扩维原子：为人类创新向原子世界要答案

We are Creatom: our mission is to get the answer

from the atomic level for human innovation.
公司概况｜About

深圳扩维原子科技有限公司（简称“扩维原子”）由北京中关村科学城携英国伯明翰大学、
南京大学原子科技研究团队联合创立。

S h e n z h e n C r e a t o m Te c h n o l o g y C o . , L t d . ( C r e a t o m ) i s f o u n d e d b y B e i j i n g Z G C
Science City and nanotechnology research team from University of Birmingham
and Nanjing University.

扩维原子以国际领先的原子簇宏量制备装置为研发平台，推动构建世界原子簇新材料基因
组，为科研、化工、能源、半导体和生物医药产业提供新材料、新设备和新工艺。

Our purpose is to build the state-of-the-art cluster ion beam facility, promote the
development of the world's material genome, provide new materials, equipments
a n d t e c h n i c s f o r s c i e n t i f i c r e s e a r c h , c h e m i c a l , e n e r g y, s e m i c o n d u c t o r, a n d
biomedical industries.
里程碑｜Milestone

2023.06 - 扩维原子成立，旨在开发团簇离子源技术并将其商业化。

2023.06 - Creatom was founded to develop and commercialize cluster ion beam
technology.

2023.10 - 扩维原子位于深圳龙华区的4000平方米总部投入使用。

2023. 10 - T he 4000m 2 headquar t er s of C r eat om l oc at ed i n Longhua, S henz hen

has been put into use.

2024.04 - 原子级纳米材料产线正式投产。

2024.04 - The production line of atomic level nanomaterials has been put into
operation.
核 心 团 队 ｜ Te a m

团队共计32人，其中研发团队11人。

Team consists of 32 people, including 11 in R&D.

黄玉峰 联合创始人，董事长&总裁 曹路 联合创始人&技术总监

Henry Huang Co-Founder, President & CEO Lu Cao Co-Founder & CTO

侯家伟 运营总监 韩玉冰 纳米材料项目负责人

Jerry Hou COO Yubing Han Director, Nanomaterials

陈平 生产经理 贝茂阳 高级工程师

Ping Chen Factory Manager Maoyang Bei Senior Engineer

贺世龙 产品经理 刘红宇 仿真模拟工程师

Shilong He Product Manager Hongyu Liu SIMION/COMSOL/ANSYS
 核 心 技 术 ｜ Te c h n o l o g y

原子簇离子源技术，不受路径约束，实现任意操控原子。

Cluster ion beam source with mass selector and structure selector.

气相产生与 质谱筛选与 质量精选与 结构筛选与 材料封装离

离子引出与
凝聚 分离 原子捕获与 中和 分离 子加工
输运
atomic vapor mass 添加 mass atomic material
ion beam
generation spectrometry atomic pick-up spectrometry structure encapsulation
extraction and
and gas selection and and addition selection and selection and and ion beam
transmission
condensation separation neutralization separation processing
关键能力｜Abilities

用原子搭材料，解决新材料合成的 用原子微加工，解决微制造技术的
“必然性”问题，建设新材料基因组。 “卡脖子”问题，开发极微制造装备。

Use atoms to build materials Use cluster beam to manufacture

Solving the “inevitability” of material Eliminating the “limits” of
synthesis semiconductor manufacturing
关 键 问 题 ｜ Ke y p r o b l e m

团簇束流流量的限制。加工表面要10 1 3 个原子（例如3000片/月），进行材料物性鉴定需
要10 1 8 个原子（例如10毫克Cu原子）。

The limit of cluster beam current. Surface process needs 10 1 3 atoms (3000 of
8 inches wafers per month), material testing needs 1018 atoms (mg of
materials per hour).
◁ 2016
Richard Palmer
国际原子簇表面
0.1 pA 会议主席、英国
皇家物理、化学
学会会士

现代质量选择(金
属)原子簇束流源
可产生至多(up
◁ 1985 to)1nA的束流，
Richard Smalley 相当于
每秒105个团簇 每秒1010个团簇
105 cluster/s 1010 cluster/s
技术难点｜Difficulties

团簇束流逐级衰减，获得一份原子精确团簇，前端需要产生60万份。

C l us t er beam c ur r ent i s c ont i nuo u s l y d e c a y i n g a f t e r e a c h p r o c e s s . T h e r a t i o i s

600,000 : 1.

33% is 1% is
600,000× positive 200,000× target 2000× 5% 100× 50% 50×
pass pass 2% 1× cluster
clusters clusters size clusters clusters clusters
终端
原子数与原 end
离子光学 子结构选择
超声膨胀与 ion optics ---
气相凝聚 差分抽气 mass and 原子数与原
原子气产生 gas structure
atomic supersonic 子结构精确
condensation nozzle and selector 团簇
vapor
generation differential size and
skimmer structure
selected
cluster
技术突破｜Breakthroughs

原子精确条件下的束流放大，包括提高比例与线性放大，比例提高到6000:1。

Increase beam current while maintain precise atomic manipulation. Improve the
ratio (6,000 : 1) then linear amplification.

