半导体工艺设备EHS服务

EHS Services for Semiconductor

Manufacturing Equipment

http://www.migelab.com
米格实验室 – 让科研更简单
Migelab – make technology and research easier
米格实验室专业从事半导体行业检测
与技术解决方案，为千家用户解决产
品测试与认证方面的问题。
We are a platform providing
professional testing and technical
solutions in semiconductor industry to
over thousand customers.

与300家国内外实验室建立合作关系，
拥有350人以上的专家团队
We work with over 300 domestic and
international laboratories and have over
350 experts in the team

我们的服务
Our services
n SEMI® S2 评估与认证
Evaluation and Certification according to SEMI ® S2

n SEMI® S6 示踪气体测试
SEMI® S6 Tracer Gas Testing

n SEMI® S2 开腔气体浓度测试
SEMI® S2 Air Sampling and Analysis When Opening Process Chamber

n SEMI® S23 半导体工艺设备能效评估

Energy, Utilities, and Materials Use Efficiency Evaluation of SME according to SEMI® S23

n 半导体工艺设备工业卫生评估
SEMI Industrial Hygiene Evaluation

n SEMI® 与设备EHS标准咨询与培训服务
SEMI® and Machinery EHS Standards/Guidelines Consulting and Training

n SEMI® S13 技术文档编制

SEMI® S13 Technical Documentation Compiling

n SEMI® F47 电压骤降测试

SEMI ® F47 Voltage Sag Test

n SEMI® S10风险评估流程安全规范
SEMI® S10 Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process

n HAZOP分析（危险与可操作性分析）
HAZOP analysis (hazard and operability analysis)
我们的人员资质
Personnel qualifications

SEMI 5级签证官
SEMI China Level 5 QE – Certification Officer
美国注册工业卫生师
BGC CIH – Certified Industrial Hygienist

SEMI 3级高级安全工程师
SEMI China Level 3 QE – Senior Safety Engineer

SEMI中国 环境、健康、安全和可持续性（EHSS）倡导委员会成员
SEMI China Environmental, Health, Safety and Sustainability (EHSS)Advocacy Committee
Membership

SEMI国际标准委员会 成员
Member of SEMI International Standards Committee
SEMI® S Series Standards
SEMI ® S系列标准

S2
S1 S22
S6 S14
S8 S10

ü S1：警告标识 ü S17：无人驾驶车辆
Safety Labels FTV & OHV
ü S2：EHS设计指南 ü S18：硅烷
EHS guideline Silane
ü S3：液体加热系统 ü S19：培训
Process liquid heating system Training
ü S4：化学品气瓶 ü S21：人员保护
Separation of chemical cylinders Personnel protection
ü S5：气体流量控制器 ü S22：电气设计
Flow limiting devices Electrical design
ü S6：排气通风 ü S23：节能
Exhaust ventilation Energy consumption
ü S7：评估资质 ü S24：多人作业区域
Qualification Multi-employer task
ü S8：人体工程学 ü S25：双氧水
Ergonomics Hydrogen peroxide
ü S10：风险评估 ü S27：报告内容
Risk assessment Evaluation report
ü S12：去污 ü S28：机械手
Decontamination Robot & Load ports
ü S13：说明书 ü S29：含氟排放物
Technical documentation F-GHG
ü S14：防火 & 灭火 ü S30：能量物质
Fire protection Energetic materials
ü S16：环境保护
Environment
SEMI® S2 评估与认证
Evaluation and Certification according to SEMI ® S2
SEMI® S2 认证反映设备的EHS性能
SEMI® S2 certification reflects the EHS performance

SEMI® S2 认证是工艺设备投入使用的前提
SEMI® S2 Certification is a “Passport” for SME to be
put into production

