Kĩ Thuật Cảm Biến: Giảng viên: Nguyễn Thị Huế

Tài liệu tham khảo
➢Sách:
• Kĩ thuật đo lường các đại lượng điện tập 1,2- Phạm
Thượng Hàn, Nguyễn Trọng Quế….
KĨ THUẬT CẢM BIẾN • Ðo lường điện và các bộ cảm biến: Ng.V.Hoà và Hoàng
Si Hồng
➢Bài giảng và website:
• Bài giảng kĩ thuật đo lường và cảm biến-Hoàng Sĩ Hồng.
Giảng viên: Nguyễn Thị Huế
• Bài giảng Cảm biến và kỹ thuật đo: P.T.N.Yến,
Khoa Tự động hóa, Trường Điện – Điện tử Ng.T.L.Huong, Lê Q. Huy
• Bài giảng MEMs ITIMS - BKHN
➢Website: sciendirect.com/sensors and actuators A and B
3
12/15/2023
Nội dung môn học Chương 1: Tổng quan về cảm biến Khái niệm
❖Chương 1: Tổng quan về cảm biến và Các mạch xử lý trong 1. Các định nghĩa • Cảm biến/Bộ chuyển đổi (sensor/tranducer)
đo lường 2. Phân loại cảm biến • Bộ transmitter
❖Chương 2:Chuyển đổi nhiệt điện 3. Các thông số kỹ thuật cơ bản của cảm biến
❖Chương 3: Chuyển đổi điện trở 4. Một số công nghệ chế tạo cảm biến
❖Chương 4: Cảm biến tĩnh điện( áp điện, điện dung)
❖Chương 5: Chuyển đổi điện từ
❖Chương 6: Chuyển đổi điện tử và ion
❖Chương 7: Chuyển đổi hóa điện
❖Chương 8: Chuyển đổi khác
❖Chương 9: Cảm biến đo lưu lượng
❖Chương 10: Cảm biến thông minh
4 5
12/15/2023 12/15/2023 12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 6
Khái niệm cảm biến Khái niệm Tổng quan về transmitter
• Bộ cảm biến là thiết bị điện tử cảm nhận những trạng thái • Các bộ cảm biến thường được định nghĩa theo nghĩa rộng là thiết
• https://www.youtube.com/watch?v=DtNyLZ-BGa4&list=RDCMUCUKKQwBQZczpYzETkZNxi-
w&index=34&ab_channel=RealPars
hay quá trình vật lý, hóa học hay sinh học của môi trường bị cảm nhận và đáp ứng với các tín hiệu và kích thích. Nói cách
cần khảo sát, và biến đổi thành tín hiệu điện để thu thập khác cảm biến chính là các chuyển đổi đo lường sơ cấp được đặt
thông tin về trạng thái hay quá trình đó. trong một vỏ hộp có kích thước hình dáng rất khác nhau, có thể có
• Cảm biến (CB): là chuyển đổi thực hiện chức năng biến đổi kèm các mạch điện hỗ trợ và được chuẩn hoá để phù hợp với sử
đại lượng không điện thành đại lượng điện. Ví dụ như biến dụng trong thực tế (lắp đặt, đặc tính, cấu tạo..)
áp suất, nhiệt độ, lưu lượng, vận tốc…thành tín hiệu điện • Vài trò của cảm biến:
(mv. V, mA…) ✓Cảm biến đóng vai trò quan trọng trong hệ thống đo lường và
• ĐK hiện đại.
✓Nó quyết định việc có thể ĐK tự động hay TĐH các quá trình
hay không
✓Quyết định độ chính xác và chất lượng của hệ thống
12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 7 12/15/2023 8 12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 9

Phân loại cảm biến Phân loại Cảm biến Phân loại Cảm biến
• Cảm biến chủ động và cảm biến bị động phân biệt ở nguồn năng lượng • Phân loại nguyên lý chuyển đổi • Phân loại cảm biến theo nguyên lý chuyển đổi giữa đáp
dùng cho phép biến đổi lấy từ đâu.
✓Chuyển đổi nhiệt điện ứng và kích thích: có 3 loại cảm biến:
• Cảm biến chủ động có sử dụng điện năng bổ sung để chuyển sang
✓Chuyển đổi điện trở ✓Cảm biến vật lý: Sóng điện từ, ánh sáng, tử ngoại, tia
tín hiệu điện. Điển hình là cảm biến áp điện làm bằng vật liệu gốm,
✓Chuyển đổi tĩnh điện (áp điện, điện dung) X, tia gamma, hạt bức xạ, nhiệt độ, áp suất, âm thanh,
chuyển áp suất thành điện tích trên bề mặt. Các antenna cũng thuộc
rung động, khoảng cách, chuyển động, gia tốc, từ
kiểu cảm biến chủ động. ✓Chuyển đổi điện từ
trường,...
• Cảm biến bị động không sử dụng điện năng bổ sung để chuyển ✓Chuyển đổi hóa điện
sang tín hiệu điện. Điển hình là các photodiode khi có ánh sáng
✓Cảm biến hóa học: độ ẩm, độ PH, hợp chất đặc hiệu,
✓Chuyển đổi điện tử và ion …
chiếu vào thì có thay đổi của điện trở tiếp giáp bán dẫn p-n được
✓Chuyển đổi lượng tử
phân cực ngược. Câc cảm biến bằng biến trở cũng thuộc kiểu cảm ✓Cảm biến sinh học: biến đổi sinh hóa, biến đổi vật lý,
biến bị động. ✓Chuyển đổi đo độ ẩm hiệu ứng trên cơ thể sống,..
➢.....
12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 10 12/15/2023 11 12/15/2023 12
Phân loại Cảm biến Phân loại cảm biến Phân loại Cảm biến
• Phân loại cảm biến theo dạng kích thích: có 7 loại cảm biến • Phân loại theo kích Phân loại theo phương pháp tiếp xúc
✓ Cảm biến âm thanh: Biên pha, phân cực - Phổ - Tốc độ truyền thường ✓ CB1: đo tiếp xúc với đối tượng và không cần ✓ CB4 đo ko tiếp xúc, chủ động và cần
• Cảm biến truyền CHTH (chủ động). CHTH.

sóng
✓ CB2 đo tiếp xúc chủ động và cần chuẩn hoá tín ✓ CB5 đo tiếp xúc, thụ động (cần
✓ Cảm biến từ: Từ trường (biên, pha, phân cực, phổ) - Từ thông, thống
hiệu. nguồn ngoài).
cường độ từ trường - Độ từ thẩm • Vi cảm biến
✓ CB3 đo ko tiếp xúc, ko cần CHTH và chủ động. ✓ CB6 đo môi trường.
(microsensor) là cảm
✓ Cảm biến điện: Điện tích, dòng điện - Điện thế, điện áp - Điện
biến được sản xuất trên
trường (biên, pha, phân cực, phổ) - Điện dẫn, hằng số điện môi …
cơ sở công nghệ vi cơ
✓ Cảm biến quang: Biên, pha, phân cực, phổ - Tốc độ truyền - Hệ số điện tử với kỹ thuật xử lí
phát xạ, khúc xạ - Hệ số hấp thụ, hệ số bức xạ silicon truyền thống có
✓ Cảm biến cơ: Vị trí - Lực, áp suất - Gia tốc, vận tốc - Ứng suất, độ kích thước vật lý rất nhỏ
cứng - Mô men - Khối lượng, tỉ trọng - Vận tốc chất lưu, độ nhớt (mm, micro, nano..)
✓ Cảm biến nhiệt: Nhiệt độ - Thông lượng - Nhiệt dung, tỉ nhiệt
✓ Cảm biến bức xạ: Năng lượng - Cường độ …
12/15/2023 13 12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 14 12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 15
Phân loại cảm biến Phân loại cảm biến Phân loại Cảm biến
• Phân loại theo tính năng • Phân loại theo loại cảm biến sử dụng • Phân loại cảm biến theo phạm vi sử dụng:
✓Cảm biến dùng trong công nghiệp
✓Cảm biến dùng cho nghiên cứu khoa học
✓Cảm biến dùng cho môi trường, khí tượng
✓Cảm biến dùng cho thông tin, viễn thông
✓Cảm biến dùng cho nông nghiệp
✓Cảm biến dùng cho dân dụng
✓Cảm biến dùng cho giao thông
✓Cảm biến dùng cho vũ trụ
✓Cảm biến dùng cho quân sự
12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 16 12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 17 12/15/2023 18

Phân loại Cảm biến Ứng dụng của cảm biến Ứng dụng của cảm biến
• Sức khỏe con người
• h
12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 19 12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 20 12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 21
Ứng dụng của cảm biến Ứng dụng của cảm biến Ứng dụng của cảm biến
Các thông số kỹ thuật cơ bản của cảm biến Một số đơn vị ngoài hệ SI hợp pháp mà vẫn sử dụng 1.3. Các thông số kỹ thuật cơ bản của cảm biến
Đơn vị Quy đổi ra SI Đơn vị Quy đổi ra SI

Đơn vị đo • Đáp ứng (response)
Inch 2,54. 10-2m Fynt/foot2 4,882kg/m2
• Theo Pháp lệnh Đo lường ngày 06 tháng 10 năm 1999, đơn vị đo • Độ nhạy (sensitivity)
Foot (phút) 3,048. 10-1m Fynt/foot3 1,6018510 kg/m3
lường hợp pháp là đơn vị đo lường được Nhà nước công nhận và • Độ lựa chọn (selectivity)
Yard (Yat) 9,144 . 10-1m Bari 1.106 N/m2
cho phép sử dụng. • Giới hạn phát hiện (detection limit)
Mille (dặm) 1,609km0 Torr 1,332. 102 N/m2
• Hệ đơn vị quốc tế SI gồm 7 đại lượng chính Mille (hải lý) 1,852km Kilogam lực 9,8066N
• Độ phân giải (Resolution)
"Inch vuông 6,4516.10-4m2 Calo 4,1868J • Ngưỡng nhạy
Tên đơn vị Đơn vị Ký hiệu
Foot vuong 9,290.10-2m-2 Mã lực 7,457.102 W • Tốc độ đáp ứng (speed of response)
Chiều dài mét m
Inch khối 1,6384. 10-5m3 Kilowatt giờ 3,60 . 106J • Độ trễ (hysteresic)
Khối lượng Kilogam Kg
Thời gian giây s

Foot khối 2,832 . 10-2m3 Thermie 1,0551 . 103J • Độ lặp lại (repeatability)
Galon (Mỹ) 3,785. 10-3m3 Electron volt (ev) 1,602 . 102J • Độ phi tuyến (Nonlinearity)
Dòng điện Ampe A
Galon (Anh) 4,5 10-3m3 Gauss 1.10-4 T
Nhiệt độ độ Kelvin 0K
102 đơn vị dẫn xuất
• Độ ổn định (stability)
Fynt 4,536 . 10-1kg Maxwell 1.10-8Wb
Ánh sáng Candela Cd
72 đại lượng vật lý • Khả năng chịu quá tải
Tonne 1,0161. 103kg
Định lượng phân tử Mol Mol
12/15/2023 25 12/15/2023 26 12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 27

Độ nhạy Độ nhạy Trễ hay trơ của thiết bị (H- Hysteresis)
▪ K= F/aX – Độ nhạy với x • Nguyên nhân: do sự thay đổi trong cấu trúc vật liệu hoặc ma sát
▪ Người ta còn ký hiệu là S Miền độ nhạy thấp
o Khi K=const -> X,Y là tuyến tính.

o K= f(X) -> X, Y là không tuyến tính - > sai số phi tuyến.
dKXt/KXt - Thể hiện tính ổn định Miền độ nhạy trung

của thiết bị đo hay tính lặp lại của bình
thiết bị đo.

dKXt/KXt = dS/S = s - Sai số độ
nhạy của thiết bị đo -> nhân tính. Miền độ nhạy cao
X
28 29 30
Tính lặp lại Độ bão hòa Độ lựa chọn (sel)
• Ở các lần đo khác nhau, Kx có thể khác nhau • Đến một giá trị ngưỡng nào đấy, sự tăng thêm kích thích đầu vào • Một vật liệu nhạy có thể đáp ứng đồng thời với nhiều khí trong
không tạo ra giá trị ra như mong muốn. một hỗn hợp khí. Ví dụ với đặc tính trên, thì cảm biến có độ chọn
lựa cao với khí C2H5OH.
dK x
Kx
• Cho phép đánh giá tính ổn định của thiết bị đo hay tính lặp lại của
TBĐ, sai số lặp lại hay độ tin cậy của thiết bị đo.
• Sai số về độ nhạy của thiết bị đo, dK sai số này có tính
 =
K
chất nhân tính.
31 32 12/15/2023 33
Hệ số phi tuyến của thiết bị Hệ số phi tuyến của thiết bị Khoảng đo, ngưỡng nhạy và khả năng phân ly
• Để đánh giá tính phi tuyến của thiết bị đo ta xác định hệ số phi • Nếu Kpt nhỏ hơn sai số yêu cầu đối với thiết bị đo, thì thiết bị đo Khoảng đo (Span/Full Scal/Range): Dx = Xmax – Xmin
tuyến của nó. được coi là tuyến tính. Ngưỡng nhạy, khả năng phân ly (Resolution):
• Hệ số phi tuyến xác định theo công thức sau: • Nếu Kpt lớn hơn sai số yêu cầu, ta phải tiến hành tuyến tính hoá. • Khi giảm X mà Y cũng giảm theo, nhưng với X X khi đó không
• Ở các thiết bị đo, trước kia, khí chưa có các vi xử lý, người ta đã thể phân biệt được Y, X được gọi là ngưỡng nhạy của thiết bị
X max
K pt = Y
phải áp dụng nhiều biện pháp phức tạp để tuyến tính hoá các thiết đo.
Xn bị đo. Khả năng phân ly của thiết bị
Xmax- là sai lệch lớn nhất  Y • Ngày nay, phương pháp cơ bản hay dùng nhất là phương pháp • -Thiết bị tương tự Dx
Ta thường dùng khâu bù phi tuyến tuyến tính hoá từng đoạn. Cơ sở lý thuyết của phương pháp này RX =
X
 X
Scb.Sb= K là: một đường cong bất kỳ, có thể coi là sự kết nối của nhiều đoạn
(Nonlinearity Error) tuyến tính. • -Thiết bị số: DX
X
RX = = Nn
g
34 35 36
Đặc tính của thiết bị đo Ví dụ Đặc tính của thiết bị đo
Ngưỡng nhạy Một bộ biến đổi tương tự số ADC-700 (D, E, F, I, N...) của Burr Khả năng phân ly của thiết bị đo
• Ngưỡng nhạy của thiết bị đo là giá trị đo thấp nhất mà dụng cụ có Brown: Số bit là 16 tức R = 216 = 65.536 • Đối với thiết bị đo tương tự:
thể phân biệt được : εx, εy. • Chữ D của ADC loại này có nghĩa là khoảng đo đầu vào là: 0 – • Khả năng phân ly của thiết bị được tính theo công thức:
• Đối với dụng cụ đo tương tự, X được xác định bằng kim chỉ thị thì 10V εx được lấy 1/5 vạch khắc độ.
DX
εx là phần lẻ khoảng chia có thể đọc được (thông thường có thể • Chữ I có nghĩa là khoảng đo đầu vào là: 0 – 0,5V RX =
εX
10
chọn là 1/5 thang chia độ). Như vậy một LSB của ADC 700-D là : • Ví dụ: thang chia độ được chia 100 vạch thì εx=1/5 khoảng
65536
• Đối với dụng cụ số εx=Xn/Nn là ngưỡng của ADC hay là giá trị một 0.5 chia = DX /500 như vậy khả năng phân ly R=500.
LSB của bộ mã hoá (Lowest Significating Bit) tức giá trị một lượng LSB của ADC 700-I là: 65536
• Đối với thiết bị đo số: εx là 1 LSB thì khả năng phân ly của thiết
tử đo. bị đo số:
Ngưỡng nhạy của ADC700-I cao hơn rất nhiều so với ADC-700-D DX
=N X
nhưng cùng một khả năng phân ly. 1LSB
12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 37 38 12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 39
Đặc tính của thiết bị đo Tổn hao công suất và trở đầu vào của thiết bị đo Đặc tính động của thiết bị
Khả năng phân ly của thiết bị đo Thiết bị đo khi nối vào đối tượng đo, muốn có đáp ứng phải thu một ít năng Hàm truyền cơ bản : Y(p)=K(p).X(p)

• Ví dụ: Một bộ biến đổi tương tự số ADC-700 (D, E, F, I, N...) lượng từ phía đối tượng đo ta gọi đó là tổn hao Công suất. Đặc tính động:
Trường hợp nối tiếp với tải: pa= RA.I2 và RA càng nhỏ thì sai số do tổn hao + Đặc tính quá độ
của Burr Brown số bit là 16 tức R= 216= 65536.
càng ít. + Đặc tính tần
D nghĩa là khoảng đo đầu vào là 0- 10V  ff
R
 A   yc
Yêu cầu : + Đặc tính xung
Rt
Như vậy một LSB của ADC 700-D là : =0.1525 mV
10V X1 X2 X3 X4
Trong đó : yc- Sai số yêu cầu; PA : Tổn hao X
65536
• Để so sánh khả năng phân ly giữa thiết bị đo tương tự và số ta có ff : Sai số phương pháp pa R A
 ff = = • Khi đại lưượng X biến thiên theo thời gian ta sẽ có quan hệ
thể phân tích như sau: Để có cùng khả năng phân ly 16 bit như Pt: công suất ở tải pt Rt
(t)=St[X(t)]
của ADC700 dụng cụ tương tự phải có chiều dài thang chia độ là 2
pv =
V • Quan hệ được biểu diễn bằng một phưương trình vi phân. Phưương
bao nhiêu? giả sử khoảng cách chia độ là 1mm Trong trường hợp thiết bị đo nối song song với tải. RV
trình vi phân ấy được viết dưưới dạng toán tử.
Tổn hao Rt
 ff    yc (p)=S(p).X(p)
Yêu cầu: RV
RA, RV đều được gọi là điện trở vào của thiết bị đo
• S(p)- Gọi là độ nhạy của thiết bị đo trong quá trình đo đại lưượng động
12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 40 41 42
Đặc tính động của thiết bị Đặc tính động của thiết bị Đặc tính của thiết bị đo
Hàm truyền cơ bản : h(t) g(t)

Y(p)=K(p).X(p) b. Đặc tính quá độ Thời gian đo của thiết bị đo
▪ Nếu tín hiệu vào có dạng xung • Là đo thời gian tính từ lúc đặt đại lượng đo vào thiết bị cho đến khi
Đặc tính động: Xt
đơn vị: x(t) = u(t-)
+ Đặc tính quá độ Đại lượng ra y(t) = g(t-) [= h(t-)] thiết bị ổn định để lấy kết quả đo.
+ Đặc tính tần (t) gọi là đặc tính quá độ của thiết bị • Đối với các thiết bị số thì thời gian đo là thời gian biến đổi của bộ
+ Đặc tính xung biến đổi tương tự - số (Tbđ).
t 
• Đặc tính xung: t • Trong các thiết bị số, thời gian lấy mẫu (Tlm) phải lớn hơn thời gian
c. Đặc tính tần số
Nếu đại lượng vào có dạng xung hẹp: x(t)= (t-) biến đổi.
▪ Nếu tín hiệu vào có dạng sin: x(t) = ejt
Đại lượng ra y(t) = h(t-) gọi là đặc tính xung của
▪ Đại lượng ra y(t) = H().x(t) với H() gọi là đặc tính tần số
thiết bị
của thiết bị

▪ Đặc tính tần số được phân tích thành hai thành phần: đặc
y( t ) =  x ( )h ( t −  )d Phần tử cơ bản cho phép tính môđun A() và đặc tính pha (). (Lý thuyết mạch 1)
− tính đáp ứng ra của
thiết bị
 Ưu điểm cơ bản khi sử dụng đặc tính tần số của thiết bị???
☺☺ Ý nghĩa của đặc tính xung???
43 44 12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 45

Đặc tính của thiết bị đo Sai số của phép đo ĐỘ CHÍNH XÁC VÀ ĐỘ KHÔNG ĐẢM BẢO ĐO
Độ chính xác của thiết bị đo Tính chính xác của thiết bị đo là đặc tính quan trọng nhất đối với • Khi xem xét dụng cụ đo từ độ chính xác và độ không đảm bảo
• Đo lường được thực hiện bằng cách so sánh một đại lượng cần thiết bị đo. Tính chính xác thể hiện ở sai số của thiết bị đo. đo thường bị nhầm lẫn, song chúng là hai khái niệm khác nhau,
đo với đại lượng đo tiêu chuẩn. Kết quả đo có thể biểu thị bằng số nhất là đối với thế giới dụng cụ đo hiện đại ngày nay. Trong phạm
hay biểu đồ. Tuy nhiên, kết qủa đo được chỉ là một trị số gần trù đo lường:
đúng, nghĩa là phép đo có sai số. Vấn đề là cần đánh giá được độ • Độ chính xác: thường được biểu thị theo phần trăm toàn dải
chính xác của phép đo. hoặc giá trị đo và nó cho biết con số khác nhau giữa giá trị đo và
giá trị thật. Điểm yếu ĐCX là người ta không thể biết giá trị thật là
bao nhiêu.
• Độ không đảm bảo đo: thường được biểu diễn là một khoảng
giá trị đo được mà giá trị thật tồn tại trong nó với một xác xuất
nhất định.
12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 46 12/15/2023 47 12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 48
Tổng quan chung về thiết bị đo trong hệ thống tự động Tổng quan chung về thiết bị đo trong hệ thống tự động Hiệu chuẩn (Calibration)
• Hiệu chuẩn (Calibration) • Nhận xét kiểm định và hiệu chuẩn • Hiệu chuẩn, hiệu chỉnh thiết bị đo giúp cho việc đảm bảo quá trình
Là thiết lập mối quan hệ giữa đo lường và phương tiện đo. Hiệu + Giống nhau của hai hoạt động: Đó là việc so sánh phương tiện đo công nghệ vận hành an toàn trong phạm vi kỹ thuật cho phép và
chuẩn liên quan tới xác định mức độ chính xác, xác định sai số của tạo ra sản phẩm có chất lượng.
với chuẩn đo lường để đánh giá sai lệch và các đặc trưng kĩ thuật,
một phương tiện đo. Thực hiện thông qua việc so sánh trực tiếp • Hiệu chuẩn, hiệu chỉnh là đo và so sánh độ chính xác các giá trị
đo lường khác của nó
phương tiện đo với các chuẩn đo lường đã biết nhằm đưa ra một tín hiệu vào và tín hiệu ra với một chuẩn đã biết. Qua sự diễn dải,
công thức nhằm giúp người sử dụng xác định được giá trị chính xác + Khác nhau là kiểm định là hoạt động bắt buộc phải thực hiện theo phân tích các kết quả của việc so sánh, các sai lệch của thiết bị đo
của các đại lượng khi được đo lường bằng phương tiện đo yêu cầu của pháp lý, trong khi hiệu chuẩn là hoạt động tự nguyện có thể được xác định và được hiệu chỉnh
• Kiểm định (Verification) theo nhu cầu của người sử dụng thiết bị • Hiệu chuẩn, hiệu chỉnh dựa theo phép đo của quá trình thực tế, là
Là việc xác định và chứng nhận đối với Phương tiện đo (PTĐ) đáp thao tác được sử dụng để điều chỉnh một thiết bị đo sao cho độ
chính xác của nó nằm trong mô tả kỹ thuật của nhà chế tạo
ứng đầy đủ các yêu cầu quy định do tổ chức có thẩm quyền hoặc
được uỷ quyền kiểm định thực hiện.
Hiệu chuẩn (Calibration) Ý NGHĨA CỦA HIỆU CHUẨN HIỆU CHỈNH TẦM QUAN TRỌNG CỦA HIỆU CHUẨN HIỆU
• Hiệu chuẩn phương tiện đo • Hiệu Chuẩn, Hiệu Chỉnh là so sánh các giá trị vào ra của thiết bị đo • Các thiết bị đo có thể được yêu cầu cân chỉnh lại vì một số lý
• Hiệu chuẩn là hoạt động cần thiết mang tính tự nguyện của với chuẩn đã biết để đánh giá độ chính xác và có thể chỉnh lại do
cơ sở sản xuất kinh doanh, nghiên cứu để đánh giá được • Vận hành thành công một quá trình phụ thuộc vào độ chính xác và • Sau một thời gian vận hành
tình trạng phương tiện đo trong quá trình bảo quản sử đặc tính của từng thiết bị đo trong mạch điều khiển • Trôi các thông số của quá trình công nghệ
dụng nhằm đảm bảo độ chính xác phù hợp với yêu cầu • Hiệu Chuẩn, Hiệu Chỉnh thiết bị giúp cho quá trình công nghệ vận • Vật liệu và điều kiện môi trường có thể bị thay đổi
sản xuất kinh doanh, nghiên cứu của cơ sở hành an toàn trong phạm vi kỹ thuật cho phép •
• Kiểm định là biện pháp quản lý của Nhà nước đối với phương •
tiện đo, mang tính bắt buộc, được Nhà nước quy định bằng
luật pháp
•
TẦM QUAN TRỌNG CỦA HIỆU CHUẨN HIỆU NHẬN BIẾT ĐỘ LỆCH ZERO VÀ SAI LỆCH SPAN NHẬN BIẾT ĐỘ LỆCH ZERO VÀ SAI LỆCH SPAN
• Do đó việc hiệu chuẩn, hiệu chỉnh lại thiết bị đo lường trong hệ • Độ lệch zero là trường hợp tín hiệu ngõ ra của thiết bị đo cao hơn • Một bảng ghi số liệu hiệu chuẩn, hiệu chỉnh điển hình được trình
thống điều khiển là cần thiết. Việc hiệu chuẩn, hiệu chỉnh thường hoặc thấp hơn giá trị mong đợi khi tín hiệu vào nằm trong dải đo bày dưới đây, nó được sử dụng để ghi các số liệu được tạo ra
được thực hiện trong quá trình shutdown nhà máy. của nó. trong quá trình thử thiết bị đo. Bởi vì sai lệch zero được quan tâm
• Các thiết bị đo sau khi được sửa chữa và trước khi đưa chúng • Để kiểm tra độ lệch zero, người ta sử dụng một thiết bị thiết bị qua toàn bộ thang đo của thiết bị đo, do đó sai lệch zero có thể
vào làm việc trở lại cần phải được hiệu chuẩn, hiệu chỉnh. hiệu chuẩn (calibrator). Thiết bị này cung cấp một tín hiệu vào đã được dò dễ dàng nhờ việc sử dụng bảng số liệu này
• Các thiết bị đo sau khi hoạt động thường xuyên lâu dài cần phải biết và tin cậy cho thiết bị đo cần kiểm tra.
được hiệu chuẩn, hiệu chỉnh theo chu kỳ: 03 tháng, 06 tháng, 12 • Phương thức kiểm tra là calibrator sẽ tạo ra tín hiệu chuẩn ở 5
tháng … điểm.
• • Kiểm tra 5 điểm là quá trình kiểm tra đơn giản các giá trị output
tương tứng với các giá trị input theo 5 điểm đọc theo thang đo
NHẬN BIẾT ĐỘ LỆCH ZERO VÀ SAI LỆCH SPAN NHẬN BIẾT ĐỘ LỆCH ZERO VÀ SAI LỆCH SPAN Phạm vi đo và Span của tín hiệu vào, tín hiệu ra
• Calibration • LỆCH ZERO • Phạm vi đo (range) là sự xác lập các giá trị, qua đó việc đo có
thể được thực hiện mà không làm ảnh hưởng đến độ nhạy của
thiết bị đo.
• Span của thiết bị đo là khoảng cách (hoặc sự chênh lệch) giữa
giá trị giới hạn trên và giá trị giới hạn dưới của thang đo ứng dụng
✓ LỆCH SPAN • Tín hiệu vào (input range) là tín hiệu tương ứng với giá trị thực
cần đo nằm trong span của dải đo .
• Tín hiệu ra (output signal) của một transmitter điện tử điển hình
là 4 – 20mA tương ứng với 0% - 100% phạm vi đo tín hiệu vào.
Các mạch đo và xử lý trong đo lường Mạch cầu đo
• Mạch cầu wheston • Cầu cân bằng