50% is 1% is
6,000× 20% 90%
positive 3,000× target 30×
pass
6×
pass
5× 20% 1× cluster
clusters clusters size clusters clusters clusters
终端
原子数与原 end
离子光学 子结构选择
超声膨胀与 ion optics ---
气相凝聚 差分抽气 mass and 原子数与原
原子气产生 gas structure
atomic supersonic 子结构精确
condensation nozzle and selector 团簇
vapor
generation differential size and
skimmer structure
selected
cluster
路 线 图 ｜ Roa d m a p

团队自2008年开始从事团簇束流技术开发。

Engaged in the development of cluster beam technology since 2008.

2008 2011 2012 2013 2015

2016 2019 2020 2022

 全 球 领 先 ｜ St a t e - of- t h e - a r t

领先国际最高水平100倍｜100× world’s benchmark

Belgium, 2015, 80pA

Denmark, 2020, 1nA
2023-2025
Creatom 10-100μA
Germany, 1991, 6.3nA
UK, 2016, 1nA
USA, 2014, 670pA
France, 2011, 500pA Japan, 2013, 5.5nA
Israel, 2021, 0.8nA
Nanjing University
Italy, 2009,100pA
2019, 10nA；2020, 100nA
India, 2020, 1.6nA

Brazil, 2014, 350pA

Australia, 2018, 5nA

共享平台｜Flatform

工业级团簇束流装置｜Industrial grade cluster ion beam facility

技术指标 Tech specifications

质量范围 Mass ≤1,000,000 amu

分辨率 Resoluton 1/500

金属流量 Current (metal) ≥100 μA

其他流量 Current (other) 10 μA

电场梯度 EFG 250 kV/cm2

磁场梯度 MFG 3000 T/m

束流设备｜Cluster Beam Soruce

研发型团簇束流设备｜Laboratory cluster ion beam equipment

技术指标 Tech specifications

质量范围 Mass ≤600,000 amu

分辨率 Resoluton 1/50 (max 200)

金属流量 Current (metal) ≥1 nA

其他流量 Current (other) 100 pA

电场梯度 EFG NA

磁场梯度 MFG NA
材料产品｜Materials

原子级纳米材料｜Atomic level nanomaterials

技术指标 Tech specifications

元素 Element > 65

尺寸 Size 1-100 nm

尺寸分辨 Size resolution ±20%

球形度 Sphericity > 0.8

纯度 Purity Gas phase no ligand

产能 Production rate Tons/year

原子级纳米材料：科研，化工，能源，半导体，生物医药

Atomic level nanomaterials: for scientific research,

chemical, energy, semiconductor, and biomedical industries.
元素种类｜Elements

覆盖元素周期表>65种元素，兼容合金、化合物

>65 elements, compatible with alloys and compounds

尺寸范围｜Size Range

尺寸范围 1-100 nm 可调

Adjustable size range from 1 to 100 nm

产能｜Production Rate

阶段 Phase I II III

Planned date 2024Q2 2024Q4 2025Q4

Production rate 1-10 吨/年 Tons/year 10-100 吨/年 Tons/year 100-1000 吨/年 Tons/year

元素 Element > 65, 兼容合金与化合物 compatible with alloys and compounds

尺寸范围 Size range 1-100 nm

尺寸分辨 Size resolution ±20%

球形度 Sphericity > 0.8

纯度 Purity 气相沉积，无化学配体 Gas phase, no ligand

收集方式 Collection 液体/粉末 Liquid/Powder 粉末 Powder

产品案例｜Examples

铝Al，银Ag，钛Ti，锆Zr，镍Ni，钨W，钽Ta，铜Cu，钼Mo，铁Fe
产品案例｜Examples

Ag@1nm, Sample photo

产品案例｜Examples

Ag@1nm, HAADF STEM Image

产品案例｜Examples

Ag@1nm, Size and Sphericity distributions

产品案例｜Examples

Cu@1nm, Sample photo

产品案例｜Examples

Cu@1nm, HAADF STEM Image

产品案例｜Examples

Cu@1nm, Size and Sphericity distributions

产品案例｜Examples

Ni@1-2nm, Sample photo

产品案例｜Examples

Ni@1-2nm, HAADF STEM Image

产品案例｜Examples

Ni@1-2nm, Size and Sphericity distributions

纳 米 材 料 团 队 ｜ N a n o m a t e r i a l s Te a m
实现原子尺度纳米技术的产品化、产值化、产业化

Bringing the useful nanotechnology at the atomic level

to the world.
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