ĐẠI HỌC QUỐC GIA TP.

HỒ CHÍ MINH
TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA
KHOA KHOA HỌC ỨNG DỤNG

BÁO CÁO BÀI TẬP LỚN

MÔN CẢM BIẾN VÀ KĨ THUẬT ĐO LƯỜNG

LỚP L01:

GVHD: Thầy Lê Ngọc Đình

DSSV: Phan Thị Quỳnh Như – 2114338

Huỳnh Đông Đăng Nguyên – 2114215
Trần Thảo Nguyên – 2110403
Nguyễn Đan Phụng Nhi – 2114314

Tp. HCM, 4/2024

 MỤC LỤC

DANH MỤC HÌNH ẢNH ................................................................................................ i

DANH MỤC BẢNG ....................................................................................................... ii
I. CÁC ĐẶC TRƯNG CỦA CẢM BIẾN ........................................................................ 1
1. Đặc trưng mong muốn của cảm biến ........................................................................ 1
1.1 Độ chính xác (Accuracy) ..................................................................................... 1
1.2. Độ nhạy (S) ........................................................................................................ 2
2. Đặc trưng không mong muốn ................................................................................... 4
2.1 Độ trôi nhiệt (Drift) ............................................................................................. 4
2.2 Độ trễ (Hysteresis) .............................................................................................. 6
2.3 Độ phân giải (Resolution) ................................................................................... 7
2.4 Phi tuyến (NonLinearity) ..................................................................................... 8
2.5 Ngưỡng đo (Span or Full_Scale Full Scale Input)................................................ 9
2.6 Vùng chết (Dead band)...................................................................................... 10
II. ĐỘ CHÍNH XÁC CỦA RTD, CẶP NHIỆT ĐIỆN .................................................... 10
1. Độ chính xác của RTD ........................................................................................... 10
2. Độ chính xác của cặp nhiệt điện ............................................................................. 12
3. So sánh độ chính xác RTD và cặp nhiệt điện .......................................................... 15
TÀI LIỆU THAM KHẢO ............................................................................................. 16
 DANH MỤC HÌNH ẢNH
Hình 1 (a) Giới hạn độ chính xác (b) Độ chính xác được xác định theo giá trị đầu vào ... 1
Hình 2 Sự thay đổi của độ nhạy trên đồ thị hàm truyền không tuyến tính......................... 3
Hình 3 Hàm truyền khi trôi điểm zero.............................................................................. 5
Hình 4 Hàm truyền khi trôi độ nhạy................................................................................. 5
Hình 5 Hàm truyền khi trôi điểm zero và trôi độ nhạy ..................................................... 6
Hình 6 Phân tích hàm truyền trong trường hợp trôi điểm zero, độ nhạy hoặc cả hai ......... 6
Hình 7 Độ trễ ................................................................................................................... 7
Hình 8 Xấp xỉ tuyến tính của hàm truyền phi tuyến ......................................................... 9
Hình 9 Tuyến tính độc lập ............................................................................................... 9
Hình 10 Vùng chết......................................................................................................... 10
Hình 11 Dung sai nhiệt đọ, điện trở của RTD Pt100 theo tiêu chuẩn IEC 751-95 .......... 11
Hình 12 So sánh ưu, nhược điểm các loại vật liệu làm RTD như Ni, Cu, Pt ................... 11
Hình 13 Dung sai, tầm đo các loại cặp nhiệt điện theo tiêu chuẩn ASTM E230 – ANSI MC
96.1, IEC 584 – 2........................................................................................................... 13
Hình 14 Tầm đo và độ chính xác của 80 PK – 26 .......................................................... 14
Hình 15 Tầm đo và độ chính xác của 80 PT – 25 ........................................................... 14