Các mạch xử lý trong đo • Mạch khuếch đại
R1 R 4 = R 2 R 3
• Mạch cộng trừ, nhân, chia, tích phân, vi phân,..
lường • Mạch so sánh Thay một điện trở của cầu (ví dụ R1)
bằng điện trở cần đo Rx, ở trạng thái
• Mạch lọc
cầu cân bằng có:
• ADC và DAC
• Hiệu chỉnh thiết bị R4
R x = R1
R3
Nếu chọn R3 = R4 thì Rx = R2 với R1 là điện trở đã biết từ đó
biết được giá trị của Rx. Đây là phép đo điện trở với độ chính xác
cao dựa trên nguyên lý so sánh cân bằng
12/15/2023 61 12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 62 12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 63
Mạch cầu đo Mạch cầu đo Mạch đo
• Ứng dụng cho các loại cảm biến thụ động. • Để tăng độ nhạy người ta dùng cầu 2 nhánh và 4 nhánh như hình vẽ
• Giá trị điện trở của phần tử cảm biến thường từ 100 Ω đến vài trăm kΩ. Ví dụ như • Trong đó cầu một nhánh ứng dụng chủ yếu cho cảm biến nhiệt điện trở (RTD)
bảng bên dưới. • Cầu 2 hoặc 4 nhánhứng dụng chủ yếu cho strain gages
• Thường giá trị điện trở thay đổi do tác động của đại lượng đo là rất nhỏ so với giá • Nếu nguồn cấp cho cầu VB = 10 V, và điện áp ra toàn thang là 10 mV thì độ nhạy
trị điện trở ban đầu cầu là 1 mV/V
• Thiết kế sao cho dòng qua điện trở đủ nhỏ để không đốt nóng điện trở gây ra lỗ
12/15/2023 64 12/15/2023 65 12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 66
Mạch cầu đo Ảnh hưởng của điện trở dây đến mạch đo Bài tập
Mạch đo: • h Cáp đôi dây xoắn nối cảm biến đo biến dạng “strain gage” với mạch cầu là 40 m và
điện trở của mỗi đường dây tương ứng là 10.5 Ω tại nhiệt độ môi trường 20 oC. Tuy
• Mạch cầu một nhánh hoạt động nhiên điện trở của mỗi đường dây (10.5 Ω) này bị tăng lên khi nhiệt độ môi trường
tăng theo sự liên hệ: 0.01Ω/oC. Với giả thiết tất cả các điện trở (R1,R2, R3 và strain
1 R 1
U ra = U cc = U cc   R gage) trong mạch không bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ môi trường. Nguồn cấp 10
4 R 4 VDC.
1. 1.Hãy tính giá trị điện áp lỗi offset của cầu khi nhiệt độ môi trường là 35 oC (1.0
• Mạch cầu hai nhánh hoạt động đ)
1 R 1 1.2. Tại nhiệt độ môi trường là 35 oC, hãy chọn mạch chuẩn hoá tín hiệu và tính
U ra = U cc = U cc   R toán các giá trị điện trở của mạch để đưa tín hiệu đo từ mạch cầu vào ADC 10 bit
2 R 2 có giãi điện áp vào 0 → 5 VDC
• Mạch cầu bốn nhánh hoạt động
R
U ra = U cc = U cc   R
R
12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 67 12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 68 12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 69
Ảnh hưởng của điện trở dây Ảnh hưởng của điện trở dây Mạch khuếch đại
• Mạch khuếch đại cho tín hiệu ra có công suất lớn hơn rất nhiều so
với đầu vào. Ở phương tiện gia công tin tức thì
Xr = K.Xv
• Mạch khuếch đại đo lường còn có khả năng mở rộng đặc tính tần
của thiết bị đo và đặc biệt là tăng độ nhạy lên nhiều lần cũng như
tăng trở kháng đầu vào của thiết bị.
• Mạch khuếch đại có thể được thực hiện bởi đèn điện tử, đèn bán
dẫn và vi mạch.
• Mạch lặp điện áp
• Mạch khuếch thuật toán
• Khuếch đại đo lường
• Mạch khuếch đại cách ly
12/15/2023 70 12/15/2023 71 12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 72

Mạch lặp điện áp Khuếch đại thuật toán Khuếch đại vi sai
• Mạch này có nhiệm vụ khuếch đại dòng điện lên giá trị lớn hơn • Khuếch đại đảo
còn điện áp có lặp lại như đầu vào hoặc suy giảm chút ít.
◼ Khuếch đại không đảo
• Ví dụ sơ đồ lặp điện áp như hình dưới đây:
Mạch này không có tác dụng

khuếch đại điện áp nhưng
rất hay được sử dụng vì nó
có trở kháng vào rất lớn cho
phép phối hợp tải với các R2 • Trong mạch trừ điện áp, nếu ta chọn các điện trở: R3 = R1 và R4 = R2 thì hệ
nguồn tín hiệu công suất K =− K=
R2
+1 số của hai điện áp vào là như nhau
R1 R1
nhỏ. • Mạch này được gọi là mạch khuếch đại vi sai.
12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 73 12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 74 12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 75
Khuếch đại đo lường Khuếch đại đo lường Mạch khuếch đại cách ly
• Trong các mạch đo lường thường sử dụng bộ KĐ đo lường, là • Một số khuếch đại đo lường trong thực tế: vi mạch INA128, • Trong kỹ thuật đo cần phải đo những điện áp lớn có khi đến vài
mạch kết hợp các bộ lặp lại và các bộ khuếch đại điện áp. INA129 kilôvôn, tức là cao hơn nhiều so với điện áp cho phép. Để giải
• Mạch khuếch đại đo lường gồm có hai tầng: quyết vấn đề này cần phải tách mạch đo thành hai phần cách ly
nhau về điện:
◼ Tầng 1: hai bộ lặp dùng
• Phần phát: làm việc dưới điện áp cần đo.
khuếch đại thuật toán
• Phần thu: làm việc dưới điện áp đủ thấp cho phép.
◼ Tầng 2:
◼ Hệ số khuếch đại cả mạch
Mạch khuếch đại cách ly Mạch khuếch đại cách ly Mạch gia công tính toán
• Ví dụ ISO 100 • Cách ly quang • Mạch cộng không đảo

• Mạch cộng đảo
• Mạch trừ
• Mạch nhân
• Mạch chia
• Mạch tích phân
• Mạch vi phân
• Trong ví dụ này, điện áp cung cấp cho cầu đo được tạo ra từ

nguồn dòng chuẩn bên trong ISO100, IREF.
• Nguồn cung cấp cho hai tầng của ISO100 phải được cách ly với
nhau
12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 79 12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 80 12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 81
Mạch cộng đảo (hệ số âm) Mạch cộng đảo Mạch cộng không đảo
• Tín hiệu ra Ura tỉ lệ với tổng đại số của các tín hiệu vào
Rf Rf Rf n Rf
U ra = − U1 − U2 − − U n = − Ui
R1 R2 Rn i =1 Ri
• Nếu Rf = R1 = R2 =…= Ri = Rn thì:
n • Biểu thức tính điện áp ra của mạch:

• Áp dụng quy tắc xếp chồng cho mạch trên, ta có: U ra = − U i
R3 R i =1 R3 + R4  R2 R1 
VOUT = − V1 − 3 V2 VOUT =  V1 + V2 
R1 R2 R4  R1 + R 2 R1 + R 2 
• Để đảm bảo cân bằng offset, chọn R4=R3//R2//R1
• Biểu thức tính hệ số của các điện áp vào có dạng phức tạp hơn so với mạch có
đảo
Mạch cộng không đảo Mạch trừ điện áp Mạch cộng/trừ điện áp
• Truyền đạt áp:

VOUT = Σai×VAi – Σbi×VBi
• Điều kiện cân bằng offset:
RA1//RA2//…//RA =
RB1//RB2//…//RB//RF
• Nếu Σai > Σbi + 1 : chọn RA = ∞
• Nếu Σai < Σbi + 1 : chọn RB = ∞
• Nếu Σai = Σbi + 1 : chọn RA = RB
• Mạch đại này đưa điện áp tới cả hai lối vào đảo và không đảo
của Op-Amp. =∞
• Điện áp ra của mạch tỷ lệ với hiệu của điện áp ở hai lối vào, với • Điện trở: RF tuỳ chọn, RAi = RF/ai,
hệ số của các điện áp vào có thể khác nhau RBi = RF/bi
Mạch cộng/trừ điện áp sử dụng hai Op-Amp Mạch nhân Mạch nhân
• Có nhiều trường hợp phải sử dụng mạch nhân như khi đo công Bộ nhân sử dụng nguyên lí lấy lôgarit và đối lôgarit:
suất P=U.I.cosφ hoặc khi cần nhân hai điện áp…vì thế mạch nhân
rất quan trọng trong đo lường.
• Các phần tử nhân thường dùng trong đo lường là:
• Phần tử điện động, phần tử sắt điện động: được dùng để chế
Các mạch (IC1, T1) và (IC2, T2)
tạo các wátmét đo công suất.
làm nhiệm vụ tạo hàm lôgarit
• Với sơ đồ mạch kiểu này, việc tính chọn các điện trở đơn giản • Chuyển đổi Hôn (Hall): sử dụng để đo công suất.
hơn  U 
• Các bộ nhân điện tử: phép nhân tín hiệu tương tự có thể thực U ra1 = −U T .ln  x 
• Mạch theo sơ đồ trước là dạng tổng quát từ đó có thể suy ra  I ES R1 
cho các mạch tuyến tính khác nhau hiện bằng nhiều cách, ở đây chỉ xét hai cách phổ biến nhất là  Uy 
U ra 2 = −U T .ln  
nhân bằng các phần tử lôgarit và nhân bằng phương pháp  I ES R2 
điều khiển độ dẫn của tranzito. - UT là thế nhiệt của tranzito
- IES là dòng điện ngược bão hòa của tiếp giáp EC, hệ số phụ thuộc nhiệt độ.
Mạch nhân Mạch chia Mạch chia
• IC3 là mạch cộng • Mạch chia được sử dụng rộng rãi trong các phép đo gián tiếp. Kết quả • Mạch chia điện tử
U ra 3 = − (U ra1 + U ra 2 ) phép đo có thể là một đại lượng hoặc là một giá trị không có thứ nguyên
  U   Uy  ( thường đặc trưng cho phẩm chất).
= U T  ln  x  + ln   
  I ES R1   I ES R2  
• Mạch IC4 tại hàm mũ • Thông dụng nhất là các phương pháp: lôgômét, mạch cầu, mạch chia
điện tử…
   U   U y    • Mạch chia bằng cơ cấu chỉ thị lôgômét: có góc quay của kim chỉ thị tỉ
U ra 4 = exp (U ra 3 ) = exp U T  ln  x  + ln    
   I ES R1   I ES R2    lệ với tỉ số của hai dòng điện
= CU xU y • Mạch chia dựa trên mạch cầu cân bằng: mạch lấy tỉ số giữa hai điện
chọn α = UT trở của hai nhánh của cầu
R3 là biến trở phụ thuộc góc quay
• Ngày nay các mạch nhân được tích hợp trong một IC, các mạch nhân sử Ix
Ix U ra = K 2
dụng nguyên lý này là: 755N (hãng Analog Devices), 433 (hãng Analog U t = K1
Iy Iy
Devices), 4301 (hãng Burr Brown)…
Mạch tích phân Mạch vi phân Mạch so sánh
• Trong kỹ thuật đo lường thường sử dụng các khâu tích phân. Ví • Mạch vi phân RL diL • Mạch so sánh được sử dụng rất nhiều trong kỹ thuật đo lường,
uL = L
dụ việc biến đổi các tín hiệu rời rạc (discrete) thành tín hiệu liên dt mạch có tác dụng phát hiện thời điểm bằng nhau của hai đại
tục (analog) để đưa tín hiệu vào dụng cụ đo tương tự hay trong • Mạch vi phân RC lượng vật lý nào đó (thường là giá trị điện áp). Trong phương
mạch đo tần số… du pháp đo kiểu so sánh thường sử dụng mạch so sánh để phát hiện
iC = c c
dt thời điểm không của điện kế.
• Các mạch so sánh phổ biến là các mạch sử dụng KĐTT mắc theo
kiểu một đầu vào hay hai đầu vào, hoặc có thêm phản hồi dương
nhỏ để tạo ra đặc tính trễ của bộ so sánh. Cũng có thể sử dụng
các điện trở mẫu như: mạch cầu, mạch điện thế kế với thiết bị chỉ
thị lệch không với điện thế kế.
Bộ so sánh các tín hiệu khác dấu bằng KĐTT mắc theo mạch một đầu vào Bộ so sánh các tín hiệu khác dấu bằng KĐTT mắc theo mạch hai đầu vào Mạch tạo hàm
• Mạch này được sử dụng để so sánh hai tín hiệu cùng dấu. Mạch tạo hàm bằng biến trở
• Bộ so sánh này được sử dụng để so Biến trở của mạch tạo hàm có thiết diện được chế tạo theo hàm
sánh hai điện áp vào khác dấu, số mong muốn
KĐTT hoạt động ở chế độ khuếch
u = u p − un = 0 → ura = 0 Di chuyển của con chạy tỉ lệ với đại
đại vòng hở theo nguyên tắc
lượng vào:
u = u p − un  0 → ura = EK+ l =k X
u = u p − un = 0 → ura = 0 u = u p − un  0 → ura = EK− Gọi điện trở toàn bộ biến trở là Rbt,
điện áp toàn bộ đặt lên nó là Ubt,
+
u = u p − un  0 → ura = E K
điện áp ra sẽ là
−
u = u p − un  0 → ura = E K U ra =
U bt
Rx = k .Rx
Rbt
Nếu Rx = f ( l ) thì
U ra = k  f ( l )
Mạch tạo hàm bằng điốt bán dẫn Chống nhiễu Chống nhiễu
• Nhiễu nội tại: phát sinh do sự không hoàn thiện cấu trúc thiết kế, chế tạo
• Điện áp vào là Ux. Nhờ bộ phân áp AB trên • Chống nhiễu: chuẩn hoá về công nghệ mạch in, sử dụng kỹ thuật
hoặc vật liệu cảm biến. Vì vậy đáp ứng cảm biến sai lệch so với đáp ứng vi sai trong truyền dẫn, truyền dòng điện, môi trường truyền dẫn
dãy đặt điện áp nền U0 , ở các catốt của điốt
chuẩn. cáp quang, sử dụng nối đất, mạch lọc tương tự, lọc số…
có điện áp U01, U02…
• Nhiễu do truyền dẫn: gây ra do các nguồn nhiểu như từ trường, nguồn nuôi, • Lọc tương tự dùng phần tử thụ động
• Khi 0 < Ux < Ux1: Các diode khóa
RN trường điện từ tần số radio, sự thay đổi của nhiệt độ, lực hấp dẩn, bức xạ • Lọc tương tự dùng phần tử chủ động
UN = UX
R + RN ion, độ ẩm môi trường, các tạp chất hoá học
• Khi Ux1 < Ux < Ux2 : D1 mở
• Nhiễu do nối nhiều đất khác nhau
 RR 
I = U X /  R1 + 1 N  RR • Nhiễu xung điện áp khi tắt bật động cơ hoặc thiết bị điện
 R 1 + RN  RE = 1 N
R 1 + RN
RU X • Nhiễu thế nhiệt điện gây ra do hiệu ứng nhiệt điện (seebeek..)
U N = U X − IR = U X −
R + RE
• Nhiễu phóng gây ra do các phần tử transistor, mạch tích hợp và thiết bị bán
Để hiệu chỉnh độ cong có thể thay đổi các giá dẫn.
trị điện trở R1, R2, R3, R4 cho phù hợp.
• Nhiễu thế hoá điện
Bộ lọc Bộ lọc Bộ lọc
• Bộ lọc là một mạch loại bỏ hoặc "lọc ra" một dải tần số được chỉ • Bộ lọc thông thấp: chúng được gọi như vậy bởi vì chúng là những bộ • Bộ lọc băng thông: Loại bộ lọc này sử dụng hai khối tỷ lệ vượt
định. Nói cách khác, nó phân tách phổ của tín hiệu thành các lọc cho phép các tần số thấp nhất đi qua và triệt tiêu hoặc giảm bớt sự qua dải tần số. Có nghĩa là, chúng hoạt động như một bộ lọc
thành phần tần số sẽ được đi qua và các thành phần tần số sẽ bị vượt qua của các tần số cao hơn. Chúng bao gồm một hoặc nhiều cuộn thông thấp và bộ lọc thông cao, chống lại việc đi qua các tần số
dây (mắc nối tiếp với nguồn điện và tải), và một hoặc hai tụ điện shunt
chặn. thấp nhất và cũng là cao nhất cùng một lúc. Nói cách khác, nó chỉ
với nguồn điện và tải. Hãy nhớ rằng tải được hiểu là thiết bị được kết nối
cho phép các tần số trung bình đi qua.
với bộ lọc và thu thập đầu ra của bộ lọc ... Trong các bộ lọc này cũng có
• Bộ lọc dải: nó hoàn toàn ngược lại với cái trước, những gì nó làm
các biến thể, chẳng hạn như L, T và π.
• Bộ lọc thông cao: bộ lọc thông cao ngược lại với thông thấp, trong
được là nó lọc các tần số trung bình và chỉ cho phép thông qua
trường hợp này, những gì nó sẽ lọc hoặc giới hạn là thông tần thấp, cho các tần số thấp nhất và cao nhất
các tần số cao hơn đi qua. Trong đó, các yếu tố điện tử tạo nên nó được
đầu tư. Có nghĩa là, ở đây các tụ điện sẽ là những cái mắc nối tiếp với
nguồn điện và tải, trong khi các cuộn dây sẽ được đóng lại. Ngoài ra còn
có các kiểu con tương tự như trong trường hợp bộ lọc thông thấp.
Bộ lọc thông thấp Bộ lọc thông cao Bộ lọc
• Bộ lọc thông thấp • Bộ lọc thông dải
Các bộ biến đổi tương tự - số, số - tương tự Các bộ biến đổi tương tự - số, số - tương tự ADC
Các bộ biến đổi A/D • Mạch chuyển đổi tin hiệu tương tự sang số, chuyển một tín hiệu
• Để phối ghép giữa nguồn
• Có 3 phương pháp khác nhau ngõ vào tương tự (dòng điện hay điện áp) thành dạng mã số nhị
tín hiệu có dạng tương tự
• Phương pháp song song (nhanh) phân có giá trị tương ứng.
với các hệ thống xử lý số
• Phương pháp xấp xỉ liên tiếp • Chuyển đổi ADC có rất nhiều phương pháp. Tuy nhiên, mỗi
người ra dụng các mạch
• Phương pháp sóng bậc thang phương pháp đều có những thông số cơ bản khác nhau:
chuyển đổi tương tự - số
• Phương pháp tích phân • Độ chính xác của chuyển đổi AD.
(ADC) và các mạch chuyển
Các bộ biến đổi D/A • Thời gian chuyển đổi .
đổi số - tương tự (DAC)
• Có 2 phương pháp cơ bản để biến đổi tín hiệu số sang tín hiệu • Tốc độ lấy mẫu
tương tự như sau: • Dải biến đổi của tín hiệu tương tự ngõ vào
• Phương pháp lấy tổng các dòng trọng số
• Phương pháp dùng khoá đổi chiều
12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 109 12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 110 12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 111
ADC Mạch lấy và giữ mẫu Phép biến đổi dạng tín hiệu
• Các bước chuyển đổi AD xe(t)

• Phép rời rạc hóa: Một tín hiệu bất kỳ có thể biến thành một dãy
• Mạch lấy và giữ mẫu các xung hẹp có giá trị bằng giá trị tức thời tại thời điểm xét
• Lượng tử hóa •  (toán tử Dirac) có thể viết:
• Mã hóa bít
n
Để lấy mẫu tín hiệu
• Đặt X rr ( t ) =  X tk  ( t − kT )
x(t), nhân tín hiệu này k =1
với một chuỗi xung

Dirac có chu kỳ Te 1

1 t = kT
 ( t − kT ) = e
j (t − kT ) d 
=
2 − 0 t  kT

x e ( t ) = x ( t ) Te ( t ) = x ( t )   ( t − nTe ) 
n = − * ( t ) =   ( t − kT )
k =−
 X rr ( t ) = X ( t ) . * ( t )

=  x (nTe ) ( t − nTe ) (3 - 1)
n = −
12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 112 12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 114
Sai số rời rạc hóa Trường hợp không tuyến tính Ví dụ
• Giá trị tín hiệu trong thời gian (t = TK, t = TK+1) nằm trong khoảng • Trong trường hợp tín hiệu biến thiên bất kỳ với gia tốc gm • Ta muốn rời rạc một tín hiệu hình sin với sai số  =1%.
(XK, XK+1) lệch nhau
2 X m 2 ( 0.01) X m
X = Xk+1 - Xk, Trr = Trr =
gm X m 2 sin t
• Giá trị trung bình X K + X K +1
X tb =
2
• Trr = Chu kỳ rời rạc hoá. • g cực đại lúc sin t = 1; gm=Xm.2
X 2 ( X K +1 − X K ) • Thay vào
• Sai số:  rr = = •  = sai số yêu cầu của phép rời rạc hoá.
X tb X K + X K +1 2 ( 0.01) Tsin
• Xm = giá trị cực đại của tín hiệu Trr =  Tsin → Trr =
( 2 )
2
• V là tốc độ biến thiên của tín hiệu (Slew rate) tại điểm k 44
X − XK • gm = giá trị cực đại của gia tốc tín hiệu;
V = K +1 • Chu kỳ rời rạc bằng 1/44 chu kỳ của tín hiệu hình sin.
T
• Chu kỳ rời rạc hóa của tín hiệu tuyến tính được tính
d X (t )
2 • Kết quả này lớn hơn rất nhiều so với định lý lấy mẫu Shannon
 X gm =
T = rr k dt 2
V Thực hiện việc lấy mẫu
như thế nào?
Bộ lấy mẫu và ghim giữ S & H (Sample and Hold). Kỹ thuật lượng tử hóa- ADC Phép lượng tử hóa, mã hóa bít
• Bộ này thực hiện phép lấy mẫu khi có lệnh, sau đó giữ nguyên giá trị cho đến lần • Trong thực tế, đại lượng đo thường biến thiên. Để có thể giám sát một đại lượng biến thiên,
lấy mẫu sau thì khi lượng tử hoá (mã hoá), ta phải rời rạc hóa tín hiệu và ghim giữ giá trị của đại lượng • Phép lượng tử hóa là quá trình làm tương ứng tín hiệu đo lường
trong một khoảng thời gian thích hợp để quá trình lượng tử và mã hoá kịp tiến hành.
Tín hiệu thành một số nguyên những lượng tử của đại lượng mang thông
Tín hiệu
tin của tín hiệu
ra
Điều khiển
Lấy mẫu
X t = N x  X 0
Tín hiệu
điều khiển Ghim giữ
✓ Xt là giá trị của tín hiệu đo tại thời điểm đo t.
✓ NX là số lượng tử của đại lượng tín hiệu.
• Nó gồm một tụ điện C và một khoá điện tử K. ✓ X0 là lượng tử đại lượng tín hiệu, nghĩa là giá trị
bé nhất có nghĩa dùng để đo tín hiệu
• Điện trở khi đóng của khoá điện tử rất nhỏ để cho hằng số thời gian nạp
Giải
thích tụ điện rất ngắn. nạp = RC rất nhỏ, tụ điện nạp luôn điện áp đầu vào tại • Mô tả bằng Lượng
phương trình
tử của đại lượng đo (LSB -Lowest Significatif Bit)
ngay thời điểm công tắc đóng.
X ti
• Sau khi đóng xong công tắc có thể nhả ra, nhưng điện áp trên tụ điện C X lt (ti ) = N i X 0 .1(t −ti ) → N i = Ent
X 0
vẫn được duy trì tại giá trị UK khi đóng mạch, lý do là điện trở đầu ra
(vào dụng cụ phía sau) rất lớn phóng = CR' rất lớn.
Khôi phục tín hiệu ADC - Phương pháp song song ADC - Phương pháp song song
• Sau khi rời rạc hóa kết quả là số liệu tại các thời điểm rời • Điện áp vào được so sánh đồng thời với n điện áp chuẩn và xác • Ví dụ ADC nhanh có độ phân giải 3 bit
rạc khác nhau
• Chuyển các tín hiệu rời rạc đó thành tín hiệu liên tục được gọi là định chính xác xem nó đang ở giữa 2 mức nào. Kết quả là ta có 1
phục hồi tín hiệu rời rạc. bậc của tín hiệu xấp xỉ. Phương pháp này có tốc độ cao nhưng do
phải sử dụng nhiều bộ so sánh nên giá thành rất cao.
• ADC nhanh hình 7 có độ phân giải 1V vì đầu vào tương tự phải thay đổi mỗi lần 1V mới có
• Thực hiện kỹ thuật: sử dụng mạch là bằng, phối hợp các R và C
thể đưa đầu ra số lên bậc kế tiếp. Muốn có độ phân giải tinh hơn thì phải tăng tổng số mức
nối tiếp, song song như ở các mạch lọc với các tần số lọc khác
điện thế vào (nghĩa là sử dụng nhiều điện trở chia thế hơn) và tổng số bộ so sánh. Nói chung
nhau. Đơn giản nhất là nối các điểm rời rạc bằng cách nối chúng
ADC nhanh N bit thì cần 2N – 1 bộ so sánh, 2N điện trở, và logic mã hoá cần thiết
bằng các đoạn thẳng.
ADC liên tiếp - xấp xỉ ADC liên tiếp - xấp xỉ ADC - Phương pháp sóng bậc thang
• Việc so sánh diễn ra cho từng bit của số nhị phân. • Tiến hành so sánh lần lượt với từng đơn vị của bit trẻ nhất.
• Cách thực hiện: Phương pháp này rất đơn giản nhưng mất nhiều thời gian hơn
• Xác định điện áp vào có vượt điện áp chuẩn của bit già nhất phương pháp song song
hay không. Nếu nhỏ hơn mang giá trị 0 và giữ nguyên giá trị,
nếu vượt mang giá trị “1” và lấy điện áp vào trừ điện áp chuẩn
tương ứng.
• Phần dư được đem so sánh với bit trẻ lân cận và lại thực hiện
như trên.
• Tiếp tục tiến hành tới bit trẻ nhất.
• Như vậy, trong số nhị phân có bao nhiêu bit thì có bấy nhiêu
bước so sánh và điện áp chuẩn.
ADC - Phương pháp sóng bậc thang ADC - Phương pháp sóng bậc thang ADC loại tích phân sườn dốc (Intergration)
• Giả sử ADC có các thông số sau đây: ADC có đầu ra cực đại = • DAC có đầu vào 10 bit và đầu ra cực đại = 10.23V nên ta tính
10.23V và đầu vào 10 bit. Hãy xác định: được tổng số bậc thang có thể có là: 210 – 1 = 1023
a. Giá trị số tương đương cho VA = 3.728V Suy ra kích cở bậc thang là: 10mV Dựa trên thông số trên ta thấy
b Độ phân giải của bộ chuyển đổi này VAX tăng theo từng bậc 10mV
• V khi bộ đếm đếm lên từ 0. vì VA = 3.728, khi đó ở cuối tiến trình
chuyển đổi, bộ đếm duy trì số nhị phân tương đương 37310, tức
0101110101.
• Muốn hoàn tất quá trình chuyển đổi thì đòi hỏi dạng sóng bậc
thang phải lên 373 bậc, có nghĩa 373 xung nhịp áp vào với tốc độ
1 xung trên 1us, cho nên tổng thời gian chuyển đổi là 373us
• Độ phân giải của ADC này bằng với kích thước bậc thang của
DAC tức là 10mV
12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 127 12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 128 12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 129
ADC loại tích phân sườn dốc (Intergration) ADC loại tích phân sườn dốc (Intergration) ADC loại tích phân sườn dốc (Intergration)
• Trong đó
ADC loại tích phân sườn dốc (Intergration) ADC loại tích phân sườn dốc (Intergration) Ví dụ một số loại ADC của Burr Brown
• Có hai nửa chu kỳ, dựa vào đây có sườn dốc lên và sườn dốc Một điện trở có giá trị thay đổi từ 100 đến 101 ohm, để xác định sự Sai số phi
Tốc độ biến Ra nối tiếp song
Ký hiệu Số bit tuyến Điện áp vào Ghi chú
xuống thay đổi của điện trở người ta sử dụng cầu đo điện trở một nhánh %
đổi song
ADS 930 8 0,097 FF,GG 30MHz P (song song) chuẩn ngoài

hoạt động. Biết điện áp cung cấp cho cầu là 5V ADS 900 10 CC 20MHz P Công suất thấp chuẩn trong
• Vẽ mạch đo, lựa chọn điện trở cầu và tính điện áp ra của cầu? ADC 85H 12 0,012 D,E,N,R,S 100kHz S,P,S (nối tiếp) Tốc độ trung bình
ADC 800 12 0,024 Z 40MHz P lấy mẫu, chuẩn trong
• Điện áp ra của cầu người ta qua mạch khuếch đại và đưa vào ADS7800 12 0,012 R,S, 330kHz P Lấy mẫu, giao diện
ADC có dải điện áp đầu vào 0-5V. Thiết kế và tính toán mạch ADS7820 12 0,01 D 100kHz P tương thích với 7821
ADC700 16 0,003 D,E,F,N,R,S 58kHz P song song
khuếch đại? ADS7805 16 0,0045 S 100kHz P chân tương thích với 7808
ADS7809 16 0,006 C,D,E,P,R,S 100kHz P Lấy 4 kênh vào MUX
• Với yêu cầu đo được điện trở có ngưỡng nhạy nhỏ nhất 0.0005 ADS7825 16 0,002 S 40kHz S, P
ohm, lựa chọn ADC? Nếu đầu ra của ADC là 101 0111 1010 thì ADC101 20 2,5ppm Dòng 15kHz S(nối tiếp) chính xác cao
Lập trình công suất thấp 4 kênh,lấy trong
giá trị điện trở bằng bao nhiêu? ADS1213 20 0,0015 D,S
được
S

