®iÓm nµy dïng ®Ó ®iÒu
khiÓn m¹ch ®iÖn. §¹i l−îng chñ cña chuyÓn ®æi tiÕp xóc lµ sù chuyÓn rêi. ChuyÓn ®æi
tiÕp xóc ®¬n gi¶n nhÊt lµ chuyÓn ®æi cã 1 giíi h¹n vµ mét cÆp tiÕp ®iÓm nh− h×nh vÏ
trªn, sù ®ãng më tiÕp ®iÓm do sù di chuyÓn cña cÇn ®o.
3 4 R
2 L
H×nh 3.3 ChuyÓn ®æi tiÕp xóc mét giíi h¹n
VÝ dô: khi kÝch th−íc cña s¶n phÈm 1 thay ®æi (t¨ng), thanh tr−ît 2 di chuyÓn lµm
cho phÇn tö tiÕp xóc g¾n trªn thanh 3 ®−îc tiÕp xóc víi 4. §iÖn trë tiÕp xóc cña 3 vµ 4
thay ®æi tõ Rtx = ∞ thµnh Rtx ≈ 0. Khi kiÓm tra kÝch th−íc s¶n phÈm ng−êi ta th−êng
dïng chuyÓn ®æi nhiÒu giíi h¹n nh− h×nh vÏ sau:
H×nh 3.4 ChuyÓn ®æi tiÕp xóc nhiÒu giíi h¹n
TiÕp ®iÓm lµ bé phËn qua träng nhÊt cña chuyÓn ®æi tiÕp xóc, vËt liÖu cÊu t¹o vµ sù
chÕ t¹o còng nh− chÕ ®é lµm viÖc cña nã sÏ quyÕt ®Þnh ®Õn ®é chÝnh x¸c, ®é tin cËy vµ tÝnh
æn ®Þnh cña chuyÓn ®æi theo thêi gian. Sai sè ®ãng c¾t cña chuyÓn ®æi nµy lµ 1 ÷ 2μm
2. Yªu cÇu ®èi víi m¹ch ®o
§Ó tr¸nh hå quang vµ tia löa ®iÖn ®¶m b¶o ®é bÒn cho çc tiÕp ®iÓm th× c«ng suÊt
trong m¹ch lÊy tÝn hiÖu ph¶i nhá h¬n 150mW. V× vËy víi çc phÇn tö lÊy tÝn hiÖu, phÇn tö
®o hoÆc thõa hµnh nÕu nh− c«ng suÊt nhá h¬n 150mW th× cã thÓ nèi trùc tiÕp víi chuyÓn
®«Ø. NÕu çc phÇn tö thõa hµnh c«ng suÊt lín th× ta ph¶i nèi qua m¹ch khuyÕch ®¹i.
Bµi 2. ChuyÓn ®æi biÕn trë

1. Nguyªn lý c¬ b¶n
ChuyÓn ®æi biÕn trë lµ mét biÕn trë mµ
con ch¹y cña nã di chuyÓn t−¬ng øng víi ®¹i
R, l
l−îng kh«ng ®iÖn cÇn ®o. §¹i l−îng chñ cña Rx, lx
chuyÓn ®æi lµ sù di chuyÓn cña con ch¹y, cã

thÓ lµ di chuyÓn dµi hoÆc di chuyÓn gãc cßn H×nh 3.5 ChuyÓn ®æi biÕn trë
®¹i l−îng ra lµ ®iÖn trë.
§iÖn trë nµy biÕn thiªn theo mét quy luËt nµo ®ã phô thuéc vµo ®−êng ®i cña con
ch¹y. Quan hÖ gi÷a ®¹i l−îng ra vµ ®¹i l−îng vµo lµ: R = f(Xv)
2. §é nh¹y vµ ®é chÝnh x¸c
§©y lµ chuyÓn ®æi bËc thang v× sù biÕn thiªn liªn tôc cña ®¹i l−îng vµo t−¬ng øng
víi sù biÕn ®æi bËc thang cña ®iÖn trë ra. §©y lµ nguyªn nh©n g©y ra sai sè. ChuyÓn ®æi
biÕn trë chØ cã thÓ ph¸t hiÖn ra sù biÕn thiªn ®iÖn trë b»ng ®iÖn trë cña mét vßng d©y
t−¬ng øng víi sù di chuyÓn b»ng kho¶ng çch gi÷a hai vßng d©y kÕ tiÕp.
Ta gäi ®iÖn trë toµn phÇn cña chuyÓn ®æi lµ R, sè vßng d©y lµ w
R
§iÖn trë nhá nhÊt cã thÓ ph¸t hiÖn ®−îc lµ r = , vµ εR = r ®−îc gäi lµ ng−ìng
w
nh¹y cña chuyÓn ®æi theo ®iÖn trë
NÕu chiÒu dµi cña chuyÓn ®æi lµ l th× ®é di chuyÓn bÐ nhÊt cã thÓ ph¸t hiÖn ®−îc lµ x0
l
= vµ εL = x0 ®−îc gäi lµ ng−ìng nh¹y cña chuyÓn ®æi theo ®é dÞch chuyÓn cña con ch¹y
w
εR εl 1
Sai sè rêi r¹c cña chuyÓn ®æi lµ: γ = = = 100%
2R 2l 2w
Ta nhËn thÊy muèn gi¶m sai sè th× ta cÇn ph¶i t¨ng sè vßng d©y w. Ngµi ra chuyÓn
®æi nµy cßn m¾c sai sè phi tuyÕn lµ 0.1 ÷ 0.3% vµ sai sè nhiÖt ®é lµ 0.1% /10 0C. Sai sè
phi tuyÕn sinh ra do khi chuyÓn ®æi lµm viÖc th× tiÕt diÖn cña d©y ®iÖn trë bÞ mßn khi
con ch¹y di chuyÓn.
U
3. M¹ch ®o cña chuyÓn ®æi I x
R0
a. M¹ch ®o di chuyÓn th¼ng Rx
U U
I= =
Rx + R0 x l
R0 + R
l H×nh 3.6 M¹ch ®o di chuyÓn th¼ng
R0: Tæng trë ®Çu vµo cña m¹ch lÊy tÝn hiÖu
R: §iÖn trë cña toµn bé biÕn trë
x: kho¶ng di chuyÓn cña con ch¹y
Dßng ®iÖn trong m¹ch tû lÖ nghÞch víi Rx, ta thÊy quan hÖ I = f(x) trªn lµ phi
tuyÕn, dßng ®iÖn kh«ng biÕn thiªn tõ 0 trë ®i cho nªn m¹ch nµy Ýt ®−îc sö dông
b. M¹ch ph©n ¸p
+
U
Ta cã: I = I
R xR v
R − Rx +
Rx − Rv U l
Rx x
Ux
R R U R xR v
Ux = I x v =
Rx + Rv R xR v Rx + Rv Rv
R − Rx +
Rx + Rv
H×nh 3.7 M¹ch ph©n ¸p
R xRv R R
NÕu Rv >> R th× ≈ x v = Rx
Rx + Rv Rv
UR x R U x x
VËy: Ux = =U x = R =U
R − Rx + Rx R R l l
Quan hÖ gi÷a Ux vµ x lµ tuyÕn tÝnh, Ux biÕn thiªn tõ 0 ®Õn U khi Rx biÕn thiªn tõ 0
®Õn R (th−êng Rv ≥ (10 ÷ 20)R)
c. M¹ch cÇu R2
+
ThiÕt kÕ sao cho khi chuyÓn ®æi ch−a lµm R1
U
viÖc th× R1 = R2 = R3 =R4 =R vµ Rv >> R, lóc Rv, Uv
®ã ®iÖn ¸p Uv = 0 vµ cÇu c©n b»ng R4
R3
Khi chuyÓn ®æi lµm viÖc th× R1 biÕn thiªn
mét l−îng lµ ΔR. §iÖn ¸p Uv lµ H×nh 3.8 M¹ch cÇu
UR1 UR2 ⎛ R1 R2 ⎞ ⎛ R − ΔR 1⎞ ΔR
Uv = − + =U ⎜− + ⎟ =U ⎜− + ⎟ =U
R1 + R4 R3 + R2 ⎝ R1 + R4 R3 + R2 ⎠ ⎝ R − ΔR + R 2 ⎠ 4R − ΔR
Chọn sao cho khoảng di chuyển ΔR << R cho nªn:
U ΔR ΔR
T a cã U v ≈ , víi l µ l−îng biÕn thiªn ®iÖn trë t−¬ng ®èi
4 R R
khi biÕn trë di chuyÓn
Ngoµi ra ng−êi ta cßn dïng m¹ch l«g«

mÐt nh− sau: R2
x
R1, R2 - ®iÖn trë cña cuén d©y RR3 R1
Rx R4
l«g«mÐt. R3, R4 lµ ®iÖn trë phô x¸c
®Þnh theo th«ng sè cña chuyÓn ®æi vµ
U
l«g«mÐt. Khi Rx thay ®æi lµm cho
dßng ®iÖn I1 vµ I2 thay ®æi vµ gãc
H×nh 3.9 M¹ch ®o l«g«mÐt
quay α thay ®æi
U U
T a cã: I1 = ; I2 =
R1 + R 3 + R − R x R2 + R4 + Rx
⎛ R2 + R4 + Rx ⎞
VËy α = f ⎜⎜ ⎟⎟
⎝ R1 + R 3 + R − R x ⎠
4. øng dông
ChuyÓn ®æi biÕn trë th−êng dïng ®Ó ®o nh÷ng di chuyÓn th¼ng kÝch th−íc tõ 2
÷3mm hoÆc çc di chuyÓn gãc. Ngoµi ra chuyÓn ®æi biÕn trë cßn dïng ®Ó lÊy çc th«ng
tin vÒ lùc, ¸p xuÊt, møc chÊt láng
Bµi 3. ChuyÓn ®æi tenzo (®iÖn trë lùc c¨ng)
1. Nguyªn lý vµ cÊu t¹o
a. Nguyªn lý:
Nguyªn lý lµm viÖc cña chuyÓn ®æi nµy dùa trªn hiÖu øng tenzo, cã nghÜa lµ sù
thay ®æi cña ®iÖn trë d©y dÉn khi d©y dÉn bÞ biÕn d¹ng c¬ häc.
l
Ta biÕt r»ng ®iÖn trë cña d©y dÉn ®−îc tÝnh theo c«ng thøc sau: R = ρ
S
ΔR Δl Δρ ΔS
Khi biÕn d¹ng ta cã: = + −
R l ρ S
Δl Δρ
Trong ®ã: lµ biÕn thiªn t−¬ng ®èi theo chiÒu dµi d©y dÉn, lµ sù biÕn
l ρ
thiªn t−¬ng ®èi theo ®iÖn trë xuÊt ®Æc tr−ng cho sù thay ®æi tÝnh chÊt vËt liÖu cña
ΔS
chuyÓn ®æi, lµ sù biÕn thiªn t−¬ng ®èi theo thiÕt diÖn d©y dÉn ®Æc tr−ng cho sù biÕn
S
ΔR
thiªn h×nh häc cña chuyÓn ®æi, lµ sù biÕn thiªn t−¬ng ®èi cña ®iÖn trë d©y dÉn. Ta
R
cã thÓ viÕt gän nh− sau:
ξR = ξρ + ξl − ξS
MÆt kh¸c ta cã: ξ S = −2K p ξ l , Kp lµ hÖ sè poisson
Vµ ta ®Æt: ξ ρ = mξ l , m lµ hÖ sè tû lÖ
Ph−¬ng tr×nh tæng qu¸t cña chuyÓn ®æi
ξ R = ξ l (1 + 2K p + m ) = Kξ l
K: hÖ sè ®Æc tr−ng cho hiªu øng tenzo cña çc vËt liÖu. Khi thiÕt kÕ vµ tÝnh to¸n
hÖ sè K cã thÓ tra trong çc sæ tay kü thuËt øng víi tõng lo¹i vËt liÖu cô thÓ hoÆc nã
®−îc ghi ngay trªn bÒ mÆt cña chuyÓn ®æi
b. CÊu t¹o
ChuyÓn ®æi tenzo trong c«ng nghiÖp th−êng cã 3 lo¹i lµ chuyÓn ®æi tenzo d©y
m¶nh, l¸ máng vµ mµng máng. Tuy nhiªn phæ biÕn nhÊt lµ chuyÓn ®æi d©y m¶nh cã cÊu
t¹o nh− h×nh vÏ sau: 1 2 3
TÊm giÊy máng lo¹i bÒn 1
D©y ®iÖn trë tenzo 2 cã ®−êng a
kÝnh 0.02 ÷ 0.05mm d¸n lªn tÊm giÊy

máng 1. §Çu d©y cña ®iÖn trë ®−îc
l0
nèi víi d©y dÉn b»ng ®ång 3
H×nh 3.10 CÊu t¹o cña chuyÓn ®æi tenzo d©y m¶nh
PhÝa trªn th−êng ®−îc phñ b»ng s¬n hoÆc d¸n mét tÊm giÊy lªn ®Ó cè ®Þnh sau ®ã
ng−êi ta ghi çc th«ng sè cña chuyÓn ®æi sau:
R0 : §iÖn trë cña chuyÓn ®æi khi ch−a cã biÕn d¹ng
I: Dßng ®iÖn cho phÐp
K: HÖ sè ®é nh¹y
l0: ChiÒu dµi t¸c dông cña chuyÓn ®æi (th−êng b»ng 0.8 ÷ 15 mm)
2. M¹ch ®o cña chuyÓn ®æi tenzo
Çc chuyÓn ®æi tenzo th−êng dïng víi m¹ch cÇu 1 chiÒu, xoay chiÒu hoÆc m¹ch ph©n ¸p
a. M¹ch cÇu 1 nh¸nh ho¹t ®éng
P1
R4
R1=RT
P2=0 U
Ura R3
R2=RT0
H×nh 3.11 M¹ch cÇu mét nh¸nh ho¹t ®éng
Trong m¹ch nµy ng−êi ta dïng hai chuyÓn ®æi cïng lo¹i ®Æt ë hai nh¸nh cña cÇu, trong
®ã 1nh¸nh kh«ng lµm viÖc ®Ó bï nhiÖt vµ do ®ã m¹ch nµy sÏ lo¹i trõ ®−îc sai sè do nhiÖt ®é.
+ Khi chuyÓn ®æi ch−a lµm viÖc tøc lµ P1=0. Lóc ®ã ta ph¶i chÕ t¹o vµ hiÖu chØnh
sao cho cÇu ë tr¹ng th¸i c©n b»ng, tøc lµ R1R2 = R3R4
R1 = RT0, R2 =RT0 víi RT0 lµ ®iÖn trë cña chuyÓn ®æi khi ch−a lµm viÖc.
+ Khi P1 ≠ 0 lµm cho R1 biÕn thiªn, tøc lµ: R1 = Rt =RT0(1 + ξ RT)
ΔR
Trong ®ã ξ RT = lµ biÕn thiªn t−¬ng ®èi cña ®iÖn trë RT
R T0
Quan hÖ gi÷a ®iÖn ¸p ra víi sù biÕn thiªn ®iÖn trë cña tenzo:
R T 0 (1 + ξ RT )R 4 − R T 0 R 4
U ra = U
[(1 + ξ RT )R T 0 + R 2 ](R 4 + R 3 )
NÕu ®¶m b¶o R3 = R4 th× Ura ≈ 0,25UΔR/RT0;
b. M¹ch cÇu hai nh¸nh biªn thiªn ng−îc chiÒu nhau P

