学校代号 10532 学 号 P150200180

分 类 号 TH122 密 级 公开

工程硕士学位论文

划片机静动态分析与误差补偿

学位申请人姓名 刘骏

培 养 单 位 机械与运载工程学院

导师姓名及职称 叶南海副教授 叶青山高工

学 科 专 业 机械工程

研 究 方 向 机械 CAE 技术

论文提交日期 2022 年 4 月 25 日
学校代号： 10532

学 号： P150200180

密 级： 公开

湖南大学工程硕士学位论文

划片机静动态分析与误差补偿

学 位 申 请 人 姓 名： 刘骏

导 师 姓 名 及 职 称： 叶南海副教授 叶青山高工

培 养 单 位： 机械与运载工程学院

专 业 名 称： 机械工程

论 文 提 交 日 期： 2022 年 4 月 25 日

论 文 答 辩 日 期： 2022 年 5 月 15 日

答 辩 委 员 会 主 席： 程军圣教授
Static and Dynamic Analysis and Error Compensation of

Dicing Machine
by

LIU Jun

B.E. (Hunan University of Arts and Science) 2005

A thesis submitted in partial satisfaction of the

Requirements for the degree of

Master of Engineering

in

Mechanical Engineering

in the

Graduate School

of

Hunan University

Supervisor

Associate Professor YE Nanhai,Senior Engineer YE Qingshan

April, 2022
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

摘 要

划片机作为半导体芯片生产过程中不可或缺的自动化设备，有非常大的市场
价值。本文以划片机作为研究对象，采用 ANSYS 有限元软件对其分别进行静动
态分析、温度场分析，验证划片机结构的强度及刚度的可靠性，然后构建误差模
型并通过误差补偿结果进行对比，验证补偿对其精度的有效性。
本课题主要的研究内容包括以下几点：
（1）静态特性分析。根据划片机的特点和要求，将现有三维模型简化并进行
静态结构分析，得出滚珠丝杆 Y 轴的强度及刚度分析结果。
（2）有限元建模及动力学分析。通过 ANSYS Workbench 有限元分析软件对
X、Z、Y 轴瞬态动力学分析。确定时变载荷对划片机机身结构的影响，得出机身
刚度和强度变化情况。
（3）动态特性分析。分别对 Y 轴丝杆及划片机机身进行模态分析得到结构
的固有频率及相应振型，分析结构的薄弱处，判断各部件是否会发生共振。
（4）环境温度波动分析。利用 ANSYS 有限元仿真软件，对不同环境温度下
X、Y 轴基座和大理石机身的温度场和热变形进行仿真，分析不同环境温度波动
下结构的几何精度，得到环境温度波动对结构变形量的影响，为划片机的高精度
切割改进建议提供依据。
（5）误差补偿及分析。构建整体误差模型，对运动过程中的误差进行误差检
测和误差补偿，对比误差补偿前后数据结果，分析划片机结构及精度，验证误差
补偿方案的有效性。

关键词：划片机；静态结构分析；有限元仿真；温度波动分析；精度补偿

II
 工程硕士学位论文

Abstract

As an indispensable automation equipment in the production process of

semiconductor chips, the dicing machine has a very large market value. This topic
selects the main components of the dicing machine that require high accuracy and
stability to analyze, and conducts dynamic and static analysis of the selected structure
based on the finite element analysis software to verify the reliability of the strength
and stiffness of the dicing machine structure. The error model is constructed and the
error compensation results are compared to verify the effectiveness of the
compensation on its accuracy.
The main research contents of this topic include the following points:
(1) Static characteristic analysis. According to the characteristics and
requirements of the dicing machine, the existing three-dimensional model is simplified
and the static structure analysis is carried out, and the analysis results of the strength
and stiffness of the ball screw Y-axis are obtained.
(2) Finite element modeling and dynamic analysis. X, Z, Y axis transient dynamic
analysis is carried out by ANSYS Workbench finite element analysis software. The
influence of the time-varying load on the fuselage structure of the dicing machine is
determined, and the variation of the fuselage stiffness and strength is obtained.
(3) Analysis of dynamic characteristics. The modal analysis of the Y -axis screw
and the dicing machine body was carried out to obtain the natural frequency and
corresponding mode shape of the structure, and the weak points of the structure were
analyzed to determine whether each component would resonate.
(4) Analysis of ambient temperature fluctuations. Using ANSYS finite element
simulation software, the temperature field and thermal deformation of X, Y -axis base
and marble fuselage under different ambient temperatures are simulated, the geometric
accuracy of the structure under different ambient temperature fluctuations is analyzed,
and the amount of structural deformation caused by ambient temperature fluctuations
is obtained. The impact of the dicing machine provides a basis for the improvement
suggestions for high-precision cutting of the dicing machine.
(5) Error compensation and analysis. Build an overall error model, perform error
detection, and error compensation for errors in the movement process, compare the
data results before and after error compensation, analyze the structure and accuracy of
the dicing machine, and verify the effectiveness of the error compensation scheme.

III
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

Key Words: Dicing machine; Static structure analysis; Finite element simulation;
Temperature fluctuation analysis; Precision compensation

IV
 目 录

第 1 章 绪论............................................................................................... 1
1.1 划片机简述 ....................................................................................... 1
1.2 国内外研究现状............................................................................... 2
1.3 选题背景及研究意义....................................................................... 4
1.4 课题研究内容................................................................................... 4
第 2 章 划片机静态力学分析 .................................................................. 6
2.1 有限元分析理论及方法................................................................... 6
2.2 Y 轴有限元建模 ................................................................................ 6
2.2.1 模型建立与网格划分 ................................................................. 6
2.2.2 接触设置 ..................................................................................... 7
2.2.3 创建边界条件 ............................................................................. 7
2.3 静力学分析结果............................................................................... 8
2.4 本章小结 ......................................................................................... 13
第 3 章 划片机动力学分析 .................................................................... 14
3.1 基于虚拟样机技术的动力学仿真分析 ........................................ 14
3.1.1 X 轴 ............................................................................................ 14
3.1.2 Y 轴 ............................................................................................ 16
3.2 机身瞬态动力学分析..................................................................... 18
3.2.1 模型建立与网格划分 ............................................................... 19
3.2.2 创建边界条件 ........................................................................... 19
3.2.3 瞬态动力学分析结果 ............................................................... 20
3.3 本章小结 ......................................................................................... 21
第 4 章 划片机模态分析 ........................................................................ 22
4.1 各轴模态分析................................................................................. 22
4.1.1 X 轴滚珠丝杆的模态分析 ........................................................ 23
4.1.2 Y 轴滚珠丝杆的模态分析 ........................................................ 26
4.2 各轴基座、导轨滑块模态分析 .................................................... 29
4.2.1 X 轴基座、导轨滑块的模态分析 ............................................ 29
4.2.2 Y 轴基座、导轨滑块的模态分析 ............................................ 32
4.3 机身模态分析................................................................................. 34
4.3.1 模型建立与网格划分 ............................................................... 34
4.3.2 创建边界条件设置 ................................................................... 34
4.3.3 模态分析结果 ........................................................................... 34
4.4 本章小结 ......................................................................................... 37
第 5 章 环境温度波动对变形影响分析 ................................................ 38
5.1 有限元模型建立............................................................................. 38
5.1.1 热-结构耦合理论 ..................................................................... 38
5.1.2 热-结构耦合有限元分析 ......................................................... 39
5.2 环境温度对基座的影响................................................................. 47
5.3 本章小结 ......................................................................................... 48
第 6 章 运动系统误差分析及检测补偿 ................................................ 49
6.1 划片机运动系统误差模型建立 .................................................... 49
6.2 运动系统主要误差检测补偿 ........................................................ 52
6.2.1 主要误差因素分析 ................................................................... 52
6.2.2 误差补偿方案设计 ................................................................... 52
6.3 各轴误差检测................................................................................. 52
6.3.1 检测原理 ................................................................................... 52
6.3.2 检测结果 ................................................................................... 53
6.4 各轴误差补偿................................................................................. 55
6.4.1 轴误差补偿原理 ....................................................................... 55
6.4.2 轴误差补偿结果 ....................................................................... 55
6.5 本章小结 ......................................................................................... 57
总结与展望............................................................................................... 58
参考文献................................................................................................... 59
 工程硕士学位论文

插图索引

图 1.1 晶片划分 ...................................................................................................... 1

图 2.1 Y 轴简化模型 ................................................................................................ 6
图 2.2 Y 轴网格模型 ................................................................................................ 7
图 2.3 单元质量网格评估 ....................................................................................... 7
图 2.4 位置 1 时 Y 轴变形结果 ............................................................................... 9
图 2.5 位置 2 时 Y 轴变形结果 ............................................................................. 10
图 2.6 位置 3 时 Y 轴变形结果 ............................................................................. 12
图 3.1 X 轴动力学模型 .......................................................................................... 15
图 3.2 X 轴速度曲线 .............................................................................................. 15
图 3.3 X 轴基座连接处的作用力 ........................................................................... 16
图 3.4 X 轴基座连接处的作用力矩 ....................................................................... 16
图 3.5 Y 轴动力学模型 .......................................................................................... 17
图 3.6 Y 轴速度曲线 .............................................................................................. 18
图 3.7 Z 轴速度曲线 .............................................................................................. 18
图 3.8 Y 轴基座连接处的作用力 ........................................................................... 18
图 3.9 Y 轴基座连接处的作用力矩 ....................................................................... 18
图 3.10 划片机床身简化模型 ............................................................................... 19
图 3.11 划片机床身网格模型 ............................................................................... 19
图 3.12 划片机床身变形云图 ............................................................................... 20
图 3.13 划片机床身应力云图 ............................................................................... 20
图 4.1 X 轴滚珠丝杆左极限位置约束施加图 ........................................................ 23
图 4.2 X 轴滚珠丝杆中间位置约束施加图 ............................................................ 24
图 4.3 X 轴滚珠丝杆右极限位置约束施加图 ........................................................ 25
图 4.4 Y 轴滚珠丝杆两边极限位置约束施加图 .................................................... 27
图 4.5 Y 轴滚珠丝杆中间极限位置约束施加图 .................................................... 27
图 4.6 Y 轴滚珠丝杆左边极限位置约束施加图 .................................................... 28
图 4.7 X 轴基座导轨滑块左边极限位置约束施加图 ............................................ 30
图 4.8 X 轴基座导轨滑块中间极限位置约束施加图 ............................................ 30
图 4.9 X 轴基座导轨滑块右边极限位置约束施加图 ............................................ 31
图 4.10 Y 轴基座导轨滑块两边极限位置约束施加图 ........................................... 32
图 4.11 Y 轴基座导轨滑块中间位置约束施加图 .................................................. 32
图 4.12 Y 轴基座导轨滑块两左边位置约束施加图 .............................................. 33
图 4.13 大理石机身前六阶振型图 ......................................................................... 36

VII
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

图 5.1 有限元划分单元质量 ................................................................................. 39

图 5.2 X 轴稳态热分析温度边界条件 ................................................................... 41
图 5.3 X 轴热-结构耦合分析边界条件 .................................................................. 42
图 5.4 X 轴热变形云图 .......................................................................................... 42
图 5.5 Y 轴稳态热分析温度边界条件 ................................................................... 43
图 5.6 Y 轴热-结构耦合分析边界条件 .................................................................. 44
图 5.7 Y 轴热变形云图 .......................................................................................... 44
图 5.8 大理石机身稳态热分析温度边界条件 ....................................................... 45
图 5.9 大理石机身热-结构耦合分析边界条件 ..................................................... 46
图 5.10 大理石机身热变形云图 ............................................................................. 46
图 5.11 大理石机身应力云图 ................................................................................ 46
图 5.12 X 轴热变形曲线 ........................................................................................ 47
图 5.13 Y 轴热变形曲线 ........................................................................................ 47
图 5.14 大理石机身热变形曲线 ............................................................................ 48
图 6.1 划片机运动系统拓扑结构 .......................................................................... 50
图 6.2 激光干涉仪直线轴线性位移测量原理 ....................................................... 52
图 6.3 激光干涉仪旋转轴线性位移测量方法 ....................................................... 53
图 6.4 X 轴线性位移误差曲线 ............................................................................... 53
图 6.5 𝑦1轴线性位移误差曲线 ............................................................................. 53
图 6.6 𝑦2轴线性位移误差曲线 ............................................................................. 54
图 6.7 𝑧1轴线性位移误差曲线 .............................................................................. 54
图 6.8 𝑧2轴线性位移误差曲线 .............................................................................. 54
图 6.9 c 轴线性角度误差曲线................................................................................ 55
图 6.10 X 轴线性位移误差补偿前后对比图 .......................................................... 55
图 6.11 𝑦1轴线性位移误差补偿前后对比图 ......................................................... 56
图 6.12 𝑦2轴线性位移误差补偿前后对比图 ......................................................... 56
图 6.13 𝑧1轴线性位移误差补偿前后对比图 ......................................................... 56
图 6.14 𝑧2轴线性位移误差补偿前后对比图 ......................................................... 57
图 6.15 c 轴线性旋转角度误差补偿前后对比图 ................................................... 57

VIII
 工程硕士学位论文

附表索引

表 1.1 三种划片类型相关数据对比 ........................................................................ 2