ADS101 20 0,003 O 200KHz S Dùng cho DSP ,
Lập trình
ADS1210 24 0,0015 D,S S 1 kênh, 4 kênh,MUX,
được
ADS1211 24 0,0015 D,S Lập trình S
Ví dụ một số loại ADC của Burr Brown Mạch đo sử dụng vi xử lý (μP-MicroProcessor)
Chú thức về kí hiệu mức điện áp của ADC ... • Trong các dụng cụ sử dụng μP thì mọi công việc thu nhận, gia
• A=0-1,25V E=0-10V P= 3,33V CC=1-2V công xử lý và cho ra kết quả đo đều do μP đảm nhận theo một
thuật toán đã định sẵn.
• B=0-2,5V F=0-20V R= 5V GG=2-3V
• C=0-4V G=0- -10V S= 10V FF=1,5-3,5V

TRÂN
• D= 0-5V N = 2,5V O= 2,75V
TRỌNG CẢM
ƠN!
12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 136 12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 137 12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 138
TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI Nội dung môn học Tài liệu tham khảo
VIỆN ĐIỆN
❖ Chương 1: Tổng quan về cảm biến và Các mạch xử lý trong ➢ Sách:
đo lường ❖ Kĩ thuật đo lường các đại lượng điện tập 1,2- Phạm
❖ Chương 2:Chuyển đổi nhiệt điện Thượng Hàn, Nguyễn Trọng Quế….
❖ Chương 3: Chuyển đổi điện trở ❖ Ðo lường điện và các bộ cảm biến: Ng.V.Hoà và
❖ Chương 4: Cảm biến tĩnh điện( áp điện, điện dung) Hoàng Si Hồng
❖ Chương 5: Chuyển đổi điện từ ➢ Bài giảng và website:
❖ Chương 6: Chuyển đổi điện tử và ion ❖ Bài giảng kĩ thuật đo lường và cảm biến-Hoàng Sĩ
Hồng.
❖ Chương 7: Chuyển đổi hóa điện
KĨ THUẬT ĐO LƯỜNG ❖ Chương 8: Chuyển đổi khác
❖ Bài giảng Cảm biến và kỹ thuật đo: P.T.N.Yến,
Ng.T.L.Huong, Lê Q. Huy
Nguyễn Thị Huế ❖ Bài giảng MEMs ITIMS - BKHN
BM: Kĩ thuật đo và Tin học công nghiệp
➢ Website: sciendirect.com/sensors and actuators A and B
12/15/2023 2 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 3
Các thiết bị đo các đại lượng không điện Chương 14: Đo nhiệt độ Chương 14: Đo nhiệt độ
◼ Qua các thời kỳ phát triển, thiết bị đo các đại lượng không ◼ Nhiệt độ là một trong những thông số quan trọng nhất ◼ Đơn vị
điện hiện đại được xây dựng trên cơ sở vi xử lý (micro ảnh hưởng đến đặc tính của vật chất nên trong các quá
processor based) và bắt đầu chuyển sang giai đoạn xây trình kỹ thuật cũng như trong đời sống hằng ngày rất hay
dựng trên cơ sở vi hệ thống (micro system based). gặp yêu cầu đo nhiệt độ.
◼ Ngày nay hầu hết các quá trình sản xuất công nghiệp,
các nhà máy đều có yêu cầu đo nhiệt độ.
◼ Tùy theo nhiệt độ đo có thể dùng các phương pháp khác
nhau, thường phân loại các phương pháp dựa vào dải 5
nhiệt độ cần đo. Thông thường nhiệt độ đo được chia C =  ( o F − 32)
o
9
thành ba dải: nhiệt độ thấp, nhiệt độ trung bình và cao.
12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 4 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 5 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 6

Chương 14: Đo nhiệt độ Chương 14: Đo nhiệt độ 14.1 Nhiệt kế giản nở
➢ Đo tiếp xúc Dải ◼ Thể tích và chiều dài của một vật thay đổi tùy theo nhiệt
❖ Nhiệt kế giãn nở vì nhiệt đo độ và hệ số dãn nở của vật đó. Nhiệt kế đo nhiệt độ theo
nguyên tắc đó gọi là nhiệt kế kiểu dãn nở.
❖ Nhiệt điện trở của
◼ Ta có thể phân nhiệt kế này thành 2 loại chính đó là :
❖ Cặp nhiệt ngẫu (K, E, J,...) một
❖ Nhiệt kế dãn nở chất rắn (còn gọi là nhiệt kế cơ khí)
❖… số
phương ❖ Nhiệt kế dãn nở chất lỏng.
➢ Đo không tiếp xúc
pháp
❖ Đo bằng phương pháp hỏa quang kế
❖ Đo bằng hồng ngoại
❖ ......
Nhiệt kế giản nở chất rắn Nhiệt kế giản nở chất rắn Nhiệt kế giản nở chất lỏng
Thường co hai loại: gốm và kim loại, kim loại và kim loại ◼ Hệ số gian nở nhiệt của kim loại A và B là αA và αB. Do αB ◼ Nguyên lý: tương tự như các loại khác nhưng sử dụng
◼ Nhiệt kế gốm - kim loại (a) (Dilatomet): gồm một thanh > αA, khi nhiệt độ tăng một lượng dt, thanh kim loại giãn chất lỏng làm môi chất (như Hg , rượu )
gốm (1) đặt trong ống kim loại (2), thêm một lượng dlA, thanh kim loại B giãn thêm dlB với ◼ Cấu tạo: Gồm ống thủy tinh hoặc thạch anh trong đựng
dlB>dlA, làm cho thanh gốm dịch sang trái chất lỏng như thủy ngân hay chất hữu cơ.
◼ Nhiệt kế kim loại - kim loại (b): gồm hai thanh kim loại (1)
và (2) có hệ số gian nở nhiệt khác nhau liên kết với nhau ◼ Dịch chuyển của thanh gốm phụ thuộc dlB - dlA do đo phụ
theo chiều dọc thuộc nhiệt độ.
1.2 Cảm biến nhiệt điện trở RTD Nguyên lý hoạt động 14.2 Nhiệt điện trở
Nguyên lý: Điện trở của kim loại thay đổi theo sự thay đổi nhiệt độ.
◼ Dựa vào tính chất vật lý của kim loại: điện trở thay đổi khi nhiệt độ thay đổi.
◼ Bằng cách đo điện trở ở nhiệt độ nào đó và so sánh với giá trị điện trở ở
nhiệt độ đã biết thì ta có thể xác định được sự thay đổi điện trở.
◼ Mối quan hệ giữa điện trở và nhiệt độ là xác định được, từ đó có thể tính
toán được giá trị của nhiệt độ dựa vào sự thay đổi của điện trở.
Thiết bị đo lường và điều khiển quá trình 13 Thiết bị đo lường và điều khiển quá trình 14 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 15
14.2 Nhiệt điện trở Nhiệt điện trở kim loại Cấu tạo
◼ Nguyên lý: ◼ Yêu cầu chung o RTD thông thường bao gồm một miếng kim loại rất nhỏ mà điện
trở của nó thay đổi theo một quy luật được biết trước khi nhiệt độ
❖ Có điện trở suất đủ lớn để điện trở ban đầu R lớn mà thay đổi.
❖ Nhiệt điện trở kim loại kích thước nhiệt kế vẫn nhỏ o Platinum là kim loại phổ biến nhất được dùng để chế tạo RTD bởi
vì điện trở của nó thay đổi theo nhiệt độ rất tuyến tính.
❖ Hệ số nhiệt điện trở của nó không đổi dấu
R = Ro (1 + 1T +  2T 2 +  3T 3 + ...)
❖ Có đủ độ bền cơ hóa ở nhiệt độ làm việc
❖ Dễ gia công
❖ Nhiệt điện trở bán dẫn
  1 1 
R = Ro  exp  B  −  
  T To  
To là nhiệt độ tuyệt đối, B là hệ số thực nghiệm
12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 16 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 17 Thiết bị đo lường và điều khiển quá trình 18
Các loại RTD Các loại RTD Các loại RTD

◼ RTD kiểu dây quấn: ◼ RTD kiểu màng mỏng: ◼ RTD kiểu vòng xoắn:
➢ Một sợi dây Platinum có đường kính rất nhỏ quấn quanh một lõi bằng ➢ Được chế tạo bằng cách cho hơi platinum ngưng tụ thành một lớp rất mỏng ➢ Được chế tạo theo kiểu vòng xoắn (dạng lò xo).
gốm. trên một đế mỏng và phẳng.
➢ Mục đích của thiết kế này là giảm sự ràng buộc giữa các vòng dây và
➢ Lõi gốm sau khi được quấn dây sẽ được phủ bên ngoài một lớp bảo vệ ➢ Diện tích tiết diện ngang của tấm phim mỏng này cực kỳ nhỏ có nghĩa là chỉ lớp vỏ bảo vệ.
tránh ảnh hưởng của môi trường. cần một đoạn platinum ngắn cũng tạo ra điện trở đủ lớn (ví dụ 1000Ω chế tạo
với kích thước không quá 1,6mmx2,8mm) ➢ Thiết kế kiểu này làm giảm thiểu ảnh hưởng của sự giãn nở không
➢ RTD này cũng có thể được đặt thêm vào một lớp vỏ bảo vệ để cho phép đều giữa các vật liệu.
lắp đặt nó vào các đường ống hoặc thiết bị đo quá trình. ➢ RTD kiểu phim mỏng cũng cần được bảo vệ bằng lớp thủy tinh hay gốm và
được đặt vào một lớp vỏ bảo vệ để có thể lắp đặt chúng vào một hệ thống đo ➢ Các vòng dây được cho vào trong lõi bằng gốm. Một lớp bột cũng
lường quá trình. được đóng bên ngoài thành để tránh các vòng dây chạm nhau và
➢ Ưu điểm của loại này là kích thước nhỏ, giá thành sản xuất rẻ, thời gian đáp giảm rụng động.
ứng nhanh.
➢ Thiết kế này cho hệ số nhiệt độ cao
hơn và độ ổn định tốt hơn.
Đa số SPRT đều dùng kiểu này.
Thiết bị đo lường và điều khiển quá trình 19 Thiết bị đo lường và điều khiển quá trình 20 Thiết bị đo lường và điều khiển quá trình 21
Các loại RTD Kim loại làm RTD Nhiệt điện trở kim loại
◼ RTD kiểu vành khuyên rỗng: ◼ Vàng và bạc có điện trở suất nhỏ nên hiếm khi được dùng làm RTD.
RTD TEMPERATURE RANGE
➢ Chế tạo mà bên trong lõi rỗng, phần cuối để hở. ◼ Tungsten có điện trở suất cao nhưng ở nhiệt độ cao thì rất giòn nên, dễ hỏng
cũng không dùng. 100oC to 650oC → good linearity
➢ Mục đích của thiết kế này là làm chi thời gian đáp ứng nhanh hơn và giảm
◼ Đồng cũng thỉnh thoảng dùng làm RTD. Mặc dù có điện trở suất nhỏ nhưng Platinum and Chemical inertness
khối lượng cảm biến.
bù lại là độ tuyến tính và giá thành rẻ. Nhiệt độ giới hạn đo cỡ khoảng 1200C.
➢ Kiểu này có ưu điểm là được bao phủ hoàn toàn, tốc độ đáp ứng cực nhanh Niken → -180oC to 430oC
tuy nhiên giá thành lại là cao nhất trong 4 loại. ◼ Platin, nickel hay hợp kim của nickel thường được dùng nhiều nhất làm RTD.
Copper → - 200 to 260oC
Nickel khá là tuyến tính nhưng lại bị trôi theo thời gian và chỉ đo được ở
những khoảng nhiệt độ giới hạn. Tungsten → - 270oC to 11000C
Nhiệt điện trở kim loại Nhiệt điện trở bán dẫn (NTD) Nhiệt điện trở bán dẫn (NTD)
◼ Nhiệt kế nhiệt điện trở thường dùng trong công nghiệp, ◼ Cấu tạo: Làm từ hổn hợp các oxid kim loại: mangan
thường được chế tạo bằng Pt, dây đồng, dây Ni và có ký (MnO), nickel (NiO), cobalt (Co2O3),…
hiệu là: Pt-100, Cu-100, Ni-100 ◼ Nguyên lý: Thay đổi điện trở khi nhiệt độ thay đổi.
◼ Quan hệ giữa điện trở và nhiệt độ cho bởi: ◼ Ưu điểm: Bền, rẽ tiền, dễ chế tạo.
R t = R 0 (1 + α.t) ◼ Khuyết điểm: Dãy tuyến tính hẹp. 
◼ Thường dùng: Làm các chức năng đo nhiệt độ để bảo RT = A.e T
bảo vệ, ép vào cuộn dây động cơ, mạch điện tử.
◼ Dải đo: 50 <150 độ C.
◼ A hằng số phụ thuộc vào tính chất vật lý của bán dẫn, kích
thước và hình dáng của điện trở
◼  : hằng số phụ thuộc vào tính chất vật lý của bán dẫn
Nhiệt điện trở bán dẫn (NTD) Mạch đo Một số mạch đo dùng nguồn áp
◼ Thermistor được cấu tạo từ hổn hợp các bột ocid. Các ◼ Mạch dùng nguồn dòng
bột này được hòa trộn theo tỉ lệ và khối lượng nhất định ◼ IC tao nguồn dòng
sau đó được nén chặt và nung ở nhiệt độ cao. Và mức độ
dẫn điện của hổn hợp này sẽ thay đổi khi nhiệt độ thay
đổi.
◼ Có hai loại thermistor:
❖ Hệ số nhiệt dương PTC- điện trở tăng theo nhiệt độ;
❖ Hệ số nhiệt âm NTC – điện trở giảm theo nhiệt độ.
❖ Thường dùng nhất là loại NTC.
Thermistor chỉ tuyển tính trong khoảng nhiệt độ nhất định R2 R
◼ U R = U RT = I  RRT 2
50-150oC do vậy người ta ít dùng để dùng làm cảm biến R1 R1
đo nhiệt
Một số mạch đo dùng nguồn áp Một số mạch đo Một số mạch đo

Ảnh hưởng của điện trở dây Các mạch đo RTD Ảnh hưởng của điện trở dây
◼ Tại sao là nhiệt điện trở 2, 3 và 4 dây ? ◼ RTD hai dây:
Bù điện trở dây khi sử dụng nguồn áp ➢ Cấu hình này thì điện trở nhánh cầu chứa RTD còn bao gồm cả điện trở hai
dây dẫn kéo về mạch đo.
➢ Điều kiện cân bằng của mạch cầu là:
R1 + R3 = R2 + A + B + RTD
Khi R1 = R2 thì:
R3 = A + B + RTD
➢ Trường hợp này chịu ảnh hưởng sai số do dây dẫn.
Bù điện trở dây khi sử dụng nguồn dòng
12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 34 Thiết bị đo lường và điều khiển quá trình 35 12/15/2023 36
Các mạch đo RTD Ảnh hưởng của điện trở dây Các mạch đo RTD
◼ RTD ba dây: ◼ RTD bốn dây:
➢ Dùng thêm một dây dẫn nữa nối từ chân đồng hồ tới RTD. ➢ Dùng hệ thống chuyển mạch để cầu luân phiên nhau làm việc ở chế độ A và
➢ Điều kiện cân bằng của mạch cầu là: chế độ B.
R1 + R3 + A + C = R2 + B + C + RTD ➢ Lấy trung bình giá trị điện trở R3 = (R3a + R3b)/2 = RTD ta hoàn toàn loại bỏ
được giá trị của điện trở dây dẫn.
Khi R1 = R2 thì:
➢ Thiết kế kiểu này tương đối phức tạp, đắt tiền và dễ nảy sinh điện trở tiếp
R3 = B – A + RTD xúc ở bộ phận chuyển mạch
➢ Nếu hai dây dẫn A và B hoàn toàn giống nhau thì sai số do dây dẫn sẽ được
loại bỏ.
Thiết bị đo lường và điều khiển quá trình 37 12/15/2023 38 Thiết bị đo lường và điều khiển quá trình 39
Các mạch đo RTD Ưu nhược điểm của RTD Transmitter nhiệt điện trở trong công nghiệp
◼ RTD bốn dây: ◼ Ưu điểm: ◼ Nhược điểm: 1- Nhiệt điện trở 2- Modul vào
➢ Thay vì dùng chuyển mạch ta dùng hệ thống nguồn dòng. Điện áp đo trên ➢ Độ chính xác rất cao (một ➢ Độ nhạy thấp. 3- Dòng cung cấp (hằng) 4- Khuếch đại điện áp một chiều
đồng hồ tỉ lệ trực tiếp với điện trở RTD. số cảm biến có thể đo
➢ Giá thành cao hơn TC. 5- Modul ra 6- Điều chỉnh điện áp
➢ Nguồn dòng hằng được sản xuất với kích thước nhỏ gọn, giá thành tương được vài phần ngàn oC).
đối thấp và cung cấp dòng hằng chính xác nhỏ hơn 1mA nhằm hạn chế hiện ➢ Ảnh hưởng bởi va đập hay dao
➢ Tuyến tính trên một
tượng tự nung nóng. động.
khoảng rộng.
➢ Dễ bị ảnh hưởng bởi hiện tượng
➢ Dải nhiệt độ đo rộng.
tự nung nóng.
➢ Có thể đo được ở những
➢ Khi đo ở dải nhiệt độ cao thì
dải nhiệt độ cao.
không còn được tinh khiết do
➢ Có độ ổn định tốt ở dải hiện tượng khuếch tán.
nhiệt độ cao.
Sơ đồ nguyên lý của transmitter nhiệt điện trở; (b) Transmitter

nhiệt điện trở 7MC2932 của Siemens
Transmitter nhiệt điện trở trong công nghiệp Transmitter nhiệt điện trở Nhiệt điện trở
◼ Để tránh ảnh hưởng của điện trở đường dây ta phải bố trí ◼ Giải thích Pt100, Pt 500, Pt 1000?
để có thể lắp sơ đồ 2 dây, 3 dây, 4 dây. ◼ Tại sao Platin lại được sử dụng chủ yếu để chế tạo RTD?
◼ Điện áp nhiệt điện trở đưa qua A/D biến thành số. Vi xử lý
tính toán ra nhiệt độ, sau đó qua D/A thành dòng điện ra
4-20 mA ứng với khoảng đo của nhiệt độ vào. Vi xử lý
còn làm nhiệm vụ tuyến tính hóa nhiệt kế.
12/15/2023 43 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 44 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 45
Sơ đồ nối dây Calibration. Đo nhiệt độ Bài tập

◼ Sơ đồ của bộ biến đổi thông minh đo nhiệt độ SITRANS – Để đo nhiệt độ của một lò nhiệt thay đổi: 00C - 6000C. Người
T của Siemens ta dùng nhiệt điện trở. Nguồn cung cấp tự chọn.
◼ Lựa chọn cảm biến thích hợp, thiết mạch đo, tính toán giá
trị các linh kiện cho mạch?
◼ Hãy chọn mạch chuẩn hóa tín hiệu và tính toán các giá trị
điện trở để đưa tính hiệu đo vào ADC có dải điện áp 0-
5V?
◼ Với yêu cầu đo được nhiệt độ có ngưỡng nhạy < 0.50C,
lựa chọn ADC. Biểu điễn giá trị 4000C dưới dạng nhị
phân theo số bit ADC đã chọn.
Cặp nhiệt điện (TC) Cấu tạo Cấu tạo

➢ Một cặp nhiệt điện thông thường gồm hai dây kim loại khác nhau, ➢ Thông thường các dây của cặp nhiệt điện được đặt trong một ống
mỗi dây được chế tạo từ một kim loại đơn chất hay hợp kim. thép không rỉ mỏng hoặc trong một lớp vỏ để bảo vệ chúng khỏi bị ăn
➢ Hai dây này được nối lại với nhau tại một đầu tạo thành điểm đo, mòn hóa học hoặc bị phá hủy vật lý.
thông thường được gọi là điểm nóng (hay mối nối đo lường), bởi vì phần
➢ Chiều dài của ống hoặc vỏ có thể thay đổi từ vài in đến 30 feet
lớn nhiệt độ được đo cao hơn nhiệt độ môi trường.
hoặc hơn. Đường kính thông thường là ¼ in, nếu ống chứa nhiều cặp
➢ Hai đầu còn lại của hai dây được nối tới dụng cụ đo để tạo thành
nhiệt điện, kích thước của nó có thể lên tới 1 in.
mạch kín cho dòng điện chạy qua, dụng cụ đo này sẽ đo mức điện áp
được tạo ra tại điểm nối và chuyển đổi nó thành giá trị nhiệt độ tương ➢ Ống bảo vệ thường được lót một lớp gốm sứ để giữ cho dây cặp
ứng nhiệt điện khỏi chạm với các phần tử khác.
49 Thiết bị đo lường và điều khiển quá trình Thiết bị đo lường và điều khiển quá trình 50 Thiết bị đo lường và điều khiển quá trình 51
Nguyên lý hoạt động Vật liệu chế tạo Vật liệu chế tạo
◼ Hiệu ứng Seebeck: ◼ Tuy nhiên chúng phải đảm bảo các yêu cầu sau: ◼ Hình dưới biểu diễn quan hệ giữa sức điện động và nhiệt
độ của các vật liệu dùng để chế tạo điện cực so với điện
Khi có hai dây kim loại khác nhau ❖ Sức điện động đủ lớn (để dễ dàng chế tạo dụng cụ đo
- cực chuẩn platin.
được nối ở hai đầu. Một đầu được thứ cấp).
nung nóng thì có một dòng điện ❖ Có đủ độ bền cơ học và hoá học ở nhiệt độ làm việc.
chạy trong mạch.
❖ Dễ kéo sợi.
❖ Có khả năng thay lẫn.
- Nếu hở mạch một đầu thì xuất hiện
❖ Giá thành rẻ.
một điện áp gọi là điện áp Seebeck.
Điện áp này là hàm của nhiệt độ
mối nối và phụ thuộc vào hai kim
loại.
Thiết bị đo lường và điều khiển quá trình 52 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 53 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 54
0 0
2 2
Nguyên lý hoạt động Các kiểu nhiệt kế nhiệt ngẫu Các kiểu nhiệt kế nhiệt ngẫu
K KH Vật liệu cấu Đặc điểm lưu tâm
◼ Các loại kim loại thông thường dùng làm cặp nhiệt điện: KH KHHT Vật liệu cấu thành Đặc điểm lưu tâm
H HT thành
E CRC Cromel- Dây dương như loại K, dây âm như loại J. Có
B - Platin Rhodium Dây dương như là hợp kim 70%Pt, 30%Rh. Dây
Constantan sức điện động nhiệt điện cao và thường dùng
30 âm là hợp kim 94%Pt, 6%Rh. Loại B bền hơn loại
ở môi trường acid
Platin.Rhodium 6 R, giải đo nhiệt độ đến 1800 C, còn các đặc tính
J IC Sắt-Constantan Dây dương là đồng. Dây âm là hợp kim chủ
khác thì như loại R.
yếu là hợp Ni và Cu. Nhiệt ngẫu này bền ở
R - PtRh 13-Pt Dây dương là loại hợp kim 87%Pt, 13%Rh. Dây
trong môi trường ăn mòn Fe và dùng ở nhiệt
âm là Pt nguyên chất. Cặp này rất chính xác, bền
độ trung bình.
với nhiệt và ổn định. Không nên dùng ở những môi
T CC Đồng-Constantan Dây dương là Cu. Dây âm cũng là Cu và Ni.
trường có hơi kim loại.
Độ chính xác cao khi làm việc ở dưới 300 C (-
S - PtRh 10-Pt Dây dương là hợp kim 90%Pt, 10%Rh. Dây âm là
200 C - 1000 C) dùng vả với môi trường khí
Pt nguyên chất. Các đặc tính khác như loại R.
và oxy hóa.
K CA Cromel-Alumel Dây dương là hợp kim gồm chủ yếu là Ni và Cr. W/ Tungsten- Dây dương bằng Tungsten và dây âm 74%
Dây âm là hợp kim chủ yếu là Ni. Dùng rộng rãi W- Tungsten- tungsten và 26% rhenium. Phù hợp đo nhiệt
cho Công nghiệp, bền với môi trường oxy hóa. 26E Rhenium 26 độ cao, tính bền giảm với các khí trơ trong
Không được dùng trong môi trường có CO, SO không khí, không chống được oxy hóa, không
Thiết bị đo lường và điều khiển quá trình 55 12/15/2023
có H KTĐ&THCN
hay khí SNTH-BM 56 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN
sử dụng được trong không khí. 57
Vật liệu chế tạo Nguyên lý hoạt động Cặp nhiệt Thermocouple
◼ Điện áp Seebeck: ❖ Các loại cặp nhiệt
Cặp nhiệt ngẫu Dải nhiệt độ Sức điện động 10 Trong đó:
làm việc (oC) (mV) ◼ ◼ Suất điện động của cặp nhiệt: Emf =  ci .(t )i t là nhiệt độ đo (oC);
Đồng/ Constantan i =0
ci là hệ số Seebek theo nhiệt độ.
 = 1,63 mm -270-370 -6,258-19,027
Sắt/ Constantan -210-800 -8,095-45,498
eAB =  .T
Hệ số Khoảng nhiệt độ đo: (-270oC; 0oC) Khoảng nhiệt độ đo: (0oC; 1300oC)
 = 3,25 mm ➢ Trong vùng nhiệt độ thay
Chromel/Alumen -270-1250 -5,354-50,633 C0 0.000000000000 x100 0.000000000000 x100
đổi nhỏ thì có thể coi điện
 = 3,25 mm áp Seebeck tuyến tính với
C1 0.261591059620 x10-1 0.259293946010 x10-1
Chromel/Constantan -270-870 -9,835-66,473 C2 0.109574842280 x10-4 0.157101418800 x10-4
nhiệt độ. -0.938411115540 x10-7 0.438256272370 x10-7
 = 3,25 mm C3
C4 -0.464120397590 x10-10 -0.252611697940 x10-9
Platin-Rođi (10%) /Platin ➢ α là hệ số Seebeck, có C5 -0.263033577160 x10-11 0.643118193390 x10-12
 = 0,51 mm -50-1500 -0,236-15,576
thể coi là hằng số trong dải C6 -0.226534380030 x10-13 -0.100634715190 x10-14
Platin-Rođi (13%) /Platin
nhiệt độ nhất định. C7 -0.760893007910 x10-16 0.997453389920 x10-18
 = 0,51 mm -50-1500 -0,226-17,445 C8 -0.934196678350 x10-19 -0.608632456070 x10-21
Platin-Rođi (30%) /Platin-Rođi (6%) C9 0.208492293390 x10-24
 = 0,51 mm 0-1700 0-12,426 C10 -0.306821961510 x10-28
Hệ số Seebek theo nhiệt độ của cặp nhiệt loại N
Vonfram-Reni (5%)/Vonfram-Reni 0-2700 0-38,45
(26%)
12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN Thiết bị đo lường và điều khiển quá trình Viện Điện (SEE - HUST); www.see.hust.edu.vn;
58 59 12/15/2023 Tổng hợp và biên soạn: ThS. Nguyễn Thị Huế
60
II.4.1 Cặp nhiệt Thermocouple Đo điện áp cặp nhiệt điện Nhiệt độ chuẩn
❖ Các loại cặp nhiệt ◼ Ta không thể đo điện áp Seebeck trực tiếp vì ta phải nối với chân đo của ◼ Đặc điểm của nhiệt độ: không thể
đồng hồ. Điều này có nghĩa là ta đã tạo thêm hai cặp nhiệt điện mới chia nhiệt độ như chia điện áp
hoặc cộng nhiệt độ như cộng
◼ Ví dụ: Cặp nhiệt điện loại K như hình bên , ta muốn đo điện áp ra V1 do J1
chiều dài.
gây ra, khi nối với đồng hồ đo ta có thêm hai mối nối mới là J2 và J3
◼ Do đó ta phải dựa vào nhiệt độ ở
◼ Vì J3 là Cu-Cu nên sức điện động những hiện tượng vật lý mà dễ
dàng quan sát và bền vững.
V3 = 0, J2 là Cu-Constantan nên
sức điện động V2 ≠ 0 và ngược ◼ ITS-90 (International Temperature
dấu so với V1 Scale of 1990) đã thành lập bảng
nhiệt độ chuẩn gọi là Fixed-Point.
◼ Điều này có nghĩa là điện áp đo
◼ Trong các điểm nhiệt độ chuẩn thì
được trên đồng hồ tỉ lệ với chênh
điểm ba của nước là điểm quan
lệch nhiệt độ giữa hai mối nối J1 và
trọng nhất dùng trong hiệu chuẩn
J2. Hay nói cách khác, muốn biết các thiết bị nhiệt độ.
được nhiệt độ ở J1 thì ta phải biết
Hệ số Seebek của cặp nhiệt loại K theo nhiệt độ nhiệt độ của J2.
Viện Điện (SEE - HUST); www.see.hust.edu.vn; Thiết bị đo lường và điều khiển quá trình Thiết bị đo lường và điều khiển quá trình
12/15/2023 Tổng hợp và biên soạn: ThS. Nguyễn Thị Huế
61 62 63
Mối nối chuẩn Loại bỏ mối nối ở đầu đo Loại bỏ bồn đá

