‫معايير ومواصفات غرف االبحاث ‪ FS209‬و ‪ISO‬‬

‫قبل اعتماد التصنيفات والمعايير العالمية لغرف االبحاث النظيفة من قبل منظمة المعايير الدولية (‬
‫‪ ،)ISO‬تم تطبيق معايير إدارة الخدمة العامة األمريكية (المعروفة باسم ‪ ) FS209E‬في جميع أنحاء العالم‬
‫تقريًبا‪ .‬ومع ذلك‪ ،‬مع تزايد الحاجة إلى المعايير الدولية‪ ،‬أنشأت منظمة ‪ ISO‬لجنة فنية والعديد من مجموعات‬
‫العمل لتحديد مجموعة المعايير الخاصة بها‪.‬‬

‫يحتوي ‪ FS209E‬على ستة فئات‪ ،‬في حين يضيف نظام التصنيف ‪ ISO 14644-1‬معيارين أنظف‬
‫ومعيار واحد أكثر قذارة (انظر الرسم البياني أدناه)‪ُ .‬يشار إلى غرفة األبحاث "األنظف" في ‪ FS209E‬بالفئة ‪1‬؛‬
‫غرفة األبحاث "األقذر" هي فئة ‪.100000‬‬

‫‪Maximum Particles/ft3‬‬
‫‪Class‬‬
‫‪ISO‬‬ ‫‪>0.1 pm‬‬ ‫‪>0.2 pm‬‬ ‫‪>0.3 pm‬‬ ‫‪>0.5 pm‬‬ ‫‪>5 pm‬‬
‫‪FS209E‬‬
‫‪ISO 3‬‬ ‫‪35‬‬ ‫‪7‬‬ ‫‪3‬‬ ‫‪1‬‬ ‫‪Class1‬‬

‫‪ISO 4‬‬ ‫‪350‬‬ ‫‪75‬‬ ‫‪30‬‬ ‫‪10‬‬ ‫‪Class 10‬‬

‫‪ISO 5‬‬ ‫‪750‬‬ ‫‪300‬‬ ‫‪100‬‬ ‫‪Class 100‬‬

‫‪ISO 6‬‬ ‫‪1,000‬‬ ‫‪Class 1,000‬‬

‫‪ISO 7‬‬ ‫‪10,000‬‬ ‫‪70‬‬ ‫‪Class 10,000‬‬

‫‪ISO 8‬‬ ‫‪100,000‬‬ ‫‪700‬‬ ‫‪Class 100,000‬‬

 ‫ويتم تصنيف تصنيفات غرف األبحاث ‪ ISO‬وفًقا لكمية الجسيمات ذات األحجام المحددة الموجودة لكل‬
‫متر مكعب (انظر الجدول الثالي)‪ .‬غرفة األبحاث "األنظف" هي فئة ‪ 1‬و"األقذر" فئة ‪ .9‬فئة ‪ ISO 3‬تساوي‬
‫تقريًبا فئة ‪ ،FS209E 1‬بينما تساوي فئة ‪ ISO 8‬تقريًبا فئة ‪.FS209E 100,000‬‬

