Professional Documents
Culture Documents
صناعة الخلايا الكهروضوئية و تقنياتها ـ موقع الفريد في الفيزياء
صناعة الخلايا الكهروضوئية و تقنياتها ـ موقع الفريد في الفيزياء
1 اىَيخص
3 اىَقذٍح
7 2 – 1اّراج اىضٞيٞنُ٘ اىْقٍ ٜرعذد اىثي٘راخ تأصرخذاً فزُ اىق٘س اىنٖزتائٜ
84 2 – 4اىزجاج
159 اىَصادر
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
حُِٔوٚ
ًخٕ حُٜيف حٓ٧خٓ ٖٓ ٢اٛيحٍ ٌٛح حٌُظخد ٞٛحُظؼَُ ٝظو٘٤خص ٝهٜخث ٚحُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُِٔ٤ٌٗٞ٤ش حُٔظزٍِٞس
حً٧ؼَ ٗٞ٤ػخ ً ك٘ٛ ٢خػش حُٞ٧حف حُ٘ٔٔ٤ش ( حٌَُٟٜٞٝث٤ش ) ريءح ً ٖٓ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُٔٔٔخس ه٣٬خ حُٔـخٍ حُٔطل٢
حُوِلٝ BSF ٢حُظ ٢أٓظلًٞص ػِ٘ٛ ٠خػش حُٞ٧حف حُ٘ٔٔ٤ش ُؼوٞى ُٔخ طظٔظغ رُٜٞٓ ٖٓ ٚش ػِٔ٤خص حُظ٤ٜ٘غ ٝطلو٤ن
ًلخءس ًخٗض طؼظزَ ؿ٤يس ٘ٓٝخٓزش كٝ ٢هظٜخ ًٝخٗض حٓ٧خّ حٌُ ١ر٘ ٢ػِ ٚ٤حُظو٘٤خص ح٧كيع حُ٬كوش ٝ ,هي حُهٌ رخ٧ػظزخٍ
طلي٣غ ٗلْ هط ١ٞحٗ٧ظخؽ حُٔٔظويٓش ك٘ٛ ٢خػش ه٣٬خ BSFحُ٘ٔٔ٤ش ُظ٤ٜ٘غ حُظو٘٤خص ح٧كيع ٖٓ ه٣٬خ ٝ PERC
ُ TOPConظلو٤ن حٗ٧ظوخٍ حُِْٔ ك٘ٛ ٢خػش حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ى ٕٝحُلخؿش ُظـ َ٤٤هط ١ٞحٗ٧ظخؽ رٌَ٘ ًخَٓ ٓٔخ ٣وَِ
ٖٓ ًِلش ٌٛح حُظـٌٛٝ , َ٤٤ح ح٣ َٓ٧ؼظزَ ٓلظخف ٍثُ٘ ٢ٔ٤ـخف ػِٔ٤ش حُظلي٣غ ٝؿؼِٜخ ٓـي٣ش طـخٍ٣خ ً .
ٗٝظَح ً ُوِش حُٜٔخىٍ حُٔظخكش ُِٜٔظٔ ٖ٤رٌٜح حُٔـخٍ حُٞحػي ٝحٌُز ٝ َ٤هٜٛٞخ ً حُٜٔخىٍ حُظ ٢رخُِـش حُؼَر٤ش ,أهٜي
حُٜٔخىٍ حُظ ٢طظٌِْ ػٖ طو٘٤خص ٘ٛخػش حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٌُُ ,ي كخُٝض هيٍ حُٔٔظطخع ؿٔغ ٝىٍحٓش ح٧رلخع ٝحُيٍحٓخص
حُظ ٢ط٘خُٝض ٌٛح حُٟٔٞٞع ٖٓ ٜٓخىٍ ٍ٘٤ٛش ٓٝؼظٔيس ٓٞحء ًخٗض ؿخٓؼخص ػخُٔ٤ش أَٓ ٝحًِ أرلخع ى٤ُٝش أ ٝاٛيحٍحص
ُزخكؼٓ ٖ٤ؼظٔي ٖ٣كٓ ٢ـخٍ حُطخهش حُ٘ٔٔ٤ش ٝ .طْ ؿٔغ حُز٤خٗخص ٝىٍحٓظٜخ ٝحُٔوخٍٗش رٜ٘٤خ هٜٛٞخ ً ٌُٜٗٞخ ك ٢رؼٞ
حُـٞحٗذ طلظ ١ٞػِٓ ٠ؼِٓٞخص ٓظزخ٘٣ش طزؼخ ً ُِ٘ظخثؾ حُٔظلووش ٖٓ حُيٍحٓخص ٝحُظـخٍد حُٔوظزَ٣ش حُظ ٢أُؿَ٣ض ًٌُٝ .ي
ٗلش حُٜٔخىٍ حُٔظخكش ُِظو٘٤خص حُظ ٢طؼظزَ كي٣ؼش ٓؼَ ه٣٬خ حٍ ٛٝ TOPConؼٞرش حُُِٔ ٍٞٛٞؼِٓٞخص حُيه٤وش ػٖ
٘ٛخػظٜخ ٌُٜٗٞخ كي٣ؼش حٗ٧ظ٘خٍ حُظـخٍ ٝ ١طؼظزَ طو٘٤خص ط٤ٜ٘ؼٜخ ٖٓ ٖٟٔحَٓ٧حٍ حُٜ٘خػ٤ش رخُ٘ٔزش ًَُِ٘خص حَُحثيس
ٝحُٔزخهش كٌٛ ٢ح حُٔـخٍ .
رخٟ٧خكش ُٜؼٞرخص طلي٣ي حُيٍحٓخص ٝحُ٘ظخثؾ حُٔوظزَ٣ش حً٧ؼَ ىهش رخُ٘ٔزش ُو٣٬خ ٗٔٔ٤ش ُ ٫حُض طلض ح٧هظزخٍ ٝطؼخٗ٢
ٖٓ ٓ٘خًَ طؼ٤ن ٗـخكٜخ طو٘٤خ ً ٝطـخٍ٣خ ً ٓؼَ ه٣٬خ حُزَٝكٌٔخ٣ض حُٞحػيس ٝحُظ ٢أٓظلًٞص ػِ ٠أٛظٔخّ حُؼِٔخء ٝحُزخكؼٖ٤
ٌٓ٘ ٓ٘ٞحص ٖٓ ٝحٌُٖٔٔ إٔ طٔظل ًٞػِٞٓ ٠م حُٞحف حُطخهش حُ٘ٔٔ٤ش ك ٢حُٔ٘ٞحص حُٔوزِش إ ٗـلٞح ك ٢كَ ٓ٘خًِٜخ
حُظو٘٤ش .
ٝطٌِٔض رٌَ٘ ٓوظ َٜػٖ طو٘٤خص أهَ ٟأهَ أٗظ٘خٍح ً ٗٔز٤خ ً ٢ٛٝحُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُـٓ َ٤ظـخٗٔش , HITه٣٬خ ح٧طٜخٍ
حُوِل ٢حُٔظيحهَ , IBCحُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُؼ٣ٞ٠ش ٓ , OPVوخرَ حُظٓٞغ كَٗ ٢ف ه٣٬خ , PERC , BSF
٤ٔٛ٧ TOPConظٜخ رخٟ٧خكش ُِظٓٞغ رؼ ٞحُ٘٢ء رخُ٘ٔزش ُو٣٬خ حُزَٝكٌٔخ٣ض حُ٘ٔٔ٤ش .
طْ ؿٔؼٜخ ك ٢حُل َٜحُوخْٓ ٖٓ ٌٛح حٌُظخد ً ٌُٖٝ ,خٗض ٘ٛخى كخؿش ُِظطَم ُٜ٘خػش حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُِٔ٤ٌٗٞ٤ش ريءح ً
ٖٓ حُٔٞحى ح٤ُٝ٧ش ٝر٤خٕ حُؼِٔ٤خص حُٜ٘خػ٤ش حُظ ٢طـَ ١ػِٜ٤خ ٌٕٞ٤ُِِٔ ً٫ٞٛٝريٍؿش ٗوخٝس ٖٓٝ . % 99.999999
ػْ ػِٔ٤خص أٗظخؽ حُٔزخثي ٝحُظ٘٣ٞذ ٝط٤ٜ٘غ حَُ٘حثق حُِٔ٤ٌٗٞ٤ش حُظ ٢طٌٓ ٕٞؼيس ٗ٧ظخؽ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش .
ػْ ط٘خُٝض ٟٓٞٞع ط٤ٜ٘غ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش رخ٩ػظٔخى ػِ ٠طو٘٤ش ط٤ٜ٘غ ه٣٬خ حٍ ٝ BSFطٌِٔض ػٖ أ ْٛحُؼِٔ٤خص
حُٜ٘خػ٤ش ًٌُ ٝي رؼ ٞطو٘٤خص حٗ٧ظخؽ حُظ ٢طؼظزَ أٓخّ ٘ٛخػش حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٢ٛٝػِٔ٤خص حُظَٓ٤ذ رؤٗٞحػٜخ ٖٓ .