◼ Khi dùng cặp nhiệt điện loại J (Fe-Constantan) thay vì loại K (Cu-
Constantan) thì ta sẽ tăng số điểm nối khác nhau lên.
◼ Nếu nhiệt độ ở hai đầu đo không như nhau thì sẽ có sai số. Do đó để
chính xác chân đo đồng hồ được kéo dài ra tới khối đẳng nhiệt (làm cho
chúng có cùng nhiệt độ).
• Một phương pháp để xác định được nhiệt độ J2 là đặt nó trong một bồn đá và giữ
cho nhiệt độ là 0oC, khi đó J2 được gọi là mối nối chuẩn.
• Ta có : V = V1 − V2   ( t J −t J )
1 2
t J1 = TJ1 ( 0C ) + 273,15
( ) ( )
 V = V1 − V2    TJ1 + 273,15 − TJ 2 + 273,15  =  TJ1
 
• Bằng việc cộng thêm điện áp của mối nối chuẩn ta có thể tính được điện áp V so
với 00C. Phương pháp này có độ chính xác rất cao vì nhiệt độ của bồn đá có thể → Ta có thể loại bỏ dây Fe ở đường LO bằng cách kết hợp hai mối nối Cu-Fe (J4)
điều khiển chính xác. và Fe-C (JREF). Thực hiện bằng cách nhập hai khối đẳng nhiệt thành một. Ta vẫn có:
V = α(T1 – TREF).
64 Thiết bị đo lường và điều khiển quá trình Thiết bị đo lường và điều khiển quá trình 65 Thiết bị đo lường và điều khiển quá trình 66
Loại bỏ bồn đá Bù phần mềm Bù phần mềm

◼ Bù bằng mạch điện tử
◼ Sử dụng luật điểm giữa ta có thể loại

bỏ được dây dẫn Fe ở đường LO.
◼ Dùng một Thermistor có điện trở là RT là hàm của nhiệt độ cho phép đo nhiệt
độ tuyệt đối của mối nối chuẩn.
◼ Ta vẫn có: V = α(T1 – TREF). Trong
đó α là hệ số Seebeck của cặp nhiệt ◼ Nhiệt độ của J3, J4, và Thermistor được coi là như nhau (do chế tạo của khối
điện Fe-C. đẳng nhiệt). Khi đó dùng một đồng hồ số ta thực hiện hai công việc như sau:
➢ Đo điện trở RT để tìm nhiệt độ TREF và chuyển đối nó thành điện áp
VREF tương đương.
◼ Hai mối nối J3, J4 thay thế vai trò của
bồn đá và bây giờ được coi là mối nối ➢ Đo điện áp V và VREF để tính ra điện áp V1, sau đó chuyển đổi điện áp V1 ra
chuẩn. nhiệt độ T1.
◼ Phương pháp này gọi là bù phần mềm vì nó phụ thuộc vào phần mềm tính toán
ở máy tính để bù ảnh hưởng của mối nối chuẩn.
Bù phần mềm Bù phần mềm Bù phần mềm
◼ Bù bằng vi điều khiển ◼ Bù bằng mạch điện tử ◼ Dùng mạch điện tử
Tại sao lại dùng Thermistor? Bù phần cứng Mạch đo
◼ Một câu hỏi đặt ra là nếu ta ◼ Dùng cầu bù

đã có thiết bị đo nhiệt độ
tuyệt đối (Thermistor, RTD)
thì sao ta lại nối với cặp nhiệt
làm mối nối chuẩn mà không
đo trực tiếp nhiệt độ?
◼ Lý do là thermistor, RTD chỉ

◼ Thay vì đo nhiệt độ mối nối chuẩn rồi chuyển đổi sang điện áp để bù bằng
có thể dùng ở một dải nhiệt
phần mềm ta thêm vào trong mạch một nguồn một chiều để loại bỏ điện áp
độ nhất định. Ngoài ra TC
trôi ở mối nối chuẩn. Khi đó mối nối chuẩn được coi như là mối nổi ở 00C.
còn dễ dàng chế tạo (chỉ hàn
hai đầu dây) nên có khả ◼ Điện áp bù e là hàm của điện trở RT. Điện áp V là điện áp so sánh ở 00C nên
năng mở rộng đo nhiều dải có thể chuyển đổi trực tiếp dùng bảng tra.
nhiệt độ khác nhau.
73 Thiết bị đo lường và điều khiển quá trình Thiết bị đo lường và điều khiển quá trình 74 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 75
So sánh hai phương pháp bù Các loại cặp nhiệt điện Màu của cặp nhiệt điện
◼ Bù phần cứng: ◼ Bù phần mềm:
➢ Ưu điểm: Tốc độ nhanh do ➢ Ưu điểm: Mềm dẻo, có thể

không phải tính toán nhiều. dùng bất cứ loại cặp nhiệt
điện nào.
➢ Nhược điểm: Chỉ có một loại

nhiệt cặp nhiệt điện được ➢ Nhược điểm: yêu cầu nhiều
dùng trên một card bù. thời gian xử lý, tính toán
hơn.
Chuyển đổi điện áp ra nhiệt độ Chuyển đổi điện áp ra nhiệt độ Chuyển đổi điện áp ra nhiệt độ
( ))
Để nâng cao tốc độ tính toán trong phần mềm ta dùng đa thức bậc thấp ở dải
(
◼
T = a0 + a1 x + a 2 x 2 + ...an x n T = a0 + x a1 + x a2 + x ( a3 + x ( a4 + a5 x ) ) nhiệt độ hẹp.
◼ Đường đặc tính của cặp nhiệt điện được chia làm 8 đoạn.
◼ Trong đó: ◼ Thay vì tính toán trực tiếp ta dùng ◼ Mỗi đoạn được ước lượng bằng một đa thức bậc ba.
➢ T là nhiệt độ. phương pháp tính lặp để tiết giảm
thời gian tính toán.
➢ x là điện áp của cặp nhiệt điện
tính theo V.
➢ n là bậc của đa thức. ◼ Ta cũng có thể làm giảm thời gian
tính toán bằng cách dùng đa thức
◼ Khi bậc của đa thức tăng thì càng
bậc nhỏ hơn đối với những khoảng
đạt được độ chính xác. Khi n = 9 thì
nhiệt độ hẹp.
độ chính xác là ±10C.
◼ Bậc càng cao thì tốc độ tính toán
càng chậm.
Chuyển đổi mV ra nhiệt độ Chuyển đổi nhiệt độ ra mV Ưu nhược điểm của TC

◼ Phương pháp: ◼ Phương pháp: ◼ Ưu điểm: ◼ Nhược điểm:
1. Từ bảng tham chiếu cặp nhiệt thích ◼ Ví dụ: Người ta muốn kiểm tra hiệu
◼ Ví dụ: Một cặp nhiệt điện loại T
hợp, lấy giá trị mV (mối nối chuẩn ở chuẩn một dụng cụ đo lường ở nhiệt Cặp nhiệt điện rẻ tiền, kích thước
trong điều độ thực của mối nối 1. Từ bảng tra thích hợp, lấy giá trị ➢ ➢ Tín hiệu ra nhỏ, nhạy với nhiễu.
0oC) tương tứng với nhiệt độ thực độ 300oF (149oC). Dụng cụ có thang nhỏ, chắc chắn, tiện lợi và linh
chuẩn lkiện hoạt động ổn định cho mV (dựa vào mối nối chuẩn ở
của mối nối chuẩn. đo được chia theo oF và sử dụng hoạt, dải đo rộng, khả năng ổn
ra một điện áp trên vôn kế là – 31 0F) tương ứng với nhiệt độ
3.369 mV. Nhiệt là 70oF (21oC). cặp nhiệt điện loại T. Nhiệt độ thực định có thể chấp nhận, chính xác. ➢ Bị giới hạn đối với những ứng
thực tại ngõ vào của dụng cụ đo
tại ngõ vào của dụng cụ đo này dụng dải đo tương đối hẹp.
2. Cộng đại số giá trị vừa lấy được ở ➢ Từ bảng tra loại T, 70oF = 0.830 cần kiểm tra.
được xác định bằng nhiệt kế thủy
bước 1. với giá trị mV đọc được mV dựa vào nhiệt độ mối nối ngân chính xác là 70oF (21oC). ➢ Cặp nhiệt điện là cảm biến kinh tế
trên vôn kế. chuẩn ở 31oF. nhất và chúng có thể đo được ➢ Luôn cần đến bộ khuếch đại
2. Cũng từ bảng tra vừa rồi, lấy giá ➢ Từ bảng tra loại T, 70oF = 0.830 mV
➢ Cộng đại số hai giá trị này, -3.369 nhiệt độ cao nhất.
trị mV (dựa vào mối nối chuẩn ở và 300oF (1490C) = 6.654 mV dựa
Điện áp đã được hiệu chỉnh có thể + 0.830 = -1.539 mV.
3. 31 0F) tương ứng với nhiệt độ vào nhiệt độ mối nối chuẩn ở 31oF. ➢ Có thể tạo ra những điện áp
được chuyển đổi trực tiếp sang ➢ Nội suy từ bảng, -1.539 mV = - cần kiểm tra không mong muốn nếu dây
nhiệt độ từ bảng tham chiếu đã cho. 98oF (-71oC). ➢ Bằng cách trừ đi, điện áp ngõ vào
không đồng nhất
mong muốn đã được hiệu chỉnh dựa
trên cơ sở nhiệt độ mối nối chuẩn ở
3. Giá trị điện áp ở bước 1 được
70oF là 6.654 – 0.830 = 5.814 mV.
trừ đại số đi điện áp ở bước 1.
Cặp nhiệt điện Cặp nhiệt điện Đo nhiệt độ - hệ số K của một số cặp nhiệt
Nhiệt ngẫu (can nhiệt) người ta dùng công thức sấp xỉ ◼ Quan hệ giữa sức điện động và nhiệt độ của một số cặp
ET = KT (tnóng - ttự do) = KT tnóng – KT ttự do nhiệt
ET: sức điện động nhiệt ngẫu

KT: độ nhạy của cặp nhiệt (µV/0C)
tnóng: nhiệt độ đầu nóng (nhiệt độ cần đo)
ttự do: nhiệt độ đầu tự do
12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 86 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 87

12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 85
Mạch đo Mạch đo Transmitter nhiệt ngẫu
◼ Ảnh hưởng của vôn kế Ảnh của dây nối ◼ Transmitter nhiệt ngẫu làm các nhiệm vụ sau:
◼ Sử dụng dây bù ❖ Biến điện áp thành dòng thống nhất 4-20 mA.
❖ Bù nhiệt độ đầu tự do của các nhiệt ngẫu khác nhau
Đầu vào của Transmitter là điện áp.
ET = KT .(tnóng - ttự do) = KT. tnóng - KT. ttự do
E T − K T .t tu do
t đo =
KT
ET – sức điện động nhiệt ngẫu
KT – độ nhạy của cặp nhiệt
tnóng – nhiệt độ đầu nóng (nhiệt độ cần đo)
ttự do – nhiệt độ đầu tự do
Transmitter nhiệt ngẫu 14.4 Dựa trên tính bán dẫn của transitor diode
◼ Ta phải chỉnh KT thế nào để cho 0 C ứng với 4 mA và Đo nhiệt độ dải đo: 0 - 1000 0C. Chọn cảm biến nhiệt cặp ◼ Cấu tạo: Làm từ các loại chất bán dẫn.
nhiệt độ định mức ứng với 20 mA. Muốn thế ta phải nhiệt điện: ◼ Nguyên lý:
khuếch đại và phải bố trí để có thể định hệ số khuếch đại ◼ Chọn loại cặp nhiệt? Nêu cấu tạo của cảm biến?
ứng với các KT mong muốn. Đặc tính của điốt phụ thuộc vào nhiệt độ. Dựa trên đặc tính
◼ Phân tích các yếu tố gây sai số ảnh hưởng đến mạch đo? đó người ta đo nhiệt độ hoặc sự thay đổi nhiệt độ của một
Cách loại trừ sai số của mạch đo đã chọn? đối tượng nào đó. Tuy nhiên sự phụ thuộc này không tuyến
◼ Tính toán đầu ra của cảm biến? tính và không đủ tin cậy, do vậy người ta sử
dụng tính chất phụ thuộc điện áp giữa bazo-emito của một
◼ Hãy chọn mạch chuẩn hóa tín hiệu và tính toán các giá trị tranzito vào nhiệt độ khi duy trì dòng điện colecto (Ic) không
của mạch chuẩn hóa để đưa tính hiệu đo vào ADC có dải đổi
điện áp 0-5V?
◼ Với yêu cầu đo được điện trở có ngưỡng nhạy tối thiểu
0,50C, lựa chọn ADC. Biểu diễn giá trị 8000C dưới dạng
nhị phân theo số bit ADC đã chọn.
Sơ đồ nguyên lý của transmitter nhiệt ngẫu 7MC1932 của
Siemens
14.4 Dựa trên tính bán dẫn của transitor diode 14.4 Dựa trên tính bán dẫn của transitor diode 14.4 Dựa trên tính bán dẫn của transitor diode

14.4 Dựa trên tính bán dẫn của transitor diode 14.4 Dựa trên tính bán dẫn của transitor diode Đo không tiếp xúc
◼ Ưu điểm: Rẽ tiền, dễ chế tạo, độ nhạy cao, chống nhiễu
tốt, mạch xử lý đơn giản. ◼ Cảm biến nhiệt Bán Dẫn là những loại cảm biến được ◼ Phương pháp này sử dụng khi đo nhiệt độ bề mặt của vật
chế tạo từ những chất bán dẫn. Có các loại như Diode, ở xa, cao, khó tiếp cận, trong môi trường khắc nghiệt
◼ Khuyết điểm: Transistor, IC. (đường ống trên cao, nhiệt độ khu vực quá nóng và nguy
❖ Không chịu nhiệt độ cao, kém bền. ◼ Ta dễ dàng bắt gặp các cảm biến loại này dưới dạng hiểm đến tinh mạng.
❖ Chế tạo từ các thành phần bán dẫn nên cảm biến diode, các loại IC như: LM35, LM335, LM45. ❖ Đo bằng hồng ngoại
nhiệt Bán Dẫn kém bền, không chịu nhiệt độ cao, độ ❖ Hỏa quang kế
ẩm, va đập, hóa chất có tính ăn mòn
❖ Cảm biến bán dẫn mỗi loại chỉ tuyến tính trong một
giới hạn nào đó, ngoài dải này cảm biến sẽ mất tác
dụng
◼ Thường dùng: Đo nhiệt độ không khí, dùng trong các thiết
bị đo, bảo vệ các mạch điện tử.
◼ Dải đo: -50 <150 D.C.
14.5 Đo bằng hồng ngoại 14.5 Đo bằng hồng ngoại 14.5 Đo bằng hồng ngoại
◼ Nhiệt kế hồng ngọai (IRT) cơ bản gồm có 4 thành phần: ◼ Công nghệ hồng ngoại dùng các bước sóng từ 0.7µm - 14µm, các
bước sóng lớn hơn thì năng lượng quá thấp, cảm biến hồng ngoại
❖ Ống dẫn sóng (waveguide) để thu gom năng lượng không thể nhận ra được
phát ra từ bia (target) ◼ Bất kể một vật nào có nhiệt độ trên -273oC đều phát ra bức xạ điện
tử, theo định luật Flanck
❖ Cảm biến hỏa nhiệt kế (Pysoelectric sensor) có tác
dụng chuyển đổi năng lượng sang tín hiệu điện ε = h.f = h.1/T = h.1/(c. λ) .
❖ Với: ε = Mức năng lượng, h = hằng số Flanck, f = tần số, c = vận
❖ Bộ điều chỉnh độ nhạy (reference sensor) để phối hợp tốc ánh sáng, λ = bước
phép đo của thiết bị hồng ngọai với chỉ số bức xạ của
◼ Cảm biến hồng ngoại sẽ đo mức năng lượng của vật, từ đó sẽ tính
vật thể được đo. toán ra nhiệt độ.
❖ Một mạch cảm biến bù nhiệt (heater equalizer) để đảm ◼ Mỗi cảm biến hồng ngoại chỉ nhạy với một khoảng bước sóng nhất
bảo sự thay đổi nhiệt độ phía bên trong thiết bị định. Khi chọn đúng loại cảm biến phù hợp vừa cho kết quả đo chính
xác hơn cũng như tiết kiệm chi phí.
◼ Cảm biến hồng ngọai là một cảm biến hỏa điện (pyroelectric
sensor) theo sau là bộ chuyển đổi dòng sang áp
14.6 Hỏa quang kế 14.6 Hỏa quang kế 14.6 Hỏa quang kế

Nguyên lý Nguyên lý Những định luật cơ sở về bức xạ nhiệt
◼ Qúa trình trao đổi nhiệt giữa các vật có thể diễn ra dưới hình thức
◼ Một vật bức xạ một lượng nhiệt là Q (W) => mật độ bức ◼ Định luật Planck:
bức xạ nhiệt, không cần các vật đó trực tiếp tiếp xúc với nhau. Bức
xạ nhiệt chính là sự truyền nội năng của vật bức xạ đi bằng sóng điện xạ toàn phần E (là năng lượng bức xạ qua một đơn vị Đối với vật đen tuyệt đối thì quan hệ Eoλ và T bằng công
từ diện tích) thức : C1 C 1 = 0.370−15 W.m 2
◼ Bất kỳ một vật nào sau khi nhận nhiệt thì cũng có một phần nhiệt E=
dQ
(
W / m2 ) E0  = ; −2
 5   e − 1 C 1 = 1.438 m.K
C2
năng chuyển đổi thành năng lượng bức xạ, số lượng được chuyển đổi dF T
◼ Cường độ bức xạ đơn sắc :
đó có quan hệ với nhiệt độ  
◼ Vậy từ năng lượng bức xạ người ta sẽ biết được nhiệt độ của vật ◼ Định luật Stefan-Boltzman:
◼ Dụng cụ dựa vào tác dụng bức xạ nhiệt để đo nhiệt độ của vật gọi là
E =
dE
d
( W / m3 ) Cường độ bức xạ toàn phần của vật đen tuyệt đối liên hệ
hỏa kế bức xạ, chúng thường được dùng để đo nhiệt độ trên 600 0C . với nhiệt độ của nó bằng biểu thức
◼ Dựa vào năng lượng do một vật hấp thụ người ta có thể

biết được nhiệt độ của vật bức xạ nếu biết được các T4
quan hệ giữa chúng. E0 =  E0  d  = C0 ; C0 = 5.67 ( W / m 2 .K 4 )
0
100
14.6 Hỏa quang kế 14.6 Hỏa quang kế Hỏa kế quang học
Những định luật cơ sở về bức xạ nhiệt ◼ Trong công nghiệp khi nhiệt độ đo cao (trên 1600 C) ta ◼ Hỏa kế quang học/ súng bắn nhiệt độ (Optical Pyrometer) Hỏa kế
dùng hỏa quang kế. Hỏa quang kế chia làm 3 loại là: quang học chế tạo dựa trên định luật Plăng:
◼ Định luật chuyển định của Wiên
❖ Hỏa quang kế bức xạ. T = f (E)
Khi vật nhiệt độ T có cường độ bức xạ lớn nhất thì sóng λmax (Stefan-Boltzman)
C1 C 1 = 0.370−15 W.m 2
sẽ quan hệ với nhiệt độ theo biểu thức : ❖ Hỏa quang kế quang học. T = f ( E0  ) (Planck) E0  = ; −2
 5   e − 1 C 1 = 1.438 m.K
C2
T
m  T = 2.898.10−3 ( m. 0 K ) ❖ Hỏa quang kế màu sắc. (Wiên)  

 E0 
T= f 1 
 E0
 2 
Hỏa kế quang học Hỏa kế quang học Hỏa kế quang học

◼ Hoả kế quang điện chế tạo dựa trên định luật Plăng ◼ Sơ đồ cấu tạo ◼ Khi đo, hướng hoả kế vào vật cần đo, ánh sáng từ vật
◼ Nguyên tắc đo nhiệt độ bằng hoả kế quang học là so bức xạ cần đo nhiệt độ (1) qua vật kính (2), kính lọc (3),
sánh cường độ sáng của vật cần đo và độ sáng của một và các vách ngăn (4), (6), kính lọc ánh sánh đỏ (7) tới thị
đèn mẫu ở trong cùng một bước sóng nhất định và theo kính (8) và mắt.
cùng một hướng. Khi độ sáng của chúng bằng nhau thì ◼ Bật công tắc K để cấp điện nung nóng dây tóc bóng đèn
nhiệt độ của chúng bằng nhau mẫu (5), điều chỉnh biến trở Rb để độ sáng của dây tóc
bóng đèn trùng với độ sáng của vật cần đo.
Sự phụ thuộc giữa I và λ không
đơn trị, do đó người ta thường cố
định bước sóng ở 0,65μm.
Sự phụ thuộc của cường độ ánh sáng vào

bước sóng và nhiệt độ
Hỏa kế quang học Hỏa kế quang học Hỏa kế quang học

1. Dây tóc bóng đèn sẫm màu, có nghĩa là nhiệt độ của nó thấp hơn ◼ Sai số do độ đen của vật đo . khi đó T đo được xác định bởi công Nguyên lý làm việc của hỏa kế quang học
nguồn nhiệt. thức:
◼ Bóng đèn sợi đốt vonfram sau khi đã được già hóa trong
2. Dây tóc sáng màu, có nghĩa là nhiệt độ của nó lớn hơn nguồn 1  1 khoảng 100 giờ với nhiệt độ 2000oC, sự phát sáng của
nhiệt. = ln đèn ổn định nếu sử dụng ở nhiệt độ 400 ÷ 1500oC.
Tdo C2 
3. Dây tóc biến mất, như vậy, cường độ ánh sáng giữa bóng đèn và ◼ Cường độ sáng có thể được điều chỉnh bằng cách thay
nguồn nhiệt là tương đương. Tại thời điểm này, dòng điện đo được đổi dòng đốt bằng điều chỉnh biến trở
chạy trong bóng đèn tham chiếu, giá trị của nó như là thước đo
◼ Công thức hiệu chỉnh: Tđo = Tđọc + ΔT
nhiệt độ của ánh sáng bức xạ trong nguồn nhiệt khi đã được hiệu
chuẩn. ◼ Giá trị của ΔT cho theo đồ thị.
Hỏa kế quang học Hỏa quang kế bức xạ Hỏa quang kế bức xạ
Ưu điểm; Nguyên lý của hỏa quang kế bức xạ ◼ Cấu tạo của bộ thu hỏa quang kế bức xạ
◼ 1. Sự lắp đặt đơn giản của thiết bị cho phép dễ dàng sử dụng nó. ◼ Một vật tuyệt đối đen khi đốt nóng lên bức xạ, năng lượng
2. Cung cấp độ chính xác rất cao với +/-5 độ C. 3. Không cần bất kỳ sự tiếp xúc giữa hỏa
◼ Thông thường có hai loại: hoả kế bức xạ có ống kính hội
◼
bức xạ là tụ, hoả kế bức xạ có kính phản xạ.
quang kế và đối tượng cần đo. Do đó, nó có thể được ứng dụng rộng rãi và đa dạng.
◼ 4. Đối với các đối tượng có kích thước lớn, vẫn có thể đo được bằng hỏa quang kế, khoảng E BX =σT .T 4
cách giữa chúng không phải là vấn đề. do đó thiết bị có thể được dùng để nhận biết từ xa. EBX - năng lượng bức xạ
◼ 5. Có thể đo đối tượng chuyển động.
◼ 6. Trong ngành điện thì nó rất hữu ích khi đo được nhiệt độ mà không cần tiếp xúc với các
σT - hệ số phát xạ tuyệt đối
đối tượng phát ra nhiệt như máy biến áp, thanh cái, dây dẫn phát nóng.bởi vì những đối
tượng này thường mang điện. nên rất nguy hiểm khi con người và thiết bị tiếp xúc trực tiếp
◼ Hỏa quang kế bức xạ gồm một bộ cặp nhiệt kích thước
với nó. nhỏ gồm 10 cặp nhiệt bố trí nối tiếp nhau thành hình rẻ
◼ 7. Thiết bị đo có thể được dùng cho những nơi có điều kiện vật lý khắc nghiệt. quạt. Ánh sáng hồng ngoại bức xạ, được thấu kính hoặc 1) Nguồn bức xạ 2) Thấu kính hội tụ 3) Gương phản xạ
Nhược điểm: gương lõm tập trung vào đúng đầu này của bộ biến đổi.
4) Bộ phân thu năng lượng 5) Dụng cụ đo thứ cấp
◼ 1. Phép đo dựa vào cường độ ánh sáng nên thiết bị chỉ có thể đo nhiệt độ thấp nhất là 700 Năng lượng ấy làm nóng cặp nhiệt và phát ra sức điện
độ C.
động nhiệt điện
◼ 2. Thiết bị không khả dụng để thu các giá trị liên tục của nhiệt độ tại khoảng nhỏ.
ET = KT . EBX = KT .σT .T4
Hỏa quang kế bức xạ Hỏa quang kế bức xạ Hỏa quang kế bức xạ

◼ Bộ phận thu năng lượng có thể là một vi nhiệt kế điện trở ◼ Khi đo nhiệt độ bằng hoả kế bức xạ sai số thường không ◼ Trong các hỏa quang kế, trước kia người ta phải bố trí hệ
hoặc là một tổ hợp cặp nhiệt, chúng phải thoả mãn các vượt quá 27oC, trong điều kiện: thống máy ngắm để cho ảnh thật của đối tượng trùng với
yêu cầu: ❖ Vật đo phải có độ den xấp xỉ bằng 1. tiêu điểm của bộ thu
+ Có thể làm việc bình thường trong khoảng nhiệt độ 100 - ❖ Tỉ lệ giữa đường kính vật bức xạ và khoảng cách đo ◼ Hiện nay cũng có những photo điốt hồng ngoại thay thế
150oC. (D/L) không nhỏ hơn 1/16. cho bộ thu của hỏa quang nói trên.. Ngày nay người ta
+ Phải có quán tính nhiệt đủ nhỏ và ổn định sau 3 - 5 giây. đặt một điốt lazer phát ra một chùm tia hẹp song song với
◼ Trong thực tế độ đen của vật đo e <1, khi đó trục của hỏa quang kế. Vòng tròn sáng của bộ phát lazer
+ Kích thước đủ nhỏ để tập trung năng lượng bức xạ vào chính và vùng ta đo nhiệt độ
đo. 1
Tdo = 4  Tdoc
Các cặp nhiệt (1) thường dùng cặp

crômen/côben mắc nối tiếp với ◼ Thông thường xác định theo công thức sau:
nhau. Hỏa quang kế bức xạ 566,
Các vệt đen (2) phủ bằng bột platin Tdo = Tdoc + T 568 của Fluke
Hỏa quang kế màu sắc Hỏa quang kế màu sắc TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI
◼ Bước sóng của ánh sáng phát ra càng giảm khi nhiệt độ VIỆN ĐIỆN
A Đối tượng đo
càng tăng (ở nhiệt độ thấp đối tượng phát ra ánh sáng
nhiệt độ
đỏ, nhiệt độ cao phát ra ánh xanh đến tím). So sánh
1 Vật kính
cường độ ánh sáng xanh và đỏ ta có thể suy ra nhiệt độ
2 Đĩa lọc xanh đỏ
của đối tượng. Ta lần lượt cho ánh sáng xanh và đỏ của
chùm sáng phát ra bởi đối tượng (thông qua hai bộ lọc 3 Mô tơ đồng bộ
xanh và đỏ). Cường độ ánh sáng xanh và đỏ được chia 4 Tế bào quang
cho nhau và tỷ số giữa hai cường độ ấy cho phép suy ra điện
nhiệt độ 5 Khuếch đại
6 Tự động chỉnh hệ
số khuếch đại
7 Lọc CẢM BIẾN VÀ XỬ LÝ TIN HIỆU
8 Khóa đổi nối Nguyễn Thị Huế
9 Logomet chia BM: Kĩ thuật đo và Tin học công nghiệp
dòng quang học