‫‪Airborne Particulate Cleanliness Classes (by cubic meter):‬‬

‫‪CLASS‬‬ ‫‪Number of Particles per Cubic Meter by Micrometer Size‬‬
‫‪0.1 micron 0.2 micron 0.3 micron 0.5 micron 1 micron‬‬ ‫‪5 microns‬‬
‫‪ISO1‬‬ ‫‪10‬‬ ‫‪2‬‬
‫‪ISO2‬‬ ‫‪100‬‬ ‫‪24‬‬ ‫‪10‬‬ ‫‪4‬‬
‫‪ISO3‬‬ ‫‪1,000‬‬ ‫‪237‬‬ ‫‪102‬‬ ‫‪35‬‬ ‫‪8‬‬
‫‪ISO4‬‬ ‫‪10,000‬‬ ‫‪2,370‬‬ ‫‪1,020‬‬ ‫‪352‬‬ ‫‪83‬‬
‫‪ISO5‬‬ ‫‪100,000‬‬ ‫‪23,700‬‬ ‫‪10,200‬‬ ‫‪3,520‬‬ ‫‪832‬‬ ‫‪29‬‬
‫‪ISO6‬‬ ‫‪1,000,000 237,000‬‬ ‫‪102,000‬‬ ‫‪35,200‬‬ ‫‪8,320‬‬ ‫‪293‬‬
‫‪ISO7‬‬ ‫‪352,000‬‬ ‫‪83,200‬‬ ‫‪2,930‬‬
‫‪ISO8‬‬ ‫‪3,520,000 832,000‬‬ ‫‪29,300‬‬
‫‪ISO9‬‬ ‫‪35,200,000 8,320,000‬‬ ‫‪293,000‬‬

‫في غرف األبحاث‪ ،‬يتغير تركيز الجسيمات بمرور الوقت بدًء ا من إنشاء المعدات وتركيبها وحتى‬
‫حالتها التشغيلية‪ .‬تحدد ‪ ISO‬ثالثة معايير لتصنيف غرف األبحاث‪ :‬مبنية‪ ،‬وغير ثابتة‪ ،‬وتشغيلية‪ .‬مع إدخال‬
‫األدوات والمعدات وارتفاع الجسيمات‪ ،‬تصبح غرفة األبحاث "المبنية" غرفة نظيفة "غير ثابتة"‪ .‬عندما يتم‬
‫إضافة أشخاص إلى المصفوفة‪ ،‬ترتفع مستويات الجسيمات بشكل أكبر في غرف األبحاث "التشغيلية"‪.‬‬

‫يصف المعيار ‪ ISO 14644-2‬نوع وتكرار االختبارات المطلوبة للتوافق مع معايير معينة‪ .‬وتبين الجداول التالية‬
‫االختبارات اإلجبارية واالختيارية‪.‬‬

‫)‪Required Testing (ISO 14644-2‬‬

‫‪Schedule of Tests to Demonstrate Continuing Compliance‬‬
‫‪Test Parameter‬‬ ‫‪Class‬‬ ‫‪Maximum Time Interval‬‬ ‫‪Test Procedure‬‬
‫‪Particle Count Test‬‬ ‫‪ISO 14644-1 Annex A‬‬
‫‪<= ISO 5‬‬ ‫‪6 Months‬‬
‫‪> ISO 5‬‬ ‫‪12 Months‬‬
‫‪Air Pressure Difference‬‬ ‫‪All Classes‬‬ ‫‪12 Months‬‬ ‫‪ISO 14644-1 Annex B5‬‬
‫‪Airflow‬‬ ‫‪All Classes‬‬ ‫‪12 Months‬‬ ‫‪ISO 14644-1 Annex B4‬‬
 ‫واليوم‪ ،‬باإلضافة إلى ‪ ISO 14644-1‬و‪ ،ISO 14644-2‬يجري حالًيا إعداد ثماني وثائق أخرى لمعايير غرف‬
‫األبحاث‪ .‬العديد منها في مرحلة التصويت النهائية ويمكن استخدامها بشكل قانوني ‪.‬‬

‫‪ISO Document Title‬‬

‫‪ISO 14644-1‬‬ ‫‪Classification of Air Cleanliness‬‬
‫تصنيف درجة نقاء الهواء‬
‫‪ISO 14644-2‬‬ ‫‪Cleanroom Testing for Compliance‬‬
‫اختبار غرفة البحث لمظابقة المواصفات‬
‫‪Methods for Evaluating and Measuring Cleanrooms and‬‬
‫‪ISO 14644-3‬‬ ‫‪Associated Controlled Environments‬‬
‫طرق تقييم وقياس غرف االبحاث والعناصر المحيطة بها‬
‫‪ISO 14644-4‬‬ ‫‪Cleanroom Design and Construction‬‬
‫نصميم وانشاء غرفة االبحاث‬