ػْ طٌِٔض ػٖ ٘ٛخػش حُِٞف حُ٘ٔٔ ٢حُ٘ٔطَٗٝ ٢كض رٌَ٘ ٓوظ َٜػٖ ًَ ؿِء ٣يهَ ك ٢طًَ٤ذ حُِٞف حُ٘ٔٔ. ٢
1
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ًٌُ ٝي ط٘خُٝض رٌَ٘ ٓوظ َٜحُٔزخىة حُل٣ِ٤خث٤ش ( ك٣ِ٤خء حٌُْ ) حٓ٧خٓ٤ش حُظ ٢طلَٔ ِٓٞى حٌٍُحص ٝحٌُ٧ظَٗٝخص
ٝحُلـٞحص ٝطؼط ٢طلٔ٤ُ٧ َ٤ش أٗظخؽ حٌَُٜرخء ٖٓ طؼَ ٝهِ٤ش ِٓ٤ٌٗٞ٤ش ًَٟٜٞٝث٤ش ٗ٧ؼش حُْ٘ٔ ,رخٟ٧خكش َُ٘ف
ٓزُٔٔ ٢زيأ ػَٔ حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ٌٙٛ ًَ .حُٔٞح٤ٟغ ؿٔؼظٜخ ك ٢ح ٍٝأٍرؼش ك. ٍٜٞ
ًخٕ حُٜيف ٖٓ ٌٛح حٌُظخد ٞٛر٘خء كٌَس ٓظٌخِٓش ػٖ حُِٞف حُ٘ٔٔ ٝ ٢حُيه ٍٞك ٢ػخُْ ٘ٛخػش حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٝحٌُ١
ٓ ٞٛـٌُ ٍٜٞؼ ٖٓ ٖ٣َ٤حٌُ٣ ٖ٣ؼِٔ ٕٞأ٣ ٝيٍٓ ٕٞكٓ ٢ـخٍ حُطخهش حُ٘ٔٔ٤ش .أ ٝحٕ ٌٛ ٌٕٞ٣ح حٌُظخد ىُ٣َ١ ٝ َ٤ن
٣َ٣ ٖٓ ٌِٚٔ٣ي حُيه ٍٞك ٢ػخُْ حُطخهش حُ٘ٔٔ٤ش ُظٌ ٕٞهطٞس أ٤ُٝش ٛل٤لش ُِل ْٜحُؼِٔ ٢حُِٔٓٝ . ْ٤لخُٝش رٔ٤طش ٓ٘٢
ك ٢حُٔٔخػيس ُظ٤ٟٞق أٓ ٍٞهي ٣ـِٜٜخ رؼ ٞحُؼخِٓٝ ٖ٤حُيحٌٍُٜٓ ٖ٤ح حُٔـخٍ ٝهٜٛٞخ ً حُٜٔ٘يٓ. ٖ٤
2
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
حُٔويٓش
طؼي حُطخهش أكي أًزَ حُظلي٣خص حُظ ٢طٞحؿ ٚحُزَ٘٣ش ك ٢حُوَٕ حُلخىٝ ١حُؼَ٘ٝ. ٖ٣ريح٣شً ٖٓ حُؼٍٞس حُٜ٘خػ٤ش ك ٢حُوَٕ
حُؼخٖٓ ػًَ٘ ،خٗض ٍٞٛحُٞهٞى ح٧كلٓ ،١ٍٞؼَ حُللْ ٝحُ٘لٝ ٢حُـخُ حُطز٤ؼٜٓ ٢ٛ ،٢خىٍ حُطخهش حٓ٧خٓ٤ش ٌَُ ٗ٢ء
ٓلًَخص حُيٝ ٍِ٣ح٫كظَحم حُيحهِ ٖٓٝ ،٢حٌَُٜرخءحُٔلًَخص حُزوخٍ٣ش كظِّ ٠
ِّ ك ١ٞ٤رخُ٘ٔزش ُِٔـظٔغ حُزَ٘ ١ري ًءح ٖٓ
كظ ٠طيكجش ٝطزَ٣ي حُٔزخٗ ٖٓٝ ،٢حُطٝ ٢ٜطٔو ٖ٤حُٔخء ٝحٟ٩خءس كظ ٠ح٧ؿِٜس حٌَُٜرخث٤ش ٝحٌُ٩ظَ٤ٗٝش حُٔوظِلشٌٛ ،ح
اُ ٠ؿخٗذ ٓؼظْ ٓٝخثَ حُ٘وَٜٓ ٌُٖٝ ،خىٍ حُٞهٞى ح٧كل ١ٍٞحُظ ٢ط ُؼي ٍٞٛس ٓوَِّ ٗش ػزَ ٓجخص حُٔ ٖٓ ٖ٤٣٬حُٖٔ٘٤
رخطض ط٘لي رَٔػش رٔزذ حٓ٫ظويحّ حُِحثي .ػٝ٬س ػًُِ ٠ي ،أى ٟكَم طِي حُٜٔخىٍ اُ ٠حَٟ٩حٍ رخُز٤جش كًًٞ ٢ذ
حٓٝ ،ٍٝ٧خ ُحٍ ٌٛح ٣ليع كظ ٠ح.ٕ٥
ٖٓ حُٔؼَٝف إٔ ٜٓخىٍ حُطخهش حُزيِ٣ش أ ٝحُٔظـيىس ؿٜٓ َ٤خىٍ حُٞهٞى ح٫كل ١ٍٞهي ىٍُٓض ٝحٓظ ُـَِّض .كخُطخهش حُٔخث٤ش،
٘ٓ ٖٓ ٢ٛٝظوخص حُطخهش حُ٘ٔٔ٤ش ،طٔؼَِّ كخُ٤خ أػ٘ ٖ٤رخُٔجش ٖٓ حُطخهش حُٔٔظٌِٜش ك ٢حُؼخُْ ٝ.هي ططٍٞص حُظو٘٤خص كٌٛ ٢ح
حُٔـخٍٝ ،ط ُٔظٌ٘ق ٝط ُٔظـَ حُٜٔخىٍ حُٔظخكش كخُ٤خ رٌؼخكش ٘ٛٝ.خى أً٠٣خ ١خهش حَُ٣خف ،حُظ ٢ط ُؼي ريٍٛٝخ ٖٓ ٓ٘ظوخص
حُطخهش حُ٘ٔٔ٤شٝ ،حُظ ٢ريأ حٓظًٜ٬ٜخ ٣ِ٣ي ػِٗ ٠ل٣َٓ ٞغٜٓ ٌُٖ ،يٍ طِي حُطخهش حُٔظوطؼش ػِٗ ٠لً ٞزٓ َ٤ظ٘خ ٙأً٠٣خ .
٘ٛٝخى حُطخهش حُ٘٣ٝٞشٌُٜ٘ ،خ ١خهش ؿٓ َ٤ظـيىس ًٔ.خ إٔ حُٜٔيٍ حُٔؼيٗ ٢حُٔٔظويّ كٜ٤خ ٞٛٝ ،حٍُٞ٤حٗٓ ،ّٞ٤ظ٘خٌٛ. ٙح
رخٟ٩خكش اُ ٠إٔ ٌٓ٘٬ص ٓ٘غ حُلٞحىع ك ٢حُٔلطخص حُ٘٣ٝٞش ٝحُظؼخَٓ ٓغ حُٔوِلخص حُ٘٣ٝٞش ٫طِحٍ هخثٔش.
ُ٣ؼي حٓظويحّ حُطخهش حُ٘ٔٔ٤ش هئً ٣خ هيّ حُظخٍ٣ن حُزَ٘ ٌُٖ ،١كظٝ ٠هظ٘خ حُلخُ ٢ط ُؼي ٌٙٛحُطخهش ٖٓ ،ر ٖ٤حٞٗ٧حع حُٔظؼيِّىس
ُٜٔخىٍ حُطخهش حُٔظـيِّىس ،ح٧هَ حٓظويح ًٓخ؛ ك ٢ٜكخُ٤خ طٞكَ كوٗ ٢ل 0.1 ٞرخُٔخثش ٖٓ اؿٔخُ ٢حُطخهش حُٔٔظٌِٜش ك ٢حُؼخُْ
،أ 0.00001 ٝرخُٔخثش ٖٓ حٗ٩ؼخع حُ٘ٔٔ ٢حُٔظخف ٓ .غ ًُي ٗٝ ،ظ٤ـش ُِزلغ حُٔٔظلٝ ٞ٤حُظط َ٣ٞحُٔٔظَٔ٣ ،ليع
كخُ٤خ طويّ َٓ٣غ ػِٗ ٠ل ٌَٛٓ ٞك ٢حٓظويحّ ٌٙٛحُطخهشٝ ،هخٛش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش حُ٘ٔٔ٤ش؛ ٌُُي ٖٓ حُٔ٘طو٢
طٞهغ إٔ طِي حُطخهش ٓظٜزق ك ٢حُٜ٘ق ح٧ه ٖٓ َ٤حُوَٕ حُلخىٝ ١حُؼَٜ٘ٓ ٖ٣يٍ حُطخهش حَُثٓ ،٢ٔ٤ظـخُٝسً ًَ
ٜٓخىٍ حُطخهش حُٔٔظٔيَّس ٖٓ حُٞهٞى ح٫كل.١ٍٞ
ٝك ًوخ ُِو٤خٓخص حُ ُٔؼزظش٣ ،زِؾ ٓظً ٢ٓٞؼخكش هيٍس حٗ٩ؼخع حُ٘ٔٔ ٢هخٍؽ حُـ٬ف حُـٓ ٍٝ٨ُ ١ٞزخَٗسً ٝ 1366ح2ّ/١
ٝحُٔؼَٝف ػِٗ ٠طخم ٝحٓغ رخْٓ حُؼخرض حُ٘ٔٔٝ. ٢طؼَ٣ق حُٔظَ ٝ ٞٛحكي ػِ ٠ػَ٘س ِٓ ٖٓ ٕٞ٤هُٝ ٢حٍ حٍٝ٧
حُٔٔظي ٖٓ حُوطذ حُ٘ٔخُ ٢اُ ٠ه ٢حٓ٫ظٞحء ؛ ٌٛٝح حُظؼَ٣ق ٓخ ُحٍ ىه٤وًخ طزؼًخ ُِو٤خٓخص حُلي٣ؼش؛ ٌُح كبٕ ٜٗق هطَ
,إً كخُويٍس ح٩ؿٔخُ٤ش ُٗ٪ؼخع حُ٘ٔٔ ٢حُظ ٢ط َٜحُ ٠ح: ) 15 ( ٢ٛ ٍٝ٧ * حٔ٣ ٍٝ٧خm ١ٝ
3
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ػيى حُؼٞحٗ ٢ك ٢حُ 86400 ّٞ٤ػخٗ٤ش ٝ ,ك ٢حُٔظ , ٢ٓٞػيى ح٣٧خّ ك ٢حُؼخّ ٌٌٛٝ , 365.2422ح ٌٕٞ٣أؿٔخُ١ ٢خهش
حٗ٧ؼخع حُ٘ٔٔ ٢حُٞح َٛحُ ٠ح ًَ ٍٝ٫ػخّ ( : ) 15
أٝ , 5460000 EJ/year ٝرٔؼَكش إ ٓؼيٍ حٓ٧ظ٬ٜى حُؼخُُِٔ ٢طخهش ٓ٘٣ٞخ ً طوَ٣زخ ً ٌٌٛٝ , 500EJح كؤٕ ٗٔزش
0.01رخُٔخثش ٖٓ حُطخهش حُ٘ٔٔ٤ش حُٔ٘٣ٞش حُظ ٢ط ٍٝ٬ُ َٜطٌل ٢حُؼخُْ رؤَٓ ٖٓ ٙحُطخهش ) 15 ( .
4
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ًَ َٜ٣ ٫حٗ٩ؼخع حُ٘ٔٔ ٢حُٔخه ٢ػِ ٠حُـ٬ف حُـ ١ٞح ٢ٍٟ٧آُ ٠طق ح .ٍٝ٧ك٘ل 30 ٞرخُٔخثش ٖٓ حٗ٩ؼخع
حُ٘ٔٔ٘٣ ٢ؼٌْ ك ٢حُل٠خء ٗٝ.ل 20 ٞرخُٔخثش ُٓ٘ٔ٣ ٚظ ٖٓ ٚؿخٗذ حُٔلذ ٝحُـِ٣جخص ك ٢حُٜٞحء ٗٝل ٞػ٬ػش أٍرخع
ٓطق حٔٓ ٍٝ٧طلخص ٓخث٤ش ٌُٖٝ ،كظ ٠اًح ًخٕ رخٌٓ٩خٕ حٓظـ 10 ٍ٬رخُٔخثش كو ٖٓ ٢اؿٔخُ ٢حٗ٩ؼخع حُ٘ٔٔ،٢
كبٕ 0.1رخُٔخثش ٜٓ٘خ كوٌٜ٘ٔ٣ ٢خ إٔ طٔي حُؼخُْ رؤَٓ ٙرخُطخهش .
ٓ٘ٔظؼَ ٝك ٌٙٛ ٢حٌُظخد حُٔزٔ٘ٛ ٢خػش حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ريءح ً ٖٓ اٗظخؽ حُٔ ٖٓ ٌٕٞ٤ِ٤حُٔٞحى ح٤ُٝ٧ش ٝاٗظخؽ
حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُ٘و ٖٓٝ , ٢ػْ اٗظخؽ َٗحثق حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُ٘و ٝ ٢ػِٔ٤خص ط٘٣ٞزٜخ ٖٓٝػْ ٘ٛخػش حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ٝحُظطَم
٧ؿِذ حُطَم ٝحُظو٘٤خص حُٔٔظويٓش ٓ ٝوخٍٗظٜخ رخُ٘ظخثؾ حُٔوظزَ٣ش .