12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 121 đỏ, xanh
12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 122
Nội dung môn học Tài liệu tham khảo Cảm biến điện trở
❖ Chương 1: Tổng quan về cảm biến và Các mạch xử lý trong ➢ Sách: ◼ Cảm biến biến trở
đo lường ❖ Kĩ thuật đo lường các đại lượng điện tập 1,2- Phạm ◼ Cảm biến điện trở lực căng
❖ Chương 2:Chuyển đổi nhiệt điện Thượng Hàn, Nguyễn Trọng Quế…. ◼ Cảm biến nhiệt điện trở
❖ Chương 3: Chuyển đổi điện trở ❖ Ðo lường điện và các bộ cảm biến: Ng.V.Hoà và ◼ Cảm biến quang trở
❖ Chương 4: Cảm biến tĩnh điện (áp điện, điện dung) Hoàng Si Hồng

❖ Bài giảng kĩ thuật đo lường và cảm biến-Hoàng Sĩ
❖ Chương 6: Chuyển đổi điện tử và ion
Hồng.
❖ Chương 8: Chuyển đổi khác Ng.T.L.Huong, Lê Q. Huy
❖ Bài giảng MEMs ITIMS - BKHN
12/15/2023 2 12/15/2023 3 12/15/2023 4
3.1 Cảm biến biến trở 3.1 Cảm biến biến trở 3.1 Cảm biến biến trở
◼ Cấu tạo và nguyên lý làm việc ◼ Cấu tạo và nguyên lý làm việc ◼ Cấu tạo và nguyên lý làm việc
+ Cảm biến gồm một điện trở cố định Rn, trên đó có ❖ Điện trở dạng dây cuộn: được chế tạo từ các hợp kim
một tiếp xúc điện có thể di chuyển được gọi là con Ni - Cr, Ni - Cu , Ni - Cr - Fe, Ag - Pd quấn thành vòng
chạy. xoắn dạng lò xo trên lõi cách điện (bằng thuỷ tinh, gốm
hoặc nhựa), giữa các vòng dây cách điện bằng emay
+ Con chạy được liên kết cơ học với vật chuyển động hoặc lớp oxyt bề mặt.
cần khảo sát.
❖ Điện trở dạng băng dẫn: được chế tạo bằng chất dẻo
+ Giá trị của điện trở Rx giữa con chạy và một đầu của trộn bột dẫn điện là cacbon hoặc kim loại cỡ hạt ~10-2
điện trở Rn là hàm phụ thuộc vào vị trí con chạy, m.
cũng chính là vị trí của vật chuyển động.
12/15/2023 5 6 Friday, December 7

15, 2023
◼ Các đặc trưng
◼ Cấu tạo và nguyên lý làm việc ❖ Độ phân giải
❖ Khoảng chạy có ích của con chạy:
✓ Độ phân giải của điện trở dạng dây phụ thuộc vào hình
Thông thường ở đầu hoặc cuối đường chạy của con chạy tỉ dạng và đường kính của dây điện trở và vào khoảng
Rx, l 1 1
2 số Rx/Rn không ổn định. Khoảng chạy có ích là khoảng ~10μm
2 1 Mm
 Rm 2 thay đổi của x mà trong khoảng đó Rx là hàm tuyến tính ✓ Độ phân giải của các điện trở kiểu băng dẫn phụ thuộc
Rm, , Lm của dịch chuyển vào kích thước hạt, thường vào cỡ ~ 0,1 μm
R
Rm
R ❖ Năng suất phân giải: ❖ Thời gian sống:
Đối với điện trở dây cuốn, độ phân giải xác định bởi lượng Thời gian sống của cảm biến điện trở là số lần sử dụng
Đo dịch chuyển Đo dịch chuyển Đo dịch chuyển dịch chuyển cực đại cần thiết để đưa con chạy từ vị trí của cảm biến điện trở. Nguyên nhân gây ra hư hỏng và
thẳng quay  < 360o quay  > 360o tiếp xúc hiện tại sang vị trí tiếp xúc lân cận tiếp theo. Giả hạn chế thời gian sống của cảm biến điện trở là sự mài
sử cuộn dây có n vòng dây, có thể phân biệt 2n-2 vị trí mòn con chạy và dây điện trở trong quá trình làm việc.
l   khác nhau về điện của con chạy: Thường thời gian sống của cảm biến điện trở dạng dây
Rx = Rm R = Rm R = Rm
L m m dẫn vào cỡ 106 lần, điện kế dạng băng dẫn vào cỡ 107 -
108 lần.
Friday, December 8 9 10
15, 2023
◼ Ưu điểm ◼ Ứng dụng đo góc ◼ Ứng dụng đo mức
❖ Rẻ tiền
❖ Cấu tạo đơn giản, dễ sử dụng
❖ Đo được khoảng dịch chuyển lớn
◼ Nhược điểm
❖ Bị ảnh hưởng của bụi và ẩm
❖ Tuổi thọ kém, mau bị hao mòn
Friday, December 11 12/15/2023 12 12/15/2023 13

15, 2023
3.1 Cảm biến biến trở 3.1 Cảm biến biến trở 3.2 Cảm biến điện trở lực căng
◼ Ứng dụng đo lực ◼ Phản hồi vị trí van
12/15/2023 14 12/15/2023 15 12/15/2023 16
3.2 Cảm biến điện trở lực căng 3.2 Cảm biến điện trở lực căng 3.2 Cảm biến điện trở lực căng
Nguyên lý làm việc: dựa trên hiệu ứng tenzô: khi dây dẫn Điện trở lực căng (tenzo) ◼ Điện trở thay đổi tỷ lệ với lực tác động
chịu biến dạng thì điện trở của nó thay đổi, còn gọi là
chuyển đổi điện trở tenzô
◼ Yêu cầu của vật liệu chế tạo tenzo là hệ số nhạy cảm lớn.
Các vật liệu thường dùng làm tenzo là constantan
◼ K hệ số phụ thuộc vào vật liệu với constantan k=2 (60%Cu+40%Ni), niken…
3.2 Cảm biến điện trở lực căng Các chuyển đổi điện trở Chuyển đổi điện trở lực căng.
Cấu tạo: Điện trở lực căng (Strain gauge - tenzo) Chuyển đổi điện trở lực căng. Điện trở lực căng dây mảnh:
◼ Strain gauge là thành phần cấu tạo chính của loadcell, nó ◼ Gồm có 3 loại chính:
bao gồm một sợi dây kim loại mảnh đặt trên một tấm ❖ Chuyển đổi điện trở lực căng dây mảnh,
cách điện đàn hồi. Đế mỏng bằng vật liệu cách điện có độ
bền cao ❖ Chuyển đổi điện trở lực căng lá mỏng
❖ Chuyển đổi điện trở lực căng màng mỏng ◼ 1 - Tấm giấy mỏng bền
◼ Để tăng chiều dài của dây điện trở strain gauge, người ta
đặt chúng theo hình ziczac, mục đích là để tăng độ biến ◼ 2 - Sợi dây điện trở (hình răng lược có đường kính từ
dạng khi bị lực tác dụng qua đó tăng độ chính xác của 0,02-0,03mm; chế tạo bằng constantan, nicrôm, hợp kim
thiết bị cảm biến sử dụng strain gauge. platin-iriđi...).
◼ 3 - Hai đầu dây được hàn với lá đồng dùng để nối với
mạch đo.
Chiều dài l0 là chiều dài tác dụng của chuyển đổi.
12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 20 12/15/2023 21 12/15/2023 22
Chuyển đổi điện trở lực căng. 3.2 Cảm biến điện trở lực căng 3.2 Cảm biến điện trở lực căng
◼ Chuyển đổi lực căng kiểu lá mỏng: được chế tạo từ ◼ Đế mỏng bằng vật liệu cách điện có độ bền cao. ◼ Dây mảnh:
một lá kim loại mỏng với chiều dày 0,004 ÷ 0,012mm. ◼ Dây dẫn hay màng bằng constantan, nicrom, platin-iridi. ❖ Có thể chế tạo kích thước lớn.
Nhờ phương pháp quang khắc hình dáng của chuyển đổi
◼ Dây và màng được cố định trên đế. ❖ Giá thành rẻ.
được tạo thành khác nhau
❖ Điện trở ngang lớn
◼ Chuyển đổi lực căng kiểu màng mỏng: được chế tạo ◼ Các cực đấu tín hiệu.
bằng cách cho bốc hơi kim loại lên một khung với hình ❖ Tiếp xúc nhỏ nên truyền biến dạng kém.
◼ Có thể dùng vật liệu bán dẫn (K cỡ vài trăm) nhưng có độ
dáng định trước. bền cơ học kém. ❖ Tiếp xúc nhỏ nên truyền nhiệt kém
❖ Ưu điểm của hai kiểu chuyển đổi trên là điện trở lớn, ◼ Vật liệu: có độ nhậy cao, hệ số nhiệt nhỏ, điện trở xuất ◼ Màng mỏng:
tăng được độ nhạy, kích thước giảm lớn. ❖ Kích thước nhỏ và có thể chế tạo hình dạng bất kỳ.
❖ Điện trở ngang nhỏ.
❖ Tiếp xúc tốt nên truyền biến dạng và nhiệt tốt.
❖ Độ đồng đều cao
12/15/2023 23 12/15/2023 24 12/15/2023 25
3.2 Cảm biến điện trở lực căng 3.2 Cảm biến điện trở lực căng Loadcell
◼ Hầu hết các nhà sản xuất strain gauge cung cấp nhiều ◼ Ứng dụng ◼ Loadcell được cấu tạo từ 3 bộ phận chính:
loại strain gauge khác nhau để phù hợp với các sản ❖ Đo lực (loadcell) ❖4 điện trở Tenzo: Được chế tạo từ các vật liệu đặc biệt
phẩm Loadcell khác nhau, các ứng dụng trong nghiên chúng được cắt chính xác theo hình lưới. Tất cả các
cứu và công nghiệp dự án khác nhau ❖ Đo áp suất
điện trở Tenzo đều có các thông số giống nhau
❖ Đo gia tốc,
❖ Một lõi thép đặc biệt: Lõi thép có cấu tạo hình ống
❖… được chế tạo đặc biệt đảm bảo đặc tính co giãn, đàn
hồi tuyến tính và độ mỏi rất nhỏ.
❖ Vỏ bao bên ngoài: ở hai đầu ống thép gắn các vỏ phần
tĩnh và phần động, vỏ có thể được chế tạo bằng hợp
kim có độ chịu nhiệt và chịu mài mòn cao.
12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 26 12/15/2023 27 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 28

◼ Tế bào tải ◼ Tế bào tải (loadcell) Tế bào tải (loadcell)
(loadcell) ◼ Tế bào tải là một kết cấu đàn hồi bằng thép chất lượng
cao, đảm bảo giải biến dạng đàn hồi rộng
◼ Biến dạng được tính:
F
ε1 =
SE
F: lực tác động lên loadcell;
S: tiết diện phần tử đàn hồi;
E: modul đàn hồi thép làm loadcell.
12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 29 12/15/2023 30 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 31
◼ Cảm biến điện trở lực căng được nuôi cấy trên phần tử ◼ Khi chế tạo xong, nhà chế tạo cho ta độ nhạy của loadcell LOADCELL ĐƯỢC SẢN XUẤT NHƯ THẾ NÀO ?
đàn hồi. Nó gồm 4 điện trở, 2 điện trở dọc là điện trở tác là: ◼ Gia công thân Loadcell với một hình dạng phức tạp để tối
dụng, 2 điện trở ngang là điện trở bù nhiệt độ, 4 điện trở
này được nối thành cầu hai nhánh hoạt động
ΔU kε1
U CC
=
2
( mV
V ) ưu các vị trí biến dạng để dán các điện trở strain gauge
❖ Kiểm soát độ nhám bề mặt các vị trí dán strain gauge
U ΔR U ◼ Như vậy, nếu độ nhạy loadcell là 2mV/V thì khi cung cấp trên thân loadcell thông qua đánh bóng bề mặt
ΔU = CC = CC kε1
2 R 2 điện áp 12V, điện áp định mức ở đường chéo cầu là: 12 x ❖ Mục đích là tăng cường độ kết dính của strain gauge
UCC: điện áp cung cấp cho cầu; 2 = 24mV. với thân loadcell.
ΔR R : biến thiên điện trở do biến dạng của phần tử đàn
hồi;
 1: biến dạng tính theo công thức trên;
k: độ nhạy của cảm biến điện trở lực căng.
LOADCELL ĐƯỢC SẢN XUẤT NHƯ THẾ NÀO ? LOADCELL ĐƯỢC SẢN XUẤT NHƯ THẾ NÀO ? LOADCELL ĐƯỢC SẢN XUẤT NHƯ THẾ NÀO ?
◼ Nhúng keo và dán các tấm strain gauge lên thân ◼ Tăng cường sự kết dính giữa tầm strain gauge và ◼ Hiệu chỉnh tải trọng các vị trí khác nhau của loadcell:
loadcell thân loadcell:Một khuôn ép được sử dụng để tạo áp lực Loadcell được gắn vào một khung bàn cân.
giữa các strain gauge với thân Loadcell. Khuôn được đặt Thân Loadcell mài giũa, điều chỉnh cho đến khi số hiển
trong một nhiệt độ cao để tăng cường tác dụng kết dính thị là giống nhau khi có cùng 1 tải trọng đặt lên bất kì góc
của lớp keo dính. bàn cân nào.

LOADCELL ĐƯỢC SẢN XUẤT NHƯ THẾ NÀO ? LOADCELL ĐƯỢC SẢN XUẤT NHƯ THẾ NÀO ? ◼ Tùy theo cấu tạo loadcell
◼ Kiểm tra tín hiệu loadcell theo nhiệt độ thay đổi: ◼ Phủ silicon bảo vệ: Bề mặt dán các strangauge và mạch và vị trí cần khảo sat ta
điện trở của loadcell sẽ được phủ một lớp silicon đặc biệt có thể đặt tenzo cho hợp
❖ Loadcell được đặt trong một buồng kín và nhiệt độ lí theo đúng nguyên tắc
xung quanh được điều chỉnh trong 1 phạm vi nhất bảo vệ straingauge, mạch điện trở và hệ thống dây điện
từ khỏi tác động của độ ẩm môi trường. và có thể bù được nhiệt
định, điện áp tín hiệu ngõ ra của loadcell được đo ở độ và đạt sai số nhỏ.
nhiệt độ thấp và nhiệt độ cao
❖ Nếu kết quả tín hiệu ngõ ra
của loadcell không đạt yêu
cầu kĩ thuật, một điện trở
bù trừ nhiệt độ sẽ được tích
hợp vào mạch cầu
straingauge.
◼ Loadcell ◼ Phân loại: ◼ Các hình dạng loadcell
bao Loại thanh uốn
gồm Loại đơn điểm
các loại
cơ bản
5-500 Kg
1-1000 Kg
Loại nén
Loại S
(Đo lực kéo và nén)
Loại thanh trượt

5,000-60,000 Kg
50 – 5000 Kg
500-5000 Kg
12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 41 Friday, December 42 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 43

15, 2023
◼ Phân loại: ◼ Cách lặp đặt loadcell cân ◼ Cách lặp đặt loadcell cân
Friday, December 44 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 45 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 46

15, 2023
Cân 3.2 Cảm biến điện trở lực căng 3.2 Cảm biến điện trở lực căng
◼ Trong công nghiệp, để đo trọng lượng người ta sử dụng Mạch đo ◼ Nối giữa thiết bị đo với mạch cầu:
rất nhiều loại cân như cân trọng tải, cân băng tải. ◼ Vậy điện áp ra (Ura) sẽ tỷ lệ với lực tác động (trọng ❖ Cầu 4 dây.
◼ Cân được chia làm 3 bộ phận: lượng) lên loadcell, đưa Ura khuếch đại rồi đưa vào ADC ❖ Cầu 6 dây.
❖ Bộ phận cơ khí tạo thành cân như kết cấu dầm, sàn, và đưa vào VXL -> Hiển thị kết quả
công son, kết cấu bộ phận đàn hồi trên băng tải v.v…
❖ Tế bào cân hay tế bào mang tải (loadcell).
❖ Hệ thống đo lường và gia công số liệu.
◼ Ở đây, chúng ta không xét đến phần kết cấu cơ khí của
cân mà chỉ xét tới loadcell và hệ thống đo lường và gia
công số liệu
12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 47 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 48 12/15/2023 49
3.2 Cảm biến điện trở lực căng 3.2 Cảm biến điện trở lực căng
◼ Một số ứng dụng
◼ Với 1 cân điện tử bạn có thể sử dụng 4 loadcell đặt ở 4
góc của bàn cân, 4 tín hiệu này được đưa vào một bộ
cộng điện áp trước khi đưa vào ADC
Cảm biến điện trở lực căng
12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 50 12/15/2023 51 52 Friday, December 15, 2023
3.2 Cảm biến điện trở lực căng 3.2 Cảm biến điện trở lực căng Cảm biến điện trở lực căng
◼ Ứng dụng
◼ Để đo 0-50 kg người ta sử dụng một loadcell có độ nhạy ◼ Ứng dụng điện trở lực căng đo áp suất
cầu là 2 mV/V. Biết điện áp cung cấp là 10V. Chọn loại
loadcell và vẽ sơ đồ mạch mắc cảm biến
❖ Tính địên áp ra khi có một khối lượng 8 kg
❖ Hãy chọn mạch chuẩn hóa tín hiệu và tính toán các giá
trị điện trở để đưa tính hiệu đo vào ADC có dải điện áp
0-3.3V?
❖ Với yêu cầu đo được điện trở có ngưỡng nhạy
0,003kg, lựa chọn ADC. Tính khối lượng của vật khi
đầu ra 1010 1010 1111
❖ Nếu ta dùng ADC 10 bít thì độ phân dải của thiết bị là
bao nhiêu?
53 Friday, December 15, 12/15/2023 54 12/15/2023 55

2023
Ứng dụng điện trở lực căng đo áp suất Cảm biến áp suất Cảm biến áp suất
b. Cảm biến áp suất kiểu điện trở màng chắn
✓ Cấu tạo:
12/15/2023 56
Ứng dụng điện trở lực căng đo gia tốc TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI Nội dung môn học
VIỆN ĐIỆN
❖ Chương 1: Tổng quan về cảm biến và Các mạch xử lý trong
đo lường
❖ Chương 2:Chuyển đổi nhiệt điện
❖ Chương 3: Chuyển đổi điện trở
❖ Chương 4: Cảm biến tĩnh điện (áp điện, điện dung)
❖ Chương 5: Chuyển đổi điện từ
CẢM BIẾN VÀ XỬ LÝ TIN HIỆU ❖ Chương 8: Chuyển đổi khác
Nguyễn Thị Huế
12/15/2023 59 12/15/2023 2
Tài liệu tham khảo Cảm biến tĩnh điện Cảm biến tĩnh điện
➢ Sách: ◼ Cấu tạo và nguyên lý làm việc - Cấu tạo của tụ điện trụ:
❖ Kĩ thuật đo lường các đại lượng điện tập 1,2- Phạm o Là tụ điện có hai bản tụ có 2 mặt trụ
Thượng Hàn, Nguyễn Trọng Quế…. đồng trục, bán kính R1 & R2 gần
bằng nhay. Chiều cao l.
❖ Ðo lường điện và các bộ cảm biến: Ng.V.Hoà và
o Điện dung của tụ được tính theo
Hoàng Si Hồng
công thức:
➢ Bài giảng và website:
❖ Bài giảng kĩ thuật đo lường và cảm biến-Hoàng Sĩ 2 0l
C=
Hồng. R 
ln  2 
❖ Bài giảng Cảm biến và kỹ thuật đo: P.T.N.Yến,  R1 
q 1 V Với :ε – hằng số điện môi giữa 2 bản tụ
❖ Bài giảng MEMs ITIMS - BKHN C= , Zc = =
V jC i ε0 – hằng số điện môi không khí
12/15/2023 3 12/15/2023 4 5 Viện Điện – Trường Đại học Bách khoa Hà nội 12/15/2023
Cảm biến tĩnh điện Cảm biến tĩnh điện Cảm biến tĩnh điện
- Cấu tạo của tụ điện phẳng: ◼ Thay đổi tiết diện ◼ Thay đổi tiết diện
o Là tụ điện có 2 bản tụ là hai tấm ❖ Ứng dụng bài toán đo góc
kím loại phẳng có cùng diện tích S,
đặt song song với nhau và cách  R 2
nhau một khoảng d rất nhỏ so với C =  0
kích thước tụ. d
o Điện dung của tụ được tính theo
❖ Với
công thức:
S ➢R là bán kính
C =  0
d ➢ Alpha là góc lệch
Với :ε – hằng số điện môi giữa 2 bản tụ

ε0 – hằng số điện môi của không khí
Viện Điện – Trường Đại học Bách khoa Hà nội 6 7 8
12/15/2023
( A − wx )
◼ Thay đổi tiết diện ◼ Thay đổi tiết diện ◼ Thay đổi khoảng cách các bản cực
C =  0 A
d C =  0
x
2 0l 2 0 ( H − x)
C= =
R  R  dC A
ln  2  ln  2  dC dx
 1
R  R1  =  0 2 =−
12/15/2023 12/15/2023 12/15/2023
x x C x
9 10 11
- Điện môi thay đổi - Điện môi thay đổi ◼ Điện môi thay đổi
2 0
C=  H + h (  − 1) 
 R2  
ln  
 R1 
S
C =  0 ( A − A) +   ( A) =  0 w  l −  −  x
d C =  0 2
d
0 1
d d
( 2 ( 2 1) )
12 13 12/15/2023 14
Cảm biến tĩnh điện Cảm biến tĩnh điện- Mạch đo Cảm biến tĩnh điện- Mạch đo
◼ Cảm biến loại vi sai ▪ Mạch cầu ◼ Nếu là dòng điện xoay chiều (f càng cao) thì dung kháng
XC càng thấp. Như vậy dòng điện có tần số càng cao,
qua tụ điện càng dễ. Người ta dùng tụ điện để phân chia
điện áp giống như điện trở nhưng chỉ dùng ở mạch điện
xoay chiều
U cc C
U ra
2 C
15 16 12/15/2023 17
Cảm biến tĩnh điện- Mạch đo Cảm biến tĩnh điện- Mạch đo Cảm biến tĩnh điện- Mạch đo
◼ Mạch cầu ◼ Mạch khuếch đại ◼ Mạch phát tần
❖ Máy phát L-C
❖ Cầu Wein (R-C)
❖ Mạch đa hài
Cx
U ra U cc
C0
12/15/2023 18 12/15/2023 19 12/15/2023 20
Cảm biến tĩnh điện- Mạch đo Cảm biến tĩnh điện- Mạch đo Cảm biến tĩnh điện- Ứng dụng
◼ Mạch phát tần R-C ◼ Mạch đo ◼ Đo mức chất lỏng hoặc hạt mịn
Hằng số thời gian của mạch dao động RC T RX C
2 0
C=  H + h (  − 1) 
 R2  
ln  
 R1 
0w
t /T 1
C=
d
( 2 H − (  2 − 1) h )
UI E.e ,t T UT E.e
R2 1
U II E. E.e
( R1 R 2)
12/15/2023 21 12/15/2023 22 12/15/2023 23
Cảm biến tĩnh điện- Ứng dụng Cảm biến tĩnh điện- Ứng dụng Cảm biến tĩnh điện- Ứng dụng
◼ Đo mức chất lỏng hoặc hạt mịn ◼ Đo mức Áp suất điện dung
Gồm 2 bản cực, 1 bản cực cố định, 1 bản cực là
màn chắn chịu tác động của áp suất
Đo áp suất dựa vào điện dung của tụ điện
12/15/2023 24 12/15/2023 25
Áp suất điện dung ◼ Áp suất điện dung ◼ Đo gia tốc

Đo vi sai F = (P1 - P2)A.
12/15/2023 28 12/15/2023 29
◼ Đo gia tốc ◼ Đo gia tốc ◼ Đo gia tốc
12/15/2023 30 12/15/2023 31 12/15/2023 32

◼ Đo gia tốc ◼ Đo độ ẩm ◼ Màn hình cảm ứng
12/15/2023 33 12/15/2023 34 12/15/2023 35
Cảm biến tĩnh điện- Ứng dụng Cảm biến tiệm cận điện dung Cảm biến tiệm cận loại điện dung
◼ Màn hình cảm ứng ◼ Cảm biến tiệm cận điện dung khi có mặt của đối tượng ◼ Cấu tạo và hoạt động
làm thay đổi điện dung C của bản cực. ❖ Bề mặt của cảm biến điện dung có 2 bản cực kim loại có
◼ Cảm biến tiệm dung gồm 4 bộ phận chính: Cảm biến (các dạng đồng tâm.
bản cực cách điện); mạch dao động; bộ phát hiện; mạch ❖ Khi đối tượng đến gần cảm biến, làm thay đổi điện dung
đầu ra. Tuy nhiên cãm biến dung không đòi hỏi đối tượng trong mạch dao động và mạch dao động bắt đầu hoạt động.
làm bằng kim loại. Đối tượng phát hiện là chất lỏng, vật ❖ Mạch kích đo biên độ dao động và kích ngõ ra cảm biến
liệu phi kim, thuỷ tinh, nhựa. Tốc độ chuyển mạch tương thay đổi trạng thái khi biên độ đến mức chỉ định.
đối nhanh, có thể phát hiện đối tượng có kích thước nhỏ,
phạm vi cảm nhận lớn.
◼ Cảm biến điện dung chịu ảnh hưởng bởi bụi và độ ẩm.
Cảm biến điện dung có vùng cảm nhận lớn hơn vùng
cảm nhận của cảm biến điện cảm
12/15/2023
Friday, December 38
36 15, 2023
Cảm biến tiệm cận loại điện dung Cảm biến tiệm cận loại điện dung Cảm biến tiệm cận loại điện dung
◼ Ưu điểm
❖ Phát hiện được mọi vật liệu
❖ Ổn định và tốc độ cao
❖ Độ phân giải tốt
❖ Giá thấp
❖ Ảnh hưởng bởi nhiệt độ và độ ẩm
❖ Khó thiết kế
❖ Độ tuyến tính không cao
❖ Không chính xác bằng cảm biến loại cảm ứng
12/15/2023 39 12/15/2023 40 Friday, December 41

15, 2023
Cảm biến tiệm cận loại điện dung Ứng dụng cảm biến tiệm cận Cảm biến áp điện
◼ Quy ước tô màu phổ biến cho ◼ Hiệu ứng áp điện
các công tắc lân cận điện tử là
❖ Hiệu ứng áp điện thuận: vật liệu khi chịu tác động của
❖ Màu nâu đối với nguồn điện
+V, lực cơ học biến thiên thì trên bề mặt của nó xuất hiện
các điện tích, khi lực ngừng thì điện tích cũng mất.
❖ Màu xanh lam đối với mặt đất
(- cực của nguồn điện) ❖ Hiệu ứng áp điện nghịch: điện trường gây ra sự biến
❖ Màu đen đối với tín hiệu đầu dạng cơ học của vật liệu.
ra được chuyển đổi.
E2K-C là sensor tiệm cận công suất lớn có thể phát hiện được
chất lỏng bên trong hộp hay không (phát hiện độ rỗng của Hộp).
12/15/2023 42 43 12/15/2023 44
Cảm biến áp điện Cảm biến áp điện Cảm biến áp điện

◼ Cấu tạo và nguyên lý hoạt động ◼ Cấu tạo và vật liệu của cảm biến áp điện
❖ Nguyên lý hoạt động:
✓ Dưới tác dụng của lực cơ học, tấm áp điện bị biến
dạng, làm xuất hiện trên hai bản cực các điện tích
trái dấu. Hiệu điện thế xuất hiện giữa hai bản cực
(V) tỉ lệ với lực tác dụng (F).
F
+Q +
++++++++++ V~ F
- - - - - - - - - -
-Q
−
F
45 Friday, December 15, 2023 12/15/2023 46 12/15/2023 47