ü 技术文档资料
Technical Documentation
ü 危险警告标识
Safety Alert Labels
ü 安全联锁系统
Safety Interlock Systems
ü 紧急关闭
Emergency Shutdown
ü 电气设计
Electrical Design
ü 防火
Fire Protection
ü 液体加热系统
Process Liquid Heating Systems
ü 人体工程学
Ergonomics and Human Factors
ü 危险能源隔离
Hazardous Energy Isolation
ü 机械设计
Mechanical Design
ü 地震防护
Seismic Protection
ü 自动物料搬送系统
Automated Material Handlers
ü 排气通风
Exhaust Ventilation
ü 化学品
Chemicals
ü 电离辐射
Ionizing Radiation
ü 非电离辐射
Non-Ionizing Radiation
ü 激光
Lasers
ü 噪声
Sound Pressure Level
SEMI® S2 适用产品范围
SEMI® S2 Products Scope

WAFER
CRYSTAL GROW INSPECTION WAFER
METROLOGY
SLICING
CMP
EDGE GRINDING
PVD
POLISHING FEOL
STRIP
EPITAXIAL
DEPOSITION
THERMAL
PROCESSING
CVD

ION PHOTO
ETCH
IMPLANTATION LITHOGRAPHY

WAFER
INSPECTION
BACK WAFER
GRINDING PROBE TEST

BONDING BEOL FINAL TEST

DICING PACKAGING
SEMI® S2 认证程序
SEMI® S2 Certification Procedures
报价与商务合同签订 Quotation and Contract

设备制造商 米格实验室 双方签订

填写认证信息表，提供设备 根据资料提供报价 商务合同

1 基本信息与认证需求

前期资料审核 Documentation Pre-Review

设备制造商 米格实验室
设备文档准备（设备手册， 依据资料提出设备检测

2 电气原理图，零部件清单， 方案与部分资料缺失
P&ID等）

现场初检 & 测试 Initial Onsite Inspection & Testing

设备制造商 米格实验室
准备已调试完成的完 依据SEMI® 标准条款进行结构、

3
整功能样机 设计检查，现场测试、并输出偏
差报告

不符合项目整改 Improvement Implementation

设备制造商 米格实验室
依据偏差报告进行设计&现场 整改期间技术支持与整改方案确认

4
整改、完善，并更新偏差报告 终检前整改结果确认，输出确认整
改后偏差报告

现场终检 & 测试 Final Onsite Inspection & Testing

米格实验室
• 对改善结果进行现场检查 & 验证

5 • 剩余测试进行

报告编写 & 证书发布

米格实验室
• 技术文档与现场照片整理、归档

6 • SEMI® S2 认证证书与报告编写与颁发
SEMI® S2 证书样例
SEMI® S2 Sample Certificate
SEMI® S6 示踪气体测试
SEMI® S6 Tracer Gas Testing

n SEMI® S6 Tracer Gas Testing，以示踪气体代替危险气体/蒸气，考

核排风系统与柜体设计是否满足工业卫生与火灾风险控制的要求。
n 根据SEMI S7 要求，排风系统的评估与测试须由工业卫生专家（CIH
– 注册工业卫生师）完成。

Pulse discharge detector operating in electron

capture mode
Ÿ
l Lagus为各个行业内示踪气体测试仪器的最优品牌，仪器使用高纯He
作为carrier gas，3% Xe/He混合气作为dopant gas，检测空气样品中
SF6（六氟化硫）浓度，其检测下限（LOD）低至10 ppt。

l SF6分子量146，相对空气密度5，由于该仪器有极低的检测下限与精
度，可使用非常低配比的示踪气体SF6（例如1 ppm），消除因气体密
度造成的释放模型误差。

l 可使用采样针筒进行手动注入气体，而不必一定使用采样泵，可在采
样过程中使用针筒采样，再注入仪器分析。这样实现了满足SEMI S6
中对所有采样点在0、1、3、5、6（关闭阀门后1分钟）分钟时同时采
样的要求。

每次测试前都会根据示踪气体的浓度、SOC（原危害气体）的限值选
择适当浓度的标气进行现场校准，保障测试准确、正确，共有24种不
同浓度的标气供现场使用。
SEMI® S23 能效评估
Energy, Utilities, and Materials Use Efficiency Evaluation
of SME according to SEMI® S23