i
 DANH MỤC BẢNG
Bảng 1 Độ chính xác của toàn tầm đo, giai đo, giá trị đọc ................................................ 2
Bảng 2 Độ nhạy của một số cảm biến tiêu biểu ................................................................ 2
Bảng 3 So sánh giữa các tính chất của bạch kim, đồng và niken có ảnh hưởng đến mức độ
chính xác của RTD ........................................................................................................ 12

ii
I. CÁC ĐẶC TRƯNG CỦA CẢM BIẾN
1. Đặc trưng mong muốn của cảm biến
1.1 Độ chính xác (Accuracy)
Định nghĩa:
Một đặc tính rất quan trọng của cảm biến là độ chính xác, thực sự có nghĩa là không
chính xác. Độ không chính xác được đo bằng độ lệch cao nhất của giá trị được cảm biến
biểu thị so với giá trị lý tưởng hoặc giá trị thực của kích thích ở đầu vào của nó. Giá trị
thực được quy cho đối tượng đo và được chấp nhận là có độ không đảm bảo xác định. vì
người ta không bao giờ có thể chắc chắn tuyệt đối giá trị thực sự là bao nhiêu.
Được đảm bảo bởi nhà sản xuất và đưa vào tài liệu kỹ thuật để hướng dẫn sử dụng.
Độ chính xác thể hiện mức độ gần như trùng khớp giữa đại lượng đo được và đại lượng
cần đo.

Hình 1 (a) Giới hạn độ chính xác (b) Độ chính xác được xác định theo giá trị đầu vào
Thường có thể định nghĩa rõ ràng cho các loại độ chính xác :

Độ chính xác cho toàn tầm đo % FSD

( Full Scale Detection )

1
 Độ chính xác của giai đo Cảm biến nhiệt chỉ sử dụng trong khoảng -20°C đến
50°C sẽ có độ chính xác 1% được tính trong khoảng
70°C

Độ chính xác cho giá trị đo được Mức độ chính xác là 1% của trị đo được là 800°C
Bảng 1 Độ chính xác của toàn tầm đo, giai đo, giá trị đọc
Yếu tố ảnh hưởng đến độ chính xác của cảm biến
 Chất lượng sản xuất: Quá trình sản xuất cảm biến cần được kiểm soát chặt chẽ để
đảm bảo độ chính xác cao. Chất lượng linh kiện và quá trình lắp ráp có thể ảnh
hưởng đến sai số của cảm biến.
 Hiệu chuẩn: Quá trình hiệu chuẩn định kỳ và đúng cách giúp điều chỉnh các giá trị
đầu ra của cảm biến và loại bỏ sai số hệ thống. Hiệu chuẩn định kỳ là quan trọng để
đảm bảo độ chính xác trong thời gian dài.
 Nhiễu và nhiễu nền: Nếu cảm biến không được bảo vệ khỏi nhiễu và nhiễu nền hoặc
không có khả năng loại bỏ chúng, chúng có thể ảnh hưởng đến độ chính xác của
cảm biến.
1.2. Độ nhạy (S)

Định nghĩa:
Độ nhạy cảm biến được định nghĩa là sự thay đổi đầu ra trên mỗi thay đổi đầu vào. Độ
nhạy của cảm biến kỹ thuật số có liên quan đến độ phân giải. Độ nhạy của cảm biến analog
là độ dốc của đường đầu ra so với đường đầu vào. Cảm biến thể hiện hành vi tuyến tính
thực sự có độ nhạy không đổi trên toàn bộ phạm vi đầu vào.

s=Δs/Δm

Vậy độ nhạy là độ dốc của đường biểu diễn của quan hệ S = F(m) của cảm biến . Trong
trường hợp cảm biến như dịch chuyển, vận tốc, gia tốc, biến dạng, lực… có đặc trưng vectơ
độ nhạy phải biểu thị cả chiều của đại lượng.