‫معدالت تغيير الهواء لغرف األبحاث ‪ ISO‬و‪FS209‬‬

‫أحد العوامل الحاسمة في تصميم غرف األبحاث هو التحكم في معدل تغيير الهواء في الساعة (‪AC/‬‬
‫‪ ،)h‬ويشير هذا إلى عدد المرات التي يحل فيها الهواء الخارجي المصفى محل الحجم الموجود في المبنى أو‬
‫الغرفة في كل ساعة‪ .‬يقوم مكيف الهواء في المنزل العادي بتغيير هواء الغرفة من ‪ 0.5‬إلى ‪ 2‬مرة في الساعة‪.‬‬
‫في غرفة األبحاث‪ ،‬اعتماًدا على التصنيف واالستخدام‪ ،‬يحدث تغيير الهواء في أي مكان من ‪ 10‬إلى أكثر من‬
‫‪ 600‬مرة في الساعة‪.‬‬
‫وفًقا لألبحاث الحالية ودراسات الحالة والتجارب‪ ،‬فإن استخدام نطاق ‪( ACR‬معدل تغير الهواء) بدًال‬
‫من مجموعة قياسية واحدة يعد دلياًل أفضل لتصنيف النظافة‪ .‬وهذا صحيح ألن ‪ ACR‬األمثل يختلف من غرفة‬
‫نظيفة إلى أخرى‪ ،‬اعتماًدا على عوامل مثل المعدات الداخلية والتوظيف والغرض التشغيلي‪ .‬يعتمد كل شيء‬
‫على مستوى الملوثات الخارجية التي تحاول دخول المنشأة مقابل مستوى الملوثات المتولدة في الداخل‪.‬‬

‫يتطلب تحديد العدد المناسب من تغييرات الهواء لتطبيق معين تقييًم ا دقيًقا لعوامل مثل عدد الموظفين‪،‬‬
‫وفعالية بروتوكول التجهيز‪ ،‬وتكرار الوصول‪ ،‬ونظافة معدات العملية‪.‬‬

‫قدم راجان جايسينجاني‪ ،‬في ورقته البحثية "تصميم تدفق الهواء في غرف األبحاث ذات كفاءة تشغيل‬
‫منخفضة وتكلفة تشغيل منخفضة"‪ ،‬التي تم تقديمها في ‪ ،ESTECH 2003‬أوصى بالنطاقات التالية بناًء على‬
‫تصنيفات ‪:FS209E‬‬

‫‪FS Cleanroom Class‬‬ ‫‪ISO Equivalent Class‬‬ ‫)‪Air Change Rate (ACR‬‬
‫‪1‬‬ ‫‪ISO 3‬‬ ‫‪360-540‬‬
‫‪10‬‬ ‫‪ISO 4‬‬ ‫‪300-540‬‬
‫‪100‬‬ ‫‪ISO 5‬‬ ‫‪240-480‬‬
‫‪1,000‬‬ ‫‪ISO 6‬‬ ‫‪150-240‬‬
 ‫‪10,000‬‬ ‫‪ISO 7‬‬ ‫‪60-90‬‬
‫‪100,000‬‬ ‫‪ISO 8‬‬ ‫‪5-48‬‬