RT
M¹ch nµy cã ®é chÝnh x¸c cao
R3
h¬n, hai n¸h cña cÇu ®−îc d¸n ®iÖn RT'
trë tenzo vµ cïng ho¹t ®éng ng−îc Ur R0
R4
chiÒu nhau. §iÖn ¸p ra cña m¹ch cÇu
U
t¨ng gÊp hai lÇn, kh¶ n¨ng bï nhiÖt
H×nh 3.12 M¹ch cÇu hai nh¸nh biÕn thiªn ng−îc nhau
tèt h¬n, sai sè do nhiÖt ®é bÞ lo¹i trõ.
U
Ur = ξ RT
2
Ngoµi ra cßn cã m¹ch cÇu 4 nh¸nh, m¹ch nµy cã ®iÖn ¸p ra t¨ng gÊp 4 lÇn
U r = Uξ RT
c. M¹ch ph©n ¸p
M¹ch nµy th−êng dïng do çc R1

C
biÕn d¹ng ®éng cã tÇn sè nhá h¬n U
1000Hz. §Ó lo¹i trõ thµnh phÇn 1 Ut Rt Ura
chiÒu ng−êi ta m¾c thªm 1 tô C
H×nh 3.13 M¹ch ph©n ¸p

UR T
Ta cã: U T =
R T + R1
XÐt khi cã biÕn d¹ng (sù dao ®éng víi tÇn sè cao)
U T = URTo
(1 + ξ R sin ωt ) , ω lµ tÇn sè dao ®éng cña ®èi t−îng
R1 + RTo (1 + ξ R sin ωt )
Th«ng th−êng ξ R <<1 ⇔ RToξ R sin ωt RTo
RTo R ξ sin ωt
Ta cã: UT = U + U To R
R1 + RTo R1 + RTo
V× ®iÖn ¸p ra lÊy thµnh phÇn mét chiÒu cho nªn
U ξ R To s in ω t
U ra = R
R1 + R To
3. Sai sè vµ øng dông
ChuyÓn ®æi tenzo ®−îc øng dông réng r·i trong kü thuËt dïng ®Ó ®o lùc biÕn
d¹ng, lùc m«men, gia tèc, ¸p xuÊt. Do cÊu t¹o ®¬n gi¶n, cã kÝch th−íc nhá nªn çc
chuyÓn ®æi tenzo ®−îc dïng ®Ó ®o trªn çc chi tiÕt cã nhiÒu h×nh d¹ng kh¸c nhau cña
m¸y mãc vµ thiÕt bÞ. Cã thÓ dïng ®Ó ®o çc biÕn thiªn nhanh nh− ®é chÊn ®éng. §Ó
gi¶m sai sè ®ßi hái ph¶i cã mét c«ng nghÖ d¸n vµ vÞ trÝ d¸n thÝch hîp , lóc ®ã sai sè cã
thÓ gi¶m < 5%
Ch−¬ng 3. ChuyÓn ®æi ®iÖn tõ
Lµ chuyÓn ®æi trong ®ã ®¹i l−îng kh«ng ®iÖn (th−êng lµ çc di chuyÓn th¼ng hay gãc )
dÉn ®Õn thay ®æi ®iÖn c¶m, hç c¶m hoÆc xuÊt hiÖn søc ®iÖn ®éng c¶m øng ë cuén d©y.
Bµi 1. ChuyÓn ®æi ®iÖn c¶m
ChuyÓn ®æi ®iÖn c¶m lµ chuyÓn ®æi biÕn ®æi gi¸ trÞ ®¹i l−îng ®o thµnh trÞ sè ®iÖn c¶m
a. Mét sè lo¹i chuyÓn ®æi th−êng gÆp nh− sau:
P W W
(a) (b) (c)
P
R P
U≈ (d) δ1 δ2 (e)
H×nh 3.14 Mét sè chuyÓn ®æi ®iÖn c¶m th−êng gÆp
-H×nh a lµ chuyÓn ®æi ®¬n kh¸ phæ biÕn, d−íi t¸c dông cña ®¹i l−îng c¬ häc P vÝ
dô nh− lùc, ¸p xuÊt, sù di chuyÓn v.v sÏ lµm thay ®æi khe hë kh«ng khÝ δ nªn lµm thay
®æi tõ trë toµn bé m¹ch tõ. Nh− vËy sÏ lµm thay ®æi tæng trë Z còng nh− ®iÖn c¶m L cña
cuén d©y.
H×nh b, c d−íi t¸c dông cña ®¹i l−îng c¬ häc P sÏ lµm thay ®æi khe hë kh«ng khÝ δ.
ChuyÓn ®æi nµy th−êng dïng ®Ó ®o nh÷ng di chuyÓn tõ 5 ÷ 20mm hoÆc di chuyÓn gãc.
H×nh d lµ chuyÓn ®æi lµm thay ®æi dßng ®iÖn xo¸y, gåm mét cuén d©y kh«ng lâi
thÐp ®−îc m¾c vµo ®iÖn ¸p cã tÇn sè rÊt cao(cì vµi Mhz). Khi ta di chuyÓn tÊm kim lo¹i
hoÆc vßng d©y ng¾n m¹ch sÏ lµm thay ®æi tæn hao tõ trong cuén d©y, do vËy ®iÖn c¶m L
cña cuén d©y còng thay ®æi theo. H×nh a, b, c, d cßn gäi lµ chuyÓn ®æi ®iÖn tõ ®¬n.
H×nh e lµ chuyÓn ®æi lµm thay ®æi khe hë kh«ng khÝ kiÓu vi sai, gåm hai cuén d©y
gièng hÖt nhau. Khi chuyÓn ®æi ch−a lµm viÖc th×:
δ1 = δ2 =δ0, Z1 = Z2 =Z0
NÕu chuyÓn ®æi lµm viÖc th×: δ1 ≠ δ2, Z1 = Z0 ± ΔZ, Z2 = Z ± ΔZ
b. TÝnh n¨ng cña chuyÓn ®æi ®iÖn c¶m
NÕu ta bá qua tõ trë cña m¹ch tõ th×:
w 2 μ 0 w 2S δ
L= = , víi R μ =
Rμ δ μ 0S
w: lµ sè vßng d©y, μ0 = 4π.10-7 lµ hÖ sè dÉn tõ cña kh«ng khÝ, δ lµ chiÒu dµi khe hë
kh«ng khÝ, S tiÕt diÖn hiÖu dông cña khe hë kh«ng khÝ, Rμ lµ tõ trë cña khe hë kh«ng khÝ
VËy L phô thuéc vµo S vµ δ, sù biÕn thiªn cña L theo S vµ δ nh− sau:
∂L ∂L
Ta cã: dL = dS + dδ
∂S ∂δ
víi l−îng thay ®æi h÷u h¹n Δδ vµ ΔS th×
μ0w 2 μ w 2S0
ΔL = ΔS − 0 Δδ
δ0 (δ 0 + Δδ) 2
Trong ®ã S0, δ0 lµ gi¸ trÞ ban ®Çu cña S vµ δ khi chuyÓn ®æi ch−a lµm viÖc
+§é nh¹y cña chuyÓn ®æi khi tiÕt diÖn thay ®æi (δ = δ0 =const)
ΔL w 2 μ 0 w 2 μ 0 S 0 L 0
Ss = = = = = const
Δδ δ0 δ 0S0 S0
μ 0 w 2S0
Víi L0 = lµ gi¸ trÞ ®iÖn c¶m ban ®Çu cña chuyÓn ®æi
δ0
+ §é nh¹y cña chuyÓn ®æi khi δ thay ®æi lµ (S = S0 =const):

ΔL μ 0 w 2S 0 L0
Sδ = = =−
Δδ (δ 0 + Δ δ )2 ⎡ ⎛ Δδ ⎞⎤
2
δ 0 ⎢1 + ⎜⎜ ⎟⎟ ⎥
⎣ ⎝ δ 0 ⎠⎦
Δδ
Ta thÊy ®é nh¹y cña chuyÓn ®æi phô thuéc vµo
δ0
NhËn xÐt: §é nh¹y cña chuyÓn ®æi khi S thay ®æi b»ng h»ng sè, cßn khi δ thay ®æi
Δδ
th× phô thuéc vµo , vËy quan hÖ gi÷a L=f(δ) lµ phi tuyÕn. Thùc tÕ cho thÊy quan hÖ
δ0
Δδ Δδ
L = f(δ) lµ tuyÕn tÝnh khi ≤ 0.2 ®èi víi chuyÓn ®æi ®¬n, vµ ≤ 0.4 ®èi víi
δ0 δ0
chuyÓn ®æi vi sai.
L
L L1 = f1(δ)
L = f(δ)
Δδ
Δδ
δ
δ L2 = f2(δ) L1-L2=f3(δ)
δ0
ChuyÓn ®æi ®¬n
ChuyÓn ®æi vi sai
H×nh 3.15 Quan hÖ gi÷a ®iÖn c¶m vµ sù biÕn thiªn δ cña chuyÓn ®æi ®iÖn c¶m
c. M¹ch ®o cña chuyÓn ®æi

Sù biÕn thiªn ®iÖn c¶m sÏ lµm biÕn thiªn trë kh¸ng trong toµn m¹ch. M¹ch ®o cã
nhiÖm vô biÕn ®æi tiÕp tÝn hiÖu thµnh ®¹i l−îng ®iÖn ®ñ lín ®Ó cã thÓ ph¸t ra çc tÝn hiÖu
khèng chÕ mét çch ch¾c ch¾n, biÕn thiªn ®iÖn c¶m trong m¹ch cã thÓ dÉn ®Õn biÕn
thiªn vÒ biªn ®é hoÆc pha hoÆc tÇn sè cña ®iÖn ¸p hay dßng ®iÖn ®Çu ra. M¹ch ®o cã tªn
t−¬ng øng lµ m¹ch ®iÒu biªn, ®iÒu pha hoÆc ®iÒu tÇn. Ta sÏ nghiªn cøu m¹ch th«ng dông
lµ m¹ch ®iÒu biªn. M¹ch nµy th−êng lµ m¹ch cÇu vi sai nh− sau:
Z1, Z2 lµ trë kh¸ng cña chuyÓn ®æi vi sai.
Zb lµ trë kh¸ng phèi hîp víi Z1 vµ Z2 Z1 Zb
Z0 trë kh¸ng cña dông cô ®o. Ur
Uh
U nguån cung cÊp, E Z0
Z2 Zb
+Khi trôc ®o n»m ë vÞ trÝ c©n b»ng
δ1 = δ2 = δ0, Z1 = Z2 = Z
CÇu c©n b»ng vµ Ura = 0 H×nh 3.16 M¹ch cÇu vi sai chuyÓn ®æi ®iÖn c¶m
+Khi trôc ®o lÖch khái vÞ trÝ c©n b»ng tøc lµ δ1 vµ δ2 biÕn thiªn ng−îc nhau 1 l−îng
lµ Δδ, khi ®ã Z1 vµ Z2 còng biÕn thiªn mét l−îng lµ ΔZ. Ta gi¶ sö
Z1 = Z + ΔZ, Z2 = Z - ΔZ
Ta ®i t×m quan hÖ gi÷a sù biÕn thiªn cña ®iÖn ¸p Ur theo sù biÕn thiªn ΔZ nh− sau:
+ Gäi Uh lµ ®iÖn ¸p khi hë m¹ch ®o ( Z0 = ∞ )
EZ b EZ b
Uh = −
( Z − ΔZ) + Z b ( Z + ΔZ) + Z b
EZ b Z + EZ b Δ Z + EZ 2b − EZ b Z − EZ b Δ Z + EZ 2b
=
(Z + Z b )2 − (Δ Z )2
2EZ b ΔZ 2EZ b ΔZ
= ≈ = 2 EZ b Δ Z2
(Z + Z b ) 2
− (ΔZ)
2
(Z + Z b ) 2
(Z + Z b )
+ Gäi Uz lµ ®iÖn ¸p r¬i trªn çc phÇn tö cña chuyÓn ®æi vi sai khi chuyÓn ®æi ch−a
EZ Z2 Z1
lµm viÖc: Uz =
Z + Zb
2Z b ΔZU z
VËy ta cã Uh =
(Z + Z b )Z Zb Zb
+ Trë kh¸ng trong cña cÇu
Z0 I0
Zi = Z 1 Z b + Z 2 Z b
Z1 + Z b Z 2 + Z b Uh
H×nh 3.17 M¹ch thay thÕ cña chuyÓn ®æi vi sai
Thay Z1 = Z + ΔZ, Z2 = Z - ΔZ, quy ®ång mÉu sè vµ rót gän ta ®−îc

2 2
Zi = 2 Z Z b + 2 ZZ2b − 2 Z b ΔZ
2
(Z + Z b ) − ΔZ 2
V× ΔZ kh¸ nhá cho nªn ta cã thÓ bá qua ΔZ2
Zi ≈ 2 ZZ b (Z + Z2 b ) = 2 ZZ b
(Z + Z b ) Z + Zb
+Quan hÖ gi÷a dßng ®iÖn I0 vµ ®iÖn ¸p Ura theo sù biÕn thiªn ΔZ lµ:
U0 2Z b ΔZ 1
VËy I0 = = Uz
Zi + Z0 Z + Z b Z Zi + Z0
2Z b Z 0 ΔZ
Hay U '0 = U ra = I 0 Z 0 = UZ
Z + Z b Zi + Z0 Z
+ §é nh¹y vÒ dßng vµ ¸p cña cÇu:

I0 2Z b 1
K SI = = Uz
ΔZ Z Z + Z 0 Z i + Z 0
U 0' 2Zb Z0
K SU = = U z = Z o .K SI
ΔZ Z Z + Z 0 Zi + Z 0
B»ng çch tÝnh t−¬ng tù ta cã thÓ tÝnh ®−îc ®é nh¹y dßng vµ ¸p cña nhiÒu m¹ch
chuyÓn ®æi
d. ¦u nh−îc ®iÓm vµ øng dông
Nh−îc ®iÓm cña chuyÓn ®æi ®iÖn c¶m lµ ph¶n t¸c dông lªn ®èi t−îng ®o rÊt lín.
Tuy nhiªn nã vÉn ®−îc sö dông réng r·i trong c«ng nghiÖp ®Ó ®o çc di chuyÓn tõ vµi
chôc μm ®Õn vµi chôc cm. Ngoµi ra cßn dïng ®Ó ®o lùc, ¸p xuÊt, ®é bãng cña chi tiÕt.
ChuyÓn ®æi ®iÖn c¶m dÔ m¾c sai sè do ®iÖn ¸p nguån thay ®æi, tÇn sè, nhiÖt ®é thay ®æi.
V× vËy khi thiÕt kÕ ta ph¶i chó ý ®Õn ¶nh h−ëng cña çc yÕu tè trªn.
Bµi 2. ChuyÓn ®æi hç c¶m
Lµ chuyÓn ®æi biÕn gi¸ trÞ ®o thµnh trÞ sè hç c¶m
a. Mét sè lo¹i chuyÓn ®æi hç c¶m th−êng gÆp:
U≈ U≈
P x
x
E δ
W2 E
W1
E1 E2
U≈
U≈
a b d
H×nh 3.18 Mét sè chuyÓn ®æi hç c¶m
H×nh a lµ chuyÓn ®æi biÕn ¸p cã lâi di ®éng, cuén d©y w1 ®−îc cung cÊp b»ng nguån
xoay chiÒu. Khi ®¹i l−îng c¬ häc P t¸c dông lªn chuyÓn ®æi th× sÏ lµm cho tõ trë cña khe
hë kh«ng khÝ thay ®«Ø dÉn tíi tõ trë cña m¹ch tõ thay ®æi, ®iÒu nµy lµm cho tõ th«ng mãc
vßng qua m¹ch tõ thay ®æi lµm xuÊt hiÖn sù thay ®æi søc ®iÖn ®éng E ë cuén d©y w2
H×nh b: d−íi t¸c dông cña ®¹i l−îng ®o sÏ lµm di chuyÓn vßng ng¾n m¹ch, tõ
th«ng mãc vßng qua vßng d©y nhiÒu hay Ýt tuú thuéc vµo vÞ trÝ cña nã trong khe hë
kh«ng khÝ. V× vËy khi di chuyÓn vßng ng¾n m¹ch sÏ lµm cho tõ th«ng chÝnh mãc vßng
qua çc cuén d©y w1 vµ w2 thay ®æi nªn dÉn tíi E2 thay ®æi
H×nh c: lµ chuyÓn ®æi vi sai kiÓu thay ®æi khe hë kh«ng khÝ δ, khi P t¸c dông lªn
chuyÓn ®æi sÏ lµm cho δ1 vµ δ2 biÕn thiªn ng−îc nhau, do vËy tõ trë cña hai m¹ch tõ
thay ®æi ng−îc nhau, dÉn ®Õn lµm cho E1 vµ E2 biÕn thiªn ng−îc nhau.
b. TÝnh n¨ng cña chuyÓn ®æi hç c¶m
Khi chiÒu dµi hoÆc tiÕt diÖn khe hë kh«ng khÝ thay ®æi lµm cho tõ th«ng cña
m¹ch tõ thay ®æi vµ xuÊt hiÖn søc ®iÖn ®éng e. Ta biÕt r»ng søc ®iÖn ®éng E sinh ra trªn
cuén d©y w2 do tõ th«ng φ mãc vßng qua lµ:
Tõ th«ng tøc thêi ®−îc tÝnh nh− sau:
iw 1 w 1μ 0 Si
φt = =
Rδ δ
i lµ gi¸ trÞ dßng tøc thêi trong cuén d©y kÝch thÝch w1
Søc ®iÖn ®éng t¹o thµnh trong cuén d©y ®o w2
dφ t w w μ S di
e = −w 2 =− 2 1 0
dt δ dt
w2 lµ sè vßng d©y cuén d©y ®o
Khi lµm viÖc víi dßng xoay chiÒu i = Imsinωt
w 2 w 1μ 0S
Ta cã: e=− ωI m cos ωt
δ
Gi¸ trÞ hiÖu dông cña søc ®iÖn ®éng
w 2 w 1μ 0 S S
E= ωI = K
δ δ
§©y lµ ph−¬ng tr×nh cña chuyÓn ®æi hç c¶m, I lµ gi¸ trÞ hiÖu dông cña dßng ®iÖn
Víi K = w1w2μ0ωI
Víi w1, w2, μ0, ω vµ I b»ng h»ng sè ta cã:
∂E ∂E
dE = ds + dδ
∂S ∂δ
ΔS Δδ
Hay ΔE = K − KS
δ0 (δ 0 + Δδ)2
§é nh¹y cña chuyÓn ®æi khi chiÒu dµi khe hë kh«ng khÝ thay ®æi lµ (S =const):
ΔE KS E0
Sδ = =− =
Δδ ⎛ Δδ ⎞
2
⎡ ⎛ Δδ ⎞⎤
2
δ ⎜⎜1 +
2
0
⎟⎟ δ 0 ⎢1 + ⎜⎜ ⎟⎟⎥
⎝ δ 0 ⎠ ⎣ ⎝ δ 0 ⎠⎦
§é nh¹y khi tiÕt diÖn khi khe khÝ thay ®æi (δ = const)
ΔE K E 0
Ss = = =
ΔS δ 0 S0
KS 0
Víi E 0 = lµ søc ®iÖn ®éng hç c¶m ban ®Çu trong cuén d©y ®o w2 khi Xv =0
δ0
NhËn xÐt: §é nh¹y cña chuyÓn ®æi khi S thay ®æi b»ng h»ng sè, cßn khi δ thay ®æi
Δδ
th× phô thuéc vµo tû sè
δ0
c. M¹ch ®o vµ øng dông
§a sè m¹ch ®o cña chuyÓn ®æi hç c¶m gièng nh− chuyÓn ®æi ®iÖn c¶m, trong ®ã
chñ yÕu ng−êi ta sö dông m¹ch cÇu. Ngoµi ra thùc tÕ ng−êi ta cßn dïng m¹ch cÇu nh−
sau (cÇu vi sai 6 nh¸nh):
§iÖn trë Rc vµ C dïng ®Ó R R0 R
c©n b»ng thµnh phÇn ¶o (gãc
pha). Rc
~U
R0 c©n b»ng thµnh phÇn L + ΔL
C
thùc (biªn ®é). R0 << R, chØ thÞ
lµ dông cô tõ ®iÖn. §èi víi çc
chuyÓn ®æi hç c¶m ng−êi ta
th−êng dïng ph−¬ng ph¸p ®o
®iÖn ¸p xoay chiÒu. ~
Sai sè: g©y ra sai sè nÕu
nguån ®iÖn kh«ng æn ®Þnh.
§iÖn ¸p nguån thay ®æi 1%
H×nh 3.19 M¹ch cÇu vi sai 6 nh¸nh
dÉn ®Õn sai sè 1%
TÇn sè thay ®æi 1% g©y ra sai sè 0.2%
øng dông: §o çc ®¹i l−îng kh«ng ®iÖn kh¸c nhau tuú theo cÊu tróc cña tõng lo¹i
chuyÓn ®æi, cã thÓ ®o di chuyÓn tõ vµi chôc μ m ®Õn vµi cm ®Ó ®o chiÒu dµi líp phñ, ®é
bãng cña chi tiÕt gia c«ng
Bµi 3. ChuyÓn ®æi ¸p tõ

a. CÊu t¹o vµ nguyªn lý lµm viÖc
ChuyÓn ®æi ¸p tõ lµ mét d¹ng cña chuyÓn ®æi ®iÖn c¶m vµ hç c¶m. Kh¸c víi hai
lo¹i trªn m¹ch tõ cña chuyÓn ®æi ¸p tõ lµ m¹ch kÝn. Nguyªn lý lµm viÖc cña chuyÓn ®æi
¸p tõ dùa trªn hiÖu øng ¸p tõ
Fx
Fx
w1 w2
U~ E
a b c
H×nh 3.20 Mét sè chuyÓn ®æi ¸p tõ
HiÖu øng ¸p tõ lµ hiÖn t−îng mµ d−íi t¸c dông cña ®¹i l−îng c¬ häc sÏ lµm cho hÖ
sè dÉn tõ μ vµ mét sè tÝnh chÊt kh¸c cña vËt liÖu tõ thay ®æi dÉn ®Õn thay ®æi tæng trë
cña chuyÓn ®æi. Mét sè d¹ng cña chuyÓn ®æi ¸p tõ nh− trªn
H×nh 3.20 a vµ h×nh 3.20 b lµ chuyÓn ®æi ¸p tõ kiÓu ®iÖn c¶m vµ hç c¶m, nã th−êng
dïng ®Ó ®o çc lùc rÊt lín, d−íi t¸c dông cña lùc c¬ häc Fx sÏ lµm cho ®é dÉn tõ μ cña vËt
liÖu s¾t tõ thay ®æi dÉn ®Õn thay ®æi tõ trë m¹ch tõ Rμ lµm cho tæng trë thay®æi còng nh−
®iÖn c¶m thay ®æi.
H×nh 3.20 c lµ chuyÓn ®æi ¸p tõ dßng xoay chiÒu d¹ng biÕn ¸p. Søc ®iÖn ®éng cña
cuén thø cÊp phô thuéc vµo sù hç c¶m gi÷a hai cuén d©y mµ chÝnh lµ do sù biÕn thiªn hÖ
sè μ cña lâi thÐp. Çc cuén d©y w1 vµ w2 cña chuyÓn ®æi ®−îc quÊn trªn mét 1 lâi s¾t tõ
®Æc vµ ®−îc bè trÝ ®Æt vu«ng gãc víi nhau. Cuén d©y w1 ®−îc cung cÊp b»ng nguån
xoay chiÒu ®iÖn ¸p U. Khi lùc t¸c dông Fx = 0 ®−êng søc tõ cña cuén w1 ®−îc bè trÝ ®èi
xøng nªn sÏ kh«ng mãc vßng qua cuén w2 lµm cho E2 =0. Khi Fx ≠ 0 (cã lùc t¸c dông)
do sù thay ®æi cña tõ thÈm μ nªn tõ tr−êng cña cuén d©y w1 mÊt ®èi xøng v× vËy nã sÏ
mãc vßng qua cuén w2 nªn t¹o ra E2 ≠ 0 vµ phô thuéc vµo lùc t¸c dông Fx
b. TÝnh n¨ng cña chuyÓn ®æi ¸p tõ
V× chuyÓn ®æi nµy lu«n cã m¹ch tõ kÝn. V× vËy ®iÖn trë cña cuén d©y rÊt nhá so
víi trë kh¸ng cña nã (R < 5% XL). V× vËy ta cã thÓ bá qua, cho nªn ta cã, bá qua tæn
hao dßng xo¸y vµ tõ trÔ, ®iÖn c¶m cña chuyÓn ®æi ¸p tõ sÏ lµ:
w 2 w 2 μS
L= = (*)
Rμ l
w: sè vßng cuén d©y, Rμ lµ tõ trë cña m¹ch tõ, S lµ tiÕt diÖn c¾t ngang m¹ch tõ, l
lµ chiÒu dµi trung b×nh cña ®−êng søc tõ, μ ®é tõ thÈm cña lâi thÐp
Tõ (*) ta cã (víi w= const)
∂L ∂L ∂L
dL = dμ + dS + dl
∂μ ∂S ∂l
⎛ ⎞
⎜ ⎟
2 2
μw ΔS w SΔμ μw SΔl 2
⎜ ΔS Δμ Δl ⎟
ΔL = + − = L 0⎜ + − ⎟
l l (l + Δ l ) 2
⎜
S μ ⎛ Δl ⎞
2
⎟
⎜ l ⎜ 1 + ⎟ ⎟
⎝ ⎝ l ⎠ ⎠
μw 2 S
Víi L0 = : gi¸ trÞ ®iÖn c¶m ban ®Çu khi ch−a cã lùc t¸c dông
l
§é nh¹y cña chuyÓn ®æi nh− sau:
Khi chÞu biÕn d¹ng th× chiÒu dµi ®−êng søc tõ thay ®æi, ®é nh¹y lµ:
ΔL / L 0 MËt dé diÖn c¶ m
Sl = =
Δl / l ChiÒu dµi d−ßng søc tõ
S / S Δμ / μ 1
=Δ + −
Δl / l Δl / l ⎛ Δl ⎞ 2
⎜1 + ⎟
⎝ l ⎠
ΔS / s
§Æt Kp =- : HÖ sè po¸t x«ng
Δl / l
Δμ / μ
Sμ = : hÖ sè ¸p tõ, ®Æc tr−ng cho tõng lo¹i vËt liÖu
Δl / l
V× Δl/l << 1 trong giíi h¹n biÕn d¹ng ®µn håi cho nªn:
Sl =Sμ - (Kp + 1)
Th«ng th−êng Sμ ≥ 200 do vËy Sμ >> Kp
Víi ®é chÝnh x¸c t−¬ng ®èi, cã thÓ coi ®é nh¹y t−¬ng ®èi cña chuyÓn ®æi nh− sau:
Δμ / μ
Sl = = Sμ
Δl / l
Tæng trë cña chuyÓn ®æi:
ωw 2 μS
Z = ωL =
l
T−¬ng tù ®é nh¹y cña chuyÓn ®æi ¸p tõ ®èi víi tæng trë Z b»ng ®é nh¹y ¸p tõ cña nã:
ΔZ / Z
SZ = = S l = Sμ
Δl / l
Çc hÖ sè Kp, Sμ tra trong sæ tay kü thuËt
Fx
c. M¹ch ®o, sai sè vµ øng dông
M¹ch ®o cña chuyÓn ®æi ¸p C§1
tõ gièng nh− m¹ch ®o cña chuyÓn

®æi ®iÖn c¶m vµ chuyÓn ®æi hç V
c¶m song nã cã thÓ ®o ®−îc çc C§2
®aÞ l−îng biÕn thiªn nhanh tíi

hµng chôc KHz
VÝ dô: S¬ ®å cÇu nh− sau
H×nh 3.21 M¹ch ®o cña chuyÓn ®æi ¸p tõ
Nguyªn nh©n g©y ra sai sè c¬ b¶n lµ do hiÖn t−îng tõ trÔ trong qu¸ tr×nh t¨ng t¶i
vµ gi¶m t¶i. Sù biÕn thiªn cña hÖ sè dÉn tõ.
Δμ
= f (Fx ) trong chu kú ®Çu tiªn lóc t¨ng t¶i vµ gi¶m t¶i cã thÓ lªn tíi 10%. Sau
μ
nhiÒu lÇn t¨ng vµ gi¶m th× sai sè cßn l¹i kho¶ng 1%
Mét nguyªn nh©n g©y ra sai sè lµ sù dao ®éng cña dßng ®iÖn kÝch tõ trong chuyÓn
®æi. Khi dßng ®iÖn kÝch tõ thay ®æi sÏ lµm thay ®æi hÖ sè dÉn tõ cña lâi thÐp dÉn tíi
thay ®æi Sμ
Khi thiÕt kÕ ph¶i tÝnh to¸n sao cho chuyÓn ®æi lµm viÖc ë miÒn cã c¶m øng tõ cùc
®¹i. Khi ë ®iÒu kiÖn nµy th× sai sè sÏ nhá h¬n 0.4%
Khi nhiÖt ®é thay ®æi sÏ dÉn tíi thay ®æi ®iÖn trë thuÇn cña cuén d©y, dÉn ®Õn thay
®æi hÖ sè dÉn tõ μ vµ dÉn ®Õn Sμ thay ®æi, sai sè nµy th−êng trong kho¶ng 0.5 ÷ 1% khi
nhiÖt ®é biÕn thiªn trong kho¶ng 100C
+ øng dông: chuyÓn ®æi ¸p tõ th−êng dïng ®Ó ®o çc lùc lín tíi 10N. §o ¸p xuÊt
trong çc ®iÒu kiÖn kh¾c nghiÖt (c«ng nghiÖp dÇu khÝ). MÆc dï gÆp sai s« lín nh−ng cÊu
t¹o ®¬n gi¶n lµm viÖc tin cËy nªn chuyÓn ®æi nµy th−êng ®−îc øng dông réng r·i trong
kü thuËt.
Bµi 4. ChuyÓn ®æi c¶m øng

a. CÊu t¹o vµ nguyªn lý lµm viÖc
§©y lµ chuyÓn ®æi ph¸t ®iÖn. Nguyªn lý lµm viÖc cña nã lµ ®¹i l−îng kh«ng ®iÖn
lµm thay ®æi tõ th«ng mãc vßng qua çc cuén d©y nªn t¹o ra søc ®iÖn ®éng:
dφ
e =− w
dt
Theo nguyªn lý lµm viÖc cña chuyÓn ®æi c¶m øng ®−îc chia thµnh hai nhãm:
+Nhãm 1: Tõ trë ®−îc gi÷ kh«ng ®æi trªn ®−êng ®i cña tõ th«ng 1 chiÒu. Søc ®iÖn
®éng c¶m øng ®−îc sinh ra b»ng sù di chuyÓn th¼ng hoÆc chuyÓn ®æi quay cña cuén d©y
trong tõ tr−êng cña nam ch©m vÜnh cöu. Mét sè lo¹i chuyÓn ®æi th× cuén d©y ®øng yªn
vµ nam ch©m chuyÓn ®éng. §¹i diÖn cho nhãm nµy nh− lµ m¸y ph¸t tèc (m¸y ph¸t ®iÖn
1 chiÒu). §Çu vµo lµ ω, ®Çu ra lµ E = Kφω
n
Trong ®ã ω = , n lµ sè vßng quay / phót
9.55
+ Nhãm 2: Nam ch©m vÜnh cöu vµ cuén d©y ®øng yªn. Søc ®iÖn ®éng c¶m øng
ra b»ng çch thay ®æi tõ th«ng do sù dao ®éng cña toµn bé tõ trë m¹ch tõ. Sù dao ®éng
nµy ®−îc thùc hiÖn b»ng çch thay ®æi kho¶ng çch hoÆc diÖn tÝch khe hë kh«ng khÝ
(®«i khi thay ®æi μ)
VÝ dô mét sè chuyÓn ®æi th−êng gÆp nh− sau:
N N
x x
S b S
N N
a Fx
N φ 1
N
ϕx c
S
S 1
H×nh 3.22 Mét sè chuyÓn ®æi c¶m øng
H×nh 3.22 a lµ lo¹i thay ®æi tõ th«ng b»ng çch thay ®æi vÞ trÝ cña cuén d©y trong
tõ tr−êng, h×nh 3.22 b lµ lo¹i thay ®æi tõ trë cña m¹ch tõ, h×nh 3.22 c lµ lo¹i thay ®æi tõ
th«ng b»ng çch thay ®æi hÖ sè dÉn tõ d−íi hiÖn t−îng ¸p tõ.
+§èi víi chuyÓn ®æi cã cuén d©y chuyÓn ®éng trong tõ tr−êng th× søc ®iÖn ®éng
c¶m øng lµ:
dx dx dx
e = -Bl = -BπDW = S1
dt dt dt
Trong ®ã B: c¶m øng tõ trong khe hë kh«ng khÝ.
l = πDW lµ chiÒu dµi thùc cña cuén d©y
W: Sè vßng d©y
x: l−îng di chuyÓn
+§èi víi chuyÓn ®æi lµm thay ®æi m¹ch tõ ta cã:
F dφ d F wF dRμ dx
Ta cã: φ = , vËy e = − w = − w = 2 =S
Rμ dt dt R μ R μ dt dt
S ®−îc gäi lµ ®é nh¹y cña chuyÓn ®æi.