GIÁ TRỊ ĐỘ NHẠY CỦA MỘT SỐ CẢM BIẾN TIÊU BIỂU

Cảm biến dịch chuyển điện dung 10 V/mm
Cảm biến áp suất 80 mV/kPa
Cảm biến nhiệt 15mV/oK
Cảm biến biến dạng 150 ∆R/R
Cảm biến gia tốc áp điện 110 pico Coulomb/N
Cảm biến ánh sáng 50 digit/ lux
Cảm biến huyết áp 10mV/mmHg
Bảng 2 Độ nhạy của một số cảm biến tiêu biểu

2
 Sai số độ nhạy:
Thông số độ nhạy thường được cung cấp bởi nhà sản xuất qua các tài liệu kỹ thuật .
Tuy nhiên khi cung cấp ra thị trường , trong điều kiện thực tế của môi trường sử dụng tạo
ra sự khác biệt giữa độ nhạy lý tưởng và thực tế , đó là sai số độ nhạy.
Sự thay đổi của độ nhạy do tính phi tuyến trong mối quan hệ vào và ra của cảm
biến
Với cảm biến có đặc trưng tuyến tính, chỉ có một điện nhạy duy nhất cho suốt tầm đo.
Nhưng nếu đặc trưng này là phi tuyến sẽ có sự khác biệt các giá trị độ nhạy ở các tầm đo
trãi rộng.
Độ tuyến tính
Độ tuyến tính cho thấy tính chất không biến đổi của độ nhạy cảm biến trong cả tầm đo.
Ở đây ta giả sử mối quan hệ vào và ra của cảm biến có dạng phương trình đường thẳng y
= mx + b trong đó y là ngõ ra còn x là ngõ vào.
Nếu cảm biến phi tuyến, việc xấp xỉ hóa dưới dạng phương trình bậc nhất sẽ dẫn đến
sai số.
Xấp xỉ tuyến tính từng đoạn là một phương pháp mạnh mẽ được sử dụng trong hệ thống
thu thập dữ liệu trên máy.
Các đoạn cong giữa các điểm mẫu (nút thắt) phân định các phần được thay thế bằng
các đoạn thẳng, do đó đơn giản hóa đáng kể hoạt động của hàm giữa các điểm mẫu. Nói
cách khác, các nút thắt được kết nối bằng đồ họa bằng các đường thẳng.
Hệ thống tuyến tính có tính chất chồng chất. Nếu phản hồi của hệ thống đối với đầu
vào A là đầu ra A và phản hồi đối với đầu vào B là đầu ra B thì phản hồi đối với đầu vào
C (=đầu vào A + đầu vào B) sẽ là đầu ra C (=đầu ra A + đầu ra B).