◼ Đối với thạch anh có nhiều cách chế tạo khác nhau tùy ◼ Các dạng biến dạng cơ bản: ◼ Cách ghép các phần tử áp điện thành bộ:
theo yêu cầu :
F +
+ +−
❖ Vòng đệm thạch anh : chỉ nhạy với lực nén tác dụng F F
V~ F V~ F +−
dọc theo trục .
− − +−
❖ Cảm biến thạch anh nhiều thành phần : đối với loại F b) Theo chiều ngang
+ − +−
+−
a) Theo chiều dọc a) Hai phần tử song song −
này chỉ có tác dụng với 1 hướng xác định của lực tuy Cb =2C
+
+−
nhiên độ nhạy khá cao nên được sử dụng trong các +−
F +− +−
trường họp đặc biệt. + −
+
−
+ V~ F
❖ Cảm biến có độ nhạy cao : dung để đo các lực nhỏ có F
F V~ F +− + −
cấo tạo theo cấu trúc dạng dầm hoặc dạng xà . Khi có
−
lực tác dụng thì sẽ có 1 tấm co lại và 1 tấm khác giản b) Hai phần tử nối tiếp c) Nhiều phần tử song song
F
ra. Thường dung để đo các lực cắt c) Cắt theo bề dày d) Cắt theo bề mặt
Cb =1/2C, Rb =2R, Vb = 2V
12/15/2023 48 Friday, December 15, 2023 49 Friday, December 15, 2023 50

Sơ đồ khuếch đại điện tích
Sơ đồ tương đương của cảm biến: Sơ đồ khuếch đại điện áp
Bộ chuyển đổi Chuẩn độ nhạy và Bộ Bộ khuếch đại
điện tích khuếch đại vi sai lọc đầu ra
Đầu vào (điện tích) Đầu ra (điện áp)
dQ dQ RS CS
Rg Cg dQ a) Sơ đồ khối bộ chuyển đổi điện tích – điện áp
dt dt dQ Req Ceq Vm
RS CS Vm Re Ce dt Cr
dt
+Q −Q
a) Trong dải thông có ích b) Nối với mạch ngoài

1 1 1 Cảm biến Sơ đồ tương đương
= + ZV của khuếch
Rg - Điện trở trong của cảm biến 1 1 1
R S R g R1 và cáp nối đại điện áp = + dQ RS CS V V0
Cg – Điện dung của cảm biến R eq R S R e
C S = C g + C1 C eq = C S + C e
dt
R1 và C1: điện trở và tụ tương đương với trở kháng cáp dẫn Q R eq C eq P
Điện áp ở cửa vào của bộ khuếch đại: Vm = .
C q 1 + R eq C eq P b) Sơ đồ ghép nối cảm biến và bộ chuyển đổi điện tích - điện áp
Friday, December 15, 2023 51 Friday, December 15, 2023 52 Friday, December 15, 2023 53

◼ Ứng dụng của áp điện ◼ Ứng dụng của cảm biến áp điện
◼ Trong mạch khuếch đại điện tích, sự di chuyển của điện
tích ở lối vào sẽ gây nên ở lối ra một điện áp tỉ lệ với
điện tích đầu vào. Bộ khuếch đại điện tích gồm một bộ
biến đổi điện tích - điện áp đầu vào, một tầng chuẩn độ
nhạy, một bộ lọc trung gian và một số tầng khuếch đại ở
đầu ra để cung cấp tín hiệu ra .
Friday, December 15, 2023 54 12/15/2023 55 12/15/2023 56
Ứng dụng của cảm biến áp điện Ứng dụng của cảm biến áp điện Ứng dụng của cảm biến áp điện
◼ Cảm biến đo gia tốc ◼ Đo áp suất dựa trên nguyên lý áp điện: ◼ Đo lực
❖ Dựa vào hiệu ứng áp điện
❖ Phù hợp cho đo áp suất động
12/15/2023 57 12/15/2023 59
◼ Cảm biến thạch anh kiểu vòng đệm đo lực ◼ Cảm biến đo lực
Các vòng đệm:
CB thạch anh kiểu vòng đệm
◼ Dynamic Force
Nhiều vòng đệm: 1050C là cảm
◼ Phiến cắt từ đơn tinh thể thạch anh, nhạy với lực nén
dọc theo chiều trục. biến tích cực và
là một sản phẩm
2 3
1. Các vòng đệm của hãng A-
1 Tech
2. Các tấm đế
3. Đầu nối dây
a) Các phiến cắt
◼ Đặc điểm:
◼ Chỉ nhạy với lực nén theo chiều trục → đo lực nén (có b) Cảm biến ba
thể đo lực kéo bằng cách nén trước). thành phần vuông góc
◼ Giới
hạn trên của dải đo cỡ từ vài kN (với đường kính ~
1 cm) đến 103 kN ( với đường kính ~ 10 cm).
60 Friday, December 15, 2023 61 12/15/2023 62
Friday, December 15, 2023
TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI Nội dung môn học Tài liệu tham khảo
VIỆN ĐIỆN
❖ Chương 1: Tổng quan về cảm biến và Các mạch xử lý trong ➢ Sách:
đo lường ❖ Kĩ thuật đo lường các đại lượng điện tập 1,2- Phạm
❖ Chương 2: Chuyển đổi nhiệt điện Thượng Hàn, Nguyễn Trọng Quế….
❖ Chương 3: Chuyển đổi điện trở ❖ Ðo lường điện và các bộ cảm biến: Ng.V.Hoà và
❖ Chương 4: Cảm biến tĩnh điện( áp điện, điện dung) Hoàng Si Hồng
❖ Chương 6: Chuyển đổi điện tử và ion ❖ Bài giảng kĩ thuật đo lường và cảm biến-Hoàng Sĩ
Hồng.
CẢM BIẾN VÀ XỬ LÝ TIN HIỆU ❖ Bài giảng Cảm biến và kỹ thuật đo: P.T.N.Yến,
❖ Chương 8: Chuyển đổi khác Ng.T.L.Huong, Lê Q. Huy
BM: Kĩ thuật đo và Tin học công nghiệp ❖ Bài giảng MEMs ITIMS - BKHN
12/15/2023 2 12/15/2023 3
Cảm biến từ Chuyển đổi điện cảm 5.1 Cảm biến điện cảm
◼ a) Cảm biến tự cảm đơn có khe từ biến thiên
◼ Là nhóm chuyển đổi dựa trên các qui luật điện từ. ◼ Chuyển đổi điện cảm là chuyển đổi biến đổi giá trị đại
❖ Tổng trở của cảm biến:
◼ Đại lượng vật lý cần đo làm thay đổi các đại lượng từ lượng đo thành trị số điện cảm. Z, L
như: điện cảm, hỗ cảm, từ thông, từ thẩm.... ◼ Một số chuyển đổi điện cảm thường gặp W  0 s
2 L = f()
Z = L =
◼ Phân loại: có các loại chính  Z5000Hz = f()
❖ Chuyển đổi điện cảm và hỗ cảm.

Hệ số tự cảm Z500Hz = f()
❖ Chuyển đổi cảm ứng.
❖ Chuyển đổi áp từ w 2
s 
L= = w2. o ❖ Khi , s thay đổi -> L và Z thay đổi.
Rs 
L L  o s
W- số vòng dây. dL = ds + d = w 2 . o s + w 2 . 
s   ( +  )
2
R - từ trở của khe hở không khí.
 - chiều dài khe hở không khí.
s - tiết diện thực của khe hở không khí.
12/15/2023 4 12/15/2023 5 Friday, December 6

15, 2023
5.1Cảm biến điện cảm 5.1 Cảm biến điện cảm 5.1 Cảm biến điện cảm
◼ b) Cảm biến tự cảm kép có khe từ biến thiên ◼ b) Cảm biến tự cảm kép có khe từ biến thiên ◼ c) Cảm biến tự cảm có lõi từ di động
❖ Cấu tạo và nguyên lý làm việc ❖ Hệ số tự cảm ❖ Cấu tạo và nguyên lý làm việc
L
1 1 1
2
L1 = f() XV
XV XV
L1 - L2 = f()
XV
l0 lf
l
 Đơn
Kép
Đo dịch Đo dịch L2 = f() ❖ Đặc điểm:
chuyển thẳng chuyển quay ❖ Đặc điểm:
✓L = f(lf) → phi tuyến, độ nhạy và độ tuyến tính của
✓ Độ nhạy lớn. CB kép cao hơn CB đơn.
✓ Độ tuyến tính cao hơn. ✓ Đo được dịch chuyển lớn hơn so với CBTC có khe
từ biến thiên
Friday, December 7 Friday, December 8 Friday, December 9
15, 2023 15, 2023 15, 2023
5.1 Cảm biến điện cảm 5.1 Cảm biến điện cảm 5.2 Chuyển đổi cảm ứng
◼ Ứng dụng ◼ Là chuyển đổi biến giá trị đo thành trị số hỗ cảm. Một số
❖ Đo khoảng cách loại chuyển đổi hỗ cảm thường gặp
~
1
❖ Đo góc 3
XV
2
4
a)
1 2
1. Cuộn sơ cấp 3
2. Gông từ
3. Tấm sắt từ di động 4
4. Cuộn thứ cấp (cuộn đo)
12/15/2023 12/15/2023 12/15/2023 b)

10 11 12
5.2 Cảm biến chuyển đổi cảm ứng 5.2 Cảm biến chuyển đổi cảm ứng 5.2 Cảm biến chuyển đổi cảm ứng
◼ Cấu tạo và nguyên lý làm việc ◼ Đặc điểm ◼ Cảm biến kép lắp vi sai
❖ Khi cấp dòng xoay chiều ( i = I m sin t ) vào cuộn ❖E = f(s, )→ tuyến tính theo (s) và phi tuyến theo ()
sơ cấp, sinh ra  biến thiên → trong cuộn thứ cấp sinh ~
ra sức điện động cảm ứng: E ks E0 ~
S = =− =
   
2
  
2
XV
W W  s di WW s  02 1 +   0 1 + 
e = − 2 1 0 . = − 2 1 0  I m cos t   0    0  XV
 dt  1 2
❖ Giá trị hiệu dụng của suất điện động E k E 0 ks 0

SS = = = Với E 0 = (khi XV = 0) ~
s  0 s 0 0
W2 W1 0 s s Chuyển đổi vi sai kiểu thay đổi khe hở không khí , khi P
E=− I = k
  ❖ Để tăng độ nhạy và độ tuyến tính → CBHC kép lắp vi tác dụng lên chuyển đổi sẽ làm cho 1 và 2 biến thiên
sai. ngược nhau, do vậy từ trở của hai mạch từ thay đổi ngược
 E = f(s, )
nhau, dẫn đến làm cho E1 và E2 biến thiên ngược nhau
Friday, December 13 Friday, December 14 Friday, December 15, 2023 15
15, 2023 15, 2023
5.2 Cảm biến chuyển đổi cảm ứng- ứng dụng Biến áp vi sai biến đổi tuyến tính (LVDT) Biến áp vi sai biến đổi tuyến tính (LVDT)
◼ Biến áp vi sai biến đổi tuyến tính (LVDT) ◼ Hoạt động
◼ LVDT (linear variable differential transformer) ❖ Ngõ ra là điện áp giữa 2 đầu cuộn thứ cấp phụ thuộc
➢ Cấu tạo vào vị trí của lõi sắt từ.
❖ Gồm 1 cuộn sơ cấp, 2 cuộn thứ cấp và phần lõi sắt từ ❖ Khi lõi sắt ở giữa 2 cuộn
thứ cấp, sẽ sinh ra điện áp
❖ Cuộn sơ cấp được cấp nguồn AC, 2 cuốn thứ cấp bằng nhau và ngược dấu
được mắc ngược nhau nhau → điện áp ra bằng 0.
❖ Khi vật di chuyển lên hay
xuống thì làm cho điện áp
của các cuộn thứ cấp tăng
hoặc giảm.
❖ Đo điện áp ngõ ra để xác
định độ dịch chuyển
Friday, December 16 Friday, December 17 12/15/2023 18
15, 2023 15, 2023
Biến áp vi sai biến đổi tuyến tính (LVDT) Biến áp vi sai biến đổi tuyến tính (LVDT) Biến áp vi sai biến đổi tuyến tính (LVDT)
◼ Mạch xử lý
Tín hiệu -> chỉnh lưu -> lọc -> khuếch đại.
12/15/2023 19 12/15/2023 20 12/15/2023 21
Biến áp vi sai biến đổi tuyến tính (LVDT) Biến áp vi sai biến đổi tuyến tính (LVDT) 5.3 Chuyển đổi cảm ứng
◼ Ứng dụng ◼ Ưu điểm ◼ Đây là chuyển đổi phát điện. Ví dụ một số chuyển đổi
❖ Phát hiện được cả khoảng cách và chiều di chuyển thường gặp
❖ Chính xác
❖ Làm việc được trong môi trường khắc nghiệt N N
x x
❖ Ít ảnh hưởng bởi rung động S
b S
◼ Nhược điểm N N
a Fx
❖ Không phù hợp cho việc đo khoảng cách lớn N  1
◼ Ứng dụng x c
N
❖ Đo dịch chuyển tuyến tính S 1
❖ Đo vị trí
12/15/2023 22 Friday, December 23 12/15/2023 24

15, 2023
5.3. Ứng dụng chuyển đổi cảm ứng Ứng dụng chuyển đổi cảm ứng Chuyển đổi cảm ứng
1. Đo vận tốc tuyến tính 1. Đo vận tốc góc Cấu tạo: ◼ Đo tốc độ quay
- Đĩa quay
◼ Cảm biến vận tốc điện từ ◼ Tốc độ kế xung - Cuộn dây có lõi sắt từ
- Nam châm vĩnh cửu
Khi cuộn dây di chuyển - Đĩa quay
Hoạt động:
hoặc nam châm di chuyển Khi đĩa quay → khe hở  biến thiên
thì từ trường biến thiên → từ trở mạch từ biến thiên →  qua
trong cuộn dây và sinh ra cuộn dây biến thiên → trong cuộn
dây xuất hiện s.đ.đ cảm ứng (e) có
một hiệu điện thế cảm ứng tần số (f) tỉ lệ với tốc độ quay (n):
f=n.p (p: số răng trên đĩa)
e0 = BLV
Biên độ E phụ thuộc hai yếu tố:
B: Cường độ từ trường - Khoảng cách giữa cuộn dây và đĩa
quay: khoảng cách càng lớn E càng
L: Chiều dài cuộn dây 1) Đĩa quay (bánh răng) nhỏ.
2) Cuộn dây 3) Nam châm vĩnh cửu - Tốc độ quay: Tốc độ quay càng lớn, E
V: vận tốc di chuyển càng lớn.
12/15/2023 27
Ứng dụng chuyển đổi cảm ứng 5.4. Ứng dụng Nguyên lý đo lưu lượng bằng cảm ứng từ
2. Tốc độ kế xung ❖ Ống 1 được chế tạo bằng vật
◼ Cảm biến đo tốc độ trong ô tô liệu không dẫn từ cho chất
lỏng chảy qua.
❖ Từ trường biến thiên do nam
châm 2 tạo nên xuyên qua
dòng chất lỏng cảm ứng một
sức điện động.
❖ Sức điện động này được lấy ra
trên hai điện cực 3 và 4 và
đưa vào thiết bị đo.
12/15/2023 28 12/15/2023 29 30 Viện Điện – Trường Đại học Bách khoa Hà nội 12/15/
2023
Nguyên lý đo lưu lượng bằng cảm ứng từ Nguyên lý đo lưu lượng bằng cảm ứng từ Cảm biến tiệm cận loại cảm ứng
❖ Độ lớn của sức điện động ◼ Cấu tạo:
được tính:
Gồm có 4 thành phần:
E = k   B  d  v ◼
✓ k - hệ số ❖ Cuộn dây: tạo ra từ trường

✓ ω - tần số góc của từ thông do nam ❖ Bộ dao động: tạo dao động tần
châm tạo ra. số cao
✓ B - độ cảm ứng từ
❖ Mạch kích: Giám sát biên độ
✓ d - đường kính trong ống dẫn
của bộ dao động
✓ v - tốc độ trung bình của chất lỏng
theo tiết diện ống. ❖ Ngõ ra: Mở / tắt
4 k
E= BQ
d
v d 2
Q=
4
31 Viện Điện – Trường Đại học Bách khoa Hà nội 12/15/2023 32 Friday, December 33
12/15/2023 15, 2023
Cảm biến tiệm cận loại cảm ứng Cảm biến tiệm cận loại cảm ứng Cảm biến tiệm cận loại cảm ứng
◼ Hoạt động: ◼ Bộ phận cảm nhận là một cuộn dây được cung cấp dòng có tần số cao, nó ◼ Đấu dây:
sẽ tạo ra một từ trường thay đổi xung quanh cuộn dây. Một vật kim loại nằm
❖ Khi đối tượng vi chuyển đến gần cảm biến - đi vào vùng từ trong vùng từ trường này sẻ xảy ra hiệu ứng dòng Fuco. Theo định luật Lenz,
dòng điện này có chiều chống lại nguyên nhân tạo nên nó, và kết quả tạo
trường, xuất hiện dòng điện xoáy trên bề mặt đối tượng, làm nên một từ thông ngược lại từ thông của cuộn dây, điều này dẫn đến hệ số
giảm biên độ của bộ dao động. tự cảm L thay đổi và trở kháng Z=2πfL. Trong đó L = F(n, η, A, l) với n số
vòng dây, η độ từ thẩm, A khoảng cách và l là kiểu vật liệu
❖ Mạch kích giám sát biên độ của bộ giao động và kích thích
cho ngõ ra của cảm biến mở (tắt)
Friday, December 34 12/15/2023 35 Friday, December 36

15, 2023 15, 2023
Cảm biến tiệm cận cảm ứng Cảm biến tiệm cận loại cảm ứng Cảm biến tiệm cận cảm ứng
◼ Đặc điểm: ◼ Ưu điểm ◼ Cảm biến sử dụng điện áp một chiều khoảng 10-30VDC,
❖ Phát hiện vật không cần tiếp xúc ❖ Chính xác hơn so với các cảm biến khác đầu ra cảm biến chịu dòng điện nhỏ (tối đa khoảng
200mA), đo đó thường đấu nối ra thiết bị trung gian (rơle
❖ Đầu cảm biến nhỏ có thể lắp đặt nhiều nơi ❖ Có tỉ lệ chuyển đổi cao trung gian, bộ điều khiển cảm biến . . . . )
❖ Tốc độ đáp ứng nhanh ❖ Có thể làm việc trong môi trường khắc nghiệt
❖ Làm việc trong môi trường khắc nghiệt ◼ Nhược điểm
❖ Làm việc theo nguyên lý cảm ứng từ, do đó dễ bị ảnh ❖ Chỉ phát hiện đối tượng kim loại
hưởng của nguồn nhiễu hay ảnh hưởng của nguồn ký ❖ Tầm hoạt động bị giới hạn
sinh
Friday, December 38
15, 2023
Cảm biến tiệm cận cảm ứng Cảm biến tiệm cận cảm ứng Cảm biến tiệm cận cảm ứng
❖ Ứng dụng phát hiện chai và đóng hạn sử dụng
Heat Sealing
OK NG
E2EV: Là sensor phát hiện tất cả các vật bằng kim loại
đều có thể phát hiện được sự có mặt của các lon một Sử dụng sensor tiệm cận có đầu ra analog (4 → 20mA) và
cách chính xác. Khoảng cách đo của sensor có thể bộ xử lý tín hiệu thông minh K3- để tính độ rộng. Từ đó có
được đặt tới 10 mm. thể biết được là đã có gia vị trong gói nhôm lá chưa.
40 41 42
Chuyển đổi áp từ Cầu điện cảm Hay Mạch đo
◼ Chuyển đổi áp từ là một dạng của chuyển đổi điện cảm ◼ Khi cầu cân bằng ta có: Rx
và hỗ cảm. Tuy nhiên khác với hai loại trên, mạch từ của Zx.Zm = Z1.Z2
chuyển đổi áp từ là mạch từ kín. Nguyên lý làm việc của Lx R1
nó dựa trên hiệu ứng áp từ Rx  j Lx
Zx = Uo ~
Rx + j Lx
1 R2 Cm Rm
Z m = Rm +
jCm
Z1 = R1 , Z 2 = R2 Cầu điện cảm Hay
 Lx = R1.R2 .Cm
Rx . j Lx 1 
 ( Rm + ) = R1.R2  R1.R2
Rx + j Lx jCm  Rx = R
 m
12/15/2023 43 12/15/2023 44 12/15/2023 45
Mạch đo TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI Nội dung môn học
VIỆN ĐIỆN
◼ Ngoài ra ta có thể sử dụng mạch phát L-C ❖ Chương 1: Tổng quan về cảm biến và Các mạch xử lý trong
đo lường
❖ Chương 2: Chuyển đổi nhiệt điện
❖ Chương 4: Cảm biến tĩnh điện (áp điện, điện dung)
12/15/2023 46 12/15/2023 2
Tài liệu tham khảo Chuyển đổi điện tử và ion. Chuyển đổi tự phát xạ điện tử
➢ Sách: ◼ Nhóm các chuyển đổi điện tử và ion là nhóm gồm nhiều kim ◼ Nguyên lý hoạt động: dưới tác dụng của điện trường
loại chuyển đổi khác nhau. Nguyên lý làm việc của các loại mạnh (với điện áp trên anốt và catốt cỡ 3kV), các điện tử
❖ Kĩ thuật đo lường các đại lượng điện tập 1,2- Phạm
chuyển đổi này dựa vào sự thay đổi dòng ion và dòng điện bị bắn ra khỏi catốt, trên đường đi chúng ion hoá các
tử dưới tác dụng của các đại lượng đo. Người ta chia các phân tử khí tạo thành ion dương và âm. Dòng điện chạy
❖ Ðo lường điện và các bộ cảm biến: Ng.V.Hoà và chuyển đổi điện tử và ion thành 2 loại cơ bản là: từ anốt đến catốt thay đổi theo mật độ không khí trong
Hoàng Si Hồng ❖ Chuyển đổi điện tử và ion đèn hai cực.
➢ Bài giảng và website: ❖ Chuyển đổi ion hoá ◼ b) Ứng dụng: chế tạo các thiết bị đo áp suất thấp còn gọi
❖ Bài giảng kĩ thuật đo lường và cảm biến-Hoàng Sĩ (các chân không kế).
◼ Các chuyển đổi điện tử và ion lại được phân thành các loại:
Hồng.
❖ Chuyển đổi tự phát xạ điện tử
❖ Chuyển đổi phát xạ nhiệt điện tử
❖ Chuyển đổi phát xạ quang điện tử
❖ Bài giảng MEMs ITIMS - BKHN
12/15/2023 3 12/15/2023 4 12/15/2023 5
Chuyển đổi phát xạ nhiệt điện tử Chuyển đổi phát xạ quang điện tử Cảm biến quang
◼ Nguyên lý hoạt động: các loại chuyển đổi này được chế ◼ Nguyên lý hoạt động: nguyên lí cơ bản của các chuyển ◼ Ánh sáng và các thông số của ánh sáng
tạo dưới dạng đèn điện tử hai cực và ba cực. Khi catốt bị đổi quang điện dựa trên hiện tượng giải phóng điện tích ◼ Hiệu ứng quang điện trong với chế độ quang dẫn
đốt nóng các điện tử bắn ra khỏi nó và dưới tác dụng của dưới tác dụng của dòng ánh sáng do hiệu ứng quang
điện trường, các điện tử chuyển động từ anốt đến catốt. điện gây nên sự thay đổi tính chất của vật liệu. ❖ Quang trở
Trên đường đi các điện tử ion hoá không khí tạo thành ◼ Chuyển đổi phát xạ quang điện tử bao gồm các dạng cơ ❖ Photodiode quang
các ion dương và âm. bản là: ❖ Phototransistor
◼ b) Ứng dụng: cũng như loại chuyển đổi phát xạ điện tử, ❖ Tế bào quang điện ◼ Hiệu ứng quang điện trong với chế độ quang thế
chuyển đổi loại này dùng cho độ chân không tới 10-6
mmHg. ❖ Quang điện trở ◼ Hiệu ứng quang điện ngoài
◼ Nếu giữ cho đèn có độ chân không ổn định thì dòng điện ❖ Phôtô điốt
chạy trong mạch phụ thuộc vào khoảng cách giữa hai cực ❖ Phôtô tranzito
anốt và catốt. Ứng dụng hiện tượng trên, người ta chế
tạo các thiết bị đo các đại lượng cơ học như đo độ di
chuyển.
12/15/2023 6 12/15/2023 7 12/15/2023 8
1. Tính chất và đơn vị đo I. Ánh sáng và các thông số của ánh sáng I. Ánh sáng và các thông số của ánh sáng
1.1 Tính chất ánh sáng 1. Tính chất của ánh sáng ➢ Tính chất hạt của ánh sáng thể hiện qua sự tương tác
Ánh sáng có hai tính chất cơ bản: sóng và hạt. của nó với vật chất.
a) Tính chất sóng: một dạng của sóng điện từ:
➢ Tính chất ❖ Ánh sáng bao gồm các hạt photon, với năng lượng
0,395 0,455 0,490 0,575 0,590 0,650 0,750 ❖ Dạng sóng của ánh sáng là sóng điện từ, phát ra khi Wф phụ thuộc duy nhất vào tần số:
có sự dịch chuyển điện tử giữa các mức năng lượng W h hc , h = 6,6256.10-34J.s : hằng số
cực tím lục đỏ hồng ngoại
của nguyên tử của nguồn sáng.
vàng
tím lam da cam

Planck
❖ Các sóng này truyền đi trong chân không với vận tốc:
(m)
❖ Khi một photon được hấp thụ sẽ có một điện tử được
c = 299792km/s. giải phóng nếu Wф ≥ Wlk.
0,01 0,1 0,4 0,75 1,2 10 30 100
❖ Trong vật rắn, ánh sáng có vận tốc: v = c/n, với n: chiết
Trông thấy
H.N. ngắn
cực tím Hồng ngoại H. ngoại xa

suất của môi trường. W hc / Wlk hay hc / Wlk 1, 237 / Wlk ( m)
❖ Mối liên hệ giữa tần số và bước sóng λ= v/f
Wlk: năng lượng liên kết điện tử và ion
Phổ ánh sáng
12/15/2023
I. Ánh sáng và các thông số của ánh sáng I. Ánh sáng và các thông số của ánh sáng I. Ánh sáng và các thông số của ánh sáng
◼ Với mỗi loại vật liệu khi bị chiếu sáng, loại điện tích được 2. Các thông số ánh sáng ◼ Độ chói năng lượng L: Tỷ số giữa cường độ ánh sáng bởi
giải phóng là khác nhau Đơn vị đo năng lượng một phần tử bề mặt dA theo một phương xác định và điện
✓ Với điện môi và bán dẫn tinh khiết, loại điện tích tích hình chiếu của phần tử này dAn trên mặt phẳng
được giải phóng là cặp điện tử - lỗ trống. ◼ Năng lượng bức xạ Q: Năng lượn phát xa, lan truyền vuông góc với hướng đó:
✓ Với bán dẫn pha tạp:
hoặc hấp thụ dưới dạng bức xạ, đơn vị Jun (J)
dI
◼ Thông lượng ánh sáng Ф: Công xuất phát xạ, lan truyền L
▪ Bán dẫn loại n: loại điện tích được giải phóng là dAn
điện tử. hoặc hấp thụ, đơn vị oat (W)
dAn dA cos
▪ Bán dẫn loại p: loại điện tích được giải phóng là dQ
lỗ trống. dt ◼ Độ dọi năng lượng (E) là tỷ số giữa luồng năng lượng thu
➢ Hiện tượng giải phóng hạt dẫn dưới tác dụng của ánh ◼ Cường độ sáng I: luồng năng lượng phát ra theo một được bởi một phần tử bề mặt và điện tích của phần tử đó
sáng bằng hiệu ứng quang điện → sự thay đổi tính chất hướng cho trước dưới một đơn vị góc khối
Đơn vị: oat/m2 hoặc lux
điện của vật liệu. Đơn vị cd d d
I E
➢ Đây là nguyên lý cơ bản của cảm biến quang d dA
12/15/2023 12 12/15/2023 13 12/15/2023 14
I. Ánh sáng và các thông số của ánh sáng Đơn vị đo quang Hiệu ứng quang dẫn
Đơn vị đo thị giác Đơn vị đo thị giác: ◼ Người ta phân biệt chất dẫn điện, bán dẫn và cách điện
❖ Độ nhạy của mắt người đối với ánh sáng có bước dựa trên độ rộng vùng cấm
sóng khác nhau là khác nhau. Đại lượng đo Đơn vị năng lượng Đơn vị thị giác ◼ Với chất bán dẫn độ rộng vùng cấm khoảng 0.3 đến 3eV
Thông lượng W lumen(lm)
Cường độ W/sr cadela(cd)
Độ chói W/sr.m2 cadela/m2 (cd/m2)
Độ rọi W/m2 lumen/m2 hay lux (lx)
Năng lượng J lumen.s (lm.s)
12/15/2023 15 12/15/2023 12/15/2023 17
Hiệu ứng quang dẫn Hiệu ứng quang dẫn Hiệu ứng quang dẫn
Xét vật liệu bán dẫn: Giả sử có một tấm bán dẫn phẳng thể ◼ Mật độ điện tử trong tối:
tích V, pha tạp loại N có nồng độ các hạt donor là Nd,
1/ 2
a  a2 a.Nd 
n0 = + + 
2.r  4r 2 r 
Nd → Nồng độ tạp chất loại N
 qWd 
a = exp  −  → Hệ số tỉ lệ giải phóng e.
 kT 
r → Hệ số tái hợp.
12/15/2023 18 12/15/2023 19 12/15/202
3
Hiệu ứng quang dẫn Hiệu ứng quang dẫn Hiệu ứng quang dẫn
◼ Độ dẫn trong bóng tối ◼ Đối với vật liệu có hệ số phản xạ R lớn và được chiếu ◼ Số điện tử (g) được giải phóng do bị chiếu sáng trong một
sáng bởi ánh sáng đơn sắc giây ứng với một đơn vị thể tích vật liệu, xác định bởi
 0 = q n0 ❖ Số photon chiếu tới trong 1s: công thức:
➢λ- bước sóng ánh sáng.