表 2.1 Y 轴各部件材料参数 .................................................................................... 6
表 2.2 Y 轴结构静力分析结果 ............................................................................... 12
表 3.1 X 轴各零部件材料参数 ............................................................................... 14
表 3.2 X 轴各零部件间的约束 ............................................................................... 14
表 3.3 Y 轴各零部件材料参数 ............................................................................... 16
表 3.4 Y、Z 轴各零部件间的约束 ........................................................................ 16
表 3.5 划片机床身材料参数 ................................................................................. 19
表 4.1 划片机各部件材料参数 ............................................................................. 22
表 4.2 左极限位置前六阶固有频率和振型描述 ................................................... 24
表 4.3 中间位置前六阶固有频率和振型描述 ....................................................... 24
表 4.4 右极限位置前六阶固有频率和振型描述 ................................................... 25
表 4.5 不同运动位置前六阶固有频率及其对应转速 ........................................... 25
表 4.6 两边极限位置前六阶固有频率和振型描述 ............................................... 27
表 4.7 中间极限位置前六阶固有频率和振型描述 ............................................... 28
表 4.8 左边极限位置前六阶固有频率和振型描述 ............................................... 28
表 4.9 不同运动位置前六阶固有频率及其对应转速 ........................................... 29
表 4.10 左边极限位置前六阶固有频率和振型描述 ............................................. 30
表 4.11 中间极限位置前六阶固有频率和振型描述 ............................................. 31
表 4.12 右极限位置前六阶固有频率和振型描述 ................................................. 31
表 4.13 两边极限位置前六阶固有频率和振型描述 ............................................. 32
表 4.14 中间位置前六阶固有频率和振型描述 ..................................................... 33
表 4.15 中间位置前六阶固有频率和振型描述 ..................................................... 33
表 4.16 大理石机身前六阶固有频率和振型描述 ................................................. 34
表 5.1 C、m 的取值 ............................................................................................... 40
表 5.2 X 基座换热面换热系数 ............................................................................... 41
表 5.3 Y 基座换热面换热系数 ............................................................................... 43
表 5.4 机身换热面对应换热系数 .......................................................................... 45

IX
 工程硕士学位论文

第1章 绪论

1.1 划片机简述

划片技术是半导体后封装的关键工序之一，影响着整个 IC 生产线的生产质
量，而划片机则是完成这道工序的关键设备，其主要功能是将已经制作好的晶片
切割成可进行下一步粘贴的单元晶片，如图 1.1 所示。作为精密切割仪器，划片
机将自动化控制、水气电、机械及空气动力等技术集于一身，广泛应用于包括半
导体材料、硅、锗砷化镓和其他衬底材料等。根据切割方式，划片机大致分为砂
轮划片、激光划片及金刚石划片三种类型 [1] 。

图 1.1 晶片划分

金刚石划片是出现最早的划片方式，它的工作原理 [2] 是用尖角段在晶片上划

出分割线，然后按照分割线使其分成小片 [3] 。通常使用这种方法划出的切割线宽
度约为 6～8μm，较晶片表面约有 5μm 深，但是因为硅片机械性能较脆，划线周
围容易出现微小裂痕且存在塑性形变，这导致掰片时会出现开裂，不利于分片的
进行，划片成品率不稳定。
激光划片是利用专门光学系统聚焦后形成的高能量密度激光束照射在工件表
面，使硅片表面瞬间升温，产生熔融、气化、升华留下沟槽的过程，由于材料的
气化从而实现切割的目的 [4] 。因为加工是非接触式的，对工件本身不存在切割冲
压力，所以相比于金刚石划片的方式，减少了工件的塑性形变和裂纹产生率，由
此提高了成品率，无论加工件的厚度，其切割宽度均在 3μm 以下且切割边缘平滑、
整齐，同时本身还具备高精度、结构简单的优点。但是，该划片方式对工艺条件
有较高的要求，不同的划片速度、激光功率等会造成不同的切割深度，使工件分
片时易碎裂，划切过程中工件受热还会导致被切割工件四溅并堆积在切割口处，
高温也会对产品的性能产生影响，增加了成本。

1
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

砂轮划片通常是利用安装在空气静压力电主轴上的刀盘，一般刀盘加持有圆
形砂轮刀片，通过 X 轴、Y 轴、Z 轴及 θ 轴确定切割位置，并以一定的切割速度
（通常大于 80m/s）有规律、有距离的沿切割线槽进行切割，最终制成成品 [5] 。砂
轮切割的成品质量取决于主轴转速、刀片厚度以及切割的速度，适当的主轴转速
可 以 有 效 地 降 低 机 身 振 动 ， 使 刀 具 前 进 可 以 稳 定 运 行 。 刀 片 厚 度 一 般 在 0.04～
0.3mm 不等，其不均匀度在 2.5 以内，直径在 φ20～φ120 之间，属于超薄型刀具，
这样就具有切割耗材少、效率高、切口质量好等优点，也适应未来切割槽变窄的
发展趋势。切割的速度直接影响到切割效率，过快的切割速度可能导致刀具不稳
定、磨损过快等问题，切割速度的大小取决于材料的硬度。相比于激光划片，砂
轮划片工作时所产生的温度较低，减少了高温对产品的损害，同时耗材少的优点
也降低了成本，所以在精密机械、电子和医疗等领域砂轮划片都有广泛应用 [6] 。
表 1.1 是对上述三个划片类型相关数据的对比，从表中可以看出，砂轮划片
在切割速率、切割深度和切割宽度都有较大优势，所以在市面上砂轮划片得以广
泛使用。
表 1.1 三种划片类型相关数据对比

金刚石划片 激光划片 砂轮划片

切割速度 46mm/s 150mm/s 300mm/s
切割深度 3～10μm ～100μm ～100μm
切割宽度 3～10μm 20～25μm ≤刀片厚度+10μm
加工效果 裂纹大 存在热损耗 只有微小裂纹
成品率 60～70％ 70～80％ 98％
噪音 小 大 较小
硅片厚度小于单元 需要冷却液及
其他需求 灰尘黏着
晶片的 1/4 压缩空气

1.2 国内外研究现状

随着光电产业的发展，集成电路朝着大规模、超大规模方向发展，芯片的集
成度也逐步提高，这就对半导体元器件的性能、质量有着越来越高的要求。作为
单元晶片制作的关键设备，划片机的机械性能直接影响到加工工件的质量。因此，
提高划片机的机械性能成为了如今光电领域发展的重要需求之一，国内外不少学
者对划片机可靠性进行分析，也有研究员致力于优化、改进划片机的结构和控制
系统以提高划片机精度减少加工误差。
划片机的工作精度是微米级，这对设备的精度和性能稳定有着一定的挑战。
在划片机工作过程中，设备结构的微小变形都会对加工工艺产生影响，张菊 [7] 通

2
 工程硕士学位论文

过强度理论分别对两种不同的三轴结构进行位移变形和应力仿真，得出的仿真结
果证明了桥型工作台结构优化于悬臂工作台结构；王明权等人 [8] 则从划片机的三
大主要构件之一的工作台方向出发，通过分析直线导轨的受力和误差确定了直线
导轨的类型，在划片机工作台的设计中引入了转角的概念。刀片作为划片机的执
行结构，在加工过程中承受来自刀盘的夹紧力、划切的磨削力、热应力和转动的
离心力，所以在划切过程中刀具破损情况的检测也尤为重要，孙彬等人 [9] 在理论
分析与计算的基础上制定了检测方案，设计出抗干扰性强的数字滤波器，提高了
设备的稳定性。因为划片机的主运动是沿 Y 方向的定位运动，一般是通过各个方
向轴的移动进行定位，所以轴系结构同样需要较高精度，伍容 [10] 在静态、动态分
析的基础上多加了对热态特性的研究，通过热分析为改善结构的热态特性提出了
可靠建议；尹韶辉等人 [11] 设计一种双轴并列平行结构的划片机，有效的提高了划
片效率和划片质量。通过上述结构优化，减少了划片机机械特性对加工精度的影
响，对提高划片机划切精度有着重要意义。
划片机的控制系统是影响加工精度的另一方面，除了上述结构变形所带来的
误差以外，划片机还存在结构几何误差、运动学误差等，这就需要设备对高精度
运动进行误差补偿。王建新 [12] 通过神经网络迭代控制方法，使跟踪误差逐渐减少，
提高了重复定位精度；汪忠伟等人 [13] 采用图像传感器采集晶圆图像，通过神经网
络学习，建立了机器学习模型，实现了晶圆的精确对准；刘涛等人 [14] 通过 PID 算
法对 DD 马达进行精准控制，减小了马达运动误差；张昕 [15] 采用激光干涉仪测量
精度并通过四线分布体对角法提出了双向小步距直线位移与空间误差补偿法，有
效提高了划片机的控制精度；刘又午等人 [16] 建立了较完善的全误差模型，将多体
系统理论引入数控机床误差补偿技术领域；YAN MA 等人 [17] 以精密划片机为研究
对象，选用光栅传感器技术，克服了传统补偿方法补偿不准确的缺点。
相比于国内，国外早在 20 世纪 70 年代就开始了对划片机误差补偿的研究，
RAN M 通过光源实现非接触式刀具检测，精确了刀具的磨损情况和更换时间 [18] ；
P Von Witzendorff 等人 [19] 对硬脆性材料切割中所用到的刀具进行激光修正，提高
了刀具的使用寿命以及加工精度；R Ramesh 等人 [20] 通过分析设备工作时的温度
影响，对主轴及原点误差进行了补偿；Okafor 等人 [21] 使用齐次坐标变换对三轴立
式加工中心的每个滑块进行建模，开发新的数学模型来计算误差矢量 [22] ，从而精
确化补偿的进行；S. Ratchev 等人 [23] 研究了一种多级加工误差补偿方法，根据切
割时材料壁厚的变化来确定刀具路径；H Tian 等人 [24] 用尺寸参数和驱动变量明确
表示刀具尖端在 z 方向的坐标，这使其可以通过最小二乘法来估计运动学误差。
虽然国内对划片机的研发有着一定的进步，但是大部分还是以引进的技术为
主联合开发的，相对于国外还是存在不小差距。由于缺少核心技术，国产划片机

3
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

在可靠性、精度、效率等方面仍有较大的提升空间，部分高端企业应用还是以进
口划片机为主。

1.3 选题背景及研究意义

由于集成电路的发展，晶圆片的成本和价值大幅增加，划切槽越来越窄，这
就要求划片机的加工精度、稳定性更高，因此划片机的制造更加困难 [25] 。
首先需要面临的就是高精度、强度、稳定性的机械结构问题，当划片机高速
运动过程中非常容易激发其他结构的共振模态 [26] 。划片设备所运行时所进行的是
短促的往复运动，这种运动使共振情况更加严重 [27] 。为了满足高精度的要求，需
要设备具有足够的刚度，但是为了同时满足极大速度的要求所以必须采用轻质的
结构来减少负载。因此，这就使机械结构设计向两个相反的方向发展，这也在机
身结构的设计上出现难题。随后则是具有较高精度与速度的控制系统，从划片机
的发展情况来看，晶圆的加工精度会逐渐增加，如当下从晶圆直径从 150mm 增加
到 200mm，精度只增加了 1μm，所以为了保证不损坏芯片且要有较高的加工速率，
设备对控制系统的精度、可靠性和误差补偿能力都有着较高的要求。最后是具有
快速响应能力的驱动系统，一般加工的硅片尺寸大、密度高但是要求刀痕小，无
论是对误差的补偿还是系统做图像对准，驱动系统的响应都直接影响着工作精度
与工作效率，因此，在加工过程中对划片机动态响应和静态稳定性有着较高的需
求。
为了适应集成电路的快速发展现状，国内外不少专家都对优化、改进划片机
进行研究，但是大部分都集中在对轴系结构、控制系统和误差补偿方面，对综合
影响下机身结构共振产生的影响研究较少。因此，从提高划片机的精度和稳定性
而言，设计合适的机身结构，分析机身结构对共振现象的影响大小并提出优化建
议是非常有必要的，有利于提高划片机的加工稳定性和加工精度，对于我国半导
体行业的发展也有着一定的推动作用。

1.4 课题研究内容

针对划片机身结构振动对加工精度的影响问题，本课题选取划片机作为研究
对象，基于有限元分析软件对所选结构进行动、静态分析，验证划片机结构的强
度及刚度的可靠性，构建误差模型并通过误差补偿结果进行对比，验证补偿对其
精度的有效性。
本课题主要的研究内容包括以下几点：
（1）静态特性分析。根据划片机的特点和要求，将现有三维模型简 化并进行
静态结构分析，得出滚珠丝杆 Y 轴的强度及刚度分析结果。

4
 工程硕士学位论文

（2）有限元建模及动力学分析。通过 ANSYS Workbench 有限元分析软件对

X、Z、Y 轴瞬态动力学分析。确定时变载荷对划片机机身结构的影响，得出机身
刚度和强度变化情况。
（3）动态特性分析。分别对 Y 轴丝杆及划片机机身进行模态分析得到结构
的固有频率及相应振型，分析结构的薄弱处，判断各部件是否会发生共振。
（4）环境温度波动分析。利用 ANSYS 有限元仿真软件，对不同环境温度下
X、Y 轴基座和大理石机身的温度场和热变形进行仿真，分析不同环境温度波动
下结构的几何精度，得到环境温度波动对结构变形量的影响，为划片机的高精度
切割改进建议提供依据。
（5）误差补偿及分析。构建整体误差模型，对运动过程中的误差进行误差检
测和误差补偿，对比误差补偿前后数据结果，分析划片机结构及精度，验证误差
补偿方案的有效性。

5
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

第2章 划片机静态力学分析

划片机在切割芯片的过程中，相较于其他各轴，Y 轴受力较为复杂。其一端
通过螺栓与机床相连，另一端通过 Y 轴拖板连接𝑧1 轴与𝑧2 轴，其强度与划片机切
割精度息息相关。故本章主要对划片机 Y 轴进行静力强度分析，并将𝑧1 轴与𝑧2 轴
对其影响以力与力矩的方式体现。

2.1 有限元分析理论及方法
有限元方法是一种将复杂问题简单化的方法，在工程中应用的十分广泛。现
有的有限元分析软件已经涵盖了各类不同问题的求解模块，主要包括有结构静力
学分析、瞬态结构分析和热力学分析等，设置有效的边界条件后就可进行求解 [28] 。