ٖٓٝػْ ٗٔظؼَ ٝطو٘٤خص حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ِ٤ٔٓ ٝحطٜخ َ١ ٝم ط٤ٜ٘ؼٜخ ٗٝظطَم رَ٘ف ٓزٔ ٌَُ ٢حُؼِٔ٤خص حُظ ٢طَحكن
ط٤ٜ٘غ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش .
5
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
حُل َٜحٍٝ٧
6
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ك ٢حُٜ٘خػش حٌَُٟٜٞٝث٤ش ،ػخىسً ٓخ طظِِٔٓ ٖٔ٠ش حٗ٩ظخؽ ٖٓ حٌُٞحٍطِ اُ ٠حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ػ٬ػش أٗٞحع ٍث٤ٔ٤ش ٖٓ
حًَُ٘خص :
٘ٓ - 2ظـٍ ٢هخثن حُٔ ٖٓ ٌٕٞ٤ِ٤حٌُٞحٍطِ ,حًَُ٘خص حُظ ٢طو ّٞرؼِٔ٤ش حٗ٩ظخؽ كظ ٠طوط٤غ ٍهخثن حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ػْ طز٤غ
ٌٙٛحَُهخثن اُ ٠حُٜٔخٗغ حُظ ٢طو ّٞربٗظخؽ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُوخٛش رٜخ .
٘ٓ - 3ظـ ٢حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٖٓ ٍهخثن حُٔٝ ، ٌٕٞ٤ِ٤حُظ ٢ط٘ َ٤رٌَ٘ أٓخٓ ٢اُٜ٘ٓ ٠ؼٝ ٢كيحص حُطخهش حُ٘ٔٔ٤ش
حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٓغ ٓؼيحص اٗظخؽ حَُهخهش اُ ٠حُوِ٤ش حُوخٛش رُِ ْٜظلٌْ ك ٢ؿٞىس ٓٝؼَ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش.
ط ُٜ٘غ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ؿخُزخ ٖٓ ٓخىس حُِٔٝ . ٌٕٞ٤حُِٔ ٌٕٞ٤ػ٘ٝ َٜحٓغ حٗ٫ظ٘خٍ ك ٢حُوَ٘س ح٤ٍٟ٫ش ٣ ٌُٖ ٝـذ
حٓظويحّ ٜٓخىٍ ُِِٔ ٌٕٞ٤طًٌ ٕٞحص ٗوخٝس ػخُ٤ش ؿيح كظ ٫ ٠طٔزذ ٓ٘خًَ ٘ٛخػ٤ش ك ٢ػِٔ٤ش حٗظخؽ حُِٔ ٌٕٞ٤حُ٘و. ٢
ٌُٖ ػِٔ٤ش ط٤ٜ٘غ حُو٣٬خ طؼظزَ ٛؼزش ٌِٓٝلش ًُٝ ,ي ُِو٣٬خ حُزِ٣ٍٞش أًؼَ ٖٓ حُو٣٬خ حَُه٤وش ٖٓٝ ,أؿَ ط٤ٜ٘غ ٌٙٛ
حُو٣٬خ رٌلخءحص ػخُ٤ش ٫ري ٖٓ آظويحّ حُِٔ ٌٕٞ٤حُ٘و ٢ك٤غ طْ طط َ٣ٞحُؼي٣ي ٖٓ حُظو٘٤خص ُِل ٍٜٞػِ ٠حٌُِٕٔٞ٤
حُ٘و ٢اٗط٬هخ ً ٖٓ حُٔٞحى ح٤ُٝ٧ش حُظ ٢طلظ ١ٞػِٓ ٚ٤ؼَ حٌُِٔ٤خ حُٔٞؿٞىس ك ٢حَُٓخٍ .
طظؤُق ػِٔ٤ش اٗظخؽ حُو٣٬خ ٝحُٞ٧حف حٌَُٟٜٞٝث٤ش رٌَ٘ أٓخٓ ٖٓ ٢ػ٬ع ٘ٛخػخص ٓظظخُ٤ش :
ػْ حٗ٫ظخؽ ػِٔ٤ش آظوَحؽ حُِٔ ٝ ٌٕٞ٤اٗخرظ , ٚػِٔ٤ش طٌٍ٘ َ٤هخثن حُو٣٬خ ٝك٤يس حُزٍِٞس أٓ ٝظؼيىس حُزٍِٞحص ,
حُٜ٘خثُِ ٢وِ٤ش ٝحُِٞف حٌَُٟٜٞٝث. ٢
٣ظْ ط٤ٜ٘غ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ح ٫ٝر َٜٜحكـخٍ حٌُِٔ٤خ حُ٘و٤ش ( ِٓ ٌٕٞ٤حًٔٝخ٣ي ) رؤكَحٕ هخٛش ٗ٧ظخؽ هخّ حُِٔ. ٌٕٞ٤
ك٤غ ٣ظْ ٟٝغ حكـخٍ حٌُِٔ٤خ ٝحُللْ ًٜٔيٍ ٌُِخٍر ٕٞك ٢حكَحٕ هخٛش ) 1 , 28 ( ARC Furnaceكَٜٜ٘٤
حُِٔٝ ٌٕٞ٤حٌُخٍر٘٤ُ ٕٞظؾ ػخٗ ٢ح٤ًٔٝي حٌُخٍرٝ ٕٞحُِٔ ٌٕٞ٤حُوخّ ر٘وخٝس طظـخً ٌٕٞ٣ٝ 98% ُٝحثزخ رؼي ًُي ٣ظـٔي
٣ٝظْ طٌُٔ َٙ٤وطغ ٛـَ٤س .
7
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
٣ظْ طل َ٤٠حُٔ ٖٓ ٌٕٞ٤ِ٤طلخػَ حٌُِٔ٤خ ػخُ٤ش حُ٘وخٝس ٓغ حُو٘ذ ,حُللْ حُلـَ ٝ , ١حُللْ ك ٢كَٕ حُو ّٞحٌَُٜرخث٢
رؤٓظويحّ أهطخد ًَٜرخث٤ش ٖٓ حٌَُرٝ , ٕٞػ٘ي ىٍؿش كَحٍس ػخُ٤ش كٞم 1900ىٍؿش ٓج٣ٞش ٣ ,و ّٞحٌَُر ٕٞربٍؿخع
حٌُٔ٤ِ٤خ حُٝ ٌٕٞ٤ِ٤ٓ ٠كن حُٔؼخىُش ( : ) 28 , 31
SiO2 + C = Si + CO2
SiO2 + 2C = Si + 2CO
٣ـٔغ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُٔخثَ أٓلَ حُلَٕ ػْ ٣ظْ ط٣َٜلٝ ٚطزَ٣يٝ , ٙطٗ َٜوخٝس حُِٔ ٌٕٞ٤حُٔ٘ظؾ ر ٌٜٙحُطَ٣وش حُ, %98 ٠
ٌٖٔ٣ٝإٔ ٣ظٌَ٘ ًَر٤ي حُٔ SiC ٌٕٞ٤ِ٤ه ٌٙٛ ٍ٬حُؼِٔ٤ش ٌُٖ ,رؤروخء طًَ ِ٤حٌُٔ٤ِ٤خ ػخُ٤خ ً ٌٖٔ٣حُظوًَِ ٖٓ ٚر٤ي
حُٔٝ ٌٕٞ٤ِ٤كن حُؼِٔ٤ش حٌُ٤ٔ٤خث٤ش ( : ) 28 , 31
8
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٌٖٔ٣حُل ٍٜٞػِٗ ٌٕٞ٤ِ٤ٓ ٠و ٢كٞم % 99,9رٌَ٘ ٓزخَٗ ٖٓ حٌُٔ٤ِ٤خ أًَٓ ٝزخص حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ح٧هَ ٟػٖ ٣َ١ن
حُظلِ َ٤حٌَُٜرخث ٢رؤٓظويحّ ح٬ٓ٧ف حٌُحثزش,
ٌٖٔ٣ٝآظويحّ ٌٙٛحُطَ٣وش ُِل ٍٜٞػِ ٠حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُٔطِٞد ُٜ٘خػش حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ى ٕٝاٛيحٍ ؿخُ ػخٗ ٢أًٔ٤ي
حٌَُرٝ ٕٞرؤٓظويحّ ١خهش أهَ .
ٝطؼظٔي طو٘٤خص ط٘و ٤ش حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ػِ ٠اٗ ٚػ٘ي اًحرش حُٔٝ ٌٕٞ٤ِ٤ػْ اػخىطُِ ٚلخُش حُِٜزش ,كؤٕ ح٧ؿِحء ح٧هَ٤س حُظ٢
طظِٜذ ٖٓ حٌُظِش طلظ ١ٞحُ٘ٔزش حً٧زَ ٖٓ حُ٘ٞحثذ .
ػِ ٠حَُؿْ ٖٓ كخثيس حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُٔؼيٗ ، ٢كظ ٠ػ٘ي ىٍؿش ٗوخء ، ٪ 99ك ْ٤ُ ٜٞهًَ ٣زخ ٖٓ حُ٘وخء حُٔطِٞد ُظطز٤وخص
أٗزخ ٙحُٔ٬ٛٞص ٝحُظطز٤وخص حٌَُٟٜٞٝث٤ش.
حُطَ٣وش حُٔخروش طٔظويّ حُظ٤خٍ حُٔٔظَٔ ( حُٔزخَٗ ) ًٜٔيٍ ُِطخهش حٌَُٜرخث٤ش ٝ ,حٌُ ٌٖٔ٣ ١حُظلٌْ ك ٚ٤رٌَ٘ أًزَ ٝ ،
أًؼَ ًلخءس ٖٓ كَٕ ١خهش حُظ٤خٍ حُٔظَىى .