G 1 1 R
◼ Trong đó np ➢Φ - thông lượng ánh sáng.
g
h hc ➢h - hằng số Planck.
V A.L h
❖ Q: là giá trị của điện tích
❖ Số photon bị hấp thụ trong 1s: ◼ Trong đó:
❖ no mật độ điện tử trong đối
➢ G - số điện tử được giải phóng trong thể tích V trong
❖ Mi: là độ linh động của điện tử n pht 1 R np 1 R thời gian một giây.
hc
➢ V=A.L, với A, L là diện tích mặt cạnh và chiều rộng
❖ Số điện tử hoặc lỗ trông được giải phóng trong 1s
tấm bán dẫn
G n pht 1 R ➢ η - hiệu suất lượng tử (số điện tử hoặc lỗ trống trung
hc bình được giải phóng khi một photon bị hấp thụ).
12/15/2023 21 12/15/2023 22 12/15/2023 23
Hiệu ứng quang dẫn Hiệu ứng quang dẫn Cảm biến quang trở (LDR-Light Depend Resistor)
◼ Quang trở là:
◼ Độ dẫn tương ứng với nồng độ điện tử: ❖ Một linh kiện bán dẫn hai cực,
❖ Có điện trở thay đổi theo năng lượng ánh sáng chiếu
vào,
q n
❖ Hoạt động dựa trên hiệu ứng quang điện nội (quang
dẫn).
◼ Trong đó :
◼ Khi chiếu ánh sáng vào quang trở, các hạt mang điện
➢ q: giá trị tuyệt đối của điện tích điện tử trong bán dẫn nhận thêm được năng lượng từ photon trở
➢ : độ linh động của điện tử thành điện tử tự do làm thay đổi điện trở suất (hay độ
dẫn) trong bán dẫn.
1/ 2
g
n ➢ Nhận thấy độ dẫn là hàm không tuyến tính của thông
r lượng ánh sáng, nó tỉ lệ với Φ1/2. Thực nghiệm cho thấy
số mũ của hàm Φ nằm trong khoảng 0,5 - 1.
12/15/2023 24 12/15/2023 25 12/15/2023 26
Cảm biến quang trở Cảm biến quang trở Cảm biến quang trở
Cấu tạo ◼ Vật liệu và vùng làm việc của một số vật liệu quang dẫn
❖ Một phiến bán dẫn
nhạy sáng đa tinh
thể hay đơn tinh
thể.
❖ Hai đầu được mạ
kim loại để hàn
điện cực dẫn ra
ngoài
❖ Toàn bộ phiến bán dẫn được bọc trong vỏ kim loại hoặc
chất dẽo có cửa sổ trong suốt để ánh sáng có thể chiếu
vào phiến bán dẫn.
12/15/2023 27 12/15/2023 28 12/15/2023 29
◼ Ký hiệu trong mạch điện : Đặc tuyến và tham số của quang trở ◼ Đặc tuyến năng lượng dòng sáng
◼ Đặc tuyến Volt ampere (V-A) ❖ Mô tả quan hệ giữa cường độ dòng sáng và năng
❖ Mô tả quan hệ giữa dòng điện qua quang trở và điện lượng ánh sáng chiếu vào khi điện áp đặt vào hai đầu
◼ Mỗi quang trở có một đặc tính quang phổ riêng: sự phụ áp hạ trên nó ứng với các mức độ chiếu sáng khác quang trở không đổi.
thuộc giá trị độ dẫn suất vào độ dài của bước sóng ánh nhau. IΦ = f(Φ)|U=const
❖ Khi không chiếu sáng, nếu đặt ❖ Khi năng lượng chùm sáng Φ
sáng. điện áp vào hai đầu quang trở thấp, quan hệ gần như tuyến
σ thì vẫn có dòng chạy qua: dòng tính.
tối It.
❖ Khi năng lượng chùm sáng Φ
❖ Khi chiếu sáng, nếu đặt điện áp tăng lên, đặc tuyến mang tính
vào hai đầu quang trở, dòng qua phi tuyến rõ nét. (Φ↗ → nồng độ
quang trở tăng lên: dòng tổng các hạt tải ↗ → tốc độ tái hợp
Itg. bởi các hạt↗ → thời gian sống
λ0 λ
 Dòng sáng: IΦ = Itg – It. của các hạt tải ↘ → dòng ↗
Đặc tuyến quang phổ riêng σ = f(λ)
chậm lại.).
12/15/2023 30 12/15/2023 • IΦ = f(Φ)|U=const 31 12/15/2023 32
Cảm biến quang trở Cảm biến quang trở
◼ Đặc tuyến phổ tương đối ◼ Đặc tuyến điện trở
❖ Mô tả quan hệ giữa điện trở của dụng cụ với độ rọi của
❖ Đặc tuyến phổ tương đối xác định quan hệ giữa tần số chùm tia sáng chiếu vào.
ánh sáng chiếu vào và độ nhạy đơn sắc của dụng cụ.
Điện trở ()
❖ Với các bán dẫn khác nhau, độ nhạy của chúng đối với 106
ánh sáng đơn sắc cũng khác nhau.
106 E
⇒ Các bán dẫn có độ rộng vùng cấm khác nhau → có điểm A
hấp thụ cực đại tại các tần số khác nhau.
104 E: Độ rọi
Quang thông
102
0,1 1 10 100 1000 Độ rọi sáng (lx)
❖ Đây là đặc tính thường gặp và được ứng dụng nhiều

12/15/2023 33
trong thực tế.
12/15/2023 34 12/15/2023 35
◼ Tế bào quang dẫn có thể coi như một mạch tương đương ◼ Thông thường Rcp <<Rco, nên có thể coi Rc=Rcp. ◼ Độ nhạy:
gồm hai điện trở Rco và Rcp mắc song song: Công thức (2.12) cho thấy sự phụ thuộc của điện trở của
◼ I V
tế bào quang dẫn vào thông lượng ánh sáng là không S= =    −1
Rco Rcp
tuyến tính, tuy nhiên có thể tuyến tính hóa bằng cách sử
 A
Ro
Rco Rcp dụng một điện trở mắc song song với tế bào quang dẫn. ◼ Nhận xét:
◼ Mặt khác, độ nhạy nhiệt của tế bào quang dẫn phụ thuộc + Độ nhạy giảm khi  tăng (trừ  = 1)
◼ Trong đó vào nhiệt độ, khi độ rọi càng lớn độ nhạy nhiệt càng nhỏ. + Độ nhạy giảm khi tăng nhiệt độ, khi điện áp đặt vào lớn.
➢ Rco - điện trở trong tối + Độ nhạy phụ thuộc vào bước sóng ánh sáng.
➢ Rcp - điện trở khi chiếu sáng Rcp a.
➢ a - hệ số phụ thuộc và bản chất vật liệu, nhiệt độ, bức xạ
➢ - hệ số có giá trị từ 0.5 đến 1
12/15/2023 36 12/15/2023 37 12/15/2023
❖ Đặc điểm Độ 10 Độ 100 Ứng dụng:

nhạy nhạy
tương 50
tương 5
◼ Điều khiển rơ le: khi có bức xạ ánh sáng chiếu lên tế bào
▪ Tỷ lệ chuyển đổi tĩnh cao. đối đối 30
(%)
quang dẫn, điện trở giảm, cho dòng điện chạy qua đủ lớn
▪ Độ nhạy cao. 1 10 → sử dụng trực tiếp hoặc qua khuếch đại để đóng mở
0,5 5 rơle.
▪ Hồi đáp phụ thuộc không tuyến tính . 3
◼ Thu tín hiệu quang: dùng tế bào quang dẫn để thu và biến
0,1
▪ Thời gian hồi đáp lớn.

-
150
-
100
-50 0 50
Nhiệt độ
1
1 2 3 tín hiệu quang thành xung điện.
Bước sóng (m)
(oC)
◼ Đo cường độ ánh sáng
▪ Các đặc trưng không ổn định do già hoá. Ảnh hưởng của nhiệt độ Ảnh hưởng bước sóng
đến độ nhạy của tế bào đến độ nhạy của tế bào
▪ Độ nhạy phụ thuộc nhiệt độ, một số loại đòi quang dẫn quang dẫn
hỏi làm nguội.
12/15/2023 12/15/2023 12/15/2023

Cảm biến quang trở Cảm biến quang trở Photodiode
+ Câu 3: Cho quang trở có đặc tính như sau, biết Biết Vcc= ◼ Nguyên lý của photodiode
9V, R1=10kΩ, tính độ rọi của ánh sáng khi điện áp ra là 6V;
7.87V
Điều khiển trực tiếp
Điều khiển thông qua

tranzito khuếch đại
Đo cường độ ánh sáng

12/15/2023 12/15/2023 43 12/15/2023 44
Điện tử hoá trị Pha tạp (doping) chất bán dẫn Pha tạp loại N và loại P
◼ Pha tạp một lượng nhỏ các nguyên tử ngoại lai vào cấu
trúc mạng tinh thể của silicon hoặc germanium sẽ làm
thay đổi đáng kể tính chất dẫn điện của chúng.
◼ Các nguyên tử pha tạp có 5 điện tử hoá trị sẽ làm xuất

hiện điện tử thừa ở mối liên kết đồng hoá trị và tạo ra
chất bán dẫn pha tạp loại n (negative). Chất pha tạp
trong trường hợp này được gọi là “Donor”.
◼ Các điện tử ở vòng ngoài cùng của mỗi nguyên tử được ◼ Các nguyên tử pha tạp có 3 điện tử hoá trị sẽ làm xuất
gọi là các điện tử hoá trị; chúng quyết định tính chất hoá hiện “lỗ trống” do bị thiếu điện tử ở mối liên kết đồng hoá
học và cũng quyết định cả tính dẫn điện của vật liệu. trị. Pha tạp này được gọi là pha tạp loại p (positive), còn
◼ Tính dẫn điện của vật liệu được giải thích bằng lý thuyết nguyên tố pha tạp được gọi là “Acceptor”.
về các giải năng lượng (mức năng lượng cần để giải
phóng một điện tử hoá trị thành điện tử tự do.
Bán dẫn pha tạp loại N Bán dẫn pha tạp loại P Vùng nghèo
◼ Pha tạp thêm các nguyên tử ◼ Pha tạp thêm các nguyên tử
của các nguyên tố có hoá trị của các nguyên tố có hoá trị
năm như là antimony, ba như là boron, aluminum
arsenic hoặc phosphorous hoặc gallium vào silicon sẽ
sẽ tạo ra thêm các điện tử tạo ra các “lỗ trống". Điều
tự do làm tăng đáng kể tính này cũng làm tăng độ dẫn
dẫn điện của chất bán dẫn. điện của silicon.
◼ Người ta thường dùng khí ◼ Khi một tiếp giáp p-n được hình thành, một số điện tử tự
◼ Có thể pha tạp phosphorous do ở vùng n khuếch tán qua tiếp giáp và kết hợp với các
bằng cách cho khuếch tán diborane B2H6 để khuếch lỗ trống để tạo nên các ion âm ở vùng p.
khí phosphine (PH3). tán boron vào mạng tinh thể
silicon. ◼ Đồng thời, các nguyên tử ở vùng n do bị thiếu điện tử nên
trở thành các ion dương.
◼ Vùng chứa các ion âm và dương ở lân cận tiếp giáp
được gọi là vùng nghèo.
Tiếp giáp P-N phân cực thuận Tiếp giáp P-N phân cực ngược Diode bán dẫn P-N
◼ Một tiếp giáp p-n được phân cực thuận làm cho các lỗ ◼ Nếu đặt một điện áp ngược lên tiếp giáp p-n, cả điện tử ◼ Bản chất của tiếp giáp p-n là chỉ dẫn dòng điện khi được
trống ở vùng bán dẫn pha tạp loại p và các điện tử ở và lỗ trống đều bị kéo xa khỏi vùng tiếp xúc tạo nên một phân cực thuận và không dẫn dòng khi phân cực ngược.
vùng bán dẫn pha tạp loại n chuyển động tới miền tiếp dòng điện quá độ có cường độ nhỏ.
xúc. ◼ Vùng nghèo ở lân cận mặt tiếp xúc được mở rộng ra cân ◼ Đây là linh kiện dùng để chỉnh lưu dòng điện xoay chiều
◼ Tại vùng tiếp xúc các điện tử và lỗ trống tái hợp, tạo nên bằng với điện áp đặt vào, dòng điện ngược được duy trì AC thành một chiều DC trong các mạch tạo nguồn cung
một dòng điện liên tục đi qua tiếp giáp p-n, dòng điện này với giá trị gần như không đổi và được gọi là dòng ngược cấp.
phụ thuộc vào điện áp phân cực thuận. bão hoà.
Đặc tính Volt-Amp của diode Đặc tính Volt-Amp của diode Photodiode P-N
(
I D = IS eqVD / kT − 1 ) Cấu tạo:
◼ Một phiến bán dẫn loại n p
Trong đó,
(hay p), người ta khuếch tán
◼ ID = dòng qua diode, tính bằng amp
loại tạp p (hay n) để tạo tiếp
◼ IS = dòng ngược bão hoà của diode, tính bằng amp
giáp p-n.
(có độ lớn cỡ 10-12 amp) n
◼ e = hằng số Euler (~2,718281828) ◼ Hai lớp bán dẫn n và p được
◼ q = điện tích của điện tử (1,610-19coulomb)
gắn điện cực để đưa ra
ngoài.
◼ VD = điện áp đặt lên tiếp giáp P-N
◼ k = hằng số Boltzmann (1,3810-23) ◼ Điện cực phía p phải trong suốt để
◼ T = nhiệt độ của tiếp giáp, tính theo thang độ Kelvin
ánh sáng đi qua.
Ở điều kiện nhiệt độ trong phòng (T=300K): ◼ Ký hiệu:

thế nhiệt φT = kT/q = 26mV
12/15/2023 56
2.3. Photodiode 2.3. Photođiot 2.3. Photođiot
a) Cấu tạo và nguyên lý hoạt động ◼ Nguyên lý hoạt động: ◼ Nguyên lý hoạt động:
Khi không có ánh sáng và cấp áp thuận - Khi  = 0 và V = 0, dòng điện chạy qua
Khi không có ánh sáng chiếu vào, photodiode  qV 
◼ I = Ikt − I0 = I0 exp  d  − I0 = 0
hoạt động như một diode bình thường.  kT 
◼ Khi không có ánh sáng và cấp áp nghịch Ikt → Dòng khuếch tán các hạt cơ bản. I0 → Dòng hạt
Dòng điện chạy qua chuyển tiếp dẫn không cơ bản sinh ra do kích thích nhiệt.
- Khi phân cực ngược, không chiếu sáng → dòng
qVd ngược:
I I kt I0 I 0 exp I0  qV 
kT Ir = −I0 exp  d  + I0  0
 kT 
Ikt → Dòng khuếch tán các hạt cơ bản. I0 → Dòng hạt Khi V đủ lớn
 qV 
− I0 exp  d  → 0 và Ir = I0.
dẫn không cơ bản sinh ra do kích thích nhiệt.  kT 
12/15/2023 12/15/2023 12/15/2023
Photodiode P-N 2.3. Photođiot 2.3. Photođiot
Chế độ quang dẫn ◼ Khi chiếu sáng bằng luồng ánh sáng 0 → Ip. ◼ Chế độ quang dẫn: Ir
Khi chiếu sáng và cấp điện áp ngược Phương trình mạch điện: VD
q 1 R X h
Ir
Ip e + ES VR
◼ Khi chiếu ánh sáng vào bán dẫn và đặt điện áp hc
0
x
ES VR VD −
Rm
ngược lên hai cực của chuyển tiếp p-n, trong  qV  Vùng
P
Tín hiệu ra: VR Rm I r
Ir = −I0 exp  d  + I0 + Ip −+ −
mạch sẽ xuất hiện dòng điện Ip. nghèo V
 kT  +
đường thẳng tải .
-40 -30 -20 -10 0
ES
❖ Chiều của dòng Ip trùng với chiều dòng ngược N
◼ Khi V đủ lớn: Dòng ngược: 50W
của diode. 20
I r = I0 + I p  I p Es VD
Ir
được tạo bởi các hạt thiểu số mới phát sinh
100W
❖ Ip Rm Rm 40
do hấp thụ ánh sáng Ip: dòng quang điện Hiệu ứng quang 150W
điện khi chiếu Cảm biến làm việc ở chế độ 200W

60
⇒ Nó phụ thuộc vào tốc độ phát xạ căp điện tử - 0e

X
sáng tuyến tính VR ~ .
 Ir
lỗ trống khi bán dẫn hấp thụ ánh sáng. 105 cm 1
12/15/2023 60 12/15/2023 12/15/2023
Photodiode P-N Photodiode P-N Photodiode P-N

Chế độ quang thế Khi chiếu sáng và chưa cấp điện áp (chế độ quang thế) ◼ Thế hiệu mới trên tiếp xúc p-n :
Khi chiếu sáng và chưa cấp điện áp Khi chiếu vào bán dẫn chùm ánh sáng có năng lượng đủ U = Utx – UΦ
lớn hν ≥ ∆Eg: ❖ Utx: điện thế tiếp xúc vốn có của chuyển tiếp p-n.
◼ Khi có ánh sáng chiếu vào, chưa có điện áp cung cấp thì
❖ Một phần ánh sáng bị phản xạ, ❖ UΦ: điện thế tạo bởi các hạt dẫn mới phát sinh trong
vẫn có dòng điện qua nó: dòng tối, và bề mặt bán dẫn
có thế hiệu mới: suất điện động quang. ❖ Một phần đi sâu vào bán dẫn và bị hấp thụ sinh ra quá trình hấp thụ ánh sáng, và được gọi là sức điện
các cặp điện tử - lỗ trống. động quang.
❖ Dòng tối là một thông số quan trọng của photodiode.
UΦ < Utx
❖ Dòng này càng nhỏ, diode càng tốt vì dòng này sinh ▪ Tại miền này của bán dẫn p có sự không cân bằng nồng
độ hạt dẫn, các điện tử - lỗ trống mới phát sinh khuếch ◼ Sức điện động quang phụ thuộc vào:
nhiễu tạp âm.
tán về bờ miền nghèo chuyển tiếp p-n. ❖ Cường độ chùm sáng chiếu vào bán dẫn,
▪ Ở đây, điện tử bị điện trường tiếp xúc Etx của chuyển ❖ Hiệu suất của photon,
tiếp p-n cuốn sang bán dẫn n: dòng tối; còn lỗ trống bi ❖ Và nhiều yếu tố khác.
cản lại. Khi đó chuyển tiếp p-n đạt trạng thái cân bằng
mới
12/15/2023 63 12/15/2023 64 12/15/2023 65
2.3. Photođiot Photodiode P-N Photodiode P-N

◼ Chế độ quang thế: điện áp ngoài V = 0 và khi đạt cân ◼ Các đặc tuyến và tham số Đặc tuyến năng lượng của photodiode:
bằng qVd ❖ Đặc tuyến V-A: I Iф
Ir I 0 exp I0 I p 0
kT Sử dụng sơ đồ: (II) (I) ◼ Dòng Iф thay đổi tuyến
 Đo thế hở mạch VOC kT  I  U1>0 tính trong khoảng biến
= log1 + P  Φ2 > Φ1 > Φ = 0
q  I0  U2>0
thiên rộng của năng lượng
kT Ip chiếu sáng.
Khi Ip<< I0: Voc  .  nhỏ nhưng tỉ lệ với .
q I0 Rt It ◼ Cùng một lượng chiếu
Φ=0 IΦ V sáng, điện áp phân cực
Φ1
Khi Ip>> I0: VOC = kT log IP  lớn nhưng tỉ lệ với log. ngược càng lớn → dòng
Φ2
q I0 ISC Iф càng lớn.
(III) (IV)
 Đo dòng ngắn mạch: ф
Isc  Ip Rbé
12/15/2023 12/15/2023 67 12/15/2023 68
Photođiot Photodiode P-N Photodiode P-N
Độ nhạy: ▪ Đặc tuyến phổ tương đối của photodiode: ◼ Các tham số quan trọng của photodiode:
◼ S không phụ thuộc thông lượng ánh sáng . Thể hiện quan hệ độ nhạy của photodiode với bước sóng
❖ Điện áp công tác và điện áp đánh thủng là hai tham
ánh sáng chiếu vào bán dẫn.
◼ S phụ thuộc vào , với   s: S (A/W) số cho biết chế độ điện áp để photodiode làm việc an
S
❖ Ở vùng sóng ngắn, độ toàn.
nhạy của photodiode
0,4
IP q(1 − R)exp (− X) 0,3
S() = =  T1 T2 1,4 Ge giảm nhỏ. ❖ Độ nhạy, tần số giới hạn và chùm sáng ngưỡng cho
 hc 0,2 Si
0,1 ❖ Bán dẫn có độ rộng biết đặc tính của cảm biến.
0
0,3 0,4 0,5 0,6 0,7p 0,8 0,9 1,0 1,0 vùng cấm càng lớn →
S→Smax khi  = p  (m)
có bước sóng giới
(S(p ) = 0,1-1,0 A/W) hạn càng bé, và
◼ Khi nhiệt độ tăng, p dịch sang phải. 0,6
ngược lại.
◼ S phụ thuộc hiệu suất lượng tử , hệ số phản xạ R, hệ số 0,2
❖ Silic có ∆Eg = 1,1eV.
hấp thụ α.
0,4 0,8 1,2 1,4 1,6 λ(μm) ❖ Ge có ∆Eg = 0,7eV.
12/15/2023 12/15/2023 70 12/15/2023 71
Photodiode Photodiode Photođiot

Mạch đo và ứng dụng: - Sơ đồ làm việc ở chế độ quang thế: Chế độ quang dẫn: Chế độ quang thế:
- Sơ đồ mạch làm việc ở chế độ quang dẫn: R2 + Độ tuyến tính cao. + Có thể làm việc ở chế
Rm
+
+ Thời gian hồi đáp ngắn. độ tuyến tính hoặc logarit.
ES CP1 _
R2 ISC
+
Vco
_ + Dải thông lớn. + Ít nhiễu.
R1 R2
+ − R1 V0
− +
V0 + Thời gian hồi đáp lớn.
Rm Rm R1=Rm
V0 − R1+R2 C2 V0 + Dải thông nhỏ.
Ir + ES
R1 Sơ đồ tuyến Sơ đồ logarit
+ Nhạy cảm với nhiệt độ ở
tính
 R 
Sơ đồ cơ sở Sơ đồ tác động nhanh V0 = R m .I sc V0 = 1 + 2  Voc chế độ logarit.
 R   R1 
V0 = Rm 1 + 2 Ir V0 R1 R2 I r
 R1 
12/15/2023 12/15/2023 12/15/2023
2.3. Photođiot Phototransistor Phototransistor

c) Ứng dụng: ◼ 5.2. Nguyên lý hoạt động:
▪ PT có cấu tạo giống +E
- Chuyển mạch: điều khiển rơ le, cổng logic, …. như transistor thường. ◼ Khi sử dụng, PT được mắc mạch tương tự như
C
n transistor mắc E chung:
- Đo ánh sáng không đổi (Chế độ tuyến tính) ▪ Chỉ khác là: n
B
p ❖ Tiếp giáp B - E phân cực thuận
❖ Ở vỏ bọc phải có 
cửa sổ trong suốt để ❖ Tiếp giáp B - C phân cực ngược
E
ánh sáng chiếu qua Rt ⇔ Khi làm việc, PT được phân cực ở chế độ khuếch
UCE
đến vùng Bazor. đại.
+ -
❖ Không tác dụng Điện thế
◼ Khi chuyển tiếp B-C được chiếu sáng, nó sẽ hoạt
C
dòng lên Bazor mà động giống như photodiode với dòng ngược:
tác dụng ánh sáng Ký hiệu: Ir = I0 + Ip C
lên Bazor. - B
❖ I0: dòng ngược của chuyển tiếp p-n khi chưa + E
E
chiếu sáng Ip: dòng quang điện.
❖ Ir: đóng vai trò của dòng IB.
12/15/2023 12/15/2023 76 12/15/2023 77
Phototransistor Phototransistor 2.4. Phototranzito
◼ Ir đóng vai trò của dòng IB ⇔ Ir gây nên dòng IC: Đặc tuyến và các tham số Ic
c) Độ nhạy: S( ) =
IC = (β + 1)Ir ◼ Đặc tuyến V-A Ic  0
S()
= (β + 1)I0 + (β + 1)Ip ❖ Tương tự như đặc 2
Ic 1 Ir 1 I0 1 Ip (%)
10 50mW/cm S(p)
❖ β:
hệ số khuếch đại dòng của transistor khi đấu E tuyến của transistor
thường. 8 40mW/cm
2
Ic  Ip   và   Ic →   100
chung. +E IC
◼ Sơ đồ tương đương của 6 30mW/cm
2
 S    độ nhạy phụ thuộc thông 80
❖ Điểm khác ở đây là lượng ánh sáng.