F: søc tõ ®éng cña nam ch©m ®iÖn
+§èi víi chuyÓn ®æi lµm thay ®æi hÖ sè dÉn tõ μ vµ do ®ã lµm thay ®æi tõ trë
m¹ch tõ:
⎛ dl1−1 ⎞ ' df
e = Sμ ⎜ ⎟ = Sμ x
⎝ dt ⎠ dt
l1-1 lµ chiÒu dµi ®o¹n m¹ch tõ bÞ biÕn d¹ng

Sμ vµ S’μ ®é nh¹y t−¬ng øng khi l thay ®æi vµ fx thay ®æi
• Tæng qu¸t ta cã ph−¬ng tr×nh cña chuyÓn ®æi c¶m øng lµ:
dx
e=S
dt
S: lµ ®é nh¹y phô thuéc cÊu tróc cña chuyÓn ®æi, x lµ ®¹i l−îng vµo.
b. TÝnh n¨ng cña chuyÓn ®æi c¶m øng
§Ó t¹o ra søc ®iÖn ®éng, trong çc chuyÓn ®æi c¶m øng ph¶i cã bé phËn dao ®éng.
Sù biÕn thiªn dao ®éng dÉn tíi sù biÕn thiªn søc ®iÖn ®éng c¶m øng trong chuyÓn ®æi,
do vËy ta ph¶i xÐt ®Õn ®iÒu nµy.
M¹ch ®iÖn t−¬ng ®−¬ng cña chuyÓn ®æi c¶m øng nh− sau:
e: søc ®iÖn ®éng cña chuyÓn ®æi, L ®iÖn c¶m cña cuén d©y, R ®iÖn trë cña cuén
d©y, Rt ®iÖn trë m¹ch lÊy tÝn hiÖu, Ura ®iÖn ¸p ra.
Ta cã: Hµm truyÒn ®¹t cña m¹ch lµ:
Ura ( p)
W(p) = , ta cã ph¶i ®i t×m quan hÖ nµy
X (p)
Søc ®iÖn ®éng e trong m¹ch ®−îc tÝnh
di L R
e = (R + Rt)i + L
dt
e Rt Ura
ChuyÓn sang to¸n tö Laplatx¬
E(p) = (R + Rt)I(p) + pLI(p)
U ra ( p)
Vµ Ura(p) = Rt I(p) ⇒ I(p) = H×nh 3.23 M¹ch thay thÕ chuyÓn ®æi c¶m øng
Rt
U ra ( p )
E(p) = [(R + R t ) + pL ]
Rt
dx
Theo phÇn 1 ta cã v× e = S ⇒ E ( p) = SpX ( p)
dt
U ra (p)
SpX(p) = [(R + R t ) + pL]
Rt
U ra (p) SpR t SpR t / (R + R t )

Suy ra = =
X ( p) R + R t + pL L
1+ p
R + Rt
L
§Æt τ = : H»ng sè thêi gian tÝch ph©n
R + Rt
SR t
S0 = : HÖ sè khuyÕch ®¹i
L
U ra ( p) S 0 τp
Cuèi cïng ta cã: = , ®©y lµ kh©u vi ph©n thùc
X ( p) 1 + τp
+Khi x = A, ®¹i l−îng dÞch chuyÓn x = 0
S 0τ p A
Ura = lim U ra (t ) = lim pU ra (p) = lim p =0
t →∞ p→0 p→ 0 1+τ p p
+ Khi x = At, ®¹i l−îng dÞch chuyÓn x biÕn thiªn theo t
S 0τ p A
Ura = lim U ra (t ) = lim pU ra (p) = lim p = A S 0τ
t →∞ p→0 p→ 0 1+τ p p2
ChuyÓn ®æi c¶m øng cã thÓ coi gÇn ®óng lµ kh©u vi ph©n. §Æc tÝnh ®éng cña nã
chñ yÕu phô thuéc vµo qu¸n tÝnh cña m¹ch ®iÖn chuyÓn ®æi. Søc ®iÖn ®éng ®Çu ra tØ lÖ
víi tèc ®é biÕn thiªn cña ®¹i l−îng ®Çu vµo. V× vËy muèn nhËn l¹i gi¸ trÞ x ta ph¶i l¾p
thªm bé tÝch ph©n cña chuyÓn ®æi.
dx
U’ = ∫ edt = ∫ S dt = Sx
dt
Khi ®¹i l−îng vµo biÕn thiªn cã tÇn sè cao ta cÇn ph¶i xÐt ®Õn qu¸n tÝnh cña hÖ c¬
khÝ, nh− vËy ë tÇn sè cao ph−¬ng tr×nh lµm viÖc cña chuyÓn ®æi cã thÓ lµ ph−¬ng tr×nh
bËc ba hay bËc cao h¬n.
c. Sai sè vµ øng dông
ChuyÓn ®æi c¶m øng cã ®é nh¹y rÊt cao, v× vËy cã thÓ dïng ®Ó ®o ®−îc nh÷ng di
chuyÓn nhá nh− lµ tèc ®é, gia tèc vµ çc ®¹i l−îng biÕn thiªn kh¸c. Tuy nhiªn chuyÓn
®æi nµy ®−îc øng dông réng r·i nhÊt trong kü thuËt ®Ó ®o ®é chÊn ®éng.
Sai sè cña chuyÓn ®æi c¶m øng kh¸ nhá. Sai sè cña lo¹i cuén d©y chuyÓn ®éng
trong tõ tr−êng nam ch©m vÜnh cöu lµ (0.2 ÷ 0.5)%
Ch−¬ng 4. chuyÓn ®æi tÜnh ®iÖn
Bµi1. ChuyÓn ®æi ®iÖn dung
a. Nguyªn lý lµm viÖc
ChuyÓn ®æi ®iÖn dung lµ chuyÓn ®æi mµ dùa trªn sù t¸c ®éng t−¬ng hç gi÷a hai
®iÖn cùc t¹o thµnh 1 tô ®iÖn. §iÖn dung cña nã ®−îc thay ®æi d−íi t¸c ®éng cña ®¹i
l−îng vµo.
§iÖn dung C t¹o bëi 2 tÊm kim lo¹i ®Æt song song cã diÖn tÝch S çch nhau 1
kho¶ng δ ®−îc tÝnh:
εS
C=
δ
ξ: h»ng sè ®iÖn m«i gi÷a hai cùc
S, δ diÖn tÝch çc b¶n cùc vµ kho¶ng çch gi÷a chóng
V× vËy khi ta thay ®æi ξ, S vµ δ th× ®iÖn dung cña chuyÓn ®æi sÏ thay ®æi
Mét sè h×nh d¸ng cña chuyÓn ®æi ®iÖn dung
H×nh 3.24 Mét sè chuyÓn ®æi ®iÖn dung
b. TÝnh n¨ng cña chuyÓn ®æi ®iÖn dung
Nh− trªn ta biÕt r»ng ®iÖn dung C cã quan hÖ víi ξ, S vµ δ nh− sau:
εS
C=
δ
Khi mét trong 3 ®¹i l−îng ε, S vµ δ thay ®æi dÉn tíi ®iÖn dung còng thay ®æi. §é
thay ®æi cña ®iÖn dung C nh− sau(víi mét l−îng rÊt nhá):
∂C ∂C ∂C
dC= dε + dS + dδ
∂ε ∂S ∂δ
§−a ph−¬ng tr×nh vÒ d¹ng sai ph©n ta ®−îc:
S0 ε ε 0S0
ΔC = Δε + 0 ΔS − Δδ
δ0 δ0 (δ 0 + Δδ)2
Víi ε, S0, δ0 lµ gi¸ trÞ ban ®Çu cña ®iÖn m«i, tiÕt diÖn vµ kho¶ng çch gi÷a çc b¶n cùc.
ε 0S0
§Æt: C0 = lµ gi¸ trÞ ®iÖn dung ban ®Çu
δ0
C0 C C 0 Δδ
ΔC = Δε + 0 ΔS − 2
ε0 S0 ⎛ Δδ ⎞
δ 0 ⎜⎜1 + ⎟⎟
⎝ δ0 ⎠
1 δ
Ta cã: x c = =
ωC ωε S
NÕu ta gi÷ cho tÇn sè tÝn hiÖu kh«ng ®æi ω = const th×
∂x C ∂x ∂x
dx C = dδ + C dS + C dε
∂δ ∂S ∂ε
1 ⎡ Δδ δ 0 ΔS δ 0 Δε ⎤
VËy ΔxC = ⎢ − − ⎥
ω ⎢⎣ ε 0 S0 ε 0 ( S0 + ΔS )2 S0 ( ε 0 + Δε )2 ⎥⎦
Tõ ®©y ta tÝnh ®−îc ®é nh¹y
+§é nh¹y khi δ thay ®æi (ε, S = const)
Δx C 1 xC
Sδ = = = 0 = const
Δδ ωε 0S 0 δ0
δ0
x C0 =
ωε 0 S 0
+§é nh¹y khi S thay ®æi (ε, δ = const)
ΔxC δ0 xC0
Ss = =− =−
ε 0 ( S0 + ΔS ) ⎛ ΔS ⎞
2
ΔS
S0 ⎜ 1 + ⎟
⎝ S0 ⎠
ΔS
Ss phô thuéc vµo
δ0
+§é nh¹y khi ε thay ®æi (S, δ = const)
ΔxC δ0 xC0
Sε = =− =−
Δε S 0 ( ε 0 + Δε )
2 2
⎛ Δε ⎞
ε 0 ⎜1 + ⎟
⎝ ε0 ⎠
Δε
Sε phô thuéc vµo
ε0
+NhËn xÐt: Quan hÖ gi÷a sù biÕn thiªn ®iÖn kh¸ng vµ sù thay ®æi kho¶ng çch çc
cùc lµ tuyÕn tÝnh, cßn quan hÖ gi÷a sù biÕn thiªn ®iÖn kh¸ng vµ sù thay ®æi diÖn tÝch çc
cùc còng nh− h»ng sè ®iÖn m«i lµ phi tuyÕn. Thùc tÕ cho thÊy kho¶ng mµ quan hÖ xC
=f(S) vµ xC = f(ε) cã thÓ coi lµ tuyÕn tÝnh nÕu nh−:
Δε ΔS
hoÆc ≤ 0.2 ®èi víi chuyÓn ®æi ®¬n vµ ≤ 0.4 ®èi víi chuyÓn ®æi kÐp.
ε0 S0
-XÐt quan hÖ xC = f(δ) ta thÊy tÝn hiÖu ra tû lÖ nghÞch víi δ0, v× vËy ng−êi ta thiÕt kÕ sao
cho δ0 lµ nhá nhÊt nÕu nh− cã thÓ, tuy nhiªn viÖc gi¶m δ0 bÞ h¹n chÕ bëi çc ®iÒu kiÖn sau:
+ChØ gi¶m δ0 tíi møc sao cho ®iÖn tr−êng gi÷a çc cùc nhá h¬n 1 gi¸ trÞ cho phÐp
U®¸nh thñng ≤ 10KV/ 1cm (ph¶i cã mica thªm vµo m«i tr−êng gi÷a çc cùc)
+Khi gi¶m δ0 sÏ t¨ng lùc hót tÜnh ®iÖn gi÷a çc cùc
U 2 εS
F=
2δ 2
V× thÕ ta chØ gi¶m δ sao cho tíi møc lùc nµy ph¶i nhá h¬n lùc t¸c dông cña ®¹i
l−îng ®o. Riªng chuyÓn ®æi vi sai th× kh«ng cÇn quan t©m v× lùc hót tÜnh ®iÖn sÏ triÖt
tiªu nhau. ¶nh h−ëng cña ®iÖn dung ký sinh, cña ®−êng d©y nèi tõ m¹ch chuyÓn ®æi tíi
m¹ch khuyÕch ®¹i v× vËy sÏ lµm cho ®é nh¹y cña chuyÓn ®æi gi¶m ®i. Do ®ã ta ph¶i
dïng nh÷ng biÖn ph¸p ®Ó gi¶m ®iÖn dung ký sinh. VÝ dô nh− rót ng¾n kho¶ng çch tõ
chuyÓn ®æi tíi khuyÕch ®¹i.
c. M¹ch ®o vµ øng dông
+ M¹ch ®o nguån xoay chiÒu
M¹ch ®o cña chuyÓn ®æi ®iÖn dung th−êng lµ m¹ch cÇu xoay chiÒu kh«ng c©n
b»ng, c«ng suÊt ra cña chuyÓn ®æi nhá nªn b¾t buéc ph¶i dïng khuyÕch ®¹i, bé khuyÕch
®¹i ph¶i cã ®iÖn trë lín nèi ë ®−êng chÐo cña cÇu, ®Ó t¨ng c«ng suÊt ra nguån cung cÊp
ph¶i cã tÇn sè rÊt lín cì hµng chôc MHz. §−êng d©y tõ chuyÓn ®æi tíi m¹ch khuyÕch
®¹i ph¶i ®−îc bäc kim ®Ó tr¸nh ¶nh h−ëng cña ®iÖn tr−êng ngoµi.
VÝ dô: m¹ch ®o dïng chuyÓn ®æi ®iÖn dung m¾c vi sai nh− sau:
Nguån lµ m¹ch ph¸t víi ®iÖn ¸p cã

tÇn sè rÊt cao, trong s¬ ®å nµy ch−a kÓ C0 - ΔC C0 + ΔC
tíi ®iÖn dung ký sinh.