٣وَِ حُظٌ ٖ٣ٞحُٔـِن رٌَ٘ ًزُِ َ٤لَٕ ٖٓ كوي ١خهش ح٩ىهخٍ ًؤ ٍٝأًٔ٤ي حُٔٝ ٌٕٞ٤ِ٤ؿخُحص أ ٍٝأًٔ٤ي حٌَُر. ٕٞ
3 – 1كَٕ حُو ّٞحٌَُٜرخث ٢حُٔؼظٔي ػِ ٠حُظ٤خٍ حُٔظ٘خٝد ( حُٔظَىى ) ٗ٧ظخؽ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُ٘و٢
٣ظْ اٗظخؽ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ك ٢كَٕ ه ّٞحُظ٤خٍ حُٔظ٘خٝد حُٔلظٞف ػٖ ٣َ١ن ح٫هظِحٍ حٌَُرُ ٢ٗٞؼخٗ ٢أًٔ٤ي حٌُٖٔٔ٣ .ٌٕٞ٤ِ٤
طٔؼ َ٤طلخػَ ح٫هظِحٍ حٌُِ ٢ػِ ٠حُ٘ل ٞحُظخُ:) 33 ( ٢
حُ٤ٓٞطخٕ حَُث٤ٔ٤خٕ حُ٣ٍَٝ٠خٕ ٗ٩ظخؽ حُٔٔٛ ٌٕٞ٤ِ٤خ أ ٍٝأًٔ٤ي حًَُٔٝ ٌٕٞ٤ِ٤ر٤ي حُٔ . ٌٕٞ٤ِ٤حُظلخػَ : ) 33 (ٞٛ
٘٣ظؾ أ ٍٝأًٔ٤ي حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ػٖ ٣َ١ن طلخػَ ػخٗ ٢أًٔ٤ي حُٔٓ ٌٕٞ٤ِ٤غ حٌَُر ٕٞأًَ ٝر٤ي حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤أ ٝحُٔٝ ، ٌٕٞ٤ِ٤ك ًوخ
ُِظلخػ٬ص حُظخُ٤ش( : ) 33
9
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
٘٣ظؾ ًَر٤ي حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ػٖ ٣َ١ن طلخػَ حٌَُرٓ ٕٞغ ػخٗ ٢أًٔ٤ي حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤أ ٝأ ٍٝأًٔ٤ي حًُٔٔ ، ٌٕٞ٤ِ٤خ ٟٞٓ ٞٛق
أىٗخ: ) 33 , 31 ( ٙ
ك ٢حُؼِٔ٤ش حًُ٘ٔٞؿ٤ش ُلَٕ حُو ّٞحُٔـٔ٠٣ ، ٍٞخف هِٗ ٢٤زٓ ٚظٌخكت ٖٓ حٌَُرٝ ٕٞحٌُٔ٤ِ٤خ اُ ٠حُـِء حُؼِٖٓ ١ٞ
حُلَٕ .ػ٘يٓخ ٍِ٘٣حُوِ ٢٤ك ٢حُلَٕ ٣ ،ظٌَ٘ أ ٍٝأًٔ٤ي حًَُٔٝ ٌٕٞ٤ِ٤ر٤ي حُٔٝ ٌٕٞ٤ِ٤كوًخ ُِظلخػ٬ص ٖٓ ( )3اُ٠
(٘٣ . )8ظؾ ػٖ اٗظخؽ أ ٍٝأًٔ٤ي حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُٔلَ ١حٌُ٣ ٫ ١ظلخػَ ٓغ حٌَُر ٕٞأ٣ ٝظٌؼق ك ٢حُلَٕ كويحٕ حُٔ. ٌٕٞ٤ِ٤
حُظلخػَ حً٧ؼَ ٗٞ٤ػًخ ٗ٩ظخؽ أ ٍٝأًٔ٤ي حُٔ ٞٛ ٌٕٞ٤ِ٤حُظلخػَ حُٔظٔخ ١ٝحٌُٔ٤ِ٤ُِٔ ٢ُٞخ ٓغ ًَر٤ي حُٔٝ ٌٕٞ٤ِ٤كوًخ
ُِظلخػَ (ٜ٣ . )3ؼي أ ٍٝأًٔ٤ي حُٔ ، ٌٕٞ٤ِ٤حُٔظٌ ٕٞك٘ٓ ٢طوش حٌُٜق رخُلَٕ ،ػزَ حُ٘ل٘ش ك٤غ ٣ظْ ك َٜٙرٌَ٘
ٓؼخُ ٢ػٖ ٣َ١ن حُظلخػَ ٓغ حٌَُرُ ٕٞظًٌَ ٖ٣ٞر٤ي حُٔٝ ٌٕٞ٤ِ٤ك ًوخ ُِظلخػَ (. )8
طظطِذ أكَحٕ ه ّٞحُظ٤خٍ حُٔظ٘خٝرش (ٓ )ACيه٬ص ١خهش ػخُ٤ش ٗ٩ظخؽ حُٔ ٢ٛٝ ٌٕٞ٤ِ٤ؿ َ٤كؼخُش ُِـخ٣ش ٖٓ ٝؿٜش ٗظَ
حٓظويحّ حُطخهش٣ .ظْ حٓظويحّ كٞحُ 31 ٢رخُٔخثش كو ٖٓ ٢اؿٔخُٓ ٢يه٬ص حُطخهش ُِلَٕ ٞٓ ،حء ك١ ٌَٗ ٢خهش ًَٜرخث٤ش
أ١ ٝخهش ً٤ٔ٤خث٤ش ٖٓ حُٔٞحى حُٔوظُِش ُ ،ظوِ َ٤حٌُٔ٤ِ٤خ٣ .ظْ كوي ٗٔزش ٪69حُٔظزو٤ش ٖٓ حُطخهش.
حَُٔحكَ حُظخُ٤ش ٖٓ حُظ٘و٤ش طَكغ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤أُٓ ٠ظ ٟٞحُ٘وخء حُُ ُّ٬ظ٤ٜ٘غ أٗزخ ٙحُٔ٬ٛٞص .
٣زيأ حُظ٘و٤ش رؤِٓ ٢لٞم حُِٔ ٌٕٞ٤حُٔؼيٗٓ ٢غ ؿخُ كٔ ٞحُ٤ٜيٍ٣ًٍِٞٝي حُٔخهٖ ٘٣ .ظؾ ٌٛح حُظلخػَ ٓٗ٬٤خص ٢ٛٝ ،
ًَٓزخص ُٜخ ًٍس ِٓ٣ًَِٓ ٌٕٞ٤ش ٓلخ١ش رؤٍرؼش ِٓلوخص ،ك ٌٙٛ ٢حُلخُش ػ٬ع ًٍحص ًِ٤ٛٝ ٍٞيٍٝؿٝ ٖ٤حكيٌٛ .ح ػ٬ػ٢
ًِ ٕ٬٤ٓ ٍٝٞػزخٍس ػٖ ؿخُ ػ٘ي ىٍؿش كَح ٍس ىحهَ ؿَكش حُظلخػَ ٔٓ ،خ َٜٔ٣حُظؼخَٓ ٓؼٝ ٚط٘و٤ظ ٚػٖ ٣َ١ن حُظوطَ٤
حُظـِ٣ج . ٢ػ٘يٓخ ٣ظْ ط٘و٤ش ؿخُ ػ٬ػ ٕ٬٤ٓ ًٍِٝٞ ٢رٌَ٘ ًخف ٌٖٔ٣ ،إٔ ٣زيأ اٗظخؽ . multi-silicon
ػِٔ٤ش ٢ٛ Siemensحُطَ٣وش حٓ٧خٓ٤ش ٘ٛخ ٖٓ ٌَٗ ٢ٛٝ ،أٌٗخٍ طَٓ٤ذ حُزوخٍ حٌُ٤ٔ٤خث . ٢طلظ ١ٞكـَس حُظلخػَ
حٌُزَ٤س حُظ ٢ػِ ٌَٗ ٠ؿَّ ػِ ٠ػيس أٓ٬ى ٍك٤ؼش ٖٓ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ػخُ ٢حُ٘وخٝس ٝ ،حُظ٣ ٢ظْ طٔوٜ٘٤خ اُ 1150 ٠ىٍؿش
ٓج٣ٞش ػٖ ٣َ١ن طَٔ َ٣ط٤خٍ ًَٜرخث٣ . ٢ظيكن هِ ٖٓ ٢٤ػ٬ػ ٕ٬٤ٓ ًٍِٝٞ ٢حُـخُٝ ١حُ٤ٜيٍٝؿ ٖ٤اُ ٠حُـَكش ؛ ٣ظلَِ
حُـخُ ػِ ٠حُوطذ حُٔخهٖ طخًًٍخ ٍٝحء ٙحُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُ٘و ٢حٌُ٣ ١ظَحًْ ك ٢ه٠زخٕ ٣زِؾ هطَٛخ كٞحٌُٖٔ٣ . ْٓ 150 ٢
إٔ ٓ ٌٕٞ٤ِ٤ُِٔ ٌٕٞ٣ظؼيى حُزٍِٞحص حُٜٔٞ٘ع رٞحٓطش ػِٔ٤ش ٗ Siemensوخء 99,99999أ ٝأًؼَ ٔ٣ .ظويّ
( ) 1,34 حُٔٓ ٌٕٞ٤ِ٤ظؼيى حُزٍِٞحص رٌَ٘ أٓخُِٓ ٢و٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش .حٌَُ٘ أىٗخُ ٙؼِٔ٤ش ط٘و٤ش حٌُٕٔٞ٤ِ٤
11
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
11
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ك ٢ك ٖ٤إٔ ػِٔ٤ش ٓ ٢ٛ ِ٘ٔ٤حُؼٔٞى حُلوَٓ ٌٕٞ٤ِ٤ُِٔ ١ظؼيى حُزٍِٞحص ،ا ٫إٔ ُٜخ ػٞ٤رٜخ .حٌُِٔ٘ش حَُث٤ٔ٤ش ٢ٛ
أٜٗخ ٓٔظِٜي ًزُِ َ٤طخهش ُِٝللخظ ػِ ٠حُزٍِٞحص حُٔظ٘خٓ٤ش ٓخه٘ش ريٍؿش ًخك٤ش ُظلط ْ٤حُٔٞحى حُوخّ ٣ظطِذ حٌُؼٖٓ َ٤
حٌَُٜرخء.
ُِظـِذ ػِ ٌٙٛ ٠حٌُِٔ٘ش ٣ ،ظْ أك٤خًٗخ حٓظويحّ ػِٔ٤ش ٓلخػَ حُطزوش حُٔٔ٤ؼش Fluidized Bed Reactor FBR
ٌَٗ ُٚ ٌٕٞ٣ٝرَؽ َٓطلغ طٜطق ؿيٍحٗ ٚرؤٗزٞد ًٞحٍطِ .
٣ظْ كوٖ ؿخُ حُٔ ، ٕ٬٤آخ ػ٬ػ ٕ٬٤ٓ ًٍِٝٞ ٢أ ٝأكخى ١حُٔ ٕ٬٤حُٔؤُٞف ٓ ٞٛٝ ،ـَى ًٍس ٓٓ ٌٕٞ٤ِ٤لخ١ش رؤٍرؼش
٤ٛيٍٝؿ٣ ، ٖ٤ظْ طَٓ٤ذ ٓٔلٞم حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ك ٢ؿَكش حُظلخػَ ٖٓ ح٧ػِ ، ٠رٔ٘٤خ ٣ظْ كوٖ ؿخُ حُ٤ٜيٍٝؿ ٖ٤حُٔٔوٖ
ك ٢هخع حُلـَس ٖٓ هِِٔٓ ٍ٬ش ٖٓ حُلٛٞخص ٣ .لخكع طيكن حُـخُ ػِٔٓ ٠لٞم حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُٔخهٖ ٓخثؼًخ ٔٓ ،خ ٔٔ٣ق ُٚ
رخ٫هظ ١٬رـخُ حُٔٝ ٕ٬٤طًٌٔٔ .َٙ٤خ ٞٛحُلخٍ ك ٢ػِٔ٤ش ٓ٣ ، ِ٘ٔ٤ظَحًْ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ػِ ٠ؿِ٣جخص حُٔٝ ، ٌٕٞ٤ِ٤حُظ٢
طٜزق ك ٢حُٜ٘خ٣ش أًزَ ٖٓ إٔ طيػٜٔخ حُطزوش حُٔٔ٤ؼش .طٔو ٢كزخص حُٔٓ ٌٕٞ٤ِ٤ظؼيى حٌَُٔ٣ظخ٫ص ك ٢هخع حُلـَس ،
ك٤غ ٌٖٔ٣ؿٔؼٜخ .