2.2 Y 轴有限元建模
2.2.1 模型建立与网格划分
有限元分析的基础是结构的三维模型，由于实际模型包括许多复杂的但对整
体结构影响不大的结构，若将这些细小结构均考虑计算，将会使模型网格的划分
难度加大，并且增加网格数量，不利于计算。因此有必要对模型结构进行合理的
简化。简化后的划片机 Y 轴模型如图 2.1 所示，主要包括基座、导轨、滑轨、轴
承座、滚珠丝杆等。

图 2.1 Y 轴简化模型

由于结构的材料对有限元各模块的计算结果有极大的影响，因此需要对材料
做出说明，划片机中 Y 轴各部件的材料如下表所示。
表 2.1 Y 轴各部件材料参数

部件名称 材料 弹性模量 Gpa 密度 kg/m^3 泊松比

基座、轴承座 45 号钢 210 7800 0.28

导轨、滑块、轴承 GCr15 206 7570 0.3
滚珠丝杠 50CrMo4 210 7800 0.3
螺母 25CrMo4 210 7800 0.3

6
 工程硕士学位论文

较高的网格质量是保证模型计算结果准确的直接必要条件。采用自动划分方
法对模型进行网格的划分。基座的网格尺寸为 10mm，其余部件划分为 5mm，划
分结果如图 1.2 所示，共有单元数 701508，节点数 1036361，如图 2.2 所示。

图 2.2 Y 轴网格模型

在划分完网格后需要对网格质量进行检查，通过有限元软件可以得到单元质
量图如图 2.3 所示，由图可知质量大多集中在 0.75 以上，符合有限元精度要求。

图 2.3 单元质量网格评估

2.2.2 接触设置
有限元分析过程需要建立结构之间的接触关系从而进行有限元分析，按照实
际需要，建立各零部件接触关系：
（1）基座与直线导轨之间采用绑定（Bonded）接触。
（2）滑块与直线导轨之间采用不分离(No Separation)接触。
（3）螺母与滚珠丝杆接触部分采用不分离(No Separation)接触。
（4） Y 轴基座与滚珠丝杆固定部件之间的接触关系也采用绑定（ Bonded）
接触。

2.2.3 创建边界条件
（1）添加约束关系
Y 轴基座通过螺栓固定在机身横梁上，故对 Y 轴基座螺栓孔面施加固定约束。
丝杠螺母座将丝杆螺母固定在 Y 轴拖板上，故对丝杠螺母施加圆柱约束，约
束其切向自由度。

7
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

电机带动滚珠丝杆旋转，从而实现丝杆螺母沿 Y 方向的前后运动，故对丝杆
螺母及滑块施加沿 Y 轴导轨方向的位移约束。
（2）施加载荷
划片机 Y 轴受力简化后，主要考虑以下几个方面的载荷 [10] ：
a、Y 轴结构件自身重力𝐺1 ，取重力加速度大小为9806.6mm/𝑠 2
b、𝑧1 轴及其相关连接件重力𝐺2 ,总重为 46.7kg，通过转化成竖直方向的压力和
沿 Y 轴正向的力矩（力臂长度为 87mm）施加在导轨上对应的四个滑块上，每个
滑块受力相同。
c、𝑧2 轴及其相关连接件重力𝐺3 ，总重为 43.6kg，通过转化成竖直方向的压力
和沿 Y 轴正向的力矩（力臂长度为 87mm）施加在导轨上对应的四个滑块上，每
个滑块受力相同。
𝐺2 46.7×9.8066
故 左 侧 每 个 滑 块 上 的 作 用 力 𝐹1 = = = 114𝑁， 总 扭 矩 𝑀1 = 4𝐹1 L =
4 4
4 × 114 × 0.087 = 39.672N. m
𝐺3 43.6×9.8066
故 右 侧 每 个 滑 块 上 的 作 用 力 𝐹2 = = = 107𝑁， 总 扭 矩 𝑀2 = 4𝐹2 L =
4 4
4 × 107 × 0.087 = 37.236N. m

2.3 静力学分析结果
（1）位置 1：𝑦1 轴与𝑦2 轴滑块位于行程两侧，结果如图 2.4。

a) 整体总变形云图 b) 整体 X 方向变形云图

c) 整体 Y 方向变形云图 d) 整体 Z 方向变形云图

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 工程硕士学位论文

e）滑块、导轨、基座部分总变形云图 f）滑块、导轨、基座部分 X 方向变形

云图

g）滑块、导轨、基座部分 Y 方向变 h）滑块、导轨、基座部分 Z 方向变形

形云图 云图

i）整体应力云图
图 2.4 位置 1 时 Y 轴变形结果

（2）位置 2：𝑦1 轴与𝑦2 轴滑块位于行程中间，结果如图 2.5。

a) 整体总变形云图 b) 整体 X 方向变形云图

9
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

c) 整体 Y 方向变形云图 d) 整体 Z 方向变形云图

e）滑块、导轨、基座部分总变形云图 f）滑块、导轨、基座部分 X 方向变形

云图

g）滑块、导轨、基座部分 Y 方向变形 h）滑块、导轨、基座部分 Z 方向变形

云图 云图

i）整体应力云图
图 2.5 位置 2 时 Y 轴变形结果

（3）位置 3：𝑦1 轴与𝑦2 轴滑块均位于行程左侧，结果如图 2.6。

10
 工程硕士学位论文

a) 整体总变形云图 b) 整体 X 方向变形云图

c) 整体 Y 方向变形云图 d) 整体 Z 方向变形云图

e）滑块、导轨、基座部分总变形云图 f）滑块、导轨、基座部分 X 方向变形

云图

g）滑块、导轨、基座部分 Y 方向变形 h）滑块、导轨、基座部分 Z 方向变形

云图 云图

11
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

i）整体应变云图
图 2.6 位置 3 时 Y 轴变形结果
表 2.2 Y 轴结构静力分析结果

分析部件 位置 1 位置 2 位置 3
整体总最大变形量(μm) 3.3343 0.6957 3.3012
整体 X 方向最大变形量(μm) 0.1903 0.0581 0.1905
整体 Y 方向最大变形量(μm) 0.4608 0.3644 0.4575
整体 Z 方向最大变形量(μm) 3.3049 0.6957 3.3012
滑块、导轨、基座部分总最大变形量(μm) 0.7729 0.6758 0.7724
滑块、导轨、基座部分 X 方向最大变形量(μm) 0.0755 0.0475 0.0543
滑块、导轨、基座部分 Y 方向最大变形量(μm) 0.4608 0.3644 0.4575
滑块、导轨、基座部分 Z 方向最大变形量(μm) 0.6228 0.5680 0.6245
整体最大等效应力(MPa) 1.3527 1.2232 1.3207

由表 2.2 数据可知：
（1）当𝑧1 与𝑧2 轴位于 Y 轴滚珠丝杠的不同位置时将会对 Y 轴的变形情况产
生不同的影响。由分析结果可知，当𝑧1 与𝑧2 轴位于位置 1 时（即行程两端），其沿
机床的 Z 轴方向变形最大。
（2）由位移云图可知，无论滑块处于何处，变形最大处均发生在丝杠轴，经
分析可知，这是由于丝杆轴自重所引起的。当滑块处于位置 1 和位置 3 时，此时
丝杠螺母处于整个行程的边缘位置，丝杆轴中间缺乏支撑力，最终由于丝杠轴的
自重引起了较大的变形。当滑块处于位置 2 时，此时由于丝杠螺母处于行程中间
位置，对丝杆轴起到支撑作用，故产生的变形较小。
（3）滑块、导轨、基座部分产生变形的主要为导轨及滑块。滑块、导轨通过
拖板连接着 Z 轴，因此需要承受 Z 轴及主轴等负载。分析可知，滑块所处位置对
滑块、导轨、基座部分的最大变形影响不大。

12
 工程硕士学位论文

（4）由于主轴切割时的精度与 Y 轴拖板连接部分的变形有关，即滑块、导
轨、基座部分产生的变形。由位移云图可知，滑块、导轨、基座部分产生的最大
变形为 0.78 微米，能够满足划片机的运动精度。

2.4 本章小结

本章采用 Workbench 建立划片机各部件有限元模型然后进行静态结构分析。

首先对 Y 轴部分进行了加载及约束，将 Z 轴对其产生的影响以力、力矩的形式加
载到 Y 轴，同时将 Y 轴与机床连接处的螺栓孔进行了固定约束，以此来模拟 Y 轴
在划片机中的真实受载情况。并分别分析了 Y 轴滑块处于行程中三个不同位置时
的强度变化。结果表明，滑块处于不同位置时，Y 轴产生的最大变形不同。考虑
到对划片机的精度影响，发现滑块、导轨、基座部分的最大变形为 0.78 微米，最
大等效应力为 1.35MPa，能够满足实际的强度要求。

13
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

第3章 划片机动力学分析

静态结构的分析结果也存在一定局限性，它只能反映恒幅载荷作用下结构抵
抗变形的能力。但是对于高速运动的划片机来说，还需要对它的动态特性进行研
究 [29] 。X 轴、Y 轴、Z 轴在切割芯片的过程中，会伴随着各轴前后方向的加速度
改变，而对机身产生不同的影响。

3.1 基于虚拟样机技术的动力学仿真分析

为了减少瞬态动力学仿真时的计算量，本文首先对 X 轴、Y 轴、Z 轴进行了

动力学仿真计算，获取了各轴与大理石机身连接处的动态载荷。

3.1.1 X 轴
3.1.1.1 模型材料设置

表 3.1 X 轴各零部件材料参数

部件名称 材料 弹性模量 Gpa 密度 kg/m^3 泊松比

X 轴基座、螺母座、轴承座、拖板 45 号钢 210 7800 0.28
X 轴直线导轨、滑块 GCr15 206 7570 0.3
X 轴丝杆 50CrMo4 210 7800 0.3
X 轴螺母 25CrMo4 210 7800 0.3

3.1.1.2 约束与边界设置

将装配好的 X 轴模型接入 ADAMS 动力学仿真软件，完成其虚拟样机模型的

动力学仿真分析。
表 3.2 X 轴各零部件间的约束

序号 约束类型 部件 1 部件 2
1 固定副 X 轴基座 大地
2 固定副 X 轴基座 X 轴直线导轨
3 滑动副 X 轴滑块 X 轴直线导轨
4 固定副 X 轴支撑座 X 轴基座
5 固定副 X 轴丝杆 X 轴支撑座
6 圆柱副 X 轴螺母 X 轴丝杆
7 固定副 X 轴滑块 X 轴拖板
8 固定副 X 轴螺母 X 轴螺母座
9 固定副 X 轴螺母座 X 轴拖板

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 工程硕士学位论文

由 于 c 轴 通 过 螺 栓 与 X 轴 拖 板 进 行 连 接 ， 且 其 主 要 包 括 横 川 DD 马
达.T.DM1A-045G 和固定吸盘、防水盖、及螺栓、销钉、磁铁等连接固定元件，将
其重力 314N（总质量 19.24+12.8kg）转化为竖直向下的力施加在 X 轴拖板。并对
X 轴模块施加大小为9806.6mm/𝑠 2 的重力加速度。
由于 X 轴滚珠丝杆带动 c 轴整体在直线导轨上移动时，会对基座连接处的力
产生变化。故对 X 轴螺母施加驱动，使其在 50ms 内加速到 200mm/s,匀速运动一
段时间后，又以相同大小的加速度按减速到 0mm/s。如图 3.2 所示。

图 3.1 X 轴动力学模型
250

200
速度（mm/s）

150

100

50

0
0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5
时间（s）

图 3.2 X 轴速度曲线

最终得到 X 轴基座与大地连接处（基座对大地）的载荷情况如图 3.3、图 3.4

所示。
随着 X 轴滚珠丝杆带动 c 轴整体在直线导轨上加减速运动时，基座连接处的
力以及力矩将发生变化。随着移动距离的增加，c 轴距 X 轴模块行程中心处的距
离越来越小，其由于自身重力对 X 轴基座连接处产生的 X 方向上的力矩也将逐
渐减小。不仅如此，由于加减速过程的存在，将会造成沿丝杆前进方向 Z 方向力
的不同，以及 X 方向的力矩变化速率的不同，由结果曲线可知，这与分析一致。

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 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

500 x方向作用力 200000 x方向作用力矩

y方向作用力
z方向作用力 y方向作用力矩
z方向作用力矩
0 150000

力矩（N.mm）
力（N）

100000
-500

50000
-1000

0
-1500
0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5
时间（s） -50000
0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5
时间（s）

图 3.3 X 轴基座连接处的作用力 图 3.4 X 轴基座连接处的作用力矩

3.1.2 Y 轴
3.1.2.1 模型材料设置

表 3.3 Y 轴各零部件材料参数

部件名称 材料 弹性模量 Gpa 密度（kg/m^3） 泊松比

Y 轴基座、螺母座、轴承 45 号钢 210 7800 0.28
座、拖板
Y 轴直线导轨、滑块 GCr15 206 7570 0.3
Y 轴丝杆、Z 轴丝杆 50CrMo4 210 7800 0.3
Y 轴螺母、Z 轴螺母 25CrMo4 210 7800 0.3
Z 轴直线导轨、滑块 GCr15 206 7570 0.3
Z 轴螺母座、轴承座 45 号钢 210 7800 0.28
Z 轴拖板 0Cr13 220 7750 0.29
主轴座、主轴座安装板 SUS304 200 7800 0.28
Y 轴防护罩拖板架 Q235 210 7800 0.28
Y 轴防护罩托板、右拖板 SUS304 钣金 193 8000 0.27