R1 R2 K§
+M¹ch ®o nguån mét chiÒu
§Ó ®o ®−îc çc ®¹i l−îng biÕn

M¸y ph¸t
(tÇn sè cao)
thiªn nhanh ng−êi ta th−êng dïng m¹ch
mét chiÒu nh− h×nh vÏ: H×nh 3.25 M¹ch ®o nguån xoay chiÒu
M¹ch nµy cã δ biÕn thiªn do ®¹i

l−îng vµo biÕn thiªn. Khi mµ CS kh¸ nhá Ur
Rt
(®−êng d©y ng¾n) ta cã thÓ bá qua. Ta ®i
t×m quan hÖ gi÷a Δδ vµ Ur lµ ®iÖn ¸p ra. U0
1 Δδ C
C∫
U 0 = iR t + idt hay
H×nh 3.26 M¹ch ®o nguån mét chiÒu
CU0 = CiRt + ∫ idt víi U0 lµ ®iÖn ¸p nguån cung cÊp, ®iÖn ¸p nµy b»ng const
§¹o hµm hai vÕ theo thêi gian t
dC dCi
U0 = Rt + i, mÆt kh¸c ta cã : U r = R t i
dt dt
dC dCU r dC dC dU r U r
Cho nªn: U 0 = + i ⇔ U0 = Ur + C0 + (*)
dt dt dt dt dt Rt
Víi C0, U 0 lµ gi¸ trÞ ®iÖn dung vµ ®iÖn ¸p ra ban ®Çu
Th«ng th−êng Δδ << δ0, mµ ta cã
εS dC εS dδ
C= ⇒ ≈
δ dt δ 02 dt
εS dC dC dδ εS dδ εS dδ dC εS dδ
Ta cã: C= ⇒ = = ≈ 2 ⇒ ≈
δ dt dδ dt (δ 0 + Δδ ) dt δ 0 dt
2 dt δ 02 dt
Thay vµo (*) ta cã:
U 0ε S dδ dC dU r U r dU r U r ε S dδ
= Ur + C0 + ⇔ C0 + = (U 0 − U r )
δ 0 dt
2
dt dt Rt dt Rt δ 02 dt
V× δ0 >> Δδ ⇒ U0 >> Ur
dU r U r ε S d δ
VËy C0 + ≈ U0
dt Rt δ 02 dt
ChuyÓn sang d¹ng to¸n tö Laplace
U r ( p) U 0ε S
C0 pU r ( p) + = 2 pδ ( p)
Rt δ0
Nh©n hai vÕ víi Rt ta cã:
U 0ε SRt
C0 Rt pU 2 ( p ) + U r ( p) = pδ ( p )
δ 02
§Æt τ =C0Rt : h»ng sè thêi gian cña m¹ch
U 0ε S
K = : HÖ sè khuyÕch ®¹i cña m¹ch chuyÓn ®æi
C0δ 02
Ph−¬ng tr×nh cßn l¹i: τpUr(p) + Ur(p) = Kτpδ(p)

Hµm truyÒn cña m¹ch hay cßn gäi lµ ®é nh¹y ®éng cña chuyÓn ®æi.
U r ( p) Kτp
S(p) = = , ®©y lµ kh©u vi ph©n thùc
δ( p ) 1 + τp
U, δ
Gäi Urxl lµ ®iÖn ¸p x¸c lËp
Urxl = lim U r (t ) = lim pU r (p) At = δ

t →∞ p→0
víi çc gi¶ thiÕt: δ = A = const AKτ
A Kτp
VËy: δ(p) = , Ur(p) = δ(p)S(p) = δ( p )
p 1 + τp τ
⎛ Kτ p ⎞ A
XÐt lim U r ( p ) p = lim ⎜ ⎟ =0 H×nh 3.27 Quan hÖ gi÷a Ur vµ sù biÕn thiªn δ
p→0 p→0
⎝1+τ p ⎠ p
A
NÕu gi¶ thiÕt δ =At ⇒ δ(p) =
p2
Kτp A
Urxl = lim U r ( t ) = lim pU r (p) = lim p = AKτ
t →∞ p→0 p→0 1 + τp p 2
+øng dông
ChuyÓn ®æi ®iÖn dung cã δ biÕn thiªn tõ vµi μm ®Õn vµi mm, chuyÓn ®æi ®iÖn
dung dïng trong m¹ch mét chiÒu ®Ó ®o çc ®¹i l−îng ®éng vµ tèc ®é, çc ®¹i l−îng biÕn
thµnh di chuyÓn (lùc, p)
ChuyÓn ®æi ®iÖn dung cã S thay ®æi ®o nh÷ng di chuyÓn lín (tíi 1cm) vµ ®o
nh÷ng di chuyÓn gãc tíi 2700
ChuyÓn ®æi ®iÖn dung cã ε thay ®æi dïng ®Ó ®o ®é Èm cña çc vËt r¾n nh− v¶i,
chÊt dÎo, h¹t. Ngoµi ra chuyÓn ®æi ®iÖn dung cßn dïng ®Ó ®o møc, kiÓm tra bÒ dµy cña
tÊm çch ®iÖn vµ ®«i khi dïng ®Ó ®o lùc
Bµi 2. ChuyÓn ®æi ¸p ®iÖn
Fx
1. Nguyªn lý lµm viÖc

+ ++++++
----------
Nguyªn lý lµm viÖc cña chuyÓn ®æi nµy
dùa trªn hiÖu øng ¸p ®iÖn H×nh 3.28 HiÖu øng ¸p ®iÖn
-HiÖu øng ¸p ®iÖn thuËn lµ sù xuÊt hiÖn ®iÖn tÝch trªn bÒ mÆt cña mét sè chÊt ®iÖn
m«i khi chÊt ®iÖn m«i nµy chÞu t¸c dông cña øng xuÊt c¬ häc. Khi kh«ng cßn øng xuÊt
chÊt ®iÖn m«i l¹i trë vÒ tr¹ng th¸i kh«ng mang ®iÖn. ChÊt ®iÖn m«i nh− vËy gäi lµ chÊt
¸p ®iÖn (vÝ dô nh− th¹ch anh)
-HiÖu øng ¸p ®iÖn ng−îc lµ sù thay ®æi kÝch th−íc h×nh häc cña chÊt ¸p ®iÖn khi
®Æt nã trong ®iÖn tr−êng
ChuyÓn ®æi ¸p ®iÖn lµ chuyÓn ®æi ph¸t ®iÖn v× d−íi t¸c dông cña lùc Fx (theo
h−íng trôc ®iÖn) th× q trªn bÒ mÆt cña chÊt ¸p ®iÖn ®−îc tÝnh:
q = d1Fx
Trong ®ã d1 ®−îc gäi lµ h»ng sè ¸p ®iÖn cã ®¬n vÞ lµ C/N
D−íi t¸c dông cña lùc ngoµi , ®iÖn tÝch sÏ xuÊt hiÖn trªn bÒ mÆt cña chÊt ¸p ®iÖn.
Tuy nhiªn ®iÖn tÝch nµy chØ xuÊt hiÖn khi kh«ng cã sù rß rØ, nghÜa lµ trë kh¸ng vµo cña
m¹ch khuyÕch ®¹i ph¶i b»ng v« cïng, tuy nhiªn ®iÒu nµy kh«ng thÓ thùc hiÖn ®−îc. V×
vËy chuyÓn ®æi ¸p ®iÖn kh«ng thÓ dïng ®o çc ®¹i l−îng tÜnh. Khi lùc t¸c dông biÕn ®æi
®iÖn tÝch sÏ ®−îc bæ xung lu«n lu«n nªn cã thÓ t¹o thµnh dßng ®iÖn trong m¹ch ®o, v×
vËy chuyÓn ®æi ¸p ®iÖn dïng ®Ó ®o çc ®¹i l−îng ®éng.
2. M¹ch ®o vµ ®Æc tÝnh ®éng cña chuyÓn ®æi ¸p ®iÖn
Do ®iÖn trë cña chuyÓn ®æi ¸p ®iÖn rÊt lín vµ c«ng suÊt ra nhá nªn bé khuyÕch ®¹i
nèi víi chuyÓn ®æi ph¶i cã yªu cÇu lµ tæng trë vµo lín, th−êng lµ b»ng 108 ÷ 1014 (Ω)
S¬ ®å thay thÕ t−¬ng ®−¬ng cña chuyÓn ®æi nh− h×nh vÏ:
~ R1
C1 Ck Rk Cf Ry Cy
H×nh 3.29 S¬ ®å thay thÕ t−¬ng ®−¬ng cña chuyÓn ®æi ¸p ®iÖn
Trong ®ã:
C1 ®iÖn dung cña phÇn tö ¸p ®iÖn
CK ®iÖn dung cña çp dÉn tõ chuyÓn ®æi tíi khuyÕch ®¹i
Cf lµ ®iÖn dung hiÖu chØnh (c¶i thiÖn ®Æc tÝnh trong miÒn tÇn thÊp)
Cy ®iÖn dung cña m¹ch khuyÕch ®¹i
R1 ®iÖn trë dß cña phÇn tö ¸p ®iÖn

R C Ur
~
Rk ®iÖn trë dß cña d©y çp
Ry ®iÖn trë vµo cña m¹ch khuyÕch ®aÞ

H×nh 3.30 S¬ ®å thay thÕ
S¬ ®å t−¬ng ®−¬ng cña phÇn tö ¸p ®iÖn nh− sau
R 1R k R y
Trong ®ã: R =
R 1R k + R 1R y + R k R y
dq
Mµ ta cã: i = ; víi q =d1fx
dt
Víi fx lµ hµm tøc thêi cña lùc t¸c dông Fx
dFx
V× vËy ta cã: i =d1
dt
Ur dU r
Mµ i = ir + iC, víi ir = ; iC = C
R dt
dFx U r dU
Thay vµo ta cã: d1 = +C r
dt R dt
§Ó xÐt ®Æc tÝnh ®éng ta ®−a vÒ d¹ng to¸n tö Laplatxo nh− sau:
U r ( p)
d 1 pFx (p) = + CpU r (p)
R
⎛1 ⎞
d 1 pFx (p) = U r (p)⎜ + Cp ⎟
⎝R ⎠
§é nh¹y ®éng hay hµm truyÒn ®¹t
U r ( p) d1p d Rp
S(p) = = = 1
Fx (p) 1 1 + CRp
+ Cp
R
§Æt τ =RC gäi lµ h»ng sè thêi gian cña chuyÓn ®æi
§Æt K =d1/C lµ hÖ sè khuyÕch ®¹i
Kτ(p)
Ta cã: S(p) =
τp + 1
XÐt ®Æc tÝnh tÇn sè: Thay p = jω
Kτ( jω) Kωτ

S(ω) = ⇒ S(ω) = : Biªn ®é hµm truyÒn
1 + ( jω)τ 1 + (ωτ ) 2
π
ψ= - arctgωτ
2
K cßn ®−îc gäi lµ ®é nh¹y lý t−ëng cña chuyÓn ®æi ë tÇn sè cao v× khi tÇn sè cao
th× ωτ >> 1 vµ S(ω) = K
Khi ω = 0 th× S =0 nh− vËy chuyÓn ®æi kh«ng dung ®o çc ®¹i l−îng tÜnh
§Ó më réng d¶i tÇn cña ®¹i l−îng ®o vÒ phÝa tÇn sè thÊp ta cÇn t¨ng h»ng sè thêi
gian τ : τ = RC. Th«ng th−êng ng−êi ta t¨ng gi¸ trÞ cña Cf
3. Sai sè vµ øng dông
Nh÷ng thµnh phÇn c¬ b¶n cña sai sè trong chuyÓn ®æi ¸p ®iÖn lµ sai sè do sù thay
®æi tham sè cña m¹ch ®o, sù thay ®æi nhiÖt ®é dÉn ®Õn sù thay ®æi h»ng sè ¸p ®iÖn d1,
sai sè do tÇn sè vµ mét vµi sai sè kh¸c
ChuyÓn ®æi ¸p ®iÖn th−êng dung ®o çc biÕn thiªn nhanh, ®o ¸p suÊt tíi
100N/mm2. §o gia tèc trong d¶i tÇn tõ 0.5 – 100KHz
¦u ®iÓm chñ yÕu cña chuyÓn ®æi nµy lµ cã kÝch th−íc nhá, cÊu t¹o ®¬n gi¶n, lµm
viÖc tin cËy cã thÓ ®o ®−îc çc ®¹i l−îng biÕn thiªn nhanh
Bµi 3. ChuyÓn ®æi Electric
1. Nguyªn lý ho¹t ®éng
Electric lµ chÊt ®iÖn m«i cã tÝnh cùc ho¸ cè ®Þnh (tÝnh n¹p ®iÖn). Tøc lµ trªn bÒ
mÆt tån t¹i ®iÖn tÝch cã dÊu kh¸c nhau vµ ®−îc gi÷ trong thêi gian dµi
Cã nhiÒu ph−¬ng ph¸p t¹o nªn Electric. Song nãi chung lµ ph¶i ®Æt chÊt ®iÖn m«i
trong mét ®iÖn tr−êng m¹nh. Electric th−êng cã d¹ng tÊm ph¼ng cì vµi mm, trßn hoÆc
h×nh xuyÕn, bÒ dµi cña Electric ph¼ng c¬ vµi mm, ®−êng kÝnh cña lo¹i trßn tíi vµi cm.
§Ó chÕ t¹o Electric th−êng dïng nh÷ng ®iÖn m«i thiªn nhiªn vµ nh©n t¹o nh− nhùa
®−êng, eb«nit, x¸p ong
Electric lµm nguån ®iÖn tr−êng kh«ng ®æi vµ ®−îc ®Æc tr−ng b»ng mËt ®é ®iÖn
tÝch bÒ mÆt σ. Víi çc Electric kh¸c nhau th× mËt ®é ®iÖn tÝch kh¸c nhau nh−ng th−êng
n»m trong giíi h¹n (0.1 ÷ 1)10-5 C/m2
XÐt mét tÊm Electric ph¼ng ®Æt gi÷a hai tÊm kim lo¹i 2 vµ 3. Hai tÊm nµy ®−îc
nèi víi nhau nh− h×nh vÏ
-σ- 1- - - - - - - - - - 2
§iÖn tr−êng E ®−îc tÝnh
+σ E1 δ
++++++++
Q ----------- l
E=
δ(C 0 + C1 ) -σ E2 ++++++++ 3
+σ1
Víi Q = σS lµ ®iÖn tÝch trªn bÒ mÆt cña Electric
C0 ®iÖn dung riªng cña Electric H×nh 3.31 ChuyÓn ®æi Electric
C1 ®iÖn dung riªng cña khe hë kh«ng khÝ
δ kho¶ng çch cña khe hë kh«ng khÝ
XÐt khi Electric cã chiÒu dµy lµ l, diÖn tÝch bÒ mÆt lµ S, h»ng sè ®iÖn m«i cña vËt
liÖu lµ ξ th×:
ξS
C0 =
l
ξ 0S
MÆt kh¸c ®èi víi kh«ng khÝ ta cã: C1 =
l
Q σS
Thay vµo ta cã: E = ⇒E= , víi ξ0 lµ h»ng sè ®iÖn m«i
δ(C 0 + C1 ) ⎛ ξS ξ 0 S ⎞
δ⎜ + ⎟
⎝ l δ ⎠
cña kh«ng khÝ
σ
E=
⎛ ξ⎞
ξ 0 ⎜⎜1 + ⎟⎟
⎝ ξl ⎠
Ta biÕt r»ng mËt ®é ®iÖn tÝch xuÊt hiÖn trªn bÒ mÆt cña ®iÖn cùc kim lo¹i b»ng trÞ
sè cña vÐc t¬ dÞch chuyÓn D
σ
D =ξ0E = = σ1
ξδ
1+
ξ0l
Nguyªn lý cña Electric nh− sau: khi ta di chuyÓn ®iÖn cùc ®iÖn tÝch c¶m øng trªn
®iÖn cùc sÏ thay ®æi. Do ®ã m¹ch ngoµi sÏ cã dßng ®iÖn ch¹y qua. Ta cã:
dq d(δ1S) dσ
i = = =S 1
dt dt dt
Tãm l¹i: khi at dÞch chuyÓn ®iÖn cùc (vÝ dô lµ ®iÖn cùc 2) th× dÉn ®Õn σ1 thay ®æi
vµ do vËy i thay ®æi
2. Ph−¬ng h−íng sö dông chuyÓn ®æi Electric hiÖn nay
Nh−îc ®iÓm cña chuyÓn ®æi nµy lµ tÝnh kh«ng æn ®Þnh cña ®iÖn tÝch theo thêi
gian. Tuy nhiªn vÒ nguyªn t¾c chuyÓn ®æi nµy ®−îc sö dông theo hai h−íng
-H−íng thø nhÊt: §Ó ®o nh÷ng tham sè vÒ dßng ®iÖn, tr−¬ng tr−êng hîp ®ã ®iÖn
¸p ra sÏ tû lÖ víi vËn tèc di chuyÓn cña ®iÖn cùc
-H−íng thø hai: §Ó ®o nh÷ng ®¹i l−îng ¶nh h−ëng ®Õn tham sè cña Electric lµ ξ vµ δ.
Ch−¬ng 5. chuyÓn ®æi nhiÖt ®iÖn
1 Kh¸i niÖm chung.
Çc chuyÓn ®æi nhiÖt ®iÖn lµm viÖc dùa trªn quan hÖ cña qu¸ tr×nh nhiÖt víi çc
yÕu tè nh− nhiÖt dÉn cña m«i tr−êng, diÖn tÝch trao ®æi nhiÖt, tèc ®é di chuyÓn cña m«i
tr−êng v.v. ChuyÓn ®æi nhiÖt ®iÖn dïng ®o nhiÖt ®é mµ cßn dïng ®Ó ®o di chuyÓn, kÝch
th−íc, tèc ®é, l−u tèc cña chÊt láng vµ chÊt khÝ, ®é ch©n kh«ng, ®é Èm vµ cßn dïng ®Ó
ph©n tÝch khÝ.
Çc chuyÓn ®æi nhiÖt cã ®Æc ®iÓm lµ qu¸n tÝnh nhiÖt rÊt lín vµ qu¸ tr×nh qu¸ ®é
kÐo dµi. §Æc tÝnh ®éng cña çc chuyÓn ®æi nhiÖt ®iÖn ®−îc biÓu diÔn gÇn ®óng b»ng çc
ph−¬ng tr×nh vi ph©n cÊp 1 cã çc hÖ sè phô thuéc vµo ®iÒu kiÖn trao ®æi nhiÖt. Khi t¨ng
c−êng qu¸ tr×nh trao ®æi nhiÖt, qu¸n tÝnh cña chuyÓn ®æi nhiÖt sÏ gi¶m. Muèn gi¶m sai
sè ®éng vµ tÜnh cña chuyÓn ®æi nhiÖt ph¶i lµm cho sù tiÕp xóc cña chuyÓn ®æi víi m«i
tr−êng thËt chÆt chÏ vµ ®Æt thªm çc kh©u vi ph©n hiÖu chØnh ®Ó hiÖu chØnh sù gi¶m cña
®Æc tÝnh tÇn ë tÇn sè cao. ChuyÓn ®æi nhiÖt ®iÖn cã thÓ chia thµnh hai lo¹i. ChuyÓn ®æi
nhiÖt ngÉu vµ chuyÓn ®æi nhiÖt ®iÖn trë nãng l¹nh
a' C a
2. ChuyÓn ®æi nhiÖt ngÉu A
Nguyªn lý lµm viÖc lµ biÕn nhiÖt ®é