اُ ٠ؿخٗذ طٞك َ٤حُطخهش ٓ -خ َٜ٣اُ ٪90 ٠أهَ ػ٘ي حٓظويحّ أكخى ١حًُٔٔ ٕ٬٤خىس هخّ -طظٔؼَ حُِٔ٤س حَُث٤ٔ٤ش
ُطَ٣وش FBRك ٢أٜٗخ ػِٔ٤ش ٓٔظَٔس ،ك٤غ ٌٖٔ٣رزٔخ١ش ٟن حُوَُحص حُٜ٘خث٤ش هخٍؽ حُـَكش ٝ .طؼظزَ ػِٔ٤ش
Siemensػِٔ٤ش ٓظوطؼش ،ك٤غ ٣ـذ كظق ؿَكش حُٔلخػَ ُ٩حُش ه٠زخٕ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُٔظؼيى ػ٘ي حٗ٫ظٜخء ٓٝ .غ ًُي ،
كبٕ ٫ FBR Multi-siliconطظوَ٘ طٔخٓخ ً َ٣ٝ ،ؿغ ًُي ؿِثً٤خ اُ ٠إٔ اىحٍس ى٘٣خٓ٤ٌ٤خص حُٔٞحثَ ىحهَ ؿَكش حُظلخػَ
هي طٌٛ ٕٞؼزش .حُٔزذ حَُثُ ٢ٔ٤ظل٣َ١ َ٤٠وش ٓ ٞٛ ِ٘ٔ٤أٜٗخ ػِٔ٤ش رٔ٤طش ُِـخ٣ش ١ٝ ،خُٔخ إٔ حُٜٔخٗغ ٌٖٔ٣إٔ
طٌ ٕٞرخُوَد ٖٓ ٜٓيٍ ٌَُِٜرخء حَُهٜ٤ش .
رؤٓظويحّ أٛ ٖٓ ١خط ٖ٤حُطَ٣وظ ٌٖٔ٣ ٖ٤طل َ٤٠حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُٔظؼيى حُزٍِٞحص حُ ٠ىٍؿش ٗوخء ػخُ٤ش ُِـخ٣ش .
ٖٓ أؿَ ٘ٛغ ه٣٬خ ٓٓ ٌٕٞ٤ِ٤ظؼيىس حُزٍِٞحص ،طٞؿي َ١م ٓوظِلش )38( :
ٗظخّ حُظِٜذ ح٧طـخ ٢ٛ DSS ٢ٛحُطَ٣وش حً٧ؼَ ٗٞ٤ػًخ ،ر ٌٜٙحُطَ٣وش ٣ ،ظْ طَٔ َ٣حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ػزَ كَٕ اٗ٠خؽ
ٓزٌ٤ش ٓٝ ) DSS ingot growth furnace ( DSSؼخُـظ ٚاًُ ٠ظَ ٓٗ ٌٕٞ٤ِ٤و٤ش .
12
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
أػ٘خء ٛذ حُٔزخثي ،ؿخُزًخ ٓخ ٌٕٞ٣حُٔٞ٘ٓ ٌٕٞ٤ِ٤رخ ً ٓٔز ًوخ ( ) pre-dopedهزَ حُظوط٤غ ٝر٤غ أهَح ٙحَُهخهش
ُِٜٔ٘ؼ . ٖ٤حُٔ٘٘طخص أ ٝحُظ٘٣ٞذ ٢ٛك ٢حٓ٧خّ ػِٔ٤ش اٟخكش حُ٘ٞحثذ اٍُ ٠هخهش حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُزِ٣ٍٞش ُـؼِٜخ ِٓٛٞش
ٌَُِٜرخء ٞٓ .حى حُٔ٘٘طخص حُٔٞؿزش (ٖٓ حُ٘ٞع ٝ )pحُٔخُزش (ٖٓ حُ٘ٞع ٢ٛ )nك ٢حُـخُذ حُز ، ٍٕٝٞحٌُ٣ ١لظ١ٞ
ػِ 3 ٠اٌُظَٗٝخص (-3حُظٌخكئ) ٔ٣ٝظويّ ك ٢حُٔ٘٘طخص ٖٓ حُ٘ٞع ٝ ، ) positive p-type ( pحُلٓٞل ، ٍٞحٌُ١
٣لظ ١ٞػِ 5 ٠اٌُظَٗٝخص (-5حُظٌخكئ) ٔ٣ٝظويّ ك ٢حُٔ٘٘طخص ٖٓ حُ٘ٞع . ) negative n-type ( nؿخُزًخ ٓخ
طٌٍ ٕٞهخهخص حُٔٞ٘ٓ ٌٕٞ٤ِ٤رش ٓٔزوًخ رخُز. p-type ٍٕٝٞ
إٔ ٗوخء حُٔ ٞٛ ْ٤ُ ٌٕٞ٤ِ٤حُٔو٤خّ حُٞك٤ي ُِٔ , ٌٕٞ٤ِ٤ك ٢رؼ ٞح٧ك٤خٕ طٌ١ ٕٞز٤ؼش حُظًَ٤ذ حُزُِِ٘ٔ ١ٍٞظؾ حُٜ٘خث٢
٫طوَ أ٤ٔٛش ػٖ حُ٘وخء ,طظٔؼَ حُوطٞس حُظخُ٤ش ك ٢اٗظخؽ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ك ٢اٗ٘خء حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُزِ ١ٍٞح٧كخىmono- ١
, siliconك٤غ طٌٓ ٕٞزٌ٤ش حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤رؤًِٜٔخ ػزخٍس ػٖ رٍِٞس ٝحكيس .
إٔ طط َ٣ٞرٍِٞس أكخى٣ش ٖٓ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤كخثوش حُ٘وخء حُ ٠كـْ ٓل٤ي ٘ٛخػ٤خ ً ُ ْ٤رخ َٓ٧حُ٣ٝ , ٖ٤ٜؼظٔي ػِ ٠رؼ ٞحُلَ٤
حُظ ٢أًظ٘لٜخ حٌُ٤ٔ٤خث ٢حُزُ٘ٞي ١كخٕ ًًَِٝحٌُٔ ٢ك ٢ػخّ . ) 35,36 ( ّ 1916
13
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
هي ٌٕٞ٣حُظطز٤ن حً٧ؼَ أ٤ٔٛش ٞٔٗ ٞٛأ ٝطٌ٘ٓ َ٤زخثي أٓطٞحٗ٤ش ًزَ٤س , large cylindrical ingotsأًَ ٝحص
ٖٓ Boulesحُِٔ ٌٕٞ٤أكخى ١حُزٍِٞحص حُٔٔظويّ ك٘ٛ ٢خػش حٌُ٧ظَ٤ٗٝخص ٘ٛٝخػش حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ًٌُٝ ,ي ٌٖٔ٣
حٓظويحّ ٌٙٛحُطَ٣وش ٓغ حٗزخ ٙحُٔ٬ٛٞص ح٫هَٓ ٟؼَ ٍُٗ٤و٤ي حُـخُ. Gallium arsenide ّٞ٤
ؿخُزخ ً ٓخ ٘٣خٍ حُ ٠حُِٔ ٌٕٞ٤أكخى ١حُزٍِٞحص رـ ) Monocrystalline Silicon ( mono-Siحُٔظٌَ٘ رطَ٣وش
Czochralskiرٜٔطِق ٓؼَف رـ ) Monocrystalline Czochralski silicon ( Cz-Si
رؤهظٜخٍ ٣ ,ظْ َٜٛحُٔٓ ٌِٕٞ٤ظؼ يى حُزِ٣ٍٞش ك ٢رٞطوش ًٞحٍطِ ك ٢ؿ ٞهخَٓ ٣ٝ ,ظْ اِٗحٍ ه٤٠ذ حُٔلذ حٌُ٣ ١لَٔ
رٍِٞس ٝحكيس ٖٓ حُٔٗ ٌٕٞ٤ِ٤ي٣يس حُ٘وخء ٝحُٔٞؿٜش ريهش ٗي٣يس حُ ٠حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُٔ٘ , َٜٜطظٔزذ حُزٍِٞس ك ٢طٌؼ٤ق
حُٔٝ ٌٕٞ٤ِ٤أٓظَٔحٍ حُ ٌَ٤ٜحُزِ ١ٍٞك٤غ ٣ظْ ٓلذ ه٤٠ذ حُٔلذ رز٢ء ٖٓ حُلَٕ أػ٘خء حُيٍٝحٕ ٌٖٔ٣ .اٗظخؽ ٓزخثي
أكخى٣ش حُزِ٣ٍٞش َٜ٣هطَٛخ حُ ِْٓ 450 ٠ربٓظويحّ ٣َ١وش . Czochralskiحٌَُ٘ أىٗخ. ) 35 ( ٙ
14
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
7 – 1اٗظخؽ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤أكخى ١حُزِ٣ٍٞش رطَ٣وش حُٔ٘طوش حُؼخثٔش Floating zone method
طٔظويّ ه٤٠ذ حُٔٓ ٌٕٞ٤ِ٤ظؼيى حُزِ٣ٍٞش ًٔ multi-siliconخىس حُزيح٣ش ىحهَ ؿَكش طلخػَ رٜخ ؿ ٞؿخُ هخَٓ ٣ ,ظْ
أٍٓخٍ اٗخٍس طَىى ٢ٌِٓ٫ػزَ ِٓق ٣ل ٢٤رخُو٤٠ذ ,طو ّٞأٗخٍس حُظَىى حَُحى ١ٞ٣رظٔو ٖ٤حُِٔٔٓ ٌٕٞ٤خ ٣ئى ١حُ٠
اٗ٘خء ٓ٘طوش اٗيٓخؽ ,طظْ اٟخكش رٍِٞحص حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤كخثوش حُ٘وخء حُ٘ٓ ٠طوش حٜٜٗ٩خٍ ٔٓ ,خ ٣ظٔزذ ك ٢طزِ ٍٞحٌُٕٔٞ٤ِ٤
حُٔ ٖٓ ٍٜٜٞكُٜٞخ ٣ ,ظْ طلَ٣ي حُِٔق ٧ػِ ٠حُو٤٠ذ ٓٔخ ٣ئى ١حُ ٠طلَ٣ي ٓ٘طوش حُظٔو ٖ٤كظٜ٣ ٠زق حُو٤٠ذ
رؤًِٔ ٚػزخٍس ػٖ رٍِٞس ٝحكيس ٖٓ حًُٔٔ . ٌٕٞ٤ِ٤خ ك ٢حٌَُ٘ أىٗخ. ) 38 ( ٙ
طظٔ٘ٓ ِ٤طوش حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُؼخثٔش أكخى٣ش حُزٍِٞس رؼيّ ٓٔٓ٬ظٜخ أريح ً ُـيٍحٕ حٌُٞحٍطِ ُزٞطوش ٣َ١وش Czochralski
ٝرخُظخُُ ٌٕٞ٤ٓ ٢يٜ٣خ طِٞع أهَ رخًٔ٧ـٝ ٖ٤حُ٘ٞحثذ ح٧هَ. ٟ
15
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ك ٢حُزيأ ٗظٌِْ ػٖ طًَ٤ذ ًٍس حُٔ , ٌٕٞ٤ِ٤ك٤غ ٣لظ ١ٞحُٔيحٍ حُوخٍؿٌٍُ ٢س حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ػِ ٠أٍرغ أٌُظَٗٝخص َ٣ ٝ ,طز٢
ًَ أٌُظٌٍَُ ٕٝس حُٔٓ ٌٕٞ٤ِ٤غ حٌُظٌٍَُ ٕٝس ٓ ٌٕٞ٤ِ٤حهَ ٟرَحرطش طٔخ٤ٔٛش ٝ ,ك ٌٙٛ ٢حُلخُش طٌٔٓ ٕٞظوَس
ًَٜرخث٤خ ٌٖٔ٣ ٫ٝأٓظويحٜٓخ ُٜ٘خػش حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش .
16
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٌُُي ٣ـذ أٟخكش ػ٘خ َٛأهَٓ ٟغ حُُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ظٌ ٕٞهخرِش ُِظ٤ُٞي حٌُظَٗٝخص ٝرخُظخُ٣َٓ ٢خٕ ط٤خٍ ًَٜرخث . ٢كؼ٘ي
ط٘٣ٞذ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤رؼ٘ َٜحُلٔل ٍٞأ ٝحٍُِٗ٤ن أ ٝأ ١ػ٘ٓ َٜخٗق ٖٓ حُٔـٔٞػش حُوخٓٔش ( ؿخُزخ ً ٔ٣ظويّ حُلٔل) ٍٞ
كؤٕ ًٍس حُلٔل ٍٞطٔظِي هْٔ أٌُظَٗٝخص كٓ ٢يحٍٛخ حُوخٍؿٝ ٢ػ٘ي أٍطزخٜ١خ رٌٍس حُٔٓ ٌٕٞ٤ِ٤ظَطز ٢أٍرغ حٌُظَٗٝخص
ُِٔيحٍ حُوخٍؿٌٍُ ٢س حُٔٓ ٌٕٞ٤ِ٤غ أٍرغ حٌُظَٗٝخص ُِٔيحٍ حُوخٍؿٌٍُ ٢س حُلٔل٣ ٝ ٍٞظزو ٠حٌُ٫ظ ٕٞحُوخْٓ ؿَٓ َ٤طز٢
ٓٔخ ٣ئىُ ١ظٌ٣َٗ ٕٞلش ٓ ٌٕٞ٤ِ٤ؿ٘٤ش رخٌُ٫ظَٗٝخص حُلَس ,طٌٓ ٕٞخ ٠ٔٔ٣رخُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُٔخُذ أٞٗ ٌٕٞ٤ِ٤ٓ ٝع n-
) 1 ( . type
ٝػ٘ي أٟخكش ػ٘ َٜحُز ( ٍٕٝٞأ ٝأ ١ػ٘ٓ َٜظوزَ ٖٓ حُٔـٔٞػش حُؼخُؼش ) حٌُ٣ ١لظ ١ٞػِ ٠ػ٬ػش أٌُظَٗٝخص كٓ ٢يحٍٛخ
حُوخٍؿٓ ٢ظَطز ٌٙٛ ٢حٌُ٧ظَٗٝخص حُؼ٬ػش ٓغ ػ٬ع أٌُظَٗٝخص ُِٔيحٍ حُوخٍؿ ٌٕٞ٤ِ٤ُِٔ ٢حٍ٧رؼش ,ػ٘يٛخ ٓظظُٞي كـٞس
ٌٓخٕ حَُحرطش حُظٔخ٤ٔٛش حُٔلظ٣ٞش ػِ ٠حٌُظ َٝ ٕٝحكي ,كظظٌ٣َٗ ٕٞلش ٓ ٌٕٞ٤ِ٤ؿ٘٤شرخُلـٞحص حُٔٞؿزش ٤ٓ ٝ ,ظٌٕٞ
ٓخ ٠ٔٔ٣حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُٔٞؿذ أٞٗ ٌٕٞ٤ِ٤ٓ ٝع ) 17 (. p-type
17
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
٣ظْ طوط٤غ ٓزخثي حُِٔ ٌٕٞ٤حُٔظزِ ٍٞحَُٗ ٠حثق رٔٔي 150حُٓ 180 ٠خٌَٓٝ٣ظَ ٝرؤرؼخى ٓليىس ( ٣ٝ , ) 1ظْ حُظوط٤غ
رخٓظويحّ ِٓي هخ ٖٓ ٙحُٔخّ ٝرؼ ٞحًَُٔزخص ح٫هَٔٓ ٌٕٞ٣ٝ ٟي حُِٔي ٖٓ 100حُٓ 150 ٠خٌَٓٝ٣ظَ ( . ) 1
كظظٌَٗ ٕٞحثق حُِٔٝ Wafers ٌٕٞ٤حُظ ٢طٔظويّ ٗ٫ظخؽ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ًٔ . Solar Cellsخ ك ٢حٌَُ٘ أىٗخ.)1( ٙ
18
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
19
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
حًٕ ٓوظ َٜػِٔ٤ش حٗظخؽ َٗحثق حُِٔ ٌٕٞ٤حُٔٔظويٓش ٗ٫ظخؽ ه٣٬خ حُطخهش حُ٘ٔٔ٤ش : ٢ٛ
21
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
طٞؿي ػ٬ػش أٗٞحع ٍث٤ٔ٤ش ُو٣٬خ حُطخهش حُ٘ٔٔ٤ش ٟٞ٘ٓ ,لٜخ رؤ٣ـخُ ( : ) 1
* حكخى ١حُظزِٝ : Mono Crystalline ٍٞطظٌ ٖٓ ٕٞرٍِٞحص حكخى٣ش ٣ؼ٘ ُٞ ٢طْ كلٓ ٚطق حُوِ٤ش ٖٓ حٌٓ ١خٕ
ٓظٌ ٕٞػزخٍس ػٖ رٍِٞس ٝحكيس ٌٙٛٝحُزٍِٞحص طًٌ ٕٞحص حرؼخى ٓليىس .
* ٓظؼيى حُزٍِٞحص ٝ : Multi Crystallineطًٌ ٕٞحص رٍِٞحص ٓظؼيىس ٝط٘ظؾ ٌٛح حُ٘ٞع ٖٓ حُو٣٬خ كٔذ ٣َ١وش
٘ٛخػش حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ٬ٗ ٌُٖٝ .كع حٕ حٗظ٘خٍ ٜٓطِق ُِ polyظؼز َ٤ػٖ حُو٣٬خ ٓظؼيىس حُزٍِٞحص ٝك ٢حُلو٤وش ٞٛ
طؼز َ٤ؿ َ٤ىه٤ن ٤ٓٝظؼخٍٓ ٝغ ٜٓطِلخص طٔظوي ّ ك ٢حُظو٘٤خص حُلي٣ؼش ٓؼ ٬ػ٘ي حُظٌِْ ػٖ طو٘٤ش Topcon
ٓ٘ـي ٜٓطِق ػٖ طَٓ٤ذ ١زوش ٖٓ هخّ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤كًٌَٜٓ٤طِق polyكٌٜح حُٜٔطِق ُ ٌٕٞ٣ظَٓ٤ذ ١زوخص ٖٓ
هخّ حُِٔ ٌٕٞ٤حٓخ ُِظؼز َ٤ػٖ ٜٓطِق ٓظؼيى حُزٍِٞحص ٗٔظويّ . multi
– 2ه٣٬خ حٍٞٓ٧كٝ : ْ٤طوظِق ػٖ حُو٣٬خ حُٔظزٍِٞس رؤٜٗخ ٫طظزغ ح ١رٍِٞحص ٓليىس ٝحهَد ُِِؿخؽ
ػخٗ٤خ /ه٣٬خ أٗزخ٬ٛٞٓ ٙص ًَٓزش ً ٢ٛٝ :حص ًلخءس ػخُ٤ش ٝطٔظويّ ػ٘خ َٛحُـي ٍٝحُي ١ٍٝحُؼٔٞى حُؼخُغ ٝحُوخْٓ
ح ٝحُؼخٗٝ ٢حَُحرغ ٌٌٛٝح ٖٓٝحَٜٗٛخ ه٣٬خ حٌُخىٓ. ّٞ٤
III-V **
CIGS **
cdTe **
– 1ه٣٬خ ػ٣ٞ٠ش
– 2ه٣٬خ رَٝ٤كٌٔخ٣ض ٝ :حُظ ٖٓ ٢حُٔظٞهغ حٜٗخ ٓظٔ٤طَ ػِٞٓ ٠م حُو٣ ٬خ ك ٢حُؼَ٘ ٓ٘ٞحص حُٔوزِش حًح كِض ٓ٘خًِٜخ
رؼيّ أٗليحٍحٌُلخءس .
21
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
الخاليا
الشمسية
اشباه موصالت
السليكون اخرى
مركبة
cdTe
22
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
processing of Si- wafers into solar cells ٓ 11 – 1ؼخُـش ٍهخهخص حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤اُ ٠ه٣٬خ ٗٔٔ٤ش
طظؤُق حُؼِٔ٤ش حُو٤خٓ٤ش ٗ٩ظخؽ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٖٓ ٍهخثن حُٔ 9 ٖٓ ٌٕٞ٤ِ٤هطٞحص ٖٓ أ ٍٝكل ٚحُـٞىس َُهخثن
حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤اُ ٠ح٫هظزخٍ حُٜ٘خثُِ ٢وِ٤ش حُ٘ٔٔ٤شحُـخِٛس ) 38 ( .
طو٠غ أهَحٍ ٙهخهش حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُوخّ أُ ً٫ٝللٔٓ ٚزن ٣ظْ ه ُٚ٬كلٜٜخ ٖٓ ك٤غ حٌَُ٘ حُٜ٘يٓٝ ٢طٞحكن حُٔٔخًش
ٝحَٟ٧حٍ ٓؼَ حُ٘وٞم ٝحٌُٔٝ ٍٞحُوي ٕٝأ ٝؿًُ َ٤ي ٖٓ حُلخ٫ص حُ٘خًس .رؼي ٌٛح حُلل ٚحُٔٔزن ٣ ،ظْ طؤْ٤
حَُهخهخص ٝط٘ظ٤لٜخ رخُٜخر ٕٞحُٜ٘خػُ٩ ٢حُش أ ١روخ٣خ ٓؼيٗ٤ش أٞٓ ٝحثَ أ ٝروخ٣خ اٗظخؽ أهَ ٖٓ ٟحُٔطق ٝحُظٗ ٖٓ ٢ؤٜٗخ
إٔ طئػَ ػًِ ٠لخءس طِي حَُهخهش .
رؼي حُلل ٚحُٔٔزن ح٣ ، ٢ُٝ٧ظْ طٌ٘ َ٤حُٔطق حٓ٧خَُٓ textured ٢هخثن حُُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ظوِ َ٤كوي حٗؼٌخّ حُٞ٠ء
حُٔخه) 26 , 38 ( . ٢
23
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
رخُ٘ٔزش َُهخثن حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤أكخى٣ش حُزِ٣ٍٞش ، mono-crystalline silicon wafersكبٕ حُظو٘٤ش حً٧ؼَ ٗٞ٤ػًخ ٢ٛ
حُظًَ٤ذ حُ ٢َٜٓحُؼ٘ٞحث ٢حٌُ٣ ١ظ ٖٔ٠طـط٤ش حُٔطق ر٤ٜخًَ ٤َٓٛش ٓظـٜش ٧ػِ. ٠
٣ظْ طلو٤ن ًُي ػٖ ٣َ١ن حُللَ ٝحٗ٩خٍس اُ ٠ح٧ػِ ٖٓ ٠حُٔطق حٓ٧خٓ . ٢حُٔلخًحس حُٜل٤لش َُٛ٨حٓخص حُٔللٍٞس ٢ٛ
ٗظ٤ـش ُِظًَ٤ذ حٌٍُ ١حُٔ٘ظظْ ٝح٤ٗ٧ن ُِٔ ٌٕٞ٤ِ٤أكخى ١حُزِ٣ٍٞش .