3.1.2.2 约束与边界设置

将装配好的 Y 轴与 Z 轴模型接入 ADAMS 动力学仿真软件，完成其虚拟样机

模型的动力学仿真分析。各零部件之间的约束情况如表所示。
表 3.4 Y、Z 轴各零部件间的约束

序号 约束类型 部件 1 部件 2
1 固定副 Y 轴基座 大地
2 固定副 Y 轴基座 Y 轴直线导轨

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 工程硕士学位论文

表 3.4（续）

序号 约束类型 部件 1 部件 2

3 滑动副 Y 轴直线导轨 Y 轴滑块

4 固定副 Y 轴支撑座 Y 轴基座
5 固定副 Y 轴丝杆 Y 轴支撑座
6 滑动副 Y 轴丝杆 Y 轴螺母
7 固定副 Y 轴螺母 Y 轴螺母座
8 固定副 Y 轴螺母座 Y 轴拖板
9 固定副 Y 轴滑块 Y 轴拖板
10 固定副 Z 轴直线导轨 Y 轴拖板
11 滑动副 Z 轴滑块 Z 轴直线导轨
12 固定副 Z 轴支撑座 Y 轴拖板
13 固定副 Z 轴丝杆 Z 轴支撑座
14 滑动副 Z 轴丝杆 Z 轴螺母
15 固定副 Z 轴螺母 Z 轴螺母座
16 固定副 Z 轴螺母座 Z 轴拖板
17 固定副 Z 轴滑块 Z 轴拖板
18 固定副 Z 轴拖板 主轴安装座
19 固定副 Y 轴拖板 Y 轴防护罩拖板

由于 Y 轴滚珠丝杆带动 Z 轴在直线导轨上移动、以及 Z 轴滚珠丝杆带动主

轴上下移动时会对基座连接处的受载产生影响。故对𝑦1 、𝑦2 、𝑧1 、𝑧2 轴分别赋予不
同 的 运 动 速 度 。 对 𝑦1 、 𝑦2 轴 施 加 5.33𝑚/𝑠 2 的 加 速 度 ， 使 其 在 30ms 内 加 速 到
160mm/s,匀速运动一段时间后，又以相同大小的加速度按减速到 0mm/s，如图 3.6
所示。对 𝑧1 、𝑧2 轴施加 2.0𝑚/𝑠 2 的加速度，使其在 30ms 内加速到 60mm/s,匀速运
动一段时间后，又以相同大小的加速度按减速到 0mm/s。如图 3.7 所示。
y1 y2

z1 z2

图 3.5 Y 轴动力学模型

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 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

200 0

-10
160
-20

速度（mm/s）
速度（mm/s）

120 -30

-40
80

-50
40
-60

0 -70
0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5
时间（s） 时间（s）

图 3.6 Y 轴速度曲线 图 3.7 Z 轴速度曲线

最终得到 Y 轴基座与大地连接处（基座对大地）的载荷情况如图 3.8、图 3.9
所示。
1000 200000
x方向作用力 x方向作用力矩
y方向作用力矩
y方向作用力
500 z方向作用力矩
z方向作用力 150000
力矩（N.mm）

0
100000
力（N）

-500
50000
-1000

-1500 0

-2000 -50000
0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5
时间（s） 时间（s）

图 3.8 Y 轴基座连接处的作用力 图 3.9 Y 轴基座连接处的作用力矩

Y 轴和 Z 轴滚珠丝杆的加减速运动将会造成 Y 轴基座连接处的力以及力矩发
生变化。由于𝑦1 、𝑦2 轴加减速运动时方向相反，其因运动产生的力也将在运动方
向上产生抵消作用，从而使得加减速运动对 X 轴方向的力以及 Z 轴方向力矩的变
化影响很小。Y 轴、Z 轴由于自身重力的存在，且其重心偏离于基座安装平面，
故将产生 Y 轴方向的力及 X 轴方向的力矩。且由于𝑧1 、𝑧2 轴的加减速运动方向相
同，其产生的力在运动方向上不会相互抵消，将引起 Y 轴方向力、X 轴方向力矩
的变化。由结果曲线可知，这与分析一致。

3.2 机身瞬态动力学分析

为了考察划片机在工作过程中各轴运动对大理石机身造成的影响，本文将上
文获取的动载荷施加于机身上，以此来模拟划片机工作时机身的受载情况，进而
对大理石机身的刚度、强度进行计算。

18
 工程硕士学位论文

3.2.1 模型建立与网格划分
划片机床身部件的主要包括大理石横梁、大理石左立柱、大理石右立柱、大
理石基座、大理石支架等。简化后的划片机床身模型如图 3.10 所示。

图 3.10 划片机床身简化模型

划片机床身由大理石制成，其材料属性表 3.5 所示。

表 3.5 划片机床身材料参数

部件名称 材料 弹性模量（MPa） 密度（kg/m^3） 泊松比

机身 大理石 55000 2600 0.3

采用六边形网格为主的划分方法对模型进行网格的划分。网格尺寸为 15mm，
划分结果如下图所示，共有单元数 140400，节点数 485375，如图 3.11 所示。

图 3.11 划片机床身网格模型

3.2.2 创建边界条件
（1）施加约束：划片机床身的大理石基底通过螺栓与大理石支架进行连接，
故对其施加固定约束。

19
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

（2）施加载荷：划片机床身的大理石横梁通过螺栓与 Y 轴基座进行连接，
大理石基底通过螺栓与 X 轴基座进行连接，为了模拟各轴运动时床身的实际受载
情况，故将动力学仿真所得到的负载以多载荷步的形式施加到对应连接平面。此
处将动力学仿真所得到的负载分为 22 个载荷步加载到划片机床身上，然后取重
力加速度大小为9806.6mm/𝑠 2 。

3.2.3 瞬态动力学分析结果
按 照 上 述 条 件 设 置 后 进 行 求 解 ， 可 获 得 相 应 应 力 应 变 云 图 ， 如 图 3.12、 图
3.13 所示。

图 3.12 划片机床身变形云图

由变形云图可知，最大变形为 0.0081mm，发生在大理石横梁，且变形值由大
理石机床底部向上逐渐变大，直到顶部达到最大值。由于大理石横梁承受由 Y、
Z 轴重力产生的力和力矩，故产生局部位移较大。

图 3.13 划片机床身应力云图

20
 工程硕士学位论文

由应力云图可知，最大应力为 1.09MPa，发生在机床左右两侧立柱与横梁交
汇处附近。由于机床的材质为大理石，其强度极限远大于 1.09MPa，且由云图可
知，大理石机身大部分处于低应力区域，远远满足强度要求，且有较大的富余。

3.3 本章小结

本章首先选取动力学分析软件 ADAMS 对划片机 X 轴、Y 轴进行了虚拟样机

模型的建立，模拟了划片机正常工作时 X 轴、Y 轴的工作状态，并通过测量得到
了 X 轴、Y 轴基座与划片机床身连接处的载荷大小。然后通过有限元分析软件对
划片机床身进行了瞬态动力学仿真。将动力学仿真测量所得到的载荷分步加载到
床身与 X 轴、Y 轴基座连接处，以此来模拟划片机正常工作时床身的真实受载情
况，并得到床身的变形结果。最后经过分析可知，划片机床身最大变形为 0.0081mm，
发生在大理石横梁；最大应力为 1.09MPa，发生在机床左右两侧立柱与横梁交汇
处附近，满足强度要求。

21
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

第4章 划片机模态分析

机床工作行程中，其各传动件之间存在较快的相对运动，划片机高速运动过
程中非常容易激发其他结构的共振模态，当划片设备所运行时所进行的是短促的
往复运动，这种运动使共振情况更加严重。因此，本章对划片机主要结构进行动
态分析。

4.1 各轴模态分析

滚珠丝杆是长杆状结构，它的动态特性较差，这将会影响划片机的加工精度，
所以有必要单独对滚珠丝杆的动态特性进行研究 [10] 。
表 4.1 划片机各部件材料参数

弹性模 密度 泊松 热膨胀系数 热导率 比热

部件名称 材料
量/GPa kg/m^3 比 /K W/(m*K) J/(Kg*K)

机身 大理石 55 2600 0.3 (80-260)e-7 2.70~3.48 816.96

基座 45 号钢 210 7800 0.28 1.3e-5 43 440

螺母座 45 号钢 210 7800 0.28 1.3e-5 43 440

螺母 25CrMo4 210 7800 0.3 12.0e-6 40-45 460-480

滚珠丝杠 50CrMo4 210 7800 0.3 12.0e-6 40-45 460-480

导轨、滑块、
GCr15 206 7570 0.3 12.5e-6 30-40 450
轴承

Y 轴托板 45 号钢 210 7800 0.28 1.3e-5 43 440

Z 轴托板 0Cr13 220 7750 0.29 1.1e-5 24.9

主轴座安装板 SUS304 200 7800 0.28 1.1e-5 18 460

(10.6-12.2)e-
Y 轴防护托板 Q235 210 7800 0.28 52.34 745
6
SUS304
Y2 轴防护托板 193 8000 0.27 1.6e-5 16.3 500
钣金

主轴座 SUS304 200 7800 0.28 1.1e-5 18 460

注：材料来源于公司提供，材料参数来源于 Total Material 材料数据库、MatWeb 材料

数据库。

22
 工程硕士学位论文

4.1.1 X 轴滚珠丝杆的模态分析
在 X 轴中，X 轴电机控制滚珠丝杆旋转运动，从而带动 X 轴滑块及托板进行
直线进给运动 [30] 。由于螺母处于不同运动位置时会影响结构的固有频率，所以分
别计算三个极限位置滚珠丝杆的模态。

4.1.1.1 模型建立与网格划分

由于实际结构包含很多细小结构，对网格的划分增加了难度且加大了求解时
间，因此在不改变原有结构的前提下对结构进行简化。在 ANSYS 的模态分析模
块中导入简化的模型，设置各部件为表 4.1 所示的材料参数。
采用自动化分网格对网格进行划分，设置网格大小为 5mm，平均网格质量为
0.82725，符合平均网格质量大于 0.7 的要求。在不同运动位置下设置接触和相应
的约束条件。

4.1.1.2 接触与边界条件设置

简化后的 X 轴滚珠丝杆结构包括丝杆和螺母两个部件，建立两个部件之间的
接触关系，为了简化计算，设置螺母与丝杆之间为绑定（Bonded）接触。
滚珠丝杆约束条件
（1）丝杆轴承位置处位移受限，施加移动约束 displacement，约束 XYZ 三个
方向的位移;
（2）丝杆轴承只做一个方向的旋转运动，添加圆柱约束，只允许切向方向的
运动;
（3）螺母只在丝杆上做 Z 方向上的移动，所以约束螺母的 XY 方向上的移
动，以及只允许螺母切向方向的转动;
设置好即基础和边界条件后进行求解，得到模态分析结果如下。

4.1.1.3 模态分析结果

（1）左极限位置：
螺母位于丝杆的左侧极限位置，添加如下所示约束条件，进行求解，X 轴滚
珠丝杆的前六阶固有频率和振型描述具体如下表 4.2 所示。

图 4.1 X 轴滚珠丝杆左极限位置约束施加图

23
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

表 4.2 左极限位置前六阶固有频率和振型描述

阶数 频率/Hz 振型

1 164.57 X 方向一阶弯曲
2 166.34 Y 方向一阶弯曲
3 453.74 X 方向二阶弯曲
4 457.74 Y 方向二阶弯曲
5 887.65 X 方向三阶弯曲
6 894.03 Y 方向三阶弯曲

（2）中间位置：
螺母位于丝杆的中间位置，添加如下所示约束条件，进行求解，X 轴滚珠丝
杆的前六阶固有频率和振型描述具体如下表 4.3 所示。

图 4.2 X 轴滚珠丝杆中间位置约束施加图
表 4.3 中间位置前六阶固有频率和振型描述

阶数 频率/Hz 振型

1 490.91 X 方向一阶弯曲
2 498.4 Y 方向一阶弯曲
3 621.48 X 方向一阶弯曲
4 621.51 Y 方向一阶弯曲
5 1350.3 X 方向二阶弯曲
6 1364.5 Y 方向二阶弯曲

（3）右极限位置：
螺母位于丝杆的右极限位置，添加如下所示约束条件，进行求解，X 轴滚珠
丝杆的前六阶固有频率和振型描述具体如下所示。

24
 工程硕士学位论文

图 4.3 X 轴滚珠丝杆右极限位置约束施加图

表 4.4 右极限位置前六阶固有频率和振型描述

阶数 频率/Hz 振型

1 161.98 X 方向一阶弯曲
2 161.99 Y 方向一阶弯曲
3 445.07 X 方向二阶弯曲
4 445.1 Y 方向二阶弯曲
5 868.4 X 方向三阶弯曲
6 868.44 Y 方向三阶弯曲

分析可知，从固有频率数值上来看，相邻的两阶非常接近，比较他们的振型
发现相邻模态的振型近似正交。研究可知，这是因为结构和约束是基本对称的。
丝杆的转速与频率存在着一定的关系 [10] ：
𝑛 = 60𝑓
其中𝑛为滚珠丝杆的转速，𝑓为相应的频率。模态分析得到的固有频率对应的
临界转速如下表 4.5 所示：
表 4.5 不同运动位置前六阶固有频率及其对应转速

阶次 1 2 3 4 5 6

左极限 频率/Hz 164.57 166.34 453.74 457.74 887.65 894.03

位置 转速/rpm 9874.2 9980.4 27224.4 27464.4 53259 53641.8

中间位 频率/Hz 490.91 498.4 621.48 621.51 1350.3 1364.5

置 转速/rpm 29454.6 29904 37288.8 37290.6 81018 81870

右极限 频率/Hz 161.98 161.99 445.07 445.1 868.4 868.44

位置 转速/rpm 9718.8 9719.4 26704.2 26706 52104 52106.4

25
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

分析可以，螺母位置在中间位置时较其他位置的固有频率高，即螺母越往中
间运动越不易发生共振。X 轴使用电机为松下伺服电机，型号为 MHMF042L1U2M，
额定转速为 3000rpm，即最大频率为正常情况下电机转速不会达到 9718.8rpm，所
以正常工作时，滚珠丝杆动态特性良好，不会发生共振破坏。