‫تتفق توصيات جايسينغاني مع دراسات حديثة أخرى حول ‪ ،ACR‬والتي تنتقد بعض معايير معدل‬
‫الهواء الحالية (التي تم تطويرها في التسعينيات) باعتبارها غير علمية ألنها تعتمد على مراوح ومرشحات أقل‬
‫جودة من نماذج اليوم‪ .‬لذلك‪ ،‬عند تطبيق هذه المعايير القديمة‪ ،‬غالًبا ما يكون معدل ‪ ACR‬الناتج مرتفًعا جًدا‪ .‬في‬
‫الواقع‪ ،‬وجدت بعض الدراسات أن تقليل معدل ‪ACR‬واالضطرابات الجوية المصاحبة له) يمكن أن يؤدي إلى‬
‫جو أنظف‪ .‬وقد تجلى ذلك في دراسة أجرتها شركة باسيفيك للغاز والكهرباء (سان فرانسيسكو) ومختبر‬
‫لورانس بيركلي الوطني (بيركلي)‪ .‬قامت الدراسة بقياس معدالت تغير الهواء في العديد من غرف األبحاث من‬
‫فئة ‪ ISO Class 5‬وتوصلت إلى استنتاج مفاده أنه "ال توجد استراتيجية تصميم واحدة لمعدل تغيير الهواء‪ ،‬حتى‬
‫بالنسبة للغرف النظيفة التي لها نفس تصنيف النظافة"‪.‬‬

‫معدالت ‪ ACR‬لها آثار هامة على التصميم‪ ،‬خاصة عند النظر في النظافة المرغوبة وحجم المروحة وانخفاض‬
‫تكاليف الطاقة‪ .‬تسببت دراسة ‪ PG&E/Berkeley‬في قيام العديد من المصممين بتقليل أحجام المروحة‪.‬‬
‫باختصار‪ ،‬غالًبا ما يؤدي انخفاض ‪ ACR‬إلى هواء أنظف‪.‬‬

‫كشفت الدراسة عن ثالثة مبادئ ثابتة‪:‬‬

‫• انخفاض معدالت تغيير الهواء يؤدي إلى مراوح أصغر‪ ،‬مما يقلل من االستثمار األولي وتكلفة البناء‪.‬‬

‫• تتناسب قوة المروحة مع مكعب معدالت تغير الهواء أو تدفق الهواء‪ .‬يؤدي انخفاض معدل تغيير الهواء بنسبة‬
‫‪ 30‬بالمائة إلى انخفاض الطاقة بنسبة ‪ 66‬بالمائة تقريًبا‪.‬‬

‫• من خالل تقليل االضطراب‪ ،‬قد يؤدي انخفاض تدفق الهواء إلى تحسين النظافة‪.‬‬

‫ركزت الدراسة على غرف األبحاث من الدرجة ‪ ،5‬وخلصت إلى أن نطاق ‪ ACR‬يتراوح من ‪ 250‬إلى‬
‫‪ 700‬تغيير هواء في الساعة هو المعيار القياسي‪ ،‬ولكن "تراوحت ‪ ACRs‬التشغيلية الفعلية من ‪ 90‬إلى ‪."625‬‬
‫وأضافت أن جميع غرف األبحاث الُم حّسنة هذه قد تم اعتمادها وتعمل وفًقا لشروط ‪ ISO Class-5‬مع معدالت‬
‫‪ ACR‬المنخفضة هذه‪ .‬أخيًر ا‪ ،‬خلصت الدراسة إلى أنه نادًر ا ما تتطلب منشأة من الدرجة ‪ 5‬معدل ‪ ACR‬يزيد‬
‫عن ‪.300‬‬

‫وجدت الدراسة أيًض ا أن "أفضل ممارسة لمكيفات ‪ ACR‬هي تصميم مرافق جديدة عند الطرف األدنى‬
‫من نطاق ‪ ACR‬الموصى به‪ "،‬مع محركات متغيرة السرعة (‪ )VSDs‬مدمجة بحيث يمكن إجراء تعديالت تدفق‬
‫الهواء في ظل التشغيل الفعلي شروط‪.‬‬

‫الكثير من االبحاث تم اجرائها ولكن باختصار‪ ،‬تشير األبحاث والتفكير الحالي بشأن معدالت تغير الهواء إلى أن‬
‫بعض المعايير الحالية مرتفعة للغاية ويمكن خفضها مع استيفاء جميع معايير ‪.ACR‬‬