phototransistor: 2 60
C các tham số không 4 20mW/cm
Có thể coi PT như một tổ hợp gồm: phải là dòng IB mà là 2 ◼ Độ nhạy phụ thuộc  40
2 10mW/cm
 B lượng chiếu sáng Ф. (hình vẽ) 20
❖ Một photodiode cung cấp dòng 0
quang điện tại Bazor, Ir UCE S(p) = 1  100A/W 0,4 0,6 0,8 1,0
E  p  (m)
❖ Một transistor cho hiệu ứng
khuếch đại Các đặc tuyến khác: Tương tự như của photodiode. Đường cong phổ hồi đáp
12/15/2023 Sơ đồ tương đương 78 12/15/2023 79 12/15/2023
2.4. Phototranzito Ứng dụng Cảm biến đo vận tốc
d) Ứng dụng phototranzito: c) Đo vận tốc gốc - Nguồn sáng là một diot phát quang
◼ Chuyển mạch: thông tin dạng nhị phân (có hay ◼ Tốc độ kế xung - Đĩa quay: đặt giữa nguồn sáng và đầu
thu, có các lỗ bố trí cách đều trên một
không có bức xạ, bức xạ nhỏ hơn hoặc lớn hơn ❖ Quang vòng tròn.
ngưỡng)→ điều khiển rơle, cổng logic hoặc
- Đầu thu là một photodiode hoặc
thyristo. phototranzitor.
+ + +
+ +
Hoạt động
- Khi đĩa quay, đầu thu chỉ chuyển mạch
khi nguồn sáng, lỗ, nguồn phát sáng
thẳng hàng.
1) Nguồn sáng 2) Thấu kính hội tụ - Đầu thu quang nhận được một thông
3) Đĩa quay 4) Đầu thu quang lượng ánh sáng thay đổi và phát tín hiệu
Điều khiển rơle Điều khiển cổng Điều khiển thyristo có tần số tỉ lệ với tốc độ quay nhưng
logic biên độ không phụ thuộc tốc độ quay.
 Cho độ khuếch đại lớn có thể dùng ĐK trực tiếp.
12/15/202 12/15/2023 82
3
Cảm biến đo vận tốc Cảm biến đo vận tốc Cảm biến đo vận tốc
◼ Absolute encoder (encoder tuyệt đối). ◼ Encoder tương đối ◼ Xác đinh chiều quay và tốc độ quay
Vấn đề chúng ta sẽ quan tâm ở đây, chính là vấn đề về độ mịn ◼ Ngõ ra: AB, ABZ, AB đảo, ABZ đảo
của encoder, có nghĩa là làm thế nào biết đĩa đã quay 1/2
vòng, 1/4 vòng, 1/8 vòng hay 1/n vòng, chứ không phải chỉ biết
đĩa đã quay được một vòng.
encoder có lỗ định vị: encoder có lỗ định vị và

chiều quay
12/15/2023 84 12/15/2023 85 12/15/2023 86
Cảm biến đo vận tốc Cảm biến khói Cảm biến khói
◼ Nguyên lý
12/15/2023 87 12/15/2023 88 12/15/2023 89
Cảm biến CCD (Charge Coupled Device) Cảm biến CCD (Charge Coupled Device) Cảm biến CCD (Charge Coupled Device)
Cảm biến CCD (viết tắt của Charge Coupled Device ◼ Nó là một trong hai loại cảm biến dùng phổ biến trong các ◼ Phần tử quan trọng nhất của cảm biến CCD
trong tiếng Anh và có nghĩa là "linh kiện tích điện kép") máy thu ảnh kỹ thuật số hiện nay, trong đó tín hiệu được là photodiode thực hiện chuyển đổi ánh sáng sang điện
là cảm biến chuyển đổi hình ảnh quang học sang tín số hóa bằng chip ADC nhanh.[1] tích. Nó cùng loại với photodiode trong Pin mặt trời. Điểm
hiệu điện trong các máy thu nhận hình ảnh. ❖ Cảm biến CCD mảng diện hai chiều được sử dụng khác ở chỗ được chế ra ở dạng siêu nhỏ để thu nhận
trong camera video, webcam, máy ảnh kỹ thuật điểm ảnh trong tấm ảnh chung, và ở giải pháp kỹ thuật để
số, kính nhìn đêm (Night vision),... cho ra ảnh trung thực nhất có thể, và điểm quan trọng
nhất: nó hoạt động theo cơ chế của thanh ghi dịch mà
❖ Cảm biến CCD dòng đơn được dùng trong máy nhờ đó thu được hình ảnh của một dòng không cần nhiều
fax, máy scan các kiểu, và máy đo quang phổ. đầu dây nối.
◼ Bề mặt chip CCD là mảng các pixel điện tử để thu nhận
hình ảnh. Ví dụ chip CCD có kích thước 2.5 x 2.5 cm thì
có thể có 1024x1024 hay là 2048 x 2048 pixel trên bề
mặt.
12/15/2023 90 12/15/2023 91 12/15/2023 92
Cảm biến CCD (Charge Coupled Device) Cảm biến CCD (Charge Coupled Device) Rô bốt dò đường
◼ Một cảm biến hình ảnh bao gồm một bảng mạch nhỏ gồm
các photodiode rất nhạy cảm với ánh sáng, chúng chuyển
đổi tín hiệu quang thành tín hiệu điện, mỗi diod khi bị ánh
sáng tác động sẽ sản sinh một điện áp tỷ lệ thuận với
cường độ ánh sáng nó nhận tác động,
◼ Cứ như vậy tùy theo cường độ của ánh sáng tác động
vào cảm biến, cảm biến sẽ tạo ra các tín hiệu hình ảnh
mang thông tin màu sắc của hình ảnh. Bộ phận xử lý tín
hiệu sẽ xử lý những tín hiệu này thành tín hiệu video đưa
tới hiển thị trên màn hình giám sát hoặc thiết bị ghi hình
trong hệ thống.
12/15/2023 93 12/15/2023 94 12/15/2023 95

Pin mặt trời
Pin mặt trời Cảm biến tiện cận quang
◼ Đặc tuyến ra của pin mặt trời: ◼ Cấu tạo
▪ Pin mặt trời là một bộ biến đổi năng lượng mặt trời I(mA)
thành năng lượng điện. Đặc tuyến V-A 70 ❖ Bộ phát sáng:
125mW/cm2
▪ Thực chất, pin mặt trời là: của pin mặt trời 60
✓ Thường dùng LED: LED đỏ, LED hồng ngoại, LED
100mW/cm2
- Một hệ gồm nhiều TBQĐ chuyển tiếp p-n,
50
lazer, …
40
- Chúng nối nhau trên một diện tích lớn, ✓ Ánh sáng được phát ra theo xung
30 50mW/cm2
- Thu được ánh sáng mặt trời nhiều nhất, ❖ Bộ thu sáng:
20
- Cung cấp một dòng điện lớn nhất. 10 ✓ Thường dùng Phototransistor
• Tầng bề mặt là loại bán dẫn p khá mỏng để ánh 0 ✓ Cảm nhận ánh ánh sáng và chuyển đổi thành tín
0 0,1 0,2 0,3 0,4 0,5 0,6 U(V)
sáng mặt trời có thể xuyên qua p đến gần bờ hiệu điện tỉ lệ
MĐTKG của chuyển tiếp p-n. ❖ Mạch tín hiệu ra:
• Niken phủ miền p: cực dương, bán dẫn n: cực âm ✓ Chuyển tín hiệu tỉ lệ từ bộ thu sáng thành tín hiệu
Friday, December
ON/OFF được khuếch đại
98
15, 2023
Cảm biến tiện cận quang Cảm biến tiện cận quang Cảm biến tiện cận quang
◼ Hoạt động ◼ Hoạt động ◼ Hoạt động
❖ Thu phát: ❖ Phản xạ gương: ❖ Phản xạ khuếch tán:
✓ Bộ thu và phát tách riêng biệt nhau ✓ Nguồn sáng phát ra tới gương và phản xạ lại bộ thu ✓ Bộ phát sáng phát nguồn sáng tới đối tượng
✓ Nếu có vật chắn ngang nguồn sáng sẽ có tín hiệu ✓ Nếu có vật chắn ngang nguồn sáng sẽ có tín hiệu ✓ Đối tượng này sẽ phản xạ một phần ánh sáng
ra ra (phản xạ khuếch tán) ngược lại bộ thu sáng, kích
hoạt tín hiệu ra
✓ Ưu điểm: khoảng cách phát hiện xa (có thể đến 30

✓ Ưu điểm: giá thành thấp hơn loại thu phát, dễ lắp ✓ Ưu điểm: giá thành thấp, dễ lắp đặt (chỉ cần 1 điểm
m), độ tin cậy và độ chính xác vị trí cao, phát hiện
được mọi vật thể (trừ trong suốt). đặt và hiệu chỉnh, tin cậy. lắp đặt duy nhất)
✓ Nhược điểm: mất nhiều thời gian cho việc lắp đặt, ✓ Nhược điểm: khoảng cách phát hiện ngắn, vẫn ✓ Nhược điểm: khoảng cách phát hiện ngắn và phụ
giá thành cao. cần 2 điểm lắp đặt cảm biến và gương thuộc vào kích thước, bề mặt và hình dáng của đối
Friday, December 99 Friday, December 100 Friday, December tượng. 101
15, 2023 15, 2023 15, 2023
Cảm biến tiện cận quang Cảm biến tiện cận quang Ứng dụng - Cảm biến tiện cận quang
◼ Ưu điểm ◼ Một số hình ảnh thực tế ◼ Một số ứng dụng
❖ Phát hiện được mọi vật liệu
❖ Ổn định và tốc độ cao
❖ Độ phân giải tốt
❖ Ảnh hưởng bởi nhiệt độ và độ ẩm
❖ Khó thiết kế
❖ Độ tuyến tính không cao
❖ Không chính xác bằng cảm biến loại cảm ứng
Friday, December 102 Friday, December 103 Friday, December 104

15, 2023 15, 2023 15, 2023
Ứng dụng - Cảm biến tiện cận quang Ứng dụng phát hiện đối tượng Cảm biến hồng ngoại
◼ Một số ứng dụng
LED
Đầu phát
Vật Thể
AMP
Dòng ra
AMP
Đầu thu -Trong chế tạo các thiết bị
cảm ứng hồng ngoại : cửa
tự động,,,,,,
Photo-transistor
Friday, December 105 106 107

15, 2023
Một số Ứng dụng Ứng dụng thu phát Một số Ứng dụng
Nếu sử dụng các sensor thường để phát hiện chai PET trong thì E3Z-T61, với tia sáng mạnh có thể xuyên qua vỏ bọc giấy bên
E3Z-B là loại sensor mới của Omron chuyên dùng để nhận biết đôi lúc không ổn định. Sensor E3Z-B có khả năng phát hiện tốt ngoài và vì vậy có thể phát hiện được sữa / nước trái cây tại thời
các chai PET và chai trong suốt. Bạn cũng có thể dùng model cũ với độ tin cậy rất cao. điểm hiện tại cũng như phát hiện được mức của chất lỏng này.
là E3S-CR67 .
108 109 110
Một số Ứng dụng Một số Ứng dụng Cảm biến quang điện phát xạ
◼ Cơ chế phát xạ điện tử khi chiếu sáng:
- Hấp thụ photon và giải phóng điện tử.
- Điện tử được giải phóng di chuyển → bề mặt.
- Điện tử thoát khỏi bề mặt vật liệu.
◼ Do nhiều nguyên nhân  số điện tử phát xạ trung bình
khi một photon bị hấp thụ (hiệu suất lượng tử) thường
nhỏ hơn 10% và ít khi vượt quá 30%.
Z4W-V là loại Laser sensor và nó có thể phát hiện được chiều cao
của bánh được làm ra với độ chính xác tới vài micromet.
111 12/15/2023 112 12/15/2023

Tế bào quang điện chân không Tế bào quang điện chân không Tế bào quang điện chân không
a) Cấu tạo: K A K ◼ Đặc tính V - A có hai vùng:

Ia (A)

A Ia
- Vùng điện tích không gian.
 b)  4
4,75 mW
a) - Vùng bão hòa.
A E 3
A 2
2,37 mW
◼ TBQĐ làm việc ở vùng bão hòa → tương đương nguồn
c) K K 1
0,95 mW
dòng, cường độ dòng chủ yếu phụ thuộc thông lượng
◼ Catot: có phủ lớp vật liệu nhạy với ánh sáng (Cs3Sb, Rm 0 20 40 60 80 100 120
ánh sáng. Điện trở trong  của tế bào quang điện rất lớn:
K2CsSb, Cs2Te, Rb2Te , CsTe …) đặt trong vỏ hình Vak (V)
trụ trong suốt (b) hoặc vỏ kim loại có một đầu trong Sơ đồ tương đương Đặc tính V - A 1  dIa 
= 
suốt (b) hoặc hộp bên trong được hút chân không   dVak  
(áp suất ~ 10-6 - 10-8 mmHg). • Khi chiếu sáng catot (K) các điện tử phát xạ
và dưới tác dụng của điện đường do Vak tạo ra
◼ Anot: bằng kim loại. Độ nhạy: S = Ia =10  100 mA/W
tập trung về anot (A)→ tạo thành dòng anot (Ia). 
12/15/2023 12/15/2023 12/15/2023
Tế bào quang điện chân không Tế bào quang điện dạng khí 3.3. Tế bào quang điện dạng khí
c) Đặc điểm và ứng dụng: a) Cấu tạo và nguyên lý làm việc: cấu tạo tương tự c) Đặc điểm và ứng dụng:
- Độ nhạy lớn ít phụ thuộc Vak. TBQĐ chân không, chỉ khác bên trong được điền đầy - Dòng Ia lớn.
bằng khí (acgon) dưới áp suất cỡ 10-1 - 10-2 mmHg. Stg.đối
- Tính ổn định cao - S phụ thuộc mạnh vào Vak.
8
6
 Chuyển mạch hoặc đo tín hiệu quang.  Chuyển mạch và đo tín hiệu 4
Ia (A)
quang.
Khi Vak < 20V, đặc tuyến I 2
2
- V có dạng giống TBQĐ. 0 20 40 60 80
Vak (V)
Khi điện áp cao, điện tử

1,5.10-2 lm
1
10-2 lm
chuyển động với tốc độ lớn

→ ion hoá các nguyên tử 0 20 40 60 80 100 120
Vak (V)
khí → Ia tăng 5 10 lần.
12/15/2023 12/15/2023 12/15/2023
Thiết bị nhân quang TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI Nội dung môn học
VIỆN ĐIỆN
❖ Chương 1: Tổng quan về cảm biến và Các mạch xử lý trong
đo lường
❖ Chương 2:Chuyển đổi nhiệt điện
❖ Chương 4: Cảm biến tĩnh điện( áp điện, điện dung)
❖ Chương 6: Chuyển đổi tĩnh điện Chuyển đổi điện tử và ion
12/15/2023 120 12/2/2022 2

Tài liệu tham khảo Chuyển đổi hóa điện. Cảm biến điện thế cực (pH)
➢ Sách: ◼ Chuyển đổi hóa điện là những chuyển đổi dựa trên các ◼ Hiện tượng điện thế cực: khi nhúng một kim
hiện tượng hóa điện xảy ra khi cho dòng điện đi qua bình
❖ Kĩ thuật đo lường các đại lượng điện tập 1,2- Phạm loại vào dung dịch thì giữa điện cực và dung
điện phân hoặc do quá trình ôxi hóa khử các điện cực. dịch sẽ xuất hiện một hiệu điện thế.
◼ Các hiện tượng này phụ thuộc vào tính chất của các điện ◼ Khi nồng độ dung dịch nhỏ các ion kim loại đi
❖ Ðo lường điện và các bộ cảm biến: Ng.V.Hoà và cực, bản chất và nồng độ của các dung dịch.
Hoàng Si Hồng vào dung dịch và kim loại có điện thế âm hơn
◼ Chuyển đổi hóa điện thường là một bình điện phân chứa dung dịch.
➢ Bài giảng và website: một dung dịch nào đó, có hai hay nhiều cực để nối với
◼ Khi nồng độ dung dịch cao thì ngược lại
❖ Bài giảng kĩ thuật đo lường và cảm biến-Hoàng Sĩ mạch đo lường.
Hồng. ◼ Để hiểu nguyên lý làm việc của các chuyển đổi hóa điện
❖ Bài giảng Cảm biến và kỹ thuật đo: P.T.N.Yến, ta cần nghiên cứu các hiện tượng điện hóa cơ bản gồm:
Ng.T.L.Huong, Lê Q. Huy ❖ Hiện tượng phân li,
❖ Điện thế cực,
❖ Bài giảng MEMs ITIMS - BKHN ❖ Hiện tượng điện phân
➢ Website: sciendirect.com/sensors and actuators A and B ❖ Sự phân cực.
12/2/2022 3 12/2/2022 4 12/2/2022 5
Cảm biến điện thế cực (pH) Cảm biến điện thế cực (pH) Cảm biến điện thế cực (pH)
◼ pH của một số thực phẩm và hóa chất ◼ Một điện cực nhúng vào một dung dịch điện phân, sẽ xuất ◼ Đối với tế bào, C có thể là [Na+], [K+].
hiện ở điện cực ấy một sức điện động theo luật Nernst. ◼ Đối với dung dịch axit hoặc bazơ, C là [H+].
RT
E=− ln  C  E pH = −
RT
ln  H + 
◼ Trong đó nF F  
❖ E: sức điện động Galvanic. ◼ Chuyển sang loga thập phân ta có: ; (1/lge= 2.303)
❖ R: hằng số Bolzman, R= 8.314 J mol-1 K-1. 2,303RT
❖ T: nhiệt độ Kelvin, T (0K) = 273 + t(0C); thông thường E pH = − lg  H + 
F
t= 250C
2,303RT
❖ n: hoá trị của ion H. Hay: E pH = pH ; pH = – lg [H+].
F
❖ F: hằng số Faraday, F = 96 485.339 9(24) C/mol.
❖ C: nồng độ ion có trong dung dịch. ◼ Như vậy EpH phụ thuộc vào nồng độ của ion H+ và nhiệt
độ T.
12/2/2022 6 12/2/2022 7 12/2/2022 8
◼ Như vậy EpH phụ thuộc vào nồng độ của ion H+ và nhiệt ◼ Bảng quan hệ giữa độ pH, điện thế điện cực và nồng độ Ta có các khái niệm về độ pH như sau
chất hoà tan (ở T= 2980K, ).
độ T. ◼ pH là đại lượng không thứ nguyên dùng để chỉ hoạt độ của
◼ Bảng sau là quan hệ giữa độ pH, điện thế điện cực và Tên chất Nồng độ phân Điện thế pH ion H+ trong dung dịch được tính bằng công thức sau:
nồng độ chất hoà tan (ở T= 2980K, ). tử gam (mol/l) điện cực (V)
Ammonium chloride 0.1 0.272 4.6
pH=-log10[H+]
Tên chất Nồng độ phân Điện thế điện pH Ammonium sulphate Bão hoà 0.325 5.5 Trong đó [H+] là hoạt độ của ion H+, hay nồng độ mol/lit của
tử gam (mol/l) cực (V) Calcium hydroxide 0.1 0.733 12.4 ion H+ trong dung dịch.
Axit benzoic 0.1 0.165 2.8 Kali acetate 0.1 0.573 9.7 ◼ Độ pH nói lên tính axit hay bazơ của dung dịch. pH nhỏ hơn
Kali carbonate 0.1 0.485 8.2 7 là dung dịch axit, pH lớn hơn 7 là dung dịch bazơ, pH
Axit citric 0.01 0.313 5.3 Kali dihydrogen citrate 0.1 0.680 11.5 bằng 7 là dung dịch trung tính.
Axit citric 0.1 0.124 2.1 Natri acetate 0.1 0.526 8.9
◼ Phần lớn các chất có pH nằm trong khoảng từ 0 đến 14,
Axit hydrochloric 0.1 0.065 1.1 Natri carbonate 0.1 0.680 11.5
mặc dù các chất cực axít hay cực kiềm có thể có pH < 0 hay
Ammonia 0.05 0.668 11.3 NaOH 0.1 0.762 12.9
Natri Phosphare 0.1 0.266 4.5
pH > 14.
Ammonium alum 0.1 0.272 4.6
12/2/2022 9 12/2/2022 10 12/2/2022 11
Cảm biến điện thế cực (pH)– Điện cực Hydro Cảm biến điện thế cực (pH)– Điện cực thủy tinh Cảm biến điện thế cực (pH)– Điện cực thủy tinh
◼ Công thức Nernst chỉ thật đúng với điện cực H. Điện cực ◼ Trong công nghiệp người ta sử dụng điện cực thuỷ tinh. ◼ Điện cực thuỷ tinh gồm 1 bầu thuỷ tinh có thành rất mỏng
H là một điện cực Pt xốp xung quanh có các phân tử H ◼ Phần tử đo độ pH thường được sử dụng gồm 2 điện cực (0,02mm) trong có dung dịch AgCl và điện cực bạc.
hấp phụ là điện cực thuỷ tinh và điện cực calomel nhúng trong
◼ Điện cực H được thực hiện bằng cách cho sục khí H vào dung dịch cần đo
dung dịch đo ở phía dưới điện cực Pt xốp ấy.
Cấu tạo
của điện
cực thuỷ
tinh
12/2/2022 12 12/2/2022 13 12/2/2022 14
Cảm biến điện thế cực (pH) – Điện cực thủy tinh Cảm biến điện thế cực (pH) – Điện cực nền Cảm biến điện thế cực (pH) – Điện cực nền
◼ Điện cực thuỷ tinh có tính chất giống như điện cực H có ◼ Điện cực thứ 2 của đầu đo pH là một điện cực nền. Điện cực Cấu tạo điện cực đo và điện cực chuẩn từ Calomel
hệ số e = 0,058V/pH ở nhiệt độ 180C, hệ số nhiệt độ 1 = nền là một điện cực mà điện áp ở điện cực so với dung dịch (Hg2Cl2)
0,0035/0C không phụ thuộc vào nồng độ ion H+ có trong dung dịch.
◼ Điện cực calomet được chế tạo như sau:
◼ Điện cực thuỷ tinh tuy mỏng mảnh nhưng hoạt động tốt, ◼ Dưới cùng là thuỷ ngân (Hg), trên là một lớp tinh thể
ổn định; nhược điểm lớn nhất là điện trở của điện cực rất Hg2Cl2, sau đó là dung dịch KCl bão hoà.
lớn (108 - 109). Vì vậy đòi hỏi thiết bị đo phải có điện trở
vào Rv > 1011 – 10-12. ◼ Điện cực
calomel được
nối với dung
dịch do thông
qua một cầu
điện phân KCl.
12/2/2022 15 12/2/2022 16 12/2/2022 17
◼ Để đảm bảo điện trở vào rất lớn, ta thường dùng một ◼ Các điện cực thương phẩm được chế tạo phối hợp tức ◼ Ảnh hưởng của nhiệt độ
khuếch đại đo lường điện cực đo (điện cực thuỷ tinh) và điện cực nền ◼ Giá trị pH chính xác nhất nhận được khi nhiệt độ của
(calomel) được chế tạo trong một đầu đo. Để đảm bảo dung dịch hiệu chuẩn và dung dịch đo được giống hệt
tính chống nhiễu cao, dây dẫn được bọc kim với các đầu nhau.
cắm đặc biệt.
◼ Điện cực nền Ag/AgCl/Cl được nhúng hoàn toàn trong
một Gel - polymer – electrolyte thể rắn.
◼ Khi tính chất dung dịch đo thay đổi, nồng độ của Gel –
electrolyte biến đổi rất chậm nên đặc tính điện hoá của
đầu đo không thay đổi theo thời gian.
12/2/2022 18 12/2/2022 19 12/2/2022 20

Transmitter pH Transmitter pH
◼ Trong đó E0 cũng phụ thuộc vào nhiệt độ và ta có thể viết
lại công thức như sau: ◼ Hệ thống đo pH gồm Sơ đồ khối của transmitter pH
T Saturated K T Saturated K ◼ Sức điện động galvanic (điện áp điện cực) còn phụ thuộc
[ 0C] [V] [ 0C] [V] vào nhiệt độ của dung dịch theo quan hệ sau:
0 0.2598 50 0.2268
EpH = e(pH – pHi)[1 + t(t – t0)]
5 0.2569 55 0.2230
10 0.2542 60 0.2191 Với e = 58,1 mV
15 0.2510 65 0.2151 ◼ Nếu pHi ở ngay trên trục toạ độ (pHi = 0, t0 = 00C) ta có:
20 0.2478 70 0.2110
25 0.2444 75 0.2069 EpH = e.pH0 [1 +t (t – t0)]; t = 0.0035/ 0C
30 0.2411 80 0.2026 ◼ Trong thiết bị đo, ta phải bố trí tự động bù nhiệt độ của
35 0.2376 85 0.1982 dung dịch. Vì thế, trong các điện cực pH người ta bố trí
40 0.2341 90 0.1938 thêm một nhiệt điện trở Pt – 1000 (1000 Ω) để đo nhiệt độ
45 0.2304 95 0.1892 dung dịch và tự động bù.
100 0.1846
12/2/2022 21 12/2/2022 22 12/2/2022 23
Transmitter pH Đo điện dẫn suất (Conductormeter)

◼ Sơ đồ transmitter pH được bố trí như hình vẽ sau (thiết ◼ Sự bù nhiệt độ của tranmister sẽ khắc phục hiệu ứng này. Điện dẫn suất của dung dịch điện phân
kế được chế tạo bởi liên hiệp khoa học SEEN – VN, dùng Một điện cực sẽ có trạng thái nhiệt độ lý tưởng nếu các ◼ Điện dẫn suất của dung dịch điện phân phụ thuộc vào
với đầu đo PH20 của Yokogawa). đường chuẩn của nó (đường đẳng nhiệt) cắt nhau tại nồng độ của dung dịch ấy.
điểm không của điện cực (pH 7 = O mV) ở các nhiệt độ
khác nhau (xem hình bên dưới).  = f(c)
 được gọi là suất điện dẫn riêng của dung dịch.
◼ Ta thấy quan hệ giữa điện

dẫn suất của dung dịch và
nồng độ chất hòa tan là
tương đối tuyến tính ở vùng
nồng độ thấp, còn ở nồng
độ cao nó không còn tuyến
tính nữa.
12/2/2022 24 12/2/2022 25 12/2/2022 26

Kĩ Thuật Cảm Biến: Giảng viên: Nguyễn Thị Huế

Uploaded by

Document Information

Original Title

Copyright

Available Formats

Share this document

Share or Embed Document

Sharing Options

Did you find this document useful?

Is this content inappropriate?

Copyright:

Available Formats

Kĩ Thuật Cảm Biến: Giảng viên: Nguyễn Thị Huế

Uploaded by

Copyright:

Available Formats

Tài liệu tham khảo

Khái niệm cảm biến Khái niệm Tổng quan về transmitter

12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 7 12/15/2023 8 12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 9

12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 10 12/15/2023 11 12/15/2023 12

• Cảm biến truyền CHTH (chủ động). CHTH.

12/15/2023 13 12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 14 12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 15

12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 16 12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 17 12/15/2023 18

• Sức khỏe con người

Đơn vị Quy đổi ra SI Đơn vị Quy đổi ra SI

Thời gian giây s

12/15/2023 25 12/15/2023 26 12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 27

o Khi K=const -> X,Y là tuyến tính.

dKXt/KXt - Thể hiện tính ổn định Miền độ nhạy trung

thiết bị đo.

Tính lặp lại Độ bão hòa Độ lựa chọn (sel)

Trong đó : yc- Sai số yêu cầu; PA : Tổn hao X

12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 40 41 42

Hàm truyền cơ bản : h(t) g(t)

43 44 12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 45

Các mạch đo và xử lý trong đo lường Mạch cầu đo

• Mạch cầu wheston • Cầu cân bằng

12/15/2023 64 12/15/2023 65 12/15/2023 Nguyễn Thị Huế 66

12/15/2023 70 12/15/2023 71 12/15/2023 NTH - BM KTĐ & THCN 72

Mạch này không có tác dụng

◼ Hệ số khuếch đại cả mạch

• Ví dụ ISO 100 • Cách ly quang • Mạch cộng không đảo

• Trong ví dụ này, điện áp cung cấp cho cầu đo được tạo ra từ

n • Biểu thức tính điện áp ra của mạch:

• Truyền đạt áp:

Mạch tích phân Mạch vi phân Mạch so sánh

Bộ lọc Bộ lọc Bộ lọc

Bộ lọc thông thấp Bộ lọc thông cao Bộ lọc

• Bộ lọc thông thấp • Bộ lọc thông dải

• Các bước chuyển đổi AD xe(t)

với một chuỗi xung

Sai số rời rạc hóa Trường hợp không tuyến tính Ví dụ

ADS 930 8 0,097 FF,GG 30MHz P (song song) chuẩn ngoài

• C=0-4V G=0- -10V S= 10V FF=1,5-3,5V

❖ Chương 5: Chuyển đổi điện từ ➢ Bài giảng và website:

12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 4 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 5 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 6

12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 7 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 8 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 9

12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 10 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 11 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 12

Các loại RTD Các loại RTD Các loại RTD

◼ Thường dùng: Làm các chức năng đo nhiệt độ để bảo RT = A.e T

12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 25 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 26 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 27

Một số mạch đo dùng nguồn áp Một số mạch đo Một số mạch đo

12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 31 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 32 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 33

Sơ đồ nguyên lý của transmitter nhiệt điện trở; (b) Transmitter

Sơ đồ nối dây Calibration. Đo nhiệt độ Bài tập

12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 46 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 47 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 48

Cặp nhiệt điện (TC) Cấu tạo Cấu tạo

Mối nối chuẩn Loại bỏ mối nối ở đầu đo Loại bỏ bồn đá

Loại bỏ bồn đá Bù phần mềm Bù phần mềm

◼ Sử dụng luật điểm giữa ta có thể loại

12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 70 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 71 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 72

Tại sao lại dùng Thermistor? Bù phần cứng Mạch đo

◼ Một câu hỏi đặt ra là nếu ta ◼ Dùng cầu bù

◼ Lý do là thermistor, RTD chỉ

➢ Ưu điểm: Tốc độ nhanh do ➢ Ưu điểm: Mềm dẻo, có thể

➢ Nhược điểm: Chỉ có một loại

Chuyển đổi mV ra nhiệt độ Chuyển đổi nhiệt độ ra mV Ưu nhược điểm của TC

ET: sức điện động nhiệt ngẫu

12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 86 12/15/2023 NTH-BM KTĐ&THCN 87