4.1.2 Y 轴滚珠丝杆的模态分析
与 X 轴类似的，分别计算三个极限位置滚珠丝杆的模态，导入简化的模型，
设置材料参数，进行模态分析计算。

4.1.2.1 模型建立与网格划分

由于 Y 轴包括两个滚珠丝杆同时运行，为了同时验证两个滚珠丝杆同时运行
时的动态特性，将滚珠丝杆与基座、导轨滑块等连接在一起共同分析。与 X 轴类
似，导入简化后的 Y 轴模型，在 ANSYS 的模态分析模块中导入简化的模型，设
置各部件为表 4.1 所示的材料参数。
在软件中自动划分网格，设置网格大小为 5mm，平均网格质量为 0.70784，
符合平均网格质量大于 0.7 的要求。

4.1.2.2 接触与边界条件设置

简化后的 Y 轴滚珠丝杆结构包括基座、导轨、滑块、丝杆、螺母和轴承座等
部件，建立各个部件之间的接触关系，为了简化计算，设置如下条件：
（1）基座与直线导轨之间采用绑定（Bonded）接触。
（2）滑块与直线导轨之间采用绑定（Bonded）接触。
（3）螺母与滚珠丝杆接触部分采用绑定（Bonded）接触。
（4）Y 轴基座与滚珠丝杆固定部件之间的接触关系采用绑定（Bonded）接触。
根据实际情况设置各部件约束条件如下：
（1）丝杆轴承位置处位移受限，施加移动约束 displacement，约束 XYZ 三个
方向的位移;
（2）丝杆轴承只做一个方向的旋转运动，添加圆柱约束，只允许切向方向的
运动;
（3）螺母只在丝杆上做 Z 方向上的移动，所以约束螺母的 XY 方向上的移
动，以及只允许螺母切向方向的转动;

4.1.2.3 模态分析结果

（1）两边极限位置：
螺母和滑块位于丝杆的左侧极限位置，添加如下图 4.4 所示约束条件，进行
求解；

26
 工程硕士学位论文

轴1

轴2

图 4.4 Y 轴滚珠丝杆两边极限位置约束施加图
表 4.6 两边极限位置前六阶固有频率和振型描述

阶数 频率/Hz 振型

1 352.59 轴 2Z 方向一阶弯曲
2 357.87 轴 2Y 方向一阶弯曲
3 374.08 轴 1Z 方向一阶弯曲
4 374.48 轴 1Y 方向一阶弯曲
5 965.77 轴 2Z 方向二阶弯曲
6 976.61 轴 2Y 方向三阶弯曲

（2）两边中间位置：
螺母和滑块同时位于丝杆的中间位置，添加如下图 4.5 所示约束条件，进行
求解；

图 4.5 Y 轴滚珠丝杆中间极限位置约束施加图

27
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

表 4.7 中间极限位置前六阶固有频率和振型描述

阶数 频率/Hz 振型

1 807.31 轴 2 右 Z 方向一阶弯曲
2 822.72 轴 2 右 Y 方向一阶弯曲
3 880.96 轴 1 左 Z 方向一阶弯曲
4 882.37 轴 1 左 Y 方向一阶弯曲
5 1662.5 轴 1 右 Z 方向一阶弯曲
6 1696.1 轴 1 右 Y 方向一阶弯曲

（3）两边左边位置：
螺母和滑块位于丝杆的左侧极限位置，添加图 4.6 所示约束条件求解；

图 4.6 Y 轴滚珠丝杆左边极限位置约束施加图
表 4.8 左边极限位置前六阶固有频率和振型描述

阶数 频率/Hz 振型

1 354.84 轴 2Z 方向一阶弯曲
2 360.14 轴 2 Y 方向一阶弯曲
3 556.71 轴 1 右 Z 方向一阶弯曲
4 566.26 轴 1 右 Y 方向一阶弯曲
5 972.43 轴 2Z 方向二阶弯曲
6 983.37 轴 2Y 方向二阶弯曲

分析可知，从固有频率数值上来看，相邻的两阶非常接近，比较他们的振型
发现相邻模态的振型近似正交。研究可知，这是因为结构和约束是基本对称的。
丝杆的转速与频率存在着一定的关系：
𝑛 = 60𝑓
其中𝑛为滚珠丝杆的转速，𝑓为相应的频率。模态分析得到的固有频率对应的
临界转速如下所示：

28
 工程硕士学位论文

表 4.9 不同运动位置前六阶固有频率及其对应转速

阶次 1 2 3 4 5 6

两边极 频率/Hz 352.59 357.87 374.08 374.48 965.77 976.61

限位置 转速/rpm 21155.4 21472.2 22444.8 22468.8 57946.2 58596.6

两边中 频率/Hz 807.31 822.72 880.96 882.37 1662.5 1696.1

间位置 转速/rpm 48438.6 49363.2 52857.6 52942.2 99750 101766

两边左 频率/Hz 354.84 360.14 556.71 566.26 972.43 983.37

边位置 转速/rpm 21290.4 21608.4 33402.6 33975.6 58345.8 59002.2

分析可知，与 X 轴情况类似，螺母位置在中间位置时较其他位置的固有频率
高，即螺母越往中间走越不易发生共振。Y 轴使用电机为松下伺服电机，额定转
速为 3000rpm，即最大频率为正常情况下电机转速不会达到 21155.4rpm，固有频
率与电机正常工作固有频率相隔较大，所以正常工作时，滚珠丝杆动态特性良好，
不会发生共振破坏。

4.2 各轴 基座、导轨滑块 模态分析

根据上文静力学分析，得到基座导轨的变形量很小，说明基座导轨滑块的静
力学分析中安全裕度很大，具有一定的优化空间；对其进行动态特性分析，研究
其动态特性。

4.2.1 X 轴基座、导轨滑块的模态分析
4.2.1.1 模型建立与网格划分

与滚珠丝杆分析类似，导入简化后的 X 轴基座、导轨滑块模型，设置各部件
的材料参数。设置网格大小为 5mm，网格质量为 0.70606，符合平均网格质量大
于 0.7 的要求。

4.2.1.2 边界条件设置

简化后的结构包括基座、导轨、滑块等部件，建立各个部件之间的接触关系，
为了简化计算，设置如下接触：
（1）基座与直线导轨之间采用绑定（Bonded）接触。
（2）滑块与直线导轨之间采用绑定（Bonded）接触。
由于约束条件对模型的固有频率和振型等影响很大，根据其运动条件对其进
行约束。将基座螺栓孔面设置为固定约束，滑块在导轨上做前后移动，因此需要
对滑块添加位移约束，得到整体装配体的前六阶固有频率。

29
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

4.2.1.3 模态分析结果

（1）左极限位置：约束条件如下图 4.7 所示

图 4.7 X 轴基座导轨滑块左边极限位置约束施加图
表 4.10 左边极限位置前六阶固有频率和振型描述

阶数 频率/Hz 振型

1 3478.7 一阶弯曲
2 3593.3 一阶弯曲
3 3912.1 二阶弯曲
4 3963.1 二阶弯曲
5 4294.1 三阶弯曲
6 4412.5 三阶弯曲

（2）中间位置：约束条件如下图 4.8 所示

图 4.8 X 轴基座导轨滑块中间极限位置约束施加图

30
 工程硕士学位论文

表 4.11 中间极限位置前六阶固有频率和振型描述

阶数 频率/Hz 振型

1 3475.8 一阶弯曲
2 3480. 一阶弯曲
3 3576.1 二阶弯曲
4 3593.1 二阶弯曲
5 4108. 三阶弯曲
6 4166.7 三阶弯曲

（3）右极限位置：滑块位于右极限位置，约束条件如下图 4.9 所示

图 4.9 X 轴基座导轨滑块右边极限位置约束施加图
表 4.12 右极限位置前六阶固有频率和振型描述

阶数 频率/Hz 振型

1 3372.8 一阶弯曲
2 3482.2 一阶弯曲
3 3790.1 二阶弯曲
4 3847.7 二阶弯曲
5 4148.5 三阶弯曲
6 4245.4 三阶弯曲

分析可知，前六阶模态的主要变形部位是导轨的振动，说明相对而言，导轨
处是该结构的薄弱环节，当划片机正常工作时，主轴旋转会产生激振频率，若与
该划片机的固有频率相近则会发生共振，影响划片机的工作。本文的研究对象划
片机的主轴的转速在 6000r/min.60000r/min 之间，由此可知，主轴工作的激振频
率范围为 100Hz-1000Hz，从表中可知，基座的一阶固有频率均大于 3000Hz，说
明结构的动态特性较好，能够避免共振发生，满足划片机加工所需的稳定性要求 。

31
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

4.2.2 Y 轴基座、导轨滑块的模态分析
与 X 轴类似，设置相应的边界条件进行求解，可以得到如下不同位置的模态
分析结果：
（1）两边极限位置：Y1、Y2 轴分别位于两边的极限位置，约束条件和模态
分析结果如下：

图 4.10 Y 轴基座导轨滑块两边极限位置约束施加图
表 4.13 两边极限位置前六阶固有频率和振型描述

阶数 频率/Hz 振型

1 4768.7 一阶弯曲
2 4867.1 一阶扭转
3 5165.6 一阶弯曲
4 5396.7 一阶弯曲
5 5984.8 二阶弯曲
6 6141.7 二阶弯曲

（2）中间位置：Y1、Y2 轴分别位于导轨的中间位置，约束条件和模态分析
结果如下：

图 4.11 Y 轴基座导轨滑块中间位置约束施加图

32
 工程硕士学位论文

表 4.14 中间位置前六阶固有频率和振型描述

阶数 频率/Hz 振型

1 3566.2 一阶弯曲
2 3568.8 一阶扭转
3 3639.3 一阶弯曲
4 3702.2 一阶弯曲
5 4520.9 一阶弯曲
6 4625.8 一阶弯曲

（3）两左边位置：Y1、Y2 轴分别位于导轨的左边极限位置，约束条件和模
态分析结果如下：

图 4.12 Y 轴基座导轨滑块两左边位置约束施加图
表 4.15 中间位置前六阶固有频率和振型描述

阶数 频率/Hz 振型

1 3559.7 一阶弯曲
2 3585.5 一阶弯曲
3 4259.5 一阶弯曲
4 4806.1 二阶弯曲
5 5353.1 二阶弯曲
6 5406.1 二阶弯曲

分析比较可知，滑块分布在 Y 轴两边时一阶固有频率大于其他位置时的固有
频率，这说明滑块位置越分散越不容易发生共振。模态的主要变形部位是导轨，
说明相对而言，基座导轨处是划片机的薄弱环节，当结构正常工作时，主轴旋转
会产生激振频率，若与该结构的固有频率相近就会发生共振，使发生振动和噪声，
影响划片机的工作。本文的研究对象划片机的主轴的转速在 6000r/min-60000r/min
之间，由此可知，主轴工作的激振频率范围为 100Hz-1000Hz，从表中可知，基座

33
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

的一阶固有频率均大于 3000Hz，这说明结构的动态特性较好，能够避免共振发生，
满足划片机加工所需的稳定性要求。

4.3 机身模态分析

龙门结构被广泛用于各种大型机床结构中，在划片机中龙门结构承载各轴滚
珠丝杆、电机、主轴等重要部件。龙门结构的动态特性会影响划片机的运行精度，
因此对划片机的大理石机身进行模态分析。

4.3.1 模型建立与网格划分
由于实际结构包含很多倒角、倒圆、小孔等特征，影响网格的划分且增长了
求解时间，因此在不改变原有结构的前提下对细小结构进行简化。在 ANSYS 的
模态分析模块中导入简化的模型，设置机身为表 4.1 所示的大理石材料参数。
采用自动化分网格对网格进行划分，设置网格大小为 15mm，平均网格质量
为 0.74027，符合平均网格质量大于 0.7 的要求。

4.3.2 创建边界条件设置
简化后的机身结构包括左立柱、右立柱、基座和横梁四个部分。
（1） 建立各部件之间的接触关系，为了简化计算，设置每个接触面之间为绑定
（Bonded）接触。
（2） 模态分析与结构约束条件关联较大，为简化计算选取基座底面为固定约束。

4.3.3 模态分析结果
设置接触和约束条件后，可进行求解。经计算可得到大理石机身前六阶固有
频率值，其振型云图如下图所示，前六阶频率如下表 4.16 所示。
表 4.16 大理石机身前六阶固有频率和振型描述

阶数 频率/Hz 振型

1 186.72 Z 方向一阶弯曲
2 234.15 X 方向一阶弯曲
3 366.85 一阶扭转
4 786.13 二阶扭转
5 901.07 一阶扭转
6 974.83 二阶扭转

34
 工程硕士学位论文

a) 第 1 阶模态振型

b) 第 2 阶模态振型

c) 第 3 阶模态振型

35
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

d) 第 4 阶模态振型

e) 第 5 阶模态振型

f) 第 6 阶模态振型

图 4.13 大理石机身前六阶振型图

由表 4.16 可知，大理石机身的一阶固有频率为 186.72Hz，在此频率下最大

变形位置发生在大理石机身横梁中间处，前六阶振型的最大变形基本上都发生在
机身的横梁处，由于固有频率与电机正常工作固有频率相隔较大，所以正常工作

36
 工程硕士学位论文

时，大理石机身动态特性良好，不会发生共振破坏，满足划片机加工所需的稳定
性要求。

4.4 本章小结

本章选取有限元分析平台 ANSYS Workbench 进行有限元模型建立及动态特

性分析，分别对 X、Y、大理石机身结构进行模态分析。首先根据实际情况对各部
件进行了约束，以此来模拟结构在划片机中的真实约束情况。并分别分析了 X、
Y 轴中滑块处于行程中三个不同位置时的固有频率变化。结果表明，滑块处于中
间位置时，固有频率最大，最不容易发生共振。在各种情况下，结构的动态特性
良好，不会发生共振破坏。