Hình 2 Sự thay đổi của độ nhạy trên đồ thị hàm truyền không tuyến tính

3
 Các yếu tố khác ảnh hưởng đến độ nhạy của cảm biến
 Thiết kế cảm biến: Thiết kế cảm biến cần tối ưu hóa để có độ nhạy cao. Điều này
bao gồm lựa chọn linh kiện và vật liệu phù hợp, cấu trúc cảm biến chính xác và quá
trình sản xuất tốt.
 Điều kiện môi trường: Môi trường hoạt động của cảm biến có thể ảnh hưởng đến độ
nhạy. Nhiệt độ, độ ẩm và ánh sáng có thể gây ra biến đổi trong đầu ra của cảm biến
và ảnh hưởng đến độ nhạy của nó
2. Đặc trưng không mong muốn
2.1 Độ trôi nhiệt (Drift)
Mô tả đặc trưng không mong muốn trong đầu ra cảm biến khi đầu vào không thay
đổi. Thay vì xảy ra đột ngột, độ trôi nhiệt thường được nhận thấy qua thời gian dài và có
thể do thời gian sử dụng, biến đổi môi trường hoặc đặc tính bên trong của vật liệu cảm
biến.
Độ trôi nhiệt do các yếu tố:
 Lão hóa của các bộ phận: Các vật liệu được sử dụng trong cảm biến có thể bị ảnh
hưởng bởi thời gian hoặc mài mòn, điều này có thể dẫn đến thay đổi các đặc tính.
 Tác động nhiệt: Sự biến đổi nhiệt độ có thể ảnh hưởng đến sự kháng, dung tích, và
các đặc tính khác của các bộ phận cảm biến. Khi tiếp xúc với sự biến đổi nhiệt độ
đột ngột hoặc mạnh, thậm chí cả các cảm biến có sửa đổi nhiệt độ cũng có thể bị
lệch.
 Biến dạng cơ học: các cảm biến phụ thuộc vào biến dạng vật liệu hoặc chuyển động,
sự căng thẳng vật lý hoặc việc sử dụng lặp đi lặp lại có thể dẫn đến các thay đổi cơ
học gây ra lệch.
 Hóa học: Các thành phần cảm biến có thể bị ảnh hưởng trong các tình huống chứa
các chất hóa học bay hơi hoặc độ ẩm, điều này cuối cùng có thể gây ra lệch.
 Nhiễm điện: trôi nhiệt trong thời gian dài cũng có thể là kết quả của nhiễu điện mức
thấp tích tụ trong các thành phần điện.
Có 3 loại trôi nhiệt:
 Độ lệch hoặc độ trôi điểm không (Zero drift or bias): mô tả hiệu ứng trong đó số
đọc bằng không của thiết bị được thay đổi trong điều kiện môi trường xung quanh.

4
 Hình 3 Hàm truyền khi trôi điểm zero
 Độ lệch độ nhạy (Sensitivity drift or scale factor drift): xác định mức độ mà độ nhạy
của một công cụ đo lường thay đổi khi điều kiện môi trường thay đổi.

Hình 4 Hàm truyền khi trôi độ nhạy

 Ảnh hưởng của cả trôi điểm zero và trôi độ nhạy (Zero and sensitivity drift)

5
 Hình 5 Hàm truyền khi trôi điểm zero và trôi độ nhạy

Hình 6 Phân tích hàm truyền trong trường hợp trôi điểm zero, độ nhạy hoặc cả hai

2.2 Độ trễ (Hysteresis)

Là mức độ sai số gây ra ở đầu ra đối với một giá trị đầu vào nhất định, khi giá trị
này được tiếp cận từ các hướng ngược nhau; tức là từ thứ tự tăng dần rồi đến thứ tự giảm
dần.
Độ trễ là độ lệch đầu ra của cảm biến tại một điểm xác định của tín hiệu đầu vào khi nó
được tiếp cận từ các hướng ngược lại. Ví dụ, một cảm biến dịch chuyển khi vật thể di
chuyển từ trái sang phải tại một điểm nhất định tạo ra điện áp, khác 20 mV so với khi vật
thể di chuyển từ phải sang trái. Nếu độ nhạy của cảm biến là 10 mV/mm, sai số độ trễ về
đơn vị dịch chuyển là 2 mm.
Một số yếu tố khiến cảm biến bị trễ:

6
  Trạng thái vật liệu: một số vật liệu làm cảm biến, đặc biệt là những vật liệu từ tính
và tính đàn hồi. Có thể chúng không thể quay lại hình dạng ban đầu ngay lập tức
khi tiếp xúc với môi trường ngoài.
 Ma sát cơ học: hiện tượng trễ có thể xảy ra do các ma sát của các bộ phận bên trong
cảm biến. Điều này làm kết quả đầu ra trễ và khó đáp ứng một cách nhanh chóng
đối với những thay đổi.
 Nhiệt độ: nếu cảm biến không có đủ thời gian cân bằng nhiệt, sự thay đổi nhiệt độ
có thể làm thay đổi tính chất vật liệu và gây độ trễ hoặc độ phản hồi châm.
Độ trễ có thể được loại bỏ bằng cách lấy số đọc theo cả hai hướng và sau đó lấy trung
bình số học của nó.
 Lựa chọn vật liệu: chọn vật liệu có khả năng biến dạng và quay lại trạng thái ban
đầu thấp. Một số cảm biến áp suất có thể giảm hiệu ứng trễ bằng cách dùng vật liệu
không đàn hồi.
 Bù nhiệt: hãy đảm bảo cảm biến hoạt động trong môi trường nhiệt độ nằm trong
khoảng phạm vi nhiệt độ xác định trước hoặc sử dụng các thiết bị bù nhiệt độ.
 Cân chuẩn: cân chuẩn cảm biến thường xuyên có thể hỗ trợ phát hiện và giảm thiểu
hiệu ứng trễ. Một số cảm biến phức tạp nhất định có thuật toán tích hợp để hiệu
chỉnh độ trễ.
 Thiết kế cơ học: sử dụng chất bôi trơn làm giảm lực ma sát hoặc ma sát giúp giữ
cho các bề mặt cố định không bị chuyển động.
Mặc dù hiện tượng trễ gây khó khăn trong nhiều ứng dụng cảm biến, nhưng tác động
của nó có thể được kiểm soát và giảm thiểu thông qua sự hiểu biết thấu đáo về nguồn gốc
và hậu quả của nó, thiết kế cẩn thận và lựa chọn vật liệu.

Hình 7 Độ trễ

2.3 Độ phân giải (Resolution)

Độ phân giải của cảm biến là sự thay đổi nhỏ nhất của đại lượng đo mà cảm biến có
thể chuyển đổi được để tạo nên sự thay đổi ngõ ra và có thể phát hiện được. Cần hết sức
lưu ý về khả năng phân giải của cảm biến vì nó nói lên tính khả dụng của cảm biến. Cảm
biến không thể chuyển đổi được các đại lượng vật lý ngoài tầm phân giải của nó.

7
 Khi một kích thích liên tục thay đổi trong phạm vi, tín hiệu đầu ra của một số cảm
biến sẽ không hoàn toàn trơn tru, ngay cả trong điều kiện không có nhiễu. Bất kỳ tín hiệu
nào được chuyển đổi sang định dạng kỹ thuật số đều được chia thành các bước nhỏ trong
đó một số được gán cho mỗi bước. Độ lớn của biến thiên đầu vào, dẫn đến bước nhỏ nhất
của đầu ra, được chỉ định là độ phân giải trong các điều kiện cụ thể.
Ví dụ, một cái nhiệt kế có độ phân giải là 0.1°C có thể phát hiện các thay đổi nhiệt
độ chỉ cần 0.1°C.
Yếu tố ảnh hưởng độ phân giải:
 Chất lượng dữ liệu: Dữ liệu chi tiết và chính xác hơn có thể được thu thập với độ
phân giải tốt hơn, giúp hiển thị kết quả rõ ràng về các thay đổi trong tham số đo
được.
 Tăng cường kiểm soát: Độ phân giải là rất quan trọng để duy trì hiệu suất tối ưu,
đặc biệt trong các hệ thống kiểm soát nơi mà thậm chí những thay đổi nhỏ cũng có
thể tạo ra tác động lớn.
 Nhiễu và Dữ liệu: Trong các hệ thống số, cách đọc không chính xác có thể phát sinh
từ khả năng của cảm biến độ phân giải thấp không phân biệt được giữa những biến
động nhỏ (nhiễu) và thay đổi dữ liệu thực sự.
Vai trò của độ phân giải trong xác định hiệu suất hệ thống cảm biến:
 Các cảm biến có độ phân giải cao có thể cung cấp thông tin giúp việc ra quyết định
chính xác và có căn cứ hơn.
 Độ phân giải của cảm biến có thể ảnh hưởng trực tiếp đến cách mà các hệ thống
điều khiển phản hồi đối với các tình huống thay đổi. Ví dụ, một cảm biến nhiệt độ
có độ phân giải cao có thể dẫn đến quản lý nhiệt độ ổn định và nhất quán hơn trong
một buồng kiểm soát nhiệt độ.
 Độ phân giải của một cảm biến trong các hệ thống đo lường có thể ảnh hưởng lớn
đến tổng sai số. Trước tiên sai số có thể được giảm bớt bằng cách đảm bảo rằng một
cảm biến có đủ độ phân giải cho mục đích sử dụng.
2.4 Phi tuyến (NonLinearity)
Lỗi phi tuyến được chỉ định cho các cảm biến có chức năng truyền có thể được xấp
xỉ bằng một đường thẳng. Phi tuyến là độ lệch tối đa của hàm truyền thực so với đường
thẳng gần đúng.
Thông thường, độ phi tuyến được tính bằng % giai đo hoặc theo giá trị đo được, ví
dụ, tính bằng kPa hoặc độ C. Một số cách xác định hệ số phi tuyến là xác định các điểm
đầu cuối (terminal points), nghĩa là xác định các giá trị đầu ra ở các giá trị kích thích nhỏ
nhất và cao nhất và vẽ một đường thẳng qua hai điểm này. Gần các điểm đầu cuối, sai số
phi tuyến là nhỏ nhất và nó cao hơn ở đâu đó ở giữa. Trong một số ứng dụng, độ chính xác
cao hơn rất cần thiết. Ví dụ, nhiệt kế y tế phải có độ chính xác tốt nhất trong vùng định
nghĩa sốt nằm trong khoảng từ 37 đến 38 độ C.