B b' D b
thµnh søc ®iÖn ®éng. Mét cÆp nhiÖt ngÉu AB
nèi víi c¬ cÊu ®o qua çc cùc a, b b»ng çc d©y
H×nh 3.32 ChuyÓn ®æi nhiÖt ngÉu
dÉn C, D. Çc d©y nµy ph¶i lµ d©y ®¼ng nhiÖt,
nghÜa lµ khi ghÐp thµnh ®«i víi mét ®iÖn cùc kh«ng sinh ra søc ®iÖn ®éng nhiÖt
®iÖn.(trong kho¶ng nhiÖt ®é tõ 0 ÷ 1000C)
NÕu æn ®Þnh nhiÖt ®é çc ®Çu mèi hµn l¹nh t0 th× ta cã thÓ tr¸nh ®−îc ¶nh h−ëng
nhiÖt ®é cña çc mèi hµn a’ vµ b’.
VËt liÖu chÕ t¹o ®ßi hái cã tÝnh chÊt: quan hÖ gi÷a søc ®iÖn ®éng nhiÖt ®iÖn vµ
nhiÖt ®é lµ ®¬n trÞ, æn ®Þnh, bÒn c¬ häc vµ ho¸ häc ë nhiÖt ®é cao, dÉn nhiÖt tèt.
+ Çc ®Æc tÝnh vËn hµnh cña chuyÓn ®æi nhiÖt ngÉu
Ph−¬ng tr×nh chuyÓn ®æi cña nhiÖt ngÉu cã thÓ viÕt gÇn ®óng nh− sau:
Et =At + Bt2 + Ct3
Trong ®ã: Et lµ søc ®iÖn ®éng nhiÖt ®iÖn, t hiÖu nhiÖt ®é gi÷a çc ®Çu nãng vµ
l¹nh, A, B, C çc h»ng sè tuú thuéc vµo vËt liÖu lµm cùc
§é nh¹y cña chuyÓn ®æi nhiÖt ngÉu kh«ng ph¶i lµ mét h»ng sè mµ phô thuéc vµo
dE t
nhiÖt ®é nh− sau: St ≈ = A + 2 Bt + 3Ct 3
dt
Sai sè chñ yÕu g©y ra do sù kh«ng æn ®Þnh nhiÖt ®é ®Çu tù do (trong phßng thÝ
nghiÖm ®Çu tù do ®Æt trong n−íc ®¸ ®ang tan, trong c«ng nghiÖp dïng çc m¹ch æn
nhiÖt). §Ó kh¾c phôc ng−êi ta dïng nhiÒu ph−¬ng ph¸p nh− sau:
+HiÖu chØnh hÖ sè K trªn tõng ®o¹n cña ®−êng cong ®Æc tÝnh Et = f(t)
BiÓu diÔn quan hÖ Et =f(t) víi nhiÖt ®é ®Çu tù
do t0 = 00C, gi¶ sö ®Çu c«ng t¸c ë nhiÖt ®é tx, ®Çu ET
Ex
tù do ë nhiÖt ®é t0’ > t0. Lóc ®ã søc ®iÖn ®éng α' ΔE
Ex’
nhiÖt ®iÖn sÏ nhá h¬n khi nhiÖt ®é ®Çu tù do b»ng
t0 =00C v× thÕ sè chØ cña dông cô ®o E’x sÏ nhá h¬n
mét l−îng ΔE g©y ra bëi sù chªnh lÖch nhiÖt ®é
00C cña ®Çu tù do 0 α ΔE
t0 = 00C t0 ‘ tx ‘ tx t
ΔE =ET(t1, t0) – ET(t0, t0’)
Theo h×nh vÏ ta cã:
H×nh 3.33 HiÖu chØnh hÖ sè K
tgα
(tx – tx’) = (t0’ – t0) = ( t 0 '− t 0 ) K
tgα '
Trong ®ã K =tgα/tgα’ lµ hÖ sè hiÖu chØnh nhiÖt ®é ®Çu tù do. NÕu ®Æc tuyÕn cña
nhiÖt ngÉu lµ tuyÕn tÝnh th× K =1. K lµ hµm sè cña nhiÖt ®é t vµ do ®ã ë mçi ®o¹n
®−êng cong lµ kh¸c nhau. mV
+Dïng thiÕt bÞ hiÖu chØnh tù ®éng nhiÖt ®é ®Çu tù do

Khi nhiÖt ®é m«i tr−êng thay ®æi, ®iÖn R9
R1 R2
trë(®ång, niken) thay ®æi, cÇu mÊt c©n b»ng
A B RB
vµ trªn ®−êng chÐo cña cÇu xuÊt hiÖn mét CÆp
nhiÖt R4 R3 EB
®iÖn ¸p ΔU. §iÖn ¸p nµy bï cho l−îng ΔE bÞ
gi¶m khi m«i tr−êng cã nhiÖt ®é kh¸c 0oC.
H×nh 3.34 M¹ch hiÖu chØnh nhiÖt ®é ®Çu tù do
3. ChuyÓn ®æi nhiÖt ®iÖn trë
Lµ vËt dÉn hay b¸n dÉn cã hÖ sè nhiÖt ®é lín vµ ®−îc trao ®æi nhiÖt víi m«i tr−êng
xung quanh. V× ®iÖn trë cña nã phô thuéc vµo nhiÖt ®é nªn phô thuéc vµo çch trao ®æi
nhiÖt gi÷a dÉn vµ m«i tr−êng. Dùa vµo quan hÖ nµy ng−êi ta chÕ t¹o thiÕt bÞ ®o çc ®¹i
l−îng kh«ng ®iÖn kh¸c nhau nh− nhiÖt ®é, vËn tèc, l−u tèc, nång ®é v.v. NhiÖt ®iÖn trë
th−êng lµm b»ng d©y m¶nh cã ®−êng kÝnh tõ 0.02 ÷ 0.06mm, dµi 5 ÷ 20mm. Yªu cÇu
®èi víi vËt liÖu lµm nhiÖt ®iÖn trë lµ cã hÖ sè nhiÖt ®é lín vµ æn ®Þnh. §iÖn trë xuÊt lín
Cã çc lo¹i nhiÖt ®iÖn trë sau:
a. NhiÖt ®iÖn trë kim lo¹i
Kim lo¹i th−êng dïng lµ ®ång, platin, niken
+NhiÖt ®iÖn trë ®ång
Ph−¬ng tr×nh chuyÓn ®æi cña nhiÖt ®iÖn trë ®ång trong d¶i tõ –50 ÷ 1800C
®−îc xem lµ tuyÕn tÝnh: Rt = R0(1+αt)
Trong ®ã: R0 lµ ®iÖn trë cña nhiÖt ®iÖn trë t¹i 00C,
α lµ hÖ sè nhiÖt ®iÖn trë α = 4,3.10-3 /0C
Trong tr−êng hîp R0 ch−a biÕt ta dïng biÓu thøc sau:
R 1 (τ + t 2 )
R2 =
τ + t1
Trong ®ã R1 vµ R2 lµ gi¸ trÞ ®iÖn trë t¹i çc nhiÖt ®é t1 vµ t2, τ =1/α lµ h»ng sè, víi
®ång th× τ = 234.
+ NhiÖt ®iÖn trë Platin
NhiÖt ®iÖn trë Platin cho phÐp nung ®Õn 12000C mµ kh«ngbÞ oxy ho¸, tuy nhiªn
qua hÖ Rt =f(t) lµ phi tuyÕn
+Khi nhiÖt ®é tõ 0 ÷ 6600C th× Rt =R0(1+At+Bt2)
+Trong kho¶ng tõ -180 ÷ 00C th× Rt = (1+At+Bt+C(t-100)3)
A, B, C lµ çc h»ng sè tra trong sæ tay kü thuËt
+Kho¶ng nhiÖt ®é t < -1800C vµ t> 6600C th× quan hÖ Rt =f(t) ®−îc lËp thµnh b¶ng.
+NhiÖt ®iÖn trë Niken
NhiÖt ®iÖn trë Niken th−êng dïng ®Ó ®o nhiÖt ®é ≤ 3000C, trong tr−êng hîp nµy
nã cã ®Æc tÝnh gièng nh− nhiÖt ®iÖn trë ®ång α = 5.10-3/0C
b. NhiÖt ®iÖn trë b¸n dÉn
NhiÖt ®iÖn trë b¸n dÉn ®−îc chÕ t¹o b»ng t¹p chÊt cña mét vµi «xÝt kim lo¹i Ðp vµ
thiªu kÕt ë nhiÖt ®é cao. Quan hÖ gi÷a ®iÖn trë vµ nhiÖt ®é phô thuéc vµo nhiÖt ®é tuyÖt
⎛1 1 ⎞ R
−β ⎜⎜ − ⎟⎟
⎝ T T0 ⎠
®èi gÇn ®óng nh− sau: RT ≈ R0e
RT (1) R
0 T
R0 lµ ®iÖn trë ë nhiÖt ®é tuyÖt ®èi T0 = 0 K
β lµ hÖ sè phô thuéc vµo lo¹i b¸n dÉn

(2)
H×nh vÏ bªn lµ ®−êng cong RT =f(T) cña
T
nhiÖt ®iÖn trë b¸n dÉn vµ nhiÖt ®iÖn trë kim lo¹i
vÏ trªn cïng hÖ trôc to¹ ®é ®Ó so s¸nh. H×nh 3..35 Quan hÖ gi÷a nhiÖt ®é T vµ ®iÖn
trë cña nhiÖt ®iÖn trë b¸n dÉn
(1) lµ cña kim lo¹i, (2) lµ cña chÊt b¸n dÉn.
HÖ sè nhiÖt ®é cña chÊt b¸n dÉn phô thuéc vµo nhiÖt ®é theo c«ng thøc α =-βT/T0
Quan hÖ gi÷a ®iÖn trë vµ nhiÖt ®é b¸n dÉn
Rt =Aeβ/T
Trong ®ã: A lµ h»ng sè phô thuéc vµo tÝnh chÊt vËt lý cña chÊt b¸n dÉn, kÝch
th−íc vµ h×nh d¹ng cña nhiÖt ®iÖn trë, B lµ h»ng sè phô thuéc vµo tÝnh chÊt vËt lý cña
chÊt b¸n dÉn, T lµ nhiÖt ®é tuyÖt ®èi
HÖ sè nhiÖt ®iÖn trë cña chÊt b¸n dÉn th−êng kh¸ lín vµ cã gi¸ trÞ ©m
α = (-2.5 ÷ 4).102/0C
c. M¹ch ®o cña chuyÓn ®æi, sai sè vµ øng dông