37
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

第5章 环境温度波动对变形影响分析

随着光电产业的发展，芯片的集成度逐步提高，对半导体元器件的性能、质
量有着越来越高的要求，作为单元晶片制作的关键设备，划片机的加工精度直接
影响到加工工件的质量，因此，提高划片机的加工精度成为了光电领域发展的重
要需求之一。对划片机来说，存在着众多热源。热源强度、分布位置的不同以及
机身各部分导热和散热条件的不一致，使得机身具有不均匀的温度场，从而产生
热变形，影响划片机精度 [31] 。本文着重研究外热源即机床外部环境对划片机 X、
Y 轴和大理石变形的影响，具体体现在车间环境温度在 20-26℃的变化。
本研究以某型号划片机为研究对象，利用 ANSYS 有限元仿真软件，对不同
环境温度下 X、Y 轴基座和大理石机身的温度场和热变形进行仿真，分析不同环
境温度波动下结构的几何精度，得到环境温度波动对结构变形量的影响，为划片
机的高精度切割改进建议提供依据 [32] 。
现将环境温度的变化近似按 20-26℃变化处理，设置机身壁初始温度为 22℃。

5.1 有限元模型建立

5.1.1 热-结构耦合理论
由机械和温度一同影响下的结构称为热-结构耦合结构，对这种结构进行共同
分析叫做热-结构耦合分析。热-结构耦合问题包括热传导问题和固体力学以及热
传导和固体力学的耦合关系。热-结构有限元分析平衡方程为 [33] ：
𝑁
𝛼𝐸∆𝑇
𝑲𝑼 = 𝑭𝑚 + 𝑭ℎ = 𝑭𝑚 + ∑ 𝜑(𝜌𝑒 ) ∙𝑰
2(1 − 𝑣𝑏 )
𝑒=1
其中，𝑲为结构刚度矩阵；𝑼为位移列向量；𝑭𝑚 为机械载荷；𝑭ℎ 为热载荷；
𝜑(𝜌𝑒 )为 材 料 属 性 函 数 ； 𝜌𝑒 为 单 元 密 度 变 量 ； ∆𝑇 为 温 度 变 化 ； 𝑰 = [−1 − 1 1 −
1 1 1 − 1 1]𝑇 ；𝑣𝑏 为材料泊松比；𝑁为单元节点总数。
整理为矩阵形式可以表示为

𝑴 0 𝑭𝑚̈ 𝑪 0 𝑭𝑚̇ 𝑲 0 𝑭𝑚 𝑭
( )( )( ′) ( ̇ ) + ( ′ ) ( 𝑭 ) = (𝑸)
0 ̈
0 𝑭ℎ 0 𝑪 𝑭ℎ 0 𝑲 ℎ

其中，𝑴为质量矩阵；𝑪为阻尼矩阵；𝑲′ 为热传导矩阵。
热-结构耦合结果需要满足以下物理方程、平衡方程以及协调方程
物理方程为：
𝜎𝑖𝑗 = 2𝐺𝜀𝑖𝑗 + (𝐴𝑒 − 𝛽𝑟 )𝛿𝑖𝑗
平衡方程为：

38
 工程硕士学位论文

1 𝜕𝜀𝑘 2(1 + 𝑣) 𝜕𝑇 𝑓𝑖
∇2 𝑢𝑖 + − + =0
1 − 2𝑣 𝜕𝑖 1 − 2𝑣 𝜕𝑖 𝐺
协调方程为：

2
1 𝜕 2 𝛿𝑘 1 2
1 𝜕2𝑇 𝑣 𝜕𝑓𝑖 𝜕𝑓𝑖
∇ 𝛿𝑖 + = −𝛼 𝐸 ( ∇ 𝑇 + ) − ( + 2 )
1 + 𝑣 𝜕𝑖 2 1−𝑣 1 + 𝑣 𝜕𝑖 2 1 − 𝑣 𝜕𝑖 𝜕𝑖

𝐸 𝜇𝐸
式 中 ， 𝛽𝑟 = 𝜆𝛼𝐸 + 2𝐺, 𝐺 = , 𝜆 = (1+𝑣)(1−2𝑣) , 𝛿𝑘 = 𝛿𝑥 + 𝛿𝑦 , 𝜀𝑘 = 𝜀𝑥 + 𝜀𝑦 +
2(1+𝑣)

𝜀𝑧 , 𝐸为弹性模量，𝛼为材料膨胀系数，𝑣为材料的泊松比，𝑓𝑖 为单位体积力在坐标
轴上的分量。
热-结构耦合有限元方法 [34] 有直接和间接两种方法，直接耦合方法同时计算
温度场和结构场，耦合场相互作用涉及非线性，计算量大，当结构变形会影响改
变温度的强耦合情况下只能采用直接耦合法；间接法是先进行温度场分析后再将
温度场结果导入结构分析，一般用于结构变形对温度几乎没有影响或者影响很小
的弱单向耦合情况下。由于划片机在切削过程中要求高精度，变形量较小，在微
小变形量产生的热量与切削过程中的产热量来说几乎可以忽略，因此采用顺序耦
合方法来实现 X 轴、Y 轴基座的热-结构耦合分析。
由于重点关注温度在最终温度载荷状态下的真实温度场情况，使用 ANSYS
热力学分析，将计算结果作为温度载荷进行计算，得到相应的变形云图。为了得
到在 20-26℃不同温度下结构的变形变化情况，将最终温度载荷边界条件设置为
输入参数，结构的最大变形作为输出参数，进行参数计算，得到结构在不同温度
变化下的热变形情况。

5.1.2 热-结构耦合有限元分析
（1）导入模型
模型简化，由于研究重点为导轨几何精度，所以进行网格细化，设置单元格
大小为 5mm，平均网格单元质量大于 0.7，单元质量如下图 5.1 所示。

图 5.1 有限元划分单元质量

（2）边界条件设置

39
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

本研究考虑的是环境温度对热变形的影响，因此不考虑内热源的影响，重点
关注环境温度这一外热源。初始环境温度为 22℃，假设初始状态时床身温度保持
不变同样为 22℃。车间机身与环境间的换热方式为自然对流换热，对流换热系数
计算公式如下 [10] ：
𝑁𝑢 𝜆
h=
𝐿
其中，𝑁𝑢 为努谢尔特数；𝜆为流体的热传导系数；𝐿为特征尺寸，单位为 m，
空气的热传导系数𝜆 = 2.73 × 10−2 𝑊/(𝑚 ∙ 𝐾)；
在自然对流情况下，努谢尔特数的表达式为：
𝑁𝑢 = 𝐶(𝐺𝑟 𝑃𝑟 )𝑚
式中𝐶、𝑚为常系数，取值见下表 5.1；𝐺𝑟 为格拉晓夫数；𝑃𝑟 为普朗特数，当
壁温在 0-60℃时，取值为 0.696-0.7；
𝑔𝐿3 𝛽Δ𝑇
𝐺𝑟 =
𝜐3
式中𝑔为重力加速度，𝛽为流体的膨胀系数；Δ𝑇为流体与壁面的温度差；𝜐为
流体的运动粘度（𝑚2 /𝑠）；
表 5.1 C、m 的取值

流态 换热面位置 适用范围 𝐶 𝑚

层流 竖直壁 104 ≤ (𝐺𝑟 𝑃𝑟 ) ≤ 109 0.59 1/4

层流 水平壁热面朝上 105 ≤ (𝐺𝑟 𝑃𝑟 ) ≤ 107 0.54 1/4
层流 水平壁热面朝下 2 × 103 ≤ (𝐺𝑟 𝑃𝑟 ) ≤ 3 × 1010 0.58 1/5
紊流 竖直壁 109 ≤ (𝐺𝑟 𝑃𝑟 ) ≤ 1012 0.12 1/3
紊流 水平壁热面朝上 2 × 107 ≤ (𝐺𝑟 𝑃𝑟 ) ≤ 3 × 1010 0.14 1/3

取空气的普朗特数为 0.698，初始温度为 22℃，考虑环境温度变化范围为 20-

1
26℃，温度差为 2-4℃，取空气的热膨胀系数为𝛽 = ≈ 0.003𝐾 −1 ，空气运动
273+22
粘度为17.02 × 10−6 𝑚2 /𝑠。当边界温度为 20℃时，温差为 2℃时，可以得到不同特
征尺寸壁面的换热系数。
根据三维模型，水平壁面的特征尺寸取狭长边的短边计算，竖直壁取高计算，
根据不同特征尺寸的壁面附上对应的对流换热系数，进行相应求解。

5.1.2.1 X 轴热-结构耦合分析

由前文可知，滑块位置对变形量的影响不大，故以 X 轴螺母滑块位于中间位
置为例，根据三维模型，水平壁面的特征尺寸取狭长边的短边计算，竖直壁取高
计算，X 轴不同特征尺寸以及不同温度对应的对流换热系数公式如下
表 5.2 所示：

40
 工程硕士学位论文

表 5.2 X 基座换热面换热系数

特征尺寸 20℃ 21℃ 22℃ 23℃ 24℃ 25℃ 26℃

210 2.3759 1.9979 0.0000 1.0984 1.2617 1.3683 1.4493

80 1.8562 1.6159 0.0000 2.5430 3.0242 3.3468 3.5964
68 1.9808 1.7244 0.0000 2.6485 3.1496 3.4856 3.7455
水
22 3.1109 2.7082 0.0000 3.5117 4.1762 4.6217 4.9663
平
12 3.9644 3.4512 0.0000 4.0863 4.8595 5.3779 5.7789
壁
2 8.1179 7.0670 0.0000 6.3954 7.6055 8.4169 9.0445
18 3.3709 2.9345 0.0000 3.6924 4.3910 4.8595 5.2218
11 4.1048 3.5735 0.0000 4.1762 4.9663 5.4962 5.9060
55 2.1935 1.9095 0.0000 1.8772 2.1563 2.3384 2.4769
20 3.2875 2.8619 0.0000 3.5964 4.2769 4.7331 5.0861
竖 1 10.8963 9.4857 0.0000 7.6055 9.0445 10.0094 10.7558
直 5 5.7239 4.9829 0.0000 5.0861 6.0484 6.6937 7.1928
壁 26 2.9600 2.5768 0.0000 3.3681 4.0054 4.4327 4.7632
5 5.7239 4.9829 0.0000 5.0861 6.0484 6.6937 7.1928
2 8.2578 7.1888 0.0000 6.3954 7.6055 8.4169 9.0445

按 照 上 表 的 对 流 换 热 系 数 设 置 如 下 图 5.2 所 示 边 界 条 件 ， 设 置 温 度 边 界 为
20℃，进行稳态热求解：

图 5.2 X 轴稳态热分析温度边界条件

按照上述边界条件在 ANSYS 中施加约束，得到在相应温度边界条件下的温

度场云图如图所示经过稳态分析后，得到边界条件为 20℃时的温度场。当外界与
初始温度有差异的时候，导轨的主要散热方式是通过外壁面将热量散失到空气中。

41
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

将上文得到的稳态热的分析数据结果导入到静力学结构分析模块中，为热-结构顺
序耦合分析做准备。网格划分以及材料设置均从稳态热分析中继承，根据实际情
况设置如下所示约束条件
（1）在基座底部螺栓面上施加固定约束；
（2）约束螺母圆柱约束轴向自由；
（3）添加重力加速度；
（4）施加滑块上的负载，根据上文静力学分析添加远端力；
ANSYS 中施加的约束和载荷如下图 5.3 所示：

图 5.3 X 轴热-结构耦合分析边界条件

对热-结构耦合模型进行求解，得到 X 轴部分在温度和力的同时作用时的应
力和应变情况，具体情况如下图 5.4 所示

图 5.4 X 轴热变形云图

从图上结果可知，最大变形量为 0.0090519mm。由于温度不均匀的作用，在
温度的影响下，热应力对结构的影响大于载荷的影响。在热-结构耦合作用下，应

42
 工程硕士学位论文

力最大处于丝杆远离电机的一端，是由于丝杆突出于基座部分，悬置部分随基座
一起受热膨胀，但轴承端固定，热膨胀被约束，导致悬置部分应力集中。

5.1.2.2 Y 轴热-结构耦合分析

类似的，对 Y 轴做同样的分析，根据下表的 Y 轴不同温度、特征尺寸对应的

壁面设置稳态热边界条件，进行稳态热求解。
表 5.3 Y 基座换热面换热系数

特征尺寸 20℃ 21℃ 22℃ 23℃ 24℃ 25℃ 26℃

245 2.2861 1.9224 0.0000 1.0327 1.1863 1.2865 1.3627

156 1.4210 1.2371 0.0000 2.1520 2.5592 2.8322 3.0434
水 144 1.4673 1.2773 0.0000 2.1955 2.6109 2.8895 3.1049
平 8 4.6625 4.0589 0.0000 4.5223 5.3779 5.9516 6.3954
壁 2 8.1179 7.0670 0.0000 6.3954 7.6055 8.4169 9.0445
210 3.1693 2.7591 0.0000 3.5528 4.2250 4.6758 5.0244
13.5 3.7820 3.2924 0.0000 3.9677 4.7185 5.2218 5.6112
45 2.3768 2.0691 0.0000 2.0341 2.3365 2.5339 2.6839
竖 20 3.2875 2.8619 0.0000 3.5964 4.2769 4.7331 5.0861
直 1 10.8963 9.4857 0.0000 7.6055 9.0445 10.0094 10.7558
壁 17 3.5083 3.0542 0.0000 3.7455 4.4542 4.9294 5.2970
1.5 9.2649 8.0656 0.0000 6.8723 8.1726 9.0445 9.7190