‫مواصفات تغطية مروحة السقف ل ‪ FS209‬و‪ISO‬‬

 ‫يتطلب تحقيق معدل تغيير الهواء األمثل تغطية مناسبة لمروحة السقف‪ .‬تشتمل أنظف غرف األبحاث‬
‫المعيارية على وحدات مرشح‪/‬مروحة (‪ )FFUs‬في كل فتحة سقف مقاس ‪ 4 × 2‬بوصة (‪ 610‬مم × ‪1219‬‬
‫مم)‪ .‬توفر هذه التغطية بنسبة ‪ %100‬تقريًبا تدفًقا رقائقًيا للهواء المصفى إلزالة الملوثات من الغرفة بسرعة‪.‬‬

‫مثل هذه التغطية‪ ،‬خاصة في غرف األبحاث الكبيرة‪ ،‬يمكن أن تؤدي إلى زيادة استهالك الطاقة‪ ،‬وبالتالي زيادة‬
‫تكاليف البناء األولي والتشغيل المستمر‪ .‬في معظم الحاالت‪ ،‬تنتج نسبة أقل من تغطية السقف نظافة كافية‪.‬‬

‫يوضح هذا الجدول نسبة تغطية السقف الموصى بها لكل فئة نظافة‪ ،‬مرة أخرى كنطاق‪:‬‬

‫‪Class‬‬ ‫)‪Ceiling Coverage (Percentage‬‬

‫)‪ISO 8 (Class 100,000‬‬ ‫‪5 – 15%‬‬
‫)‪ISO 7 (Class 10,000‬‬ ‫‪15 – 20%‬‬
‫)‪ISO 6 (Class 1,000‬‬ ‫‪25 – 40%‬‬
‫)‪ISO 5 (Class 100‬‬ ‫‪35 – 70 %‬‬
‫)‪ISO 4 (Class 10‬‬ ‫‪50 – 90%‬‬
‫)‪ISO 3 (Class 1‬‬ ‫‪60 – 100%‬‬
‫‪ISO 1-2‬‬ ‫‪80 – 100%‬‬

‫معايير ‪ FS209‬و ‪ ISO‬لسرعة تدفق الهواء‬

‫باإلضافة إلى ‪ ACR‬وتغطية السقف‪ ،‬فإن العامل الثالث األساسي للحفاظ على النظافة هو سرعة الهواء التي‬
‫تولدها المروحة‪ .‬مرة أخرى‪ ،‬تؤدي سرعة تدفق الهواء األعلى إلى غرفة نظيفة "أنظف"‪ .‬يشير مصطلح‬
‫"كفاءة التهوية" إلى سرعة مرور الهواء المفلتر عبر غرفة األبحاث باإلضافة إلى عدد تغيرات الهواء في‬
‫الساعة ‪.‬‬

‫أظهر مخطط سابق مجموعة من معدالت تغيير الهواء الموصى بها (‪ )ACRs‬لفئات مختلفة من غرف‬
‫األبحاث‪ .‬يتم توفير النطاقات ألن المرافق المبنية وغير النشطة تتطلب ‪ ACR‬أصغر من غرفة األبحاث‬
‫التشغيلية‪ ،‬حيث يشارك كل من األشخاص والمعدات بشكل نشط‪ .‬توجد غرف األبحاث غير العاملة في النطاق‬
‫األدنى؛ غرف األبحاث التشغيلية أعلى‪.‬‬