ًٔخ إٔ حُظًَ٤ذ حٌٍُ ١حُٔ٘ظظْ ٝح٤ٗ٧ن ُِٔ ٌٕٞ٤ِ٤أكخى ١حُزِ٣ٍٞش ٣ل٤ي أً٠٣خ ك ٢طيكن حٌُ٩ظَٗٝخص ػزَ حُوِ٤ش ٓغ ػيى
أهَ ٖٓ حُليٝى طظيكن حٌُ٩ظَٗٝخص رٌَ٘ أكٌُُ َ٠ي ٣ ،ظٔظغ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤أكخى ١حُزِ٣ٍٞش رِٔ٤س ٤ٌِ٤ٛش ً٤ٔ٤ًَٜٝخث٤ش
طٞكَ ِٓ٣يًح ٖٓ حٌُلخءس ػِ ٠حُٔٓ ٌٕٞ٤ِ٤ظؼيى حُزٍِٞحص . Multi-crystalline silicon
حٓ ، ٕ٥غ ٝؿٞى ٓؼَ ٌٛح حُ ٌَ٤ٜحُ ٢َٜٓكٌٓ ٢خٗ٘٣ ٫ ، ٚؼٌْ حُٞ٠ء حُٔخهُِ ٢وِق ٤٠٣ٝغ ك ٢حُٜٞحء حُٔلٌُٚ٘ٝ ٢٤
َ٣طي َٓس أهَ ٟػِ ٠حُٔطق .
طو٘٤ش حُظًَ٤ذ ح٧هَ ٟح٧هَ ٗٞ٤ػًخ ٢ٛحُظًَ٤ذ حُ ٢َٜٓحُٔوِٞد .ري ٖٓ ً٫طٞؿ ٚ٤حَٛ٧حٓخص ٧ػِ ٖٓ ٠حُٔطق حٓ٧خٓ٢
٣ ،ظْ كلَ حَٛ٧حٓخص كٓ ٢طق حَُهخهش ٔٓ ،خ ٣ئى ١رخُٔؼَ اُ ٠طوِ َ٤هٔخثَ حٗ٫ؼٌخّ ُِٞ٠ء حُٔخه ٢حُٔلخ َٛك ٢ػوٞد
حُ َّٜحُٔوِٞرش .
٣ظطِذ طٌ٘ٓ َ٤طق ٍهخثن حُٔٓ ٌٕٞ٤ِ٤ظؼيىس حُزٍِٞحص multi-crystalline silicon wafer's surface
حُطزخػش حُلـَ٣ش حُٞ٠ث٤ش ٝحُظ٣ ٢طِن ػِٜ٤خ ٢ٛٝ photolithographyطو٘٤ش طظٗ ٖٔ٠وٖ ٌَٗ ٘ٛيٓ ٢ػِ٠
ًٍِ٤س substrateرخٓظويحّ حُٞ٠ء ,أ ٝحُوطغ حٌُٔ٤خُِٗٔ ٢ٌ٤طق رخٍُِِ٤أ ٝحُٔ٘خٗ َ٤حُوخٛش .
طٌ٘ٓ َ٤طق حَُهخثن حُٔ٤ٌٗٞ٤ِ٤ش أكخى٣ش حُزٍِٞس Texturing of mono-crystalline Si- wafers
ريأ طط َ٣ٞحُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش رٌَ٘ أٓخٓ ٢رخٓظويحّ حَُهخثن أكخى٣ش حُزٍِٞس ٔ٣ ٝ ،ظويّ حُ٘وٖ حُوِAlkaline ١ٞ
ٓ etchingظزخ ٖ٣حُوٞح ٙػِ ٠أٓخّ ( ُِ ) KOH / NaOHظًَ٤ذ حَُُِ ٢َٜٓهخثن أكخى٣ش حُزٍِٞس .حَُهخهش
أكخى٣ش حُزِ٣ٍٞش حُٔوطٞػش ُٜخ حٗؼٌخّ ٓظَٓ ٢ٓٞؿق ٣ِ٣ي ػٖ ( ٪30أًؼَ ٖٓ حُط ٍٞحُٔٞؿ1200–300 ٢
ٗخٗٓٞظَ) ٓٔخ ٣وَِ اُ ٪12-11 ٠رؼي ػِٔ٤ش حُظٌ٘٣ )39,9(. texturing َ٤ظ َٜحٌَُ٘ حًُ٘ٔٞؿُٔ ٢طق هِ١ٞ
ٓلل ٍٞك ٢حٌَُ٘ أىٗخ٣ . )39( ٙللَ ٓلِ ٍٞحُ٘وٖ ٓظزخ ٖ٣حُوٞحٓ ٙطق حَُهخهش ٘٣,ظؾ ػٖ ٌٛح طٌ٤ٛ ٖ٣ٞخًَ ٤َٓٛش
ػ٘ٞحث٤ش طٌَ٘ ُح٣ٝش 54.7ىٍؿش رخُ٘ٔزش ُٔطق حَُهخهش.
طظ َٜحُوٞح ٙحًُ٘ٔٞؿ٤ش ُؼِٔ٤ش حُظًَ٤ذ حُوِ ١ٞك ٢حُـي ٍٝأىٗخٝ . )39,9( ٙطـيٍ حٗ٩خٍس اُ ٠إٔ ه ْ٤حُوٞحٙ
ٗظَح ُٞؿٞى ٓـٔٞػش ٓظ٘ٞػش ٖٓ حًَُ٘خص حُٜٔ٘ؼش ُِٔٞحى حُٔ٠خكش ك٢
حُٔوظِلش اٍٗخى٣ش ٣ ٫ٝـذ حػظزخٍٛخ ٓطِوش ً
حُٔٞم .طْ حٓظويحّ ًل ٍٞحِٝ٣٧رَٝر )IPA( َ٤ك ٢حُزيح٣ش ًٔخىس ٓ٠خكش كٓ ٢لِ ٍٞحُظًَ٤ذ ٝ ،حٌُ٘٣ ٫ ١خٍى ك٢
طلخػَ حُ٘وٖ . Etching reaction
24
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
٣ ٌُٚ٘ٝؼَٔ ًؼخَٓ طَ٤١ذ ُظلٔ ٖ٤طـخْٗ ػِٔ٤ش حُظًَ٤ذ ػٖ ٣َ١ن ٓ٘غ كوخػخص ( H2حُ٘خطـش أػ٘خء حُظلخػَ )
حُ٫ظٜخم ػِٓ ٠طق حُٔٓٝ . ٌٕٞ٤ِ٤غ ًُي ،طْ حٓظزيحٍ IPAطيٍ٣ـ ً٤خ رٔ٠خكخص ريِ٣ش additiveرٔزذ ػٞ٤د
ٓؼَ حُظًَ ِ٤ؿ َ٤حُٔٔظوَ ك٤غ إٔ ىٍؿش كَحٍس حُظَ٤١ذ رخٌُل ٍٞهَ٣زش ٖٓ ٗوطش ؿِ٤خٕ 82.4 ٢ٛٝ ( IPAىٍؿش
ٓج٣ٞش ) ٝ ،حُظٌخُ٤ق حَُٔطلؼش ٝ ،حٓ٫ظ٬ٜى حَُٔطلغ ٝ ،حُٔوخ َ١حُٜل٤ش ٝحُوخرِ٤ش ُٗ٬لـخٍ َ٘ٗ .ص حُؼي٣ي ٖٓ حُزلٞع
ُظط َ٣ٞحٓظزيحٍ IPAربٟخكخص ريِ٣ش ُِ additiveظـِذ ػِ ٠ػٞ٤د ٝ ، IPAطوِ َ٤حٗؼٌخّ حُٔطق .طوَِ
حٟ٩خكخص أً٠٣خ ٖٓ ٝهض حُٔؼخُـش اُ ٠أهَ ٖٓ 10ىهخثن ٝطِ٣ي ٖٓ ػَٔ حُظَ٤١ذ اُ ٠حًؼَ ٖٓ َٓ 100س .
25
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ػخىس ٓخ ٣ظْ اؿَحء ػِٔ٤ش طٌ٘ َ٤حُٔطق َُِ Texturingهخثن أكخى٣ش حُزٍِٞس ك" ٢ىكؼش" ٓٔخ ٣ؼ٘ ٢إٔ حَُهخثن
٣ظْ طلِٜٔ٤خ كٗ ٢خهَ ٓغ كظلخص ُظؼز٤ض حَُهخثن ( 100كظلش كٗ ٢خهَ) ػْ طظْ ٓؼخُـش حُيُكؼش رخُظظخرغ ك ٢كٔخّ حُٔؼخُـش
ٖٓ أؿَ حُظًَ٤ذ ٝحُظ٘ظ٤ق ٝهطٞحص حُٔؼخُـش ُ٩حُش حُٔوِلخص حُؼ٣ٞ٠ش ٝحُظِٞع حُٔؼيٗٝ ٢طـل٤ق حَُهخهخص حُٔؼخُـش .
٣ظ ٌَٗ َٜحُ٘خهَ حًُ٘ٔٞؿَُ ٢هخثن أكخى٣ش حُزٍِٞس ك ٢حٌَُ٘ أىٗخ. )39,9( ٙ
26
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
طٌ٘ٓ َ٤طق ٍهخهخص حُٔٓ ٌٕٞ٤ِ٤ظؼيىس حُزٍِٞحص Texturing of multi-crystalline silicon wafers
طٞكَ حَُهخثن ٓظؼيىس حُزٍِٞحص ِٓ٤س حُظٌِلش ٓوخٍٗشً رخَُهخثن أكخى٣ش حُزٍِٞس ٝ ،رخُظخُ ٢طْ حػظٔخىٛخ ػِٗ ٠طخم ٝحٓغ .
ٓٝغ ًُي ،كبٕ حٌُ٤ٔ٤خء حُوِ٣ٞش حُٔٔظويٓش ك ٢طٌ٘ٓ َ٤طق حَُهخثن أكخى٣ش حُزٍِٞس ٫طؼَٔ رٌَ٘ ؿ٤ي َُِهخثن ٓظؼيىس
حُزٍِٞحص رٔزذ ٝؿٞى حطـخٛخص ٓوظِلش ُِـِ٣جخص .طْ طط٤ٔ٤ً َ٣ٞخء كٔ٤٠ش ريِ٣ش طؼظٔي ػِHNO3 ٝ HF ٠
ُ٩حُش طِق حُٔ٘٘خٍ ٝطٌ٘ٓ َ٤طق حَُهخثن ٓظؼيىس حُزٍِٞحص كٝ ٢هض ٝحكي ٣ .ؼَٔ حُظٌ٘ texturing َ٤حُٔؼظٔي
ػِ ٠حُٔلِ ٍٞحُلٔ acidic etching ٢٠ك ٢ىٍؿخص كَحٍس أهَ ٖٓ ىٍؿش كَحٍس حُـَكش ٝ ،رخُظخُ٣ ٢ئى ١اُ ٠طوَِ٤
حٗزؼخع ؿخُ حُظلخػَ ٝ ،ط٤ُٞي كَحٍس أهَ ٝ ،ػزخص أػُِٔ ٠لِ ٍٞحُللَ ٝطلٌْ أك َ٠كٓ ٢ؼيٍ حُللَ ٟٞ٣ .ق حٌَُ٘ أىٗخٙ
ٓوخٍٗش ر ٖ٤حُظًَ٤ذ حُوِٝ ١ٞػِٔ٤ش حُظًَ٤ذ حُلَُِٔ ٢٠هخثن ٓظؼيىس حُزٍِٞحص )40,9( .