按 照 上 表 的 对 流 换 热 系 数 设 置 如 下 图 5.5 所 示 边 界 条 件 ， 设 置 温 度 边 界 为
20℃，进行稳态热求解：

图 5.5 Y 轴稳态热分析温度边界条件

按照上述边界条件在 ANSYS 中施加约束，得到在相应温度边界条件下的温

度场云图如图所示经过稳态分析后，得到边界条件为 20℃时的温度场结果。将得

43
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

到的稳态热的分析数据结果导入到静力学结构分析模块中。网格划分以及材料设
置均从稳态热分析中继承，根据实际情况设置类似 X 轴的约束条件，ANSYS 中
施加的约束和载荷如下图 5.6 所示。

图 5.6 Y 轴热-结构耦合分析边界条件

对热-结构耦合模型进行求解，得到 Y 轴部分在温度和力的同时作用时的变
形情况，具体情况如下图 5.7 所示：

a) Y 轴整体热变形云图

b) 滑块、导轨、基座部分热变形云图
图 5.7 Y 轴热变形云图

从图上结果可知，Y 轴整体上最大变形为 0.0073796mm，滑块上最大变形量

为 0.0067255mm，与上文中单纯的静力学分析得到的变形量数值上要大，因此对

44
 工程硕士学位论文

划片机的分析有必要将温度考虑进来。由于温度不均匀的作用，在温度的影响下，
热应力对结构的影响大于载荷的影响。在热-结构耦合作用下，应力最大处于上方
的滑块处，是由于滑块带动托板负重，悬置部分随基座一起受热膨胀，上方滑块
部分应力集中。

5.1.2.3 机身热-结构耦合分析

类似的，对大理石机身做同样的分析，根据下表的大理石机身不同温度、特
征尺寸对应的壁面对热换流系数设置稳态热边界条件，进行稳态热求解。
表 5.4 机身换热面对应换热系数

特征尺寸 20℃ 21℃ 22℃ 23℃ 24℃ 25℃ 26℃

150 1.4435 1.2566 0.0000 1.2566 1.4435 1.5654 1.6581

水 75 1.9047 1.6581 0.0000 1.6581 1.9047 1.9047 2.1879
平 76.16 1.8931 1.6480 0.0000 1.6480 1.8931 1.8931 2.1745
壁 400 2.0224 1.7006 0.0000 1.7006 2.0224 2.0224 2.4051
1100 1.5705 1.3206 0.0000 1.3206 1.5705 1.5705 1.8676
250 1.1970 1.0421 0.0000 1.0421 1.1970 1.2981 1.3750
竖 465 0.9339 0.8130 0.0000 0.8130 0.9339 1.0128 1.0728
直 100 1.7269 1.5034 0.0000 1.5034 1.7269 1.8728 1.9837
壁 150 1.4684 1.2783 0.0000 1.2783 1.4684 1.5924 1.6867
565 0.8639 0.7521 0.0000 0.7521 0.8639 0.9369 0.9923

图 5.8 大理石机身稳态热分析温度边界条件

将上文得到的稳态热分析数据结果导入到静力学结构分析模块中。网格划分
以及材料设置均从稳态热分析中继承，根据实际情况设置大理石机身的约束条件，
各部件通过绑定连接。根据机身瞬态动力学第一个载荷步的载荷添加边界条件：
（1）在机身底面施加固定约束
（2）添加重力加速度

45
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

（3）施加机身两个面上的负载，根据上文静力学分析添加远端力和力矩。
ANSYS 中施加的约束和载荷如下图 5.9 所示:

图 5.9 大理石机身热-结构耦合分析边界条件

对热-结构耦合模型进行求解，得到机身在温度和力的同时作用时的应力和应
变情况，具体情况如下图 5.10 所示：

图 5.10 大理石机身热变形云图

图 5.11 大理石机身应力云图

从图上结果可知，最大变形量为 0.021011mm，最大应力为 7.2388MPa，最大

变形发生在机身横梁处，最大应力发生在机床左右两侧立柱与横梁交汇处附近。

46
 工程硕士学位论文

由于机床的材质为大理石，其强度极限远大于 7.2388MPa。与上文中单纯的瞬态
动力学得到的变形量数值上要大，说明温度对大理石机身有很大影响，尤其是当
大理石机身作为划片机的基础件，是整个划片机的基准，因此，划片机的分析有
必要将温度考虑进来。由于温度不均匀的作用，在温度的影响下，热应力对结构
的影响大于载荷的影响。在热-结构耦合作用下，变形最大处于上方的横梁处，是
由于横梁负载了整个 Y 轴和 Z 轴的运动，带动托板负重，受热膨胀。

5.2 环境温度对基座的影响

设置初始环境为 22℃，以温度边界条件为参数变量，使边界温度从 20℃到

26℃之间变化，进行参数优化，得到基座在不同温度下变形的变化情况。
为了得到在 20-26℃不同温度下结构的变形变化情况，将最终温度载荷边界
条件设置为输入参数，结构的最大变形作为输出参数，进行参数计算，得到各结
构在不同温度变化下的热变形情况。如下图所示：
0.018
x轴总变形量
0.016 x轴x方向变形
x轴y方向变形
0.014 x轴z方向变形
X轴变形量/mm

0.012

0.010

0.008

0.006

0.004

0.002

0.000
20 21 22 23 24 25 26
温度/℃

图 5.12 X 轴热变形曲线

0.014 Y轴总变形量
Y轴x方向变形
0.012
Y轴y方向变形
Y轴z方向变形
Y轴总变形量/mm

0.010

0.008

0.006

0.004

0.002

0.000
20 21 22 23 24 25 26
温度/℃

图 5.13 Y 轴热变形曲线

47
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

0.035
机身总变形量
机身x方向变形
0.030 机身y方向变形
机身z方向变形
0.025

机身总变形量/mm
0.020

0.015

0.010

0.005

0.000
20 21 22 23 24 25 26
温度/℃

图 5.14 大理石机身热变形曲线

由于初始温度设置为 22℃，当温度边界在 20-26℃之间变化的时候，当温度

小于 22℃的时候，温度越低总变形量越大；当温度大于 22℃的时候，温度越高变
形量越大，根据 ANSYS 参数优化得到的总变形结果与理论分析趋势相吻合。
温度场的不均匀分布会使基座、滑块、导轨等内产生热变形，会降低产品的
加工质量，降低机床的几何精度。与静态变形量相比较，热变形影响较大，需加
以控制。因此，在车间需要设置恒温车间温度，温度控制在±1℃以内。

5.3 本章小结

本章选取有限元分析平台 ANSYS Workbench 进行热-结构耦合分析。首先根

据三维模型计算不同特征尺寸的壁面的对热换热系数，依据此在稳态热模块中添
加边界条件，得到温度场数据后将所有数据导入到静力学分析模块中，根据前文
中计算的负载情况对其加载，得到结构在温度和载荷同时作用下的变形情况。结
果表明，与单纯的静态力分析相比，得到的变形量数值上要更大，说明温度对划
片机结构有很大影响。因此，在车间需要设置恒温车间，降低热变形的影响。

48
 工程硕士学位论文

第6章 运动系统误差分析及检测补偿

在划片机加工过程中，最重要的一个指标之一就是加工精度。而加工精度与
划片机机床误差息息相关。本章主要针对划片机运动系统误差进行分析，并选取
合适的误差补偿方法对其进行补偿，以此来提高划片机的加工精度。

6.1 划片机运动系统误差模型建立

单纯靠提高组件精度来保证划片机的加工精度将会付出巨大的经济代价，故
有必要采用误差补偿的方法对该运动系统进行补偿，使其精度满足要求 [35] 。
具体几何误差如下：
(1)沿 X 轴运动时，共 6 个：线性位移误差∆𝑥 (𝑥)、Y 向直线度误差∆𝑦 (𝑥)、Z
向直线度误差∆𝑧 (𝑥)、滚摆误差𝜀𝑥 (𝑥)、颠摆误差𝜀𝑦 (𝑥)、摇摆误差𝜀𝑧 (𝑥)；
(2)沿𝑦1 轴运动时，共 6 个：线性位移误差∆𝑥 (𝑦1 )、Y 向直线度误差∆𝑦 (𝑦1 )、Z
向直线度误差∆𝑧 (𝑦1 )、滚摆误差𝜀𝑥 (𝑦1 )、颠摆误差𝜀𝑦 (𝑦1 )、摇摆误差𝜀𝑧 (𝑦1 )；
(3)沿𝑦2 轴运动时，共 6 个：线性位移误差∆𝑥 (𝑦2 )、Y 向直线度误差∆𝑦 (𝑦2 )、Z
向直线度误差∆𝑧 (𝑦2 )、滚摆误差𝜀𝑥 (𝑦2 )、颠摆误差𝜀𝑦 (𝑦2 )、摇摆误差𝜀𝑧 (𝑦2 )；
(4)沿𝑧1 轴运动时，共 6 个：线性位移误差∆𝑥 (𝑧1 )、Y 向直线度误差∆𝑦 (𝑧1 )、Z
向直线度误差∆𝑧 (𝑧1 )、滚摆误差𝜀𝑥 (𝑧1 )、颠摆误差𝜀𝑦 (𝑧1 )、摇摆误差𝜀𝑧 (𝑧1 )；
(5)沿𝑧2 轴运动时，共 6 个：线性位移误差∆𝑥 (𝑧2 )、Y 向直线度误差∆𝑦 (𝑧2 )、Z
向直线度误差∆𝑧 (𝑧2 )、滚摆误差𝜀𝑥 (𝑧2 )、颠摆误差𝜀𝑦 (𝑧2 )、摇摆误差𝜀𝑧 (𝑧2 )；
(6)C 轴旋转时，共 6 个：X 向平动误差𝛿𝑥𝑐 (𝑐)、Y 轴平动误差𝛿𝑦𝑐 (𝑐)、Z 轴平
动误差𝛿𝑧𝑐 (𝑐)、X 向转角误差𝜀𝑥𝑐 (𝑐)、Y 向转角误差𝜀𝑦𝑐 (𝑐)、Z 向转角误差𝜀𝑧𝑐 (𝑐)；
(7)X 与𝑦1 轴间、X 与𝑧1 轴间、𝑧1 与𝑦1 轴间的三个垂直度误差𝜂𝑥𝑦1 、𝜂𝑥𝑧1 、𝜂𝑧1𝑦1 ；
(8) X 与𝑦2 轴间、X 与𝑧2 轴间、𝑧2 与𝑦2 轴间的三个垂直度误差𝜂𝑥𝑦2 、𝜂𝑥𝑧2 、𝜂𝑧2𝑦2 ；
划片机拥有两套相同的运动系统 X、𝑦1 、𝑧1 、c 和 X、𝑦2 、𝑧2 、c。为了叙述的
简便性，下面将𝑦1 、𝑦2 统称为 Y，将𝑧1 、𝑧2 统称为 Z。划片机运动系统可分成工件
链（床身 H、X 轴、C 轴、工件 W）和刀具链（床身 H、Z 轴、主轴 S、刀具 T）
两条运动链。运动系统的拓扑结构如图 6.1 所示 [36] 。

49
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

T
S T
S
Z1
Z2

Y1
Y2
H
H
X C W X C W

图 6.1 划片机运动系统拓扑结构

理想情况下，主轴的理想误差变换矩阵为单位矩阵 I，即：
𝑧 𝑖
𝑠𝑇 = 𝑇𝑠𝑇 𝑖 = 𝐼 = 𝑠 𝑒
𝑇𝑇 = 𝑇𝑠𝑇 𝑒
转台 C 到工件坐标系 W 的理想与误差变换阵均为单位矩阵 I，即，
𝐶 𝑖 𝐶 𝑒
𝑊𝑇 = 𝑊𝑇 =𝐼
工件链：
1 0 0 −𝑥
𝑋 𝑖 0 1 0 0]
𝑅 𝑇 = [0 0 1 0
0 0 0 1
cos 𝜃𝑐 sin 𝜃𝑐 0 0
𝐶 𝑖 −sin 𝜃𝑐 cos 𝜃𝑐 0 0]
𝑋𝑇 = [
0 0 1 0
0 0 0 1
刀具链：
1 0 0 0
𝑅 𝑖 0 1 0 𝑦
𝑌𝑇 = [ ]
0 0 1 0
0 0 0 1
1 0 0 0
𝑌 𝑖 0 1 0 0]
𝑍 𝑇 = [0 0 1 𝑧
0 0 0 1
工件 W 的坐标系到刀具 T 的坐标系的齐次变换矩阵：
cos 𝜃𝑐 sin 𝜃𝑐 0 −Xcos 𝜃𝑐 + 𝑦 sin 𝜃𝑐
𝑊 𝑖 𝑊 𝑖𝑅 𝑖 𝑊 𝑖 𝐶 𝑖𝑋 𝑖𝑅 𝑖𝑌 𝑖𝑍 𝑖 𝑆 𝑖 −sin 𝜃𝑐 cos 𝜃𝑐 0 Ycos 𝜃𝑐 + 𝑥 sin 𝜃𝑐
𝑇 𝑇 = 𝑅 𝑇 𝑇 𝑇 = 𝐶 𝑇 𝑋 𝑇 𝑅 𝑇 𝑌 𝑇 𝑍𝑇 𝑆𝑇 𝑇 𝑇 = [ ]
0 0 1 𝑧
0 0 0 1
当 X 轴平移一段距离 X 时，参考坐标系 X 到 R 坐标系的齐次变换矩阵为:
1 −𝜀𝑧 (𝑥) 𝜀𝑦 (𝑥) ∆𝑥 (𝑥) − 𝑥
𝑋 𝑒 𝜀𝑧 (𝑥) 1 −𝜀𝑥 (𝑥) ∆𝑦 (𝑥)
𝑅𝑇 =
−𝜀𝑦 (𝑥) 𝜀𝑥 (𝑥) 1 ∆𝑧 (𝑥)
[ 0 0 0 1 ]