M¹ch ®o cña chuyÓn ®æi nhiÖt ®iÖn trë cã thÓ dïng m¹ch bÊt kú ®Ó ®o ®iÖn trë cña
nã. Th«ng th−êng ng−êi ta hay dïng m¹ch cÇu kh«ng c©n b»ng cã chØ thÞ lµ l«g«mÐt
hoÆc cÇu tù ®éng tù ghi. §Ó gi¶m sai sè cña ®iÖn trë ®−êng d©y th× ta cã thÓ dïng m¹ch
cÇu 3 d©y nh− h×nh vÏ:
Sai sè cña nhiÖt ®iÖn trë chñ yÕu lµ do sù thay ®æi ®iÖn trë ®−êng d©y khi nhiÖt ®é m«i
tr−êng thay ®æi. §iÖn trë ®−êng d©y cã thÓ ®¹t tíi 5Ω trong khi ®ã ®iÖn trë cña nhiÖt ®iÖn
trë th−êng vµo kho¶ng 40 ÷ 100Ω do ®ã khi ®iÖn trë ®−êng d©y t¨ng g©y nªn sai sè
R1 R4 R2
RB Rd1 R2
RB
EB EB RT Ura
R1 R2 Rd2 R1
R4
Rg
Rd1 Rd2 Rd3 Rd1 Rd2 Rd3 Rd3
RB
RT EB
RT
H×nh 3..36 Çc m¹ch ®o cña chuyÓn ®æi nhiÖt ®iÖn
Ngoµi ra dßng ®iÖn ch¹y qua nhiÖt ®iÖn trë cung g©y nãng vµ lµm cho ®iÖn trë
t¨ng g©y ra sai sè. MÆt kh¸c nhiÖt ®iÖn trë ®−îc bäc ngoµi b»ng mét vá thÐp nªn bÞ tæn
hao nhiÖt vµ g©y ra sai sè.
øng dông cña chuyÓn ®æi nhiÖt ®iÖn dïng ®Ó ®o nhiÖt ®é, ®o çc ®¹i l−îng kh«ng
®iÖn nh− ®o di chuyÓn, ®o ¸p xuÊt vµ dïng ®Ó ph©n tÝch thµnh phÇn nång ®é cña mét sè
hîp chÊt vµ chÊt khÝ.
Bµi III.6 ChuyÓn ®æi ho¸ ®iÖn
1. Nguyªn lý lµm viÖc
ChuyÓn ®æi ho¸ lµm viÖc dùa trªn hiÖn t−îng ®iÖn ho¸ x¶y ra khi cho dßng ®iÖn
®i qua b×nh ®iÖn ph©n hoÆc do çc qu¸ tr×nh oxy ho¸ khö trªn çc ®iÖn cùc, phô thuéc
vµo tÝnh chÊt çc ®iÖn cùc vµ nång ®é chÊt ®iÖn ph©n.
Nguyªn lý lµm viÖc cña chuyÓn ®æi ho¸ ®iÖn lµ dùa vµo quan hÖ gi÷a thµnh phÇn
vµ tÝnh chÊt cña dung dÞch víi çc th«ng sè vÒ ®iÖn cña chuyÓn ®æi nh− søc ®iÖn ®éng
®iÖn cùc, sôt ¸p trªn ®iÖn cùc khi cã dßng ®iÖn ch¹y qua, ®iÖn trë cña chuyÓn ®æi v.v.
Ph−¬ng tr×nh cña chuyÓn ®æi ho¸ ®iÖn lµ x¸c ®Þnh theo quy luËt ®iÖn ho¸ vµ
th−êng lµ nh÷ng hµm phøc t¹p v× çc quan hÖ nãi trªn phô thuéc nhiÒu vµo nhiÖt ®é, ¸p
suÊt, tèc ®é lan truyÒn cña dung dÞch còng nh− çc th«ng sè kh¸c cña dông dÞch vµ tÝnh
chÊt çc ®iÖn cùc.
Khi t¨ng c−êng çc quan hÖ nµy vµ lµm yÕu çc quan hÖ kh¸c cã thÓ t¹o ra çc
chuyÓn ®æi ho¸ ®iÖn kh¸c nhau. ChuyÓn ®æi ho¸ ®iÖn kh«ng chØ ®Ó x¸c ®Þnh thµnh phÇn
vµ nång ®é mµ cßn dïng ®o nhiÒu ®¹i l−îng kh¸c nh− di chuyÓn, ¸p suÊt, ®iÖn l−îng
v.v. Mét sè chuyÓn ®æi ho¸ ®iÖn c¬ b¶n sau.
2. ChuyÓn ®æi Ganvanic
Cã cÊu t¹o nh− sau:
Gåm 1 phÇn tö calomen 1 vµ ®iÖn cùc ®o l−êng thuû tinh 2

§Ó lÊy ®iÖn thÕ ë bªn ®iÖn cùc thuû tinh, b×nh ®−îc ®æ ®Çy dung dÞch mÉu cã ®é
pH ®· biÕt. Trong b×nh thuû tinh cã ®iÖn cùc Clorua b¹c 3.
Søc ®iÖn ®éng cña chuyÓn ®æi b»ng

tæng çc søc ®iÖn ®éng cña b¸n phÇn tö
1
Calomen b¹c vµ çc sùc ®iÖn ®éng ë mÆt
trong vµ mÆt ngoµi cña ®iÖn cùc thuû tinh vµ 3
Kcl
phô thuéc vµo ®é pH cña dung dÞch cÇn
nghiªn cøu. Çc thµnh phÇn søc ®iÖn ®éng Hg
PHm
2 PHx Hg2Cl2
kh¸c kh«ng ®æi, v× thÕ søc ®iÖn ®éng cña
chuyÓn ®æi sÏ x¸c ®Þnh ®−îc ®é pH cña dung
H×nh 3.37 ChuyÓn ®æi Ganvanic
dÞch (pHx)
Ph−¬ng tr×nh cña chuyÓn ®æi Ganvanic cã d¹ng E = E0’ + bpH
E0’ lµ søc ®iÖn ®éng cña chuyÓn ®æi khi pH =0
b hÖ sè cña chuyÓn ®æi, phô thuéc vµo lo¹i ®iÖn cùc vµ nhiÖt ®é.
Sai sè cña chuyÓn ®æi Ganvanic chñ yÕu lµ do ¶nh h−ëng cña nhiÖt ®é vµ ®iÖn thÕ
khuyÕch t¸n. §Ó gi¶m sai sè ng−êi ta dïng çc m¹ch hiÖu chØnh nhiÖt ®é.
3. ChuyÓn ®æi ®iÖn dÉn dung dÞch
Nguyªn lý cña chuyÓn ®æi ®iÖn dÉn dung dÞch dùa trªn quan hÖ gi÷a ®iÖn dÉn cña
chuyÓn ®æi theo thµnh phÇn, nång ®é dung dÞch, kho¶ng çch l vµ diÖn tÝch S gi÷a çc
®iÖn cùc. Ph−¬ng tr×nh cña chuyÓn ®æi cã d¹ng gÇn ®óng nh− sau:
1 γS ~
g= =
R l
ChuyÓn ®æi ®iÖn dÉn dïng ®Ó 1 3 4 2

®o nång ®é çc dung dÞch vµ çc ®¹i
l−îng c¬ häc, nång ®é dung dÞch gi÷
kh«ng ®æi, ®¹i l−îng cÇn ®o lµm thay
®æi kho¶ng çch hay diÖn tÝch cña çc
H×nh 3.38 ChuyÓn ®æi ®iÖn dÉn dung dÞch
®iÖn cùc.
§Ó lo¹i trõ sai sè do hiÖn t−îng ph©n cùc, cïng víi nguån cung cÊp b»ng ®iÖn ¸p xoay
chiÒu ng−êi ta dïng chuyÓn ®æi 4 cùc nh− h×nh vÏ trªn. §Æt ®iÖn ¸p xoay chiÒu æn ®Þnh vµo
hai cùc dßng (1, 4) hai cùc thÕ ®Ó ®o ®iÖn ¸p. §o ®iÖn ¸p U b»ng ph−¬ng ph¸p bï sÏ lo¹i trõ
®−îc hiÖn t−îng ph©n cùc trªn çc ®iÖn cùc 2, 3 vµ sai sè do hiÖn t−îng Êy g©y ra.
§Ó lo¹i trõ hiÖn t−îng ph©n cùc vµ çc t¸c dông kh¸c, ng−êi ta dïng çc chuyÓn
®æi ©m tÇn kh«ng tiÕp xóc.
μA
H×nh 3.39 a. ChuyÓn ®æi biÕn ¸p tÇn sè thÊp b. chuyÓn ®æi kh«ng tiÕp xóc
-ChuyÓn ®æi biÕn ¸p tÇn sè thÊp cã cuén d©y thø cÊp ng¾n m¹ch lµ mét èng thuû
tinh chøa dung dÞch cÇn ®o nång ®é. Dông cô 2 nèi trong m¹ch cuén d©y s¬ cÊp cña
chuyÓn ®æi ®−îc kh¾c ®é theo ®¬n vÞ nång ®é v× dßng ®iÖn nµy phô thuéc vµo tæng trë
vµo cña m¹ch thø cÊp.
Sai sè cña chuyÓn ®æi ®iÖn dÉn dung dÞch chñ yÕu g©y ra bëi ¶nh h−ëng cña nhiÖt
®é ®Õn ®iÖn dÉn dung dÞch, ¶nh h−ëng cña sù ph©n cùc ë çc ®iÖn cùc. §Ó gi¶m sai sè
ng−êi ta dïng ph−¬ng ph¸p hiÖu chØnh nhiÖt ®é. Sai sè do hiÖn t−îng ph©n ly vµ ph©n
cùc g©y ra sÏ gi¶m khi cung cÊp cho chuyÓn ®æi b»ng nguån xoay chiÒu tÇn sè 500 ÷
1000Hz hoÆc dïng chuyÓn ®æi 4 cùc vµ chuyÓn ®æi kh«ng tiÕp xóc.
Bµi III. 7 ChuyÓn ®æi l−îng tö
1. Nguyªn lý cña chuyÓn ®æi l−îng tö

Lµ dùa trªn çc hiÖn t−îng vËt lý h¹t nh©n nguyªn tö. Lo¹i chuyÓn ®æi l−îng tö
phæ biÕn nhÊt lµ chuyÓn ®æi dùa trªn hiÖn t−îng céng h−ëng tõ h¹t nh©n nh− sau:
H¹t nh©n nguyªn tö cã chøa mét m« men tõ ®−îc gäi lµ dipol ký hiÖu lµ μ vµ m«
men khèi l−îng chuyÓn ®éng ®−îc gäi lµ spin p.
Tû sè: μ/p gäi lµ hÖ sè thuû tõ cña h¹t nh©n(hay hÖ sè tõ c¬). HÖ sè nµy lµ h»ng sè
vµ kh«ng phô thuéc vµo çc ®iÒu kiÖn bªn ngoµi.
NÕu ta ®Æt vËt liÖu (vÝ dô n−íc nÆng) trong
mét èng nghiÖm. Sau ®ã ®Æt c¶ èng nghiÖm vµo
trong mét tõ tr−êng ®Òu cã ®é tõ c¶m B th× çc
N
m« men tõ μ sÏ quay xung quanh vÐc t¬ B . B
U~ μ
Lóc ®ã m« men lùc t¸c ®éng lªn çc m« men tõ
ψ
μ ®−îc thÓ hiÖn b»ng ph−¬ng tr×nh B'
M = μB S
Ph−¬ng tr×nh chuyÓn ®éng sÏ cã d¹ng
dP
= M = μB
dt H×nh 3.40 ChuyÓn ®æi l−îng tö
dP
Nh−ng mÆt kh¸c = Pω
dt
ω lµ tÇn sè quay cña m« men tõ xung quanh B. Tõ ®ã ta cã:
μB
μB = Pω ⇒ ω = = γB
P
NÕu trong mÆt ph¼ng vu«ng gãc víi tõ tr−êng B ta t¹o ra mét tõ tr−êng xoay
chiÒu B ' cã tÇn sè cao cïng quay víi m«men tõ dipol. Khi vÐc t¬ B ' quay ®ång bé víi
m« men tõ dipol μ th× sÏ g©y ra sù thay ®æi cña tõ tr−êng cao tÇn vµ sÏ xuÊt hiÖn m«men
t¸c ®éng lªn dipol μ lµm thay ®æi gãc ϕ gi÷a B vµ μ .
Khi cã sù c©n b»ng gi÷a tÇn sè quay ω cña m« men tõ μ xung quanh B vµ tÇn sè
quay cña cña vÐc t¬ B ' th× sÏ sinh ra hiÖn t−îng céng h−ëng. §ã lµ hiÖn t−îng céng
h−ëng tõ h¹t nh©n.
Nh− vËy cã thÓ x¸c ®Þnh B theo gi¸ trÞ tÇn sè céng h−ëng ω vµ hÖ sè thuû tõ γ. HÖ sè γ
®èi víi mçi chÊt cã thÓ x¸c ®Þnh chÝnh x¸c ®Õn 0.001% cßn sai sè ®o ω cã thÓ ®¹t ®Õn
0.001% b»ng tÇn sè kÕ chØ thÞ sè. Cho nªn nÕu sö dông lo¹i chuyÓn ®æi nµy cã thÓ ®o ®é tõ
c¶m cña tõ tr−êng víi ®é chÝnh x¸c cao h¬n çc ph−¬ng ph¸p th«ng th−êng kh¸c.
2. M¹ch ®o
Mét èng nghiÖm chøa mét chÊt (vÝ dô nh− n−íc nÆng D) ®Æt vµo trong mét cuén
d©y 2. Cuén d©y nµy nèi víi ®iÖn dung C (cã thÓ thay ®æi ®−îc) t¹o thµnh mét m¸y ph¸t
cao tÇn LC. èng nghiÖm vµ cuén d©y ®−îc ®Æt trong mét tõ tr−êng ®Òu cã ®é tõ c¶m cÇn
®o Bx cña nam ch©m vÜnh cöu 4.
§o tÇn sè chØ
thÞ sè
N
MF K§ T¸ch K§
cao cao sãng ©m
tÇn tÇn tÇn
§iÒu §iÒu
chÕ chØnh
pha
H×nh 3.41 M¹ch ®o cña chuyÓn ®æi l−îng tö
Khi x¶y ra hiÖn t−îng céng h−ëng lµ lóc mµ tÇn sè quay cña proton (h¹t nh©n
Hydro) b»ng tÇn sè cña m¸y ph¸t cao tÇn ë mét gi¸ trÞ nµo ®ã cña ®é tõ c¶m B. T¹i tr¹ng
th¸i ®ã x¶y ra sù mÊt m¸t n¨ng l−îng lµm gi¶m biªn ®é dao ®éng cña m¸y ph¸t. §Ó duy
tr× hiÖn t−îng céng h−ëng vµ nhËn ®−îc tÝn hiÖu liªn tôc, tõ tr−êng kh«ng ®æi Bx ®−îc
®iÒu chÕ bëi mét tõ tr−êng xoay chiÒu cã tÇn sè thÊp 50Hz b»ng mét cuén d©y phô 3 ®Æt
trong tõ tr−êng. Nh− vËy ®iÖn ¸p cao tÇn cña m¸y ph¸t còng bÞ ®iÒu chÕ. Sau ®ã vµo
khuyÕch ®¹i cao tÇn, qua t¸ch sãng vµo khuyÕch ®¹i ©m tÇn vµ ®−a ®Õn hai b¶n cùc Y
cña dao ®éng ký ®iÖn tö. MÆt kh¸c ta ®−a tÝn hiÖu ®iÒu chÕ 50Hz qua bé ®iÒu chØnh pha
vµo hai b¶n cùc cña dao ®éng ký. Qu¸ tr×nh nµy ®−îc biÓu diÔn ë ®å thÞ sau, tÝn hiÖu
®iÒu chÕ cã chu kú lµ TM ®iÒu kiÖn céng h−ëng ®−îc nh¾c l¹i hai lÇn. V× khi tÝn hiÖu
®iÒu chÕ ®i qua ®iÓm "O" gi¸ trÞ B t¹i ®ã cã céng h−ëng sÏ nh¾c l¹i. Nh− thÕ trªn mµn
h×nh cña dao ®éng ký sÏ xuÊt hiÖn 2 tÝn hiÖu.
§iÒu chØnh pha cña tÝn hiÖu vµo hai cùc X cña dao ®éng ký ta cã thÓ t¸ch thµnh 2
tÝn hiÖu nh− h×nh vÏ.
TH
§iÓm giao nhau gi÷a § sÏ lµ ®iÓm ®iÒu chÕ
céng h−ëng. Khi ®iÓm § ®¹t vÞ trÝ gi÷a mµn
h×nh cña dao ®éng ký th× ta ®o tÇn sè cao tÇn TH
Cao tÇn
b»ng tÇn sè kÕ chØ thÞ sè. Tõ ®ã theo biÓu
thøc trªn ta tÝnh ®−îc ®é tõ c¶m Bx cÇn ®o TH
TÇn sè
øng dông: Dïng ®Ó ®o ®é tõ c¶m cña
tõ tr−êng ®Òu tõ 0.005T trë ®i. Giíi h¹n ®o TH
©m tÇn
tuú thuéc vµo h¹t nh©n nguyªn tö mµ ta sö
dông. Ngoµi viÖc ®o dßng trong thùc tÕ
ph−¬ng ph¸p nµy ®−îc øng dông réng r·i §
®Ó ®o dßng lín.
Trong lÜnh vùc y häc ng−êi ta sö dông lo¹i
chuyÓn ®æi nµy ®Ó s¶n xuÊt m¸y chôp c¾t líp. H×nh 4.32 Çc tÝn hiÖu ®iÒu chÕ
Bµi III. 8 ChuyÓn ®æi quang ®iÖn
1. ChuyÓn ®æi tù ph¸t x¹ ®iÖn tö.