8
 Hình 8 Xấp xỉ tuyến tính của hàm truyền phi tuyến
Tuyến tính độc lập (best straight line) là một đường thẳng giữa hai đường thẳng
song song gần nhau nhất và bao bọc tất cả các giá trị đầu ra trên một hàm truyền thực. Tùy
thuộc vào phương pháp đặc điểm kỹ thuật, các đường xấp xỉ có thể có các lần chặn và độ
dốc khác nhau. Do đó, các biện pháp phi tuyến có thể khác nhau khá đáng kể với nhau.
Nên lưu ý rằng các nhà sản xuất thường xuất bản số nhỏ nhất có thể để chỉ định phi tuyến,
mà không xác định phương pháp nào đã được sử dụng.

Hình 9 Tuyến tính độc lập

2.5 Ngưỡng đo (Span or Full_Scale Full Scale Input)

Độ rộng của các kích thích có thể được chuyển đổi bởi một cảm biến được gọi là
giai đo hoặc một thang đo đầy đủ đầu vào (FS_full scale). Nó đại diện cho giá trị đầu vào
cao nhất có thể, có thể được áp dụng cho cảm biến mà không gây ra sự không chính xác

9
lớn không thể chấp nhận được. Giai đo thường được chỉ định bởi nhà sản xuất cảm biến.
Ví dụ, một cặp nhiệt điện loại K thông thường có phạm vi 800 độ (từ -50 đến 750 độ C).
2.6 Vùng chết (Dead band)
Vùng chết là sự không nhạy cảm của cảm biến trong một phạm vi cụ thể của tín
hiệu đầu vào. Trong vùng chết đó, đầu ra thường gần bằng 0, trên toàn bộ vùng chết. Khi
đầu vào ngoài vùng chết, đầu ra cũng thay đổi theo đầu vào.