50
 工程硕士学位论文

当转台 C 绕 Z 轴旋转名义角度𝜃𝑐 角度时，C 转台坐标系到坐标系 X 的齐次变

换矩阵为:
cos 𝜃𝑐 sin 𝜃𝑐 0 0 1 −𝜀𝑧𝑐 (𝑐) 𝜀𝑦𝑐 (𝑐) ∆𝑥𝑐 (𝑐)
𝐶 𝑒 −sin 𝜃𝑐 cos 𝜃𝑐 0] × 𝜀𝑧𝑐 (𝑐)
0 1 −𝜀𝑥𝑐 (𝑐) ∆𝑦𝑐 (𝑐)
𝑋𝑇 = [
0 0 0 1 −𝜀𝑦𝑐 (𝑐) 𝜀𝑥𝑐 (𝑐) 1 ∆𝑧𝑐 (𝑐)
0 0 1 0 [ 0 0 0 1 ]
当 Y 轴平移一段距离 Y 时，参考坐标系 R 到 Y 坐标系的齐次变换矩阵为：
1 −𝜀𝑧 (𝑦) 𝜀𝑦 (𝑦) ∆𝑥 (𝑦) − 𝑦 × 𝜂𝑥𝑦
𝑅 𝑒 𝜀𝑧 (𝑦) 1 −𝜀𝑥 (𝑦) ∆𝑦 (𝑦) + 𝑦
𝑌𝑇 =
−𝜀𝑦 (𝑦) 𝜀𝑥 (𝑦) 1 ∆𝑧 (𝑦)
[ 0 0 0 1 ]
当 Z 轴平移一段距离 Z 时，坐标系 Y 到 Z 坐标系的齐次变换矩阵为：
1 −𝜀𝑧 (𝑧) 𝜀𝑦 (𝑧) ∆𝑥 (𝑧) − 𝑧 × 𝜂𝑥𝑧
𝑌 𝑒 𝜀𝑧 (𝑧) 1 −𝜀𝑥 (𝑧) ∆𝑦 (𝑧) − 𝑧 × 𝜂𝑦𝑧
𝑍𝑇 =
−𝜀𝑦 (𝑧) 𝜀𝑥 (𝑧) 1 ∆𝑧 (𝑦) + 𝑧
[ 0 0 0 1 ]
存在误差情况下，齐次变换矩阵为：
𝑊 𝑒 𝑊 𝑒𝑅 𝑒 𝑊 𝑒 𝐶 𝑒𝑋 𝑒𝑅 𝑒𝑌 𝑒𝑍 𝑒 𝑆 𝑒
𝑇𝑇 = 𝑅𝑇 𝑇𝑇 = 𝐶 𝑇 𝑋 𝑇 𝑅 𝑇 𝑌 𝑇 𝑍 𝑇 𝑆𝑇 𝑇 𝑇

坐标系 W 到 T 的综合误差变换矩阵即为：
1 −∆𝜀𝑧 ∆𝜀𝑦 ∆𝑥
𝑊 𝑊 𝑒 𝑊 𝑖 ∆𝜀𝑧 1 −∆𝜀𝑥 ∆𝑦
𝑇𝐸 = 𝑇𝑇 − 𝑇𝑇 = [ ]
∆𝜀𝑦 ∆𝜀𝑥 1 ∆𝑧
0 0 0 1
式中，𝑊𝑇𝐸 为综合误差运动矩阵，∆𝑥、∆𝑦、∆𝑧为移动误差，∆𝜀𝑥 、∆𝜀𝑦 、∆𝜀𝑧 为转
角误差。
考虑当旋转轴 C 不动时，即𝜃𝑐 = 0，可得 X、Y、Z 轴联动工况下的移动误差
和转角误差分量为：
∆𝑥 = ∆𝑧 (𝑦) − ∆𝑥 (𝑥)+∆𝑥 (𝑧) − 𝑦𝜀𝑧 (𝑥)−𝑧𝜀𝑦 (𝑦)+𝑧𝜀𝑦 (𝑥)
∆𝑦 = ∆𝑦 (𝑦) − ∆𝑦 (𝑥)+∆𝑦 (𝑧)
∆𝑧 = ∆𝑧 (𝑧) − ∆𝑧 (𝑥) − 𝑥𝜀𝑦 (𝑥)−𝑧𝜀𝑦 (𝑥)𝜂𝑥𝑧
∆𝜀𝑥 = 𝜀𝑥 (𝑦)−𝜀𝑥 (𝑥)+𝜀𝑦 (𝑧)
∆𝜀𝑦 = 𝜀𝑦 (𝑦)−𝜀𝑦 (𝑥)+𝜀𝑦 (𝑧)
{ ∆𝜀𝑧 = 𝜀𝑧 (𝑦)−𝜀𝑧 (𝑥)−𝜀𝑧 (𝑧)
其中，直线度误差∆𝑦 (𝑥)、∆𝑦 (𝑧)、∆𝑥 (𝑦)、∆𝑥 (𝑧)、∆𝑧 (𝑥)、∆𝑧 (𝑦)及垂直度误差𝜂𝑥𝑦 、
𝜂𝑥𝑧 、𝜂𝑧𝑦 等在装配过程中得以保证。

51
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

6.2 运动系统主要误差检测补偿

6.2.1 主要误差因素分析
空间误差由零部件的制造和装配误差、静态弹性变形误差、热源引起的热变
形误差、工作时造成的零部件的损伤误差、控制软硬件（控制算法、反馈元器件）
误差五部分组成。划片机工作环境一般是恒温低湿度，且正常工作时，主轴带动
薄型砂轮刀片边缘高速磨削的为薄脆工件，故划片机运动系统的空间误差主要因
素为零部件制造和装配误差以及控制软硬件误差。

6.2.2 误差补偿方案设计
由划片机运动系统误差模型分析可知，对于一套运动系统而言，其综合误差
主要包括移动误差∆𝑥、∆𝑦、∆𝑧、转角误差∆𝜀𝑥 、∆𝜀𝑦 、∆𝜀𝑧 六项。本文中主要考虑移
动误差∆𝑥、∆𝑦、∆𝑧、转角误差∆𝜀𝑧 ，主要采用激光干涉仪对其进行误差补偿。
补偿的基本步骤如下：
（1）测量误差数据
（2）使用误差数据制作补偿表
（3）在程序中写入补偿表
（4）测试补偿后的数据

6.3 各轴误差检测

6.3.1 检测原理
划片机运动系统有五个直线轴及一个旋转轴，本文采用激光干涉仪及回转校
准设备对各轴进行检测。其中激光干涉仪是利用光的干涉来对误差进行测量 [37] 。
其原理图如图 6.2、图 6.3 所示。
反光镜B

移动轴

激光发射器

分光镜A 反光镜C

图 6.2 激光干涉仪直线轴线性位移测量原理

52
 工程硕士学位论文

测量光束
旋
转
参考光束 运
激光发射器
动

角度干涉镜 角度反射镜

图 6.3 激光干涉仪旋转轴线性位移测量方法

6.3.2 检测结果
经激光干涉仪测量可得到各直线轴及旋转轴的误差，具体结果如下所示。
（1）X 轴线性位移误差
18

16

14
线性位移误差d/mm

12

10

-2
0 50 100 150 200 250 300 350 400 450 500 550 600 650
x/mm

图 6.4 X 轴线性位移误差曲线

（2）𝑦1 轴线性位移误差
14

12

10
线性位移误差d/mm

-2
0 40 80 120 160 200 240 280 320
y1/mm

图 6.5 𝒚𝟏 轴线性位移误差曲线

（3）𝑦2 轴线性位移误差

53
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

22
20
18
16

线性位移误差d/mm
14
12
10
8
6
4
2
0
-2
0 40 80 120 160 200 240 280 320
y2/mm

图 6.6 𝒚𝟐 轴线性位移误差曲线
（4）𝑧1 轴线性位移误差
0.5

0.0

-0.5
线性位移误差d/mm

-1.0

-1.5

-2.0

-2.5

-3.0

-3.5
0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50
z1/mm

图 6.7 𝒛𝟏 轴线性位移误差曲线

（5）𝑧2 轴线性位移误差
4.0

3.5

3.0

2.5
线性位移误差d/mm

2.0

1.5

1.0

0.5

0.0

-0.5

-1.0
0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50
z2/mm

图 6.8 𝒛𝟐 轴线性位移误差曲线

（6）c 轴线性旋转角度误差

54
 工程硕士学位论文

75

60

45

线性角度位移误差d/arc sec
30

15

-15

-30

-45

-60

-75
0 40 80 120 160 200 240 280 320 360
c/deg

图 6.9 c 轴线性角度误差曲线
由误差检测结果可知，X 轴的误差为 16 微米，𝑦1 轴的误差为 13 微米，𝑦2 轴
的误差为 20 微米，𝑧1 轴的误差为 3 微米，𝑧2 轴的误差为 4.5 微米，c 轴的误差为
75 角秒。根据对各轴的线性位移误差检测可知各轴均需要进行误差补偿。

6.4 各轴误差补偿

6.4.1 轴误差补偿原理
采用标准螺距补偿，通过位移一段距离与轴位移检测设备的数值进行对比，
经过多次检测后得到误差，然后将其误差保存在补偿表内使误差最小化。

6.4.2 轴误差补偿结果
（1）X 轴线性位移误差
18 补偿前
补偿后
16

14

12
线性位移误差d/mm

10

-2
0 50 100 150 200 250 300 350 400 450 500 550 600 650
x/mm

图 6.10 X 轴线性位移误差补偿前后对比图

（2）𝑦1 轴线性位移误差

55
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

15 补偿前
14 补偿后
13
12
11
10

线性位移误差d/mm
9
8
7
6
5
4
3
2
1
0
-1
-2
0 40 80 120 160 200 240 280 320
y1/mm

图 6.11 𝒚𝟏 轴线性位移误差补偿前后对比图
（3）𝑦2 轴线性位移误差
22 补偿前
补偿后
20
18
16
线性位移误差d/mm

14
12
10
8
6
4
2
0
-2
0 40 80 120 160 200 240 280 320
y2/mm

图 6.12 𝒚𝟐 轴线性位移误差补偿前后对比图

（4）𝑧1 轴线性位移误差
补偿前
0.5 补偿后

0.0

-0.5
线性位移误差d/mm

-1.0

-1.5

-2.0

-2.5

-3.0

-3.5
0 10 20 30 40 50
z1/mm

图 6.13 𝒛𝟏 轴线性位移误差补偿前后对比图

（5）Z2 轴线性位移误差

56
 工程硕士学位论文

4.0 补偿前
补偿后
3.5

3.0

2.5

线性位移误差d/mm
2.0

1.5

1.0

0.5

0.0

-0.5

-1.0
0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50
z2/mm

图 6.14 𝒛𝟐 轴线性位移误差补偿前后对比图
（6）c 轴线性旋转角度误差
75
补偿前
60 补偿后
45
线性角度位移误差d/arc sec

30

15

-15

-30

-45

-60

-75
0 40 80 120 160 200 240 280 320 360
c/deg

图 6.15 c 轴线性旋转角度误差补偿前后对比图
通过对各轴进行误差补偿后，可知 X 轴的误差为 1.5 微米，𝑦1 轴的误差为 3.5
微米，𝑦2 轴的误差为 1 微米，𝑧1 轴的误差为 0.4 微米，𝑧2 轴的误差为 0.4 微米，c
轴的误差为 22 角秒。

6.5 本章小结

本章提出了有效地补偿方案。首先介绍了运动系统误差模型建立的方法，然
后分析了运动系统主要的空间误差。并采用激光干涉仪对各轴的线性度进行了测
量，获取了各轴的补偿值。并将补偿值绘制成补偿表，通过将补偿表编入控制程
序中，实现对划片机的精度补偿。通过补偿前后的误差曲线对比可知，经过补偿
划片机加工精度得到大幅度的提升。

57
 划片机机身高精度高稳定性系统计算分析

总结与展望

本文对某公司划片机的几个核心功能模块进行了分析研究。基于有限元分析
软件对所选结构进行动、静态分析，验证划片机结构的强度及刚度的可靠性，构
建误差模型并通过误差补偿结果进行对比，验证补偿对其精度的有效性。
主要完成的工作：
（1）静态特性分析。根据划片机的特点和要求，将现有三维模型简化并进行
静态结构分析，得出滚珠丝杆 Y 轴的强度及刚度分析结果。
（2）有限元建模及动力学分析。通过 ANSYS Workbench 有限元分析软件对
X、Z、Y 轴瞬态动力学分析。确定时变载荷对划片机机身结构的影响，得出机身
刚度和强度变化情况。
（3）动态特性分析。分别对 Y 轴丝杆及划片机机身进行模态分析得到结构
的固有频率及相应振型，分析结构的薄弱处，判断各部件是否会发生共振。
（4）环境温度波动分析。利用 ANSYS 有限元仿真软件，对不同环境温度下
X、Y 轴基座和大理石机身的温度场和热变形进行仿真，分析不同环境温度波动
下结构的几何精度，得到环境温度波动对结构变形量的影响，为划片机的高精度
切割改进建议提供依据。
（5）误差补偿及分析。对运动过程中的误差进行误差检测和误差补偿，对比
误差补偿前后数据结果，分析划片机结构及精度，验证误差补偿方案的有效性。
本文主要对某公司划片机的现有结构进行分析，虽然给出了一些判断结果和
误差补偿的意见，但时间限制和个人能力的制约，还存在以下问题需要做进一步
解决，需要进一步深入探讨：
（1）模态分析过程中，将机身固有频率与电机固有频率进行对比，得到不会
发生共振的结果，但并没有讨论主轴是否会与机身发生共振，以及其对动作精度
的影响。
（2）有限元分析中，需将力、载荷进行简化后作为边界条件施加到模型中去，
但简化后的载荷与实际情况可能还存在一定偏差，且对于划片机机身结构的优化
没有进行深入的研究，还需要进一步的探索。

58
 工程硕士学位论文

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