‫يؤدي الجمع بين العوامل الثالثة ‪ ACR -‬وتغطية السقف وسرعة تدفق الهواء ‪ -‬إلى الجدول التالي‪:‬‬
‫‪Class ISO 146144-1 Average Airflow Velocity‬‬ ‫‪Air Changes Per‬‬
‫‪Ceiling Coverage‬‬
‫‪(Federal Standard‬‬ ‫)‪m/s (ft/min‬‬ ‫‪Hour‬‬
‫)‪209E‬‬
‫)‪ISO 8 (Class 100,000‬‬ ‫)‪0.005 – 0.041 (1 – 8‬‬ ‫‪5 – 48‬‬ ‫‪5 – 15%‬‬
‫)‪ISO 7 (Class 10,000‬‬ ‫)‪0.051 – 0.076 (10 -15‬‬ ‫‪60 – 90‬‬ ‫‪15 – 20%‬‬
‫)‪ISO 6 (Class 1,000‬‬ ‫)‪0.127 – 0.203 (25 – 40‬‬ ‫‪150 – 240‬‬ ‫‪25 – 40%‬‬
‫)‪ISO 5 (Class 100‬‬ ‫)‪0.203 – 0.406 (40 – 80‬‬ ‫‪240 – 480‬‬ ‫‪35 – 70%‬‬
‫)‪ISO 4 (Class 10‬‬ ‫)‪0.254 – 0.457 (50 – 90‬‬ ‫‪300 – 540‬‬ ‫‪50 – 90%‬‬
‫)‪ISO 3 (Class 1‬‬ ‫)‪0.305 – 0.457 (60 – 90‬‬ ‫‪360 – 540‬‬ ‫‪60 – 100%‬‬

‫‪ISO 1 – 2‬‬ ‫)‪0.305 – 0.508 (60 – 100‬‬ ‫‪360 – 600‬‬ ‫‪80 – 100%‬‬

‫قبل اتخاذ قرار بشأن السرعة المناسبة وتغييرات الهواء ‪ ،‬توصي ‪ Terra Universal‬بإجراء تقييم دقيق‬
‫لعوامل مثل عدد الموظفين‪ ،‬وفعالية بروتوكول التجهيز‪ ،‬وتكرار الوصول‪ ،‬ونظافة معدات العملية‪ .‬بمجرد‬
‫تحديد رقم تغيير الهواء المطلوب‪ ،‬يمكن تحديد عدد وحدات ‪ FFU‬المطلوبة باستخدام هذه الصيغة‪:‬‬
‫‪No. of FFUs = (Air Changes/Hour ÷60) x (Cubic ft. in room÷ 650*) :‬‬
‫‪Meeting Class 100 standards using the low-end air change recommendation (240/hour) inside a 12’ x 12’ x 7’ (3302 mm‬‬
‫‪x 3302 mm x 2134 mm) cleanroom, with 1008 cu. ft. of volume, requires 6 FFUs. To meet the same standard using the‬‬
‫‪.high-end air change recommendation (480/hour) requires 12 FFUs‬‬

‫تلبية معايير الفئة ‪ 100‬باستخدام توصية تغيير الهواء المنخفض (‪/240‬ساعة) داخل غرفة نظيفة مقاس ‪× 12‬‬
‫‪ 7 × 12‬بوصة (‪ 3302‬مم × ‪ 3302‬مم × ‪ 2134‬مم)‪ ،‬مع ‪ 1008‬متر مكعب‪ .‬قدم من الحجم‪ ،‬يتطلب ‪6‬‬
‫وحدات ‪ .FFU‬للوفاء بنفس المعيار‪ ،‬يتطلب استخدام توصية تغيير الهواء المتطورة (‪/480‬ساعة) ‪ 12‬وحدة‬
‫‪.FFU‬‬

‫الضغط اإليجابي‬

‫تم تصميم غرف األبحاث للحفاظ على الضغط اإليجابي‪ ،‬ومنع الهواء "غير النظيف" (الملوث) من التدفق إلى‬
‫الداخل والهواء األقل نظافة من التدفق إلى المناطق النظيفة‪ .‬والفكرة هي التأكد من أن الهواء المفلتر يتدفق دائًم ا‬
‫من األماكن النظيفة إلى األماكن األقل نظافة‪ .‬في غرفة األبحاث متعددة الغرف‪ ،‬على سبيل المثال‪ ،‬يتم االحتفاظ‬
‫بالغرفة النظيفة عند أعلى ضغط‪ .‬يتم ضبط مستويات الضغط بحيث يتدفق الهواء النظيف إلى المساحات ذات‬
‫الهواء األقل نظافة‪ .‬وبالتالي‪ ،‬قد يلزم الحفاظ على مستويات ضغط متعددة‪.‬‬