Hình 10 Vùng chết

II. ĐỘ CHÍNH XÁC CỦA RTD, CẶP NHIỆT ĐIỆN

1. Độ chính xác của RTD
Độ chính xác của cảm biến RTD được đề cập đến sự lệch của nhiệt độ, hoặc mức độ
chấp nhận trong một nhiệt độ tham khảo nào đó. Các giới hạn chấp nhận và chính xác được
xác định bởi một số Tiêu chuẩn Quốc tế như ASTME1137: 2008 và EN IEC 60751:2022
đã trình bày các bảng nhiệt độ/điện trở và bao gồm độ chính xác của các kim loại trong
RTD. Liên quan đến mức độ chính xác, các độ chính xác điển hình như sau:
Đối với bạch kim 100 Ω, độ chính xác là 0.35 (lớp A), nhưng là 0.8 (lớp B) cho nhiệt
độ 100 °C. Đối với bạch kim 500 Ω, độ chính xác là 1.15 (lớp A), nhưng là 2.8 (lớp B) cho
nhiệt độ 500 °C.
Đối với đồng 9.035 Ω, mức chấp nhận là 2.83 cho (-73 °C), nhưng là 7.78 cho 260
°C.
Đối với niken 120 Ω, mức chấp nhận là 1.25 cho nhiệt độ (-73°C) và là 4.28 cho 260
°C.
Đối với bạch kim lớp A, TCR là 0.00392 Ω/Ω/°C, nhưng cho lớp B là 0.003850
Ω/Ω/°C.
Đối với đồng, hệ số nhiệt độ của điện trở TCR là 0.004274 Ω/Ω/°C.
Đối với niken, TCR là 0.006720 Ω/Ω/°C.
Sự thay đổi điện trở cảm biến theo mỗi độ tại 0°C (32°F) sẽ là 0.39 Ω, 0.78 Ω, 1.56
Ω, 1.95 Ω, và 3.90 Ω cho bạch kim 100 Ω, 200 Ω, 400 Ω, 500 Ω, và 1000 Ω tương ứng.

10
Tương tự đối với loại đồng tại 0°C (32°F) sẽ là 0.039 Ω và 0.39 Ω cho đồng 10 Ω và 100
Ω tương ứng.
Ngoài ra, điện trở cảm biến sẽ là 0.72 Ω cho niken 120 Ω.

Hình 11 Dung sai nhiệt đọ, điện trở của RTD Pt100 theo tiêu chuẩn IEC 751-95
Hệ số nhiệt độ của điện trở (TCR) là sự thay đổi điện trở qua mỗi độ °C, phụ thuộc
vào độ tinh khiết của dây quấn. Độ chính xác của RTD bị ảnh hưởng bởi nhiều yếu tố như
điện trở dây, nhiệt độ, ăn mòn, bức xạ,... Độ chính xác ban đầu được đo ở 0°C và thay đổi
theo nhiệt độ. Sự chấp nhận về độ chính xác liên quan đến khả năng dự đoán nhiệt độ chính
xác của RTD. Trong ứng dụng thực tế, tập trung vào sự ổn định và khả năng lặp lại là quan
trọng để phân biệt với độ chính xác, ảnh hưởng đến lựa chọn loại cảm biến cho mục đích
sử dụng.

Hình 12 So sánh ưu, nhược điểm các loại vật liệu làm RTD như Ni, Cu, Pt
11
 Tính chất Pt (Bạch kim) Cu (Đồng) Ni (Niken)

Phạm vi nhiệt độ -200°C đến +850°C -200°C đến -60°C đến

+260°C +260°C

Oxy hóa Không Dễ oxy hóa Oxy hóa tương

đối

Ăn mòn Không Dễ bị ăn mòn Dễ bị ăn mòn

Độ tinh khiết Cao nhất Thấp nhất Thấp
Ổn định Cao nhất Thấp nhất Thấp

Khả năng lặp lại Cao nhất Thấp nhất Thấp

Mối quan hệ điện trở và Tuyến tính Tuyến tính Không tuyến
nhiệt độ tính
Bảng 3 So sánh giữa các tính chất của bạch kim, đồng và niken có ảnh hưởng đến mức
độ chính xác của RTD
Thông số độ chính xác của một số hãng RTD:
 WIKA TR10-D ( hãng WIKA/Germany): Class B, IEC 60751
 MI 2038 (hãng Thermo-electra/Netherland): IEC 751 class B standard optional
class A, 1/3DIN or 1/10DIN
 DWR 6001 (hãng Thermo-electra/Netherland): According IEC 60751 Class B
standard, other tolerances possible.
2. Độ chính xác của cặp nhiệt điện
Dung sai, tầm đo cặp nhiệt điện theo tiêu chuẩn ASTM E230 – ANSI MC 96.1, IEC
584 – 2 của các loại cặp nhiệt điện B, R, S, N, K, E, J, T, C được trình bày trong hình dưới
đây.