27
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٌٖٔ٣اؿَحء ػِٔ٤ش حُظًَ٤ذ حُلَُِٔ ٢٠هخهش ٓظؼيىس حُزٍِٞحص كٝ ٢هض أهَ رٌؼٓ َ٤وخٍٗش رؼِٔ٤ش حُظًَ٤ذ حُوِ ، ١ٞك٤غ
٣ظْ طَٔ َ٣حَُهخهخص ػزَ رٌَحص ٓـٍٔٞس ك ٢كٔخّ حُ٘وٖ ٍٞٛ . Etching bathس طٔؼ٤ِ٤ش ُؼِٔ٤ش ٓ٘ٔ٠ش ٓغ ػِٔ٤ش
حُظًَ٤ذ حُلٔ٤٠ش حًُ٘ٔٞؿ٤ش ٟٓٞلش ك ٢حٌَُ٘ أىٗخ)9(. ٙ
ٖٓ حُٔ٬ٓ ْٜكظش إٔ ٓطق حَُهخهش حُٔظـٓ٧ ٚلَ كٓ ٢لِ ٍٞحُ٘وٖ ٓلل ٍٞرٌَ٘ أك ٖٓ َ٠حُـخٗذ حُؼِٞٛٝ ١ٞ
"حُـخٗذ حُْٔ٘ٔ" ُِٔ٣ي ٖٓ حُٔؼخُـش .طئى ١ػِٔ٤ش حُظًَ٤ذ حُلٔ ٢٠اُ ٠طٌٔٓ ٌٕٞ٤ِ٤ٓ ٖ٣ٞخٓ ٢ػِ ٠حُٔطق
حُٔللٔ٣ ٍٞظ ٚحُٞ٠ء ٣ِ٣ٝي أً٠٣خ ٖٓ اػخىس طًَ٤ذ حُٔطق ٖٓٝ .ػْ ٣ظْ اُحُش حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُٔٔخٓ ٢رخٓظويحّ ٓلٍِٞ
هِٓ ١ٞولق .رؼي ًُي ٣ ،ظْ اؿَحء حُظ٘ظ٤ق حُلُٔ٩ )HF + HCl( ٢٠حُش حً٧خٓ٤ي ٝحُظِٞع حُٔؼيٗ ٖٓ ٢أٓطق
حَُهخهش .
28
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٖٓ حُٔ٬ٓ ْٜكظش إٔ ػِٔ٤ش حُظًَ٤ذ حُلٔ٤٠ش ,حُظ ٢طٔض ٓ٘خه٘ظٜخ أػ٘ٓ , ٙ٬خٓزش َُِهخثن ٓظؼيىس حُزٍِٞحص
multi-crystalline wafersحٍُٔ٘٘ٞس رؤٓ٬ى ( ٝ . Slurry Wire Sawing )SWSكِض ػِٔ٤ش حَُ٘٘
رخ٬ٓ٧ى حُٔخٓ٤ش (ٓ Diamond Wire Sawing )DWSلَ حُوطغ حُوخثْ ػِِٓ ٠ي ( ) SWSرٔزذ حُؼِٔ٤ش
ٝحُِٔح٣خ ح٫هظٜخى٣ش .إ ٍَٟحُٔ٘٘خٍ َُِ SWSهخثن ٓظؼيىس حُزٍِٞحص أًزَ ٖٓ ٘٘ٓ ٍَٟخٍ ، DWSحُظ ٢طلظ١ٞ
ىٍٝح
ػِ ٠أهخى٣ي ػٔ٤وش ٓٔظؤ٤ش ٓٝطق أًؼَ ٗؼٓٞش ٖٓ ٍهخثن حُٔ٘٘خٍ ِ٣ . SWSؼذ طِق حُٔ٘٘خٍ َُِ SWSهخثن ً
ًٓٔ ٜخ ك ٢ريءػِٔ٤ش حُظًَ٤ذ ٝ ، recombinationحُظ ٫ ٢طليع َُِهخثن ػ٘ي أٓظويحّ )40(. DWS
29
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
رؼي طٌ٘ٓ َ٤طق حَُهخثن حُٔ٤ٌٗٞ٤ِ٤ش ،طو٠غ حَُهخثن ُِ٘طق حُلٔ( ٢٠أ :ٝحُظ٘ظ٤ق حُلٔ . )٢٠ك ٌٙٛ ٢حُوطٞس ،
طظْ اُحُش أ ١روخ٣خ ؿٔٔ٤خص رؼي حُظًَ٤ذ ٖٓ حُٔطق .رخٓظويحّ روخٍ كِ٣ٍٞي حُ٤ٜيٍٝؿ ٌٖٔ٣ ، )HF( ٖ٤كلَ ١زوخص
حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُٔئًٔيس ػِ ٠حًَُِ٤س رؼ٤يًح ػٖ ٓطق حَُهخهشٝ .حُ٘ظ٤ـش ٓ ٢ٛطق ٓزَِ ٌٖٔ٣طـل٤ل ٚرُٜٔٞش .رخٓظويحّ
ًِ٣ٍٞي حُ٤ٜيٍٝؿ ٌٖٔ٣ ، )HCl( ٖ٤حٓظٜخ ٙحُزوخ٣خ حُٔؼيٗ٤ش حُٔٞؿٞىس ػِ ٠حُٔطق رٞحٓطش حٌُِ٣ٍٞي ٝرخُظخُ ٢اُحُظٜخ
ٖٓ حَُهخهش )38(.
حٗ٫ظ٘خٍ ٞٛ diffusionك ٢حٓ٧خّ ػِٔ٤ش اٟخكش ٓخىس ٗخثزش dopantاٍُ ٠هخهش حُُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ـؼِٜخ أًؼَ ٓ٤ِٛٞش
ٌَُِٜرخء ٘ٛ .خى ٣َ١وظخٕ أٓخٓ٤ظخٕ ُٗ٬ظ٘خٍ : diffusionاٗظ٘خٍ حُلخُش حُِٜزش ٝ solid-state diffusionحٗظ٘خٍ
حُزخػغ )38( . emitter diffusion
حَُهخهخص حُظ ٢طْ ط٘٣ٞزٜخ ٓٔزوًخ رخُز ٖٓ ٍٕٝٞحُ٘ٞع pأػ٘خء ػِٔ٤ش حُٜذ ,أػ٘خء ػِٔ٤ش حٗ٫ظ٘خٍ طؼطٓ ٠طق
ٓخُذ ٖٓ( negative surfaceحُ٘ٞع )nػٖ ٣َ١ن ط٘٣ٞزٜخ رٜٔيٍ كٓٞل P ٍٞػ٘ي ىٍؿش كَحٍس ػخُ٤ش ٔٓ ،خ
٣ئى ١اُ ٠طٌِٛٝ ٖ٣ٞش حُٔخُذ –حُٔٞؿذ ( . ) p-n junction
ٌٙٛحُِٛٞش ُ٘و ٚحٌُ٩ظَ ٕٝك ٢حُ٘ٞع pحُٔ٘ٞرش رخُز ٝ ٍٕٝٞحُـ٘٤ش رخُلـٞحص حُٔٞؿزش ٝ ,طًَ ِ٤حٌُ٩ظَ ٕٝحُؼخُ٢
ك ٢حُ٘ٞع nحُٔ٘ٞرش رؼَٜ٘حُلٔلٔٔ٣ ٍٞق ٌُُ٪ظَٗٝخص حُِحثيس ٖٓ حُ٘ٞع nرخَُٔ ٍٝاُ ٠حُ٘ٞع ٞٛٝ ، pطيكن
ً
ٓـخ ٫اٌُظَ٤ً ٗٝخ ػ٘ي حُِٛٞش . p-n junction ٣وِن
ػِٔ٤ش حٗظ٘خٍ حُلخُش حُِٜزش ٢ٛٝ solid state diffusionػِٔ٤ش ٓزخَٗس ٣َ١ ٝوش ًٗٔٞؿ٤ش ٩ىهخٍ ًٍحص ٗخثزش
dopant atomsك ٢أٗزخ ٙحُٔ٬ٛٞص .
كٓ ٢ؼخُـش حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُِٔ٤ٌٗٞ٤ش ،ػخىس ٓخ طٌ ٕٞحًَُخثِ substrateح٤ُٝ٧ش ٓ٘ٞرش رٌَ٘ ٓٞكي ٓغ حُزٍٕٝٞ
حٌُ٣ ١ؼط ٢هخػيس ٖٓ حُ٘ٞع ٝ . pطظٌ١ ٕٞزوش حُزخػغ ٖٓ emitterحُ٘ٞع ٖٓ nه ٍ٬حُظ٘٣ٞذ رخُلٓٞل. ٍٞ
ػِٔ٤ش حٗظ٘خٍ ح٣ٌٍِٞ٤ًٔٝي حُلٔل٣َ١ POCl3 diffusion process ٍٞوش ٗخثؼش ٘ٗ٩خء ِٛٝش pn-junction
ُو٣٬خ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُ٘ٔٔ٤ش ًٔ.خ ك ٢حٌَُ٘ حُظخُ)11,9( ٢
31
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٌٖٔ٣إٔ ط ُؼِٗ ٟؼز٤ش حٗظ٘خٍ ٣َ١وش حُظ٘٣ٞذ POCl3اُ ٠حُظٌخُ٤ق حُٔ٘ول٠ش ٝ ،حٓ٫ظوَحٍ حُـ٤ي ٝ ،حُزٔخ١ش
حُ٘ٔز٤ش ٝ ،حٗ٩ظخؿ٤ش حُؼخُ٤ش ُٔؼيحص حٗ٩ظخؽ حُٔظخكش.
طٔض ىٍحٓش ػِٔ٤ش POCl3ػِٗ ٠طخم ٝحٓغ ٖٓ هزَ ٓـٔٞػخص رلؼ٤ش ٓوظِلش .ػ٘يٓخ طْ حٓظويحّ حٗظ٘خٍ حُلٓٞل ٍٞك٢
حُزيح٣ش ك ٢ط٤ٜ٘غ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ، Siطْ حٓظويحّ ٜٓخىٍ P2O5حُِٜزش ًٜٔيٍ ٗخثذ .رؼي ًُي ،طْ آظويحّ
ٗظَح ُظلٌٔ ٚح٧كٝ َ٠اٗظخؿ٤ظ ٚح٧ػِ. ٠
ً حٗظ٘خٍ ٜٓيٍ POCl3حُٔخثَ ػِٗ ٠طخم ٝحٓغ ,
ًخٗض ػِٔ٤خص حٗ٫ظ٘خٍ ٖٓ هطٞس ٝحكيس ٗخثؼش ك٤غ طْ حٓظويحّ ىٍؿش كَحٍس ٝحكيس ٝطيكن ٓٔظَٔ ُِـخُ حُٔولق ٌَُ
ٖٓ طَٓ٤ذ ُؿخؽ كٔلٌ٤ِ٤ٓٞخص (ٝ )PSGىكغ حُ٘ٞحثذ اُ ٠حُؼٔن حُٔطِٞد ٌٙٛ .ػِٔ٤ش َٓ٣ؼش ٌُٜ٘ٝخ طٔ َ٤اُ٠
اٗ٘خء رخػغ ٓ٘ٞد doped emitterرٌَ٘ ٓلَ ٝ ١رخُظخُ ٢طي ٍٞٛح٧ىحء حٌَُٜرخث)11,8(. ٢
31
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
رؼي حُؼِٔ٤ش حٌُٔٗٞش ٖٓ هطٞس ٝحكيس ٣ ،ظْ اؿَحء أًٔيس كَحٍ٣ش اٟخك٤ش أك٤خًٗخ ُيكغ حُ٘ٞحثذ اُ ٠ىحهَ حٌُٕٔٞ٤ِ٤
ٝطٌِ٘ٛٝ َ