‫يوصى باستخدام ضغط هواء تفاضلي يتراوح بين ‪ 0.03‬إلى ‪ 0.05‬بوصة بمقياس مائي بين المسافات‪ .‬من أجل‬
‫ضمان بقاء فروق الضغط ثابتة عند فتح األبواب‪ ،‬أو حدوث أحداث أخرى‪ ،‬يجب أن تكون أنظمة التحكم في‬
‫مكانها الصحيح‪.‬‬

‫تدفق الهواء المنتظم والمضطرب ((‪laminar and turblant flow‬‬

‫تعتمد )‪ ISO 5 (class 100‬والمرافق األنظف على تدفق الهواء أحادي االتجاه أو المنتظم ‪ .‬تدفق الهواء‬
‫النتظم يعني أن الهواء المفلتر يتم إمداده بشكل موحد في اتجاه واحد (بسرعة ثابتة) في تيارات متوازية‪ ،‬عادة‬
‫عمودًيا‪ .‬يتم إعادة تدوير الهواء بشكل عام من قاعدة الجدران إلى نظام الترشيح‪.‬‬
 ‫تستخدم غرف األبحاث ‪( ISO 6‬الفئة ‪ )1000‬وما فوقها بشكل عام تدفق هواء غير أحادي االتجاه أو‬
‫مضطرب‪ .‬وهذا يعني أن الهواء غير منظم لالتجاه والسرعة‪ .‬تتمثل ميزة تدفق الهواء المنتظم على تدفق الهواء‬
‫المضطرب في أنه يوفر بيئة موحدة ويمنع الجيوب الهوائية حيث قد تتجمع الملوثات‪.‬‬
 ‫االجهزة المطلوبة الجراء اختبارات النانو‬

‫مجهر القوة الذرية )( ) ‪atomic force microscope (AFM‬‬ ‫‪-1‬‬

‫ُيعرف مجهر القوة الذرية (‪ )AFM‬أيًض ا باسم مجهر قوة المسح (‪Scanning force microscopy‬‬
‫)‪ .)(SFM‬يستخدم هذا الجهاز للتصور والتصوير واتخاذ التدابير ومعالجة األشياء الموجودة بمقياس النانومتر‪.‬‬
‫ويقال إن دقة مثل هذا الجهاز تكون في حدود أجزاء من النانومتر‪ .‬كان اإلصدار السابق من ‪ AFM‬يسمى‬
‫مجهر المسح النفقي‪ ،‬الذي تم تطويره في أوائل الثمانينات‪ .‬تم تطوير ‪ AFM‬في عام ‪ 1986‬من قبل ‪ Binnig‬و‬
‫‪ Quate‬و‪ Gerber‬في مركز أبحاث ‪ IBM‬في زيورخ وحصلوا على جائزة نوبل في الفيزياء لنفس العام‪.‬‬

‫يتكون الجهاز من مسبار ميكانيكي يستخدم الستشعار المادة الموضوعة على السطح‪ .‬يتم بعد ذلك إجراء مسح‬
‫دقيق للغاية‪ ،‬يتم من خالله إنشاء اإلشارات اإللكترونية المقابلة باستخدام مواد كهرضغطية (‪piezoelectric‬‬
‫‪ .)materials‬إذا كانت االختالفات أعمق في الحجم‪ ،‬فيمكن قياسها أيًض ا باستخدام عارضة الموصل (‬
‫‪.)conducting cantilevers‬‬