提供准确的能耗测试方案
Precise Energy Consumption Measurement Plan
协助建立完善的能耗设计改善流程
Help to Prepare Complete Improvement Roadmap

n 排气通风 n 工艺冷却水
Exhaust PCW
n 真空 n 纯水
Vacuum UPW / DIW
n 压缩空气 n 电能
CDA Electricity
n 氮气 n 热负载
N2 Heat Load

半导体工艺设备工业卫生评估
SME Industrial Hygiene Evaluation

工业卫生符合性
Compliance of Industrial Hygiene Requirements
严控人员职业接触暴露
Strictly Restricted Occupational Exposure

n SEMI® S6示踪气体测试
SEMI ® S6 Tracer Gast Testing
n 电离、非电离辐射
Ionizing & Non-ionizing Radiation
n 激光
Lasers
n 声波、振动
Sound & Vibration
n 冷 / 热环境
Thermal load
EHS标准咨询与培训服务
SEMI ® 等级1培训
时长 授课
No. 课程名称 主要涉及标准与文件 主要内容
（天） 方式
SEMI标准体系介绍；随机文件；
危险警告标识；安全联锁系统；
紧急停止；电气设计；火灾防护；
半导体工艺
• SEMI S1 液体加热系统；人体工学；挂牌 内训
1 设备EHS设 2.5
• SEMI S2 上锁；机械设计；地震防护；自 公开课
计准则
动化物料搬送装置；环境考量；
排气通风；化学品；游离辐射；
非游离辐射；激光；噪声
SEMI S2报 内训
• SEMI S2 • SEMI S2报告要求内容
2 告内容要求 0.25 公开课
• SEMI S27 • SEMI S2报告结构说明
与解读专题
• SEMI S2认证所需文档资料及
• SEMI S2
技术文档要 其要求 内训
• SEMI S13
3 求及评审专 • SEMI S2文档资料评审（电气 0.25 公开课
• SEMI S22
题 原理图、P&ID、CC list、说明
• IEC 60204-33
书等）
• GHS / GB 30000系列
• TDG / GB 6944
• NFPA 704
• GB 50016 & GB • 化学品分类及其规则
化学品分类 内训
50160 • 化学品危害性
4 与危险性专 0.5 公开课
• 《危险化学品目录》 • 化学品标签
题
• 《易制毒危化品目录》 • 物质安全信息表
• 《易制爆危化品目录》
• 《剧毒危化品目录》
• 《高毒物品目录》
• 半导体工艺设备人体工程学基
• SEMI S8 本设计要求；
内训
人体工学专 • NIOSH文献 • NIOSH、Psychophysical、TLV
5 0.5 公开课
题 • ACGIH文献 三种不同的Manual Material
• SEMATECH文献 Handling评估方法；
• 多任务lifting作业评估
EHS标准咨询与培训服务
SEMI ® 等级2培训
授课
时长
No. 课程名称 主要涉及标准与文件 主要内容 方式
（天）

风险评估与电气 • SEMI S10 内训

• 风险评估方法
1 控制回路性能等 • ISO 13849-1 1 公开课
• 电气控制回路性能等级评估
级要求专题 • ISO 31010

• SEMI S22
• NFPA 79 电气元件符号；电气零部件合规
• UL 508A 性；使用环境与条件要求；供电
• UL 796 端子与主断开装置；防触电；设
• IPC2221 备保护；保护接地；控制回路、
半导体工艺设备 内训
• IEC 60417 急停与安全联锁；人机界面；控
2 电气安全设计准 2 公开课
• IEC 60529 制元件；线缆；布线；电机；附
则专题
• IEC 60204-1 件与照明；PCB设计要求；加热
• IEC 60204-33 系统设计要求；铭牌与警告标识；
• IEC 60364-4-41 技术文档；电气测试；控制柜短
• IEC 60364-4-43 路电流（SCCR）计算
• IEC 60519

• SEMI S14 • 火灾原理

内训
火灾防护与火灾 • NFPA 550 • 火灾风险评估
3 0.5 公开课
事故调查专题 • NFPA 796 • 火灾防护措施
• ISO 19353 • 火灾事故现场评估