D−íi t¸c dông cña ®iÖn tr−êng m¹nh (víi ®iÖn ¸p trªn anèt vµ ka tèt cì 3000V),
çc ®iÖn tö bÞ b¾n ra khái katèt, trªn ®−êng ®i chóng ion ho¸. Çc ph©n tö khÝ t¹o thµnh
çc ion d−¬ng vµ ©m. Dßng ®iÖn ch¹y tõ anèt ®Õn katèt thay ®æi theo mËt ®é kh«ng khÝ
trong ®Ìn hai cùc.
øng dông ®Ó chÕ t¹o çc thiÕt bÞ ®o ¸p xuÊt cßn gäi lµ ch©n kh«ng kÕ.
2. ChuyÓn ®æi cã ph¸t x¹ nhiÖt ®iÖn tö

Çc lo¹i chuyÓn ®æi nµy ®−îc chÕ t¹o d−íi d¹ng ®Ìn ®iÖn tö hai cùc vµ ba cùc, khi
catèt bÞ ®èt nãng, çc ®iÖn tö b¾n ra khái nã vµ d−íi t¸c dông cña ®iÖn tr−êng, çc ®iÖn
tö chuyÓn ®éng tõ anèt ®Õn katèt. Trªn ®−êng ®i çc ®iÖn tö ion ho¸ kh«ng khÝ t¹o thµnh
çc ion d−¬ng vµ ©m, còng nh− lo¹i chuyÓn ®æi tù ph¸t x¹ ®iÖn tö, chuyÓn ®æi lo¹i nµy
dïng ®Ó ®o ®é ch©n kh«ng tíi 10-6mmHg. NÕu gi÷ cho ®Ìn cã ®é ch©n kh«ng æn ®Þnh,
dßng ®iÖn ch¹y trong m¹ch phô thuéc vµo kho¶ng çch gi÷a hai cùc anèt vµ katèt. øng
dông ®Ó chÕ t¹o çc thiÕt bÞ ®o çc ®¹i l−îng c¬ nh− ®o ®é di chuyÓn, ®o ¸p suÊt.
3. ChuyÓn ®æi cã ph¸t x¹ quang ®iÖn tö

D−íi t¸c dông cña dßng ¸nh s¸ng víi b−íc sãng thÝch hîp chiÕu vµo katèt, ®iÖn tö
tõ katèt bÞ b¾n ra t¹o thµnh dßng ®iÖn. ChuyÓn ®æi quang ®iÖn chia lµm ba lo¹i: TÕ bµo
quang ®iÖn, quang ®iÖn trë vµ ph«t« ®ièt.
-TÕ bµo quang ®iÖn lµ phÇn tö quang ®iÖn sö dông hiÖu øng quang ®iÖn ngoµi. §ã
lµ mét ®Ìn ch©n kh«ng hay cã khÝ mµ katèt cña nã sÏ ph¸t ra çc ®iÖn tö d−íi t¸c dông
cña dßng ¸nh s¸ng.
-Quang ®iÖn trë lµ lo¹i chuyÓn ®æi quang ®iÖn dùa vµo hiÖu øng quang ®iÖn trong.
§iÖn trë cña (mét vµi) chÊt b¸n dÉn thay ®æi d−íi t¸c dông cña dßng ¸nh s¸ng. Çc chÊt
cã hiÖu øng quang ®iÖn trong m¹nh lµ sªlen, muèi sunfit cadmi, çc hîp chÊt cña tali,
bismut hoÆc ch× víi l−u huúnh.
-Ph«t« ®ièt (van quang ®iÖn ) lµ chuyÓn ®æi quang ®iÖn, d−íi t¸c dông cña ¸nh
s¸ng, líp kho¸ cña mét sè mÆt ghÐp çc chÊt b¸n dÉn sÏ trë thµnh nguån dßng ®iÖn
øng dông: dïng ®Ó ®o çc ®¹i l−îng kh«ng ®iÖn kh¸c nhau.
Bµi III. 9 Kh¸i niÖm vÒ çc chuyÓn ®æi th«ng minh
1. Sù ra ®êi çc c¶m biÕn th«ng minh

HiÖn nay çc hÖ thèng thu thËp sè liÖu ®o l−êng th× çc c¶m biÕn lµ kh©u yÕu nhÊt
cña hÖ thèng so víi çc bé biÕn ®æi ®iÖn -®iÖn vµ çc hÖ thèng sö lý kÕt qu¶ ®o. Sai sè vµ
çc ®Æt tÝnh kü thuËt kh¸c cña hÖ thèng kh«ng thÓ v−ît qua sai sè cña c¶m biÕn nÕu
kh«ng cã biÖn ph¸p c«ng nghÖ vµ sö lý ®Ó c¶i tiÕn ®Æc tÝnh kü thuËt cña c¶m biÕn. Râ
rµng yªu cÇu c¶i tiÕn c¶m biÕn hiÖn cã lµ mét vÊn ®Ò cÊp thiÕt. ViÖc c¶i tiÕn nµy dùa trªn
t×nh h×nh ph¸t triÓn cña c«ng nghÖ vµ kü thuËt ®iÖn tö - tin häc.
-HiÖn nay ®· ra ®êi çc chuyÓn ®æi s¬ cÊp trªn c¬ së c«ng nghÖ vµ vi ®iÖn tö cã kÕt
qu¶ tèt h¬n vÒ kÝch th−íc còng nh− tÝnh n¨ng kü thuËt, cã thÓ sö dông vµo nhiÒu chuyÓn
®æi kh¸c nhau, gióp cho viÖc ®a chøc n¨ng ho¸ c¶m biÕn.
-Çc vi xö lý cµng ®−cî sö dông réng r·i, kh¶ n¨ng xö lý cao, t¹o ra çc bé c¶m
biÕn th«ng minh vµ gióp cho viÖc h¹ gi¸ thµnh çc bé c¶m biÕn rÊt nhiÒu.
-Nhê tÝnh n¨ng cao cña çc vi xö lý çc nhµ kü thuËt ®o l−êng ®· ®−a ra nhiÒu biÖn
ph¸p, nhiÒu ph−¬ng ph¸p ®o ®Ó ®a n¨ng ho¸ çc c¶m biÕn, çc thiÕt bÞ ®o, ®−a ra nhiÒu
biÖn ph¸p xö lý n©ng cao tÝnh chÝnh x¸c, kh¶ n¨ng th«ng tin, t¨ng tèc ®é ®o, n©ng cao
tÝnh æn ®Þnh vµ lo¹i trõ çc yÕu tè ¶nh h−ëng ®Õn thiÕt bÞ ®o. Trªn c¬ së ®ã çc c¶m biÕn
th«ng minh ®· ra ®êi. Çc c¶m biÕn th«ng minh cã nh÷ng tÝnh n¨ng sau:
+Sö dông ®a chøc n¨ng, tøc lµ cã thÓ ®o nhiÒu ®¹i l−îng kh¸c nhau víi çc kho¶ng
®o kh¸c nhau.
+Cã kh¶ n¨ng ch−¬ng tr×nh ho¸ víi ý nghÜa: qu¸ tr×nh ®o cã thÓ theo mét ch−¬ng
trn×h ®Þnh tr−íc, ch−¬ng tr×nh nµy cã thÓ thay ®æi b»ng çc thiÕt bÞ ghi ch−¬ng tr×nh.
+Tù ®éng xö lý kÕt qu¶ ®o nh−: Tù ®éng kh¾c ®é, tù ®éng chän thang ®o, tõ ®éng
bï sai sè hÖ thèng vµ sai sè ngÉu nhiªn, tù ®éng bï ¶nh h−ëng çc yÕu tè kh¸c nhau, tù
®éng truyÒn kÕt qu¶ lªn cÊp trªn theo chu kú hay ®Þa chØ.
C¶m biÕn th«ng minh gåm çc chuyÓn ®æi s¬ cÊp kÕt hîp víi çc biÕn ®æi vµ bé vi
xö lý hay vi tÝnh ®¬n phiÕn. KÌm theo víi çc bé c¶m biÕn lµ mét bé ghi ch−¬ng tr×nh ®Ó
ghi çc ch−¬ng tr×nh xö lý, çc sè liÖu thèng kª kh¾c ®é.
2. CÊu tróc cña c¶m biÕn th«ng minh

CÊu tróc chung cña çc c¶m biÕn th«ng minh nh− sau:
CB1 C§CH1 C¶m biÕn th«ng minh

§èi
t−îng
®o CB1 C§CH2 MUX A/D μC
…
CBn C§CHn
H×nh 3.43 CÊu tróc cña c¶m biÕn th«ng minh

C¶m biÕn gåm nh÷ng chuyÓn ®æi s¬ cÊp, çc ®¹i l−îng vµo cã thÓ lµ nh÷ng ®¹i
l−îng chñ cÇn thiÕt cho phÐp ®o còng cã thÓ lµ çc ®¹i l−îng, yÕu tè ¶nh h−ëng dïng ®Ó
lo¹i trõ sai sè do ¶nh h−ëng cña chóng.
Çc ®¹i l−îng ®iÖn ®−îc qua çc kh©u chuyÓn ®æi chuÈn ho¸ (C§CH), sau ®ã ®−îc
®−a vµo bé gép kªnh (MUX) vµ qua bé chuyÓn ®æi t−¬ng tù sè (A/D) vµo vi tÝnh ®¬n
phiÕn hay vi xö lý (μP hay μC )
Cã thÓ cã 2 lo¹i c«ng nghÖ:
+ NÕu çc chuyÓn ®æi lµ lo¹i chuyÓn ®æi s¬ cÊp b×nh th−êng th× çc ®Çu ra cña
chóng ®−îc ®−a vµo trong mét vi m¹ch c«ng nghÖ lai, gåm cã çc bé biÕn ®æi chuÈn
ho¸, MUX, A/D vµ μC trong mét khèi vµ nèi liÒn m¸y tÝnh cÊp trªn vµ bé ghi ch−¬ng
tr×nh cho EPPROM.
+NÕu çc chuyÓn ®æi lµ lo¹i chuyÓn ®æi thùc hiÖn b»ng c«ng nghÖ vi m¹ch th× c¶
chuyÓn ®æi lÉn çc phÇn tö gia c«ng phÝa sau ®−îc ®Ó trong mét khèi c«ng nghÖ m¹ch lai.
Çc c¶m biÕn th«ng minh d¹ng trªn ®· ph¸t triÓn v× thÕ viÖc hÖ thèng ho¸ çc c¶m
biÕn, chän cÊu tróc thÕ nµo cho cã tÝnh linh ho¹t cao, viÖc ch−¬ng tr×nh ho¸ ®−îc dÔ dµng

BÀI GIẢNG - Kỹ thuật sensor (Nguyễn Hoài Nam)

Uploaded by

Copyright:

Available Formats

You might also like

BÀI GIẢNG - Kỹ thuật sensor (Nguyễn Hoài Nam)

Uploaded by

Document Information

Copyright

Available Formats

Share this document

Share or Embed Document

Sharing Options

Did you find this document useful?

Is this content inappropriate?

Copyright:

Available Formats

BÀI GIẢNG - Kỹ thuật sensor (Nguyễn Hoài Nam)

Uploaded by

Copyright:

Available Formats

BÀI GIẢNG KỸ THUẬT SENSOR

H×nh 3.1 S¬ ®å cÊu tróc cña chuyÓn ®æi ®o l−êng

X: lµ tÝn hiÖu vµo thuéc nhiÒu ®¹i l−îng kh¸c nhau

H×nh 3.3 ChuyÓn ®æi tiÕp xóc mét giíi h¹n

H×nh 3.4 ChuyÓn ®æi tiÕp xóc nhiÒu giíi h¹n

Bµi 2. ChuyÓn ®æi biÕn trë

chuyÓn ®æi lµ sù di chuyÓn cña con ch¹y, cã

R: §iÖn trë cña toµn bé biÕn trë

x: kho¶ng di chuyÓn cña con ch¹y

Chọn sao cho khoảng di chuyển ΔR << R cho nªn:

Ngoµi ra ng−êi ta cßn dïng m¹ch l«g«

MÆt kh¸c ta cã: ξ S = −2K p ξ l , Kp lµ hÖ sè poisson

Ph−¬ng tr×nh tæng qu¸t cña chuyÓn ®æi

TÊm giÊy máng lo¹i bÒn 1

D©y ®iÖn trë tenzo 2 cã ®−êng a

kÝnh 0.02 ÷ 0.05mm d¸n lªn tÊm giÊy

R0 : §iÖn trë cña chuyÓn ®æi khi ch−a cã biÕn d¹ng

I: Dßng ®iÖn cho phÐp

2. M¹ch ®o cña chuyÓn ®æi tenzo

H×nh 3.11 M¹ch cÇu mét nh¸nh ho¹t ®éng

+ Khi P1 ≠ 0 lµm cho R1 biÕn thiªn, tøc lµ: R1 = Rt =RT0(1 + ξ RT)

b. M¹ch cÇu hai nh¸nh biªn thiªn ng−îc chiÒu nhau P

M¹ch nµy th−êng dïng do c¸c R1

1000Hz. §Ó lo¹i trõ thµnh phÇn 1 Ut Rt Ura

chiÒu ng−êi ta m¾c thªm 1 tô C

H×nh 3.13 M¹ch ph©n ¸p

Th«ng th−êng ξ R <<1 ⇔ RToξ R sin ωt RTo

V× ®iÖn ¸p ra lÊy thµnh phÇn mét chiÒu cho nªn

3. Sai sè vµ øng dông

Ch−¬ng 3. ChuyÓn ®æi ®iÖn tõ

(a) (b) (c)

H×nh 3.14 Mét sè chuyÓn ®æi ®iÖn c¶m th−êng gÆp

+ §é nh¹y cña chuyÓn ®æi khi δ thay ®æi lµ (S = S0 =const):

ChuyÓn ®æi vi sai

c. M¹ch ®o cña chuyÓn ®æi

Thay Z1 = Z + ΔZ, Z2 = Z - ΔZ, quy ®ång mÉu sè vµ rót gän ta ®−îc

+ §é nh¹y vÒ dßng vµ ¸p cña cÇu:

Bµi 3. ChuyÓn ®æi ¸p tõ

H×nh 3.20 Mét sè chuyÓn ®æi ¸p tõ

tõ gièng nh− m¹ch ®o cña chuyÓn

c¶m song nã cã thÓ ®o ®−îc c¸c C§2

®aÞ l−îng biÕn thiªn nhanh tíi

Bµi 4. ChuyÓn ®æi c¶m øng

H×nh 3.22 Mét sè chuyÓn ®æi c¶m øng

S ®−îc gäi lµ ®é nh¹y cña chuyÓn ®æi.

l1-1 lµ chiÒu dµi ®o¹n m¹ch tõ bÞ biÕn d¹ng

U ra (p) SpR t SpR t / (R + R t )

Bµi1. ChuyÓn ®æi ®iÖn dung

a. Nguyªn lý lµm viÖc

ξ: h»ng sè ®iÖn m«i gi÷a hai cùc

S, δ diÖn tÝch c¸c b¶n cùc vµ kho¶ng c¸ch gi÷a chóng

Mét sè h×nh d¸ng cña chuyÓn ®æi ®iÖn dung

H×nh 3.24 Mét sè chuyÓn ®æi ®iÖn dung

b. TÝnh n¨ng cña chuyÓn ®æi ®iÖn dung

§−a ph−¬ng tr×nh vÒ d¹ng sai ph©n ta ®−îc:

Tõ ®©y ta tÝnh ®−îc ®é nh¹y

+§é nh¹y khi δ thay ®æi (ε, S = const)

+§é nh¹y khi S thay ®æi (ε, δ = const)

+§é nh¹y khi ε thay ®æi (S, δ = const)