12
 Hình 13 Dung sai, tầm đo các loại cặp nhiệt điện theo tiêu chuẩn ASTM E230 – ANSI
MC 96.1, IEC 584 – 2
Độ chính xác cặp nhiệt điện của các hãng sản xuất thường tuân theo các tiêu chuẩn
trên.
Cặp nhiệt điện loại N, K. J có độ chính xác tương đồng N, K trên thang nhiệt độ lớn
hơn 0. Loại E có độ chính xác tương đồng N, K trên thang nhiệt độ -200oC đến 0oC theo
chuẩn IEC 584 – 2. Loại R, S, B có độ chính xác cao hơn các loại các loại còn lại.
Độ chính xác cặp nhiệt điện loại K của một số hãng sản xuất:
 E52-CA1DY, hãng sản xuất OMRON:
Tầm đo: 0 đến 400oC
Độ chính xác: ± 0.75% giá trị đọc (theo tiêu chuẩn IEC 584 – 2, class 2)
 80 PK – 26, hãng sản xuất FLUKE:
13
 Tầm đo và độ chính xác tương ứng: (theo tiêu chuẩn ANSI MC 96.1)

Hình 14 Tầm đo và độ chính xác của 80 PK – 26

Độ chính xác cặp nhiệt điện loại T của một số hãng sản xuất:
 80 PT – 25, hãng sản xuất FLUKE:
Tầm đo và độ chính xác tương ứng: (theo tiêu chuẩn ANSI MC 96.1)

Hình 15 Tầm đo và độ chính xác của 80 PT – 25

 SE050, hãng sản xuất Pico Technology:

Tầm đo: –75°C đến 260°C
Độ chính xác: theo tiêu chuẩn IEC 584 – 2, class 1
-40°C đến 125°C: ±0.5°C
125°C đến 260°C: ±0.4% giá trị đọc
Độ chính xác cặp nhiệt điện loại R của một số hãng sản xuất:
 TFHTCR015300010N, hãng sản xuất SterlingSensors: (theo chuẩn IEC 584-2, class
1)
Tầm đo: 0 đến 1600oC

14
 Độ chính xác: ±1°C hoặc ±{(1+(T-1100) x .0.3%)} với T là giá trị đọc
 5649, hãng sản xuất FLUKE:
Tầm đo: 0°C đến 1450°C
Độ chính xác:
0°C đến 600°C: ±0.6°C
600°C đến 1600°C: ±0.1% giá trị đọc
3. So sánh độ chính xác RTD và cặp nhiệt điện
RTD có độ chính xác lớn hơn cặp nhiệt điện. Pt100 có độ chính xác trong khoảng
theo dung sai tiêu chuẩn IEC 751 – 95: ở 0oc, ±0.06% giá trị đọc hoặc ±0.15°C (class A),
±0.12% giá trị đọc hoặc ±0.30°C (class B). Trong khi đó, cặp nhiệt điện có độ chính xác
nằm trong khoảng ±0.5oc đến ±4.5oc theo tiêu chuẩn ASTM E230 – ANSI MC 96.1, IEC
584 – 2 được trình bày trong hình.

15
 TÀI LIỆU THAM KHẢO
Salim, A. K. (2023). A Comparative Study about Accuracy Levels of Resistance
Temperature Detectors RTDs Composed of Platinum, Copper, and Nickel. Al-Nahrain
Journal for Engineering Sciences, 26(3), 216-225. doi: 10.29194/NJES.26030216
Fraden, J. (2010). Handbook of Modern Sensors: Physics, Designs, and
Applications. Netherlands: Springer New York.

16