• SEMI S28
• Wafer handler与load port安全
• ISO 12100
设计要求
• ISO 13850
• 机械风险评估
• ISO 13854 内训
• 安全距离、安全间隙
4 机械安全专题 • ISO 13855 0.5 公开课
• 固定防护罩、联锁防护罩设计
• ISO 13857
要求
• ISO 14119
• 防护装置安全距离要求
• ISO 14120
• 人体承受外力安全限值
• ISO/TS 15066
EHS标准咨询与培训服务
SEMI ® 等级3培训

授课
时长
No. 课程名称 主要涉及标准与文件 主要内容 方式
（天）

• 液态化学品系统安全设计要
• SEMI S3
液态化学品专 求 内训
1 • SEMI E49 0.75
题 • 液态化学品加热系统设计要
• GB 50781
求
• 双氧水风险 内训
2 双氧水专题 • SEMI S25 0.25
• 双氧水系统安全设计要求
• SEMI S4
• SEMI S5 • 特气系统安全设计要求
• SEMI F13 • 气体流量限制装置
气态化学品专 内训
3 • SEMI F14 • 气瓶柜结构安全设计要求 0.75
题
• ISO 10156 • 混合气体火灾、爆炸风险评
• GB 50646 估
• NFPA 55
• SEMI S18
• 硅烷风险 内训
4 硅烷专题 • CGA G-13 0.25
• 硅烷系统安全设计要求
• GB 50646
• SEMI S6
• NFPA 91, NFPA • 半导体工艺设备排风设计要
318 求
排气通风设计 内训
5 • FMDS 0778 • 排风系统设计要求 1
专题
• FMDS 0707 • 排风性能验证方法（示踪气
• GB 50019 体测试）
• GB 50073
• SEMI S2
• 物理、化学工业卫生危害因
• ACGIH文献
子 内训
6 工业卫生专题 • AIHA文献 0.5
• SEMI认证对工业卫生的要
• GBZ 2.1
求
• GBZ 2.2
• 能耗计算规则与方法
能源与材料利 内训
7 • SEMI S23 • 能耗测试方法与要求 0.5
用效率专题
• 主观、客观评价法
EHS标准咨询与培训服务
能源管理 / 低碳课程
时长 授课
No. 课程名称 主要涉及标准与文件 主要内容
（天） 方式
• 能耗计算规则与方
• SEMI S23
法
• 能源与材料利 • SEMI E6 内训
1 • 能耗测试方法与要 • 0.5
用效率专题 • SEMI E10
求
• SEMI S2
• 主观、客观评价法

• SEMI S30
• SEMI E6
• SEMI F5/F6/F66/F96
• SEMI S1/S3/S6/S7/S8
• SEMI
S10/S12/S13/S14/S18 • 液态/气态化学品
• SEMI S12 容积规则
• 半导体工厂研 • SEMI S13 • 远程气态、液体运
发&设计、制 • SEMI S14 输设备 内训
2 • 0.5
造中使用的能 • ASTMStandards 1 • 气柜与工艺腔
量物质管理 • Factory Mutual • 尾排设计
Document 2 • 清洁和废物处理
• International Code • 危险能源控制
Council Document 3
• National Fire Protection
Association® Documents
5
•

• SEMI S29
• SEMI S2 • GHG项目减排的
• 半导体工厂含 • SEMI S23 概念和意义
氟气体排放界 • IPCC Document1 • 基于 内训
3 • 0.5
定与科学制定 • ISMI Documents2 IS14064/SEMI
减排目标 • Seiko Epson Document3 S29温室气体的排
• US EPA Protocol4 放界定与减排规范
• ISO14064
EHS标准咨询与培训服务
其他课程
时长 价格
No. 课程名称 主要涉及标准与文件 主要内容
（天） （含税）
SEMI S22
内训
1 工厂用电安全 FM系列标准 工厂各个区域用电安全 0.5
GB系列标准
电气安全测试
半导体机台认证 工业卫生测试（辐射、噪声、 内训
2 2
现场测试（实操） 化学品暴露、示踪气体测试）
电压跌落测试

联系我们

邢大伟 张冉
13915210201 13451862403
Xingdawei@labideas.cn Zhangran@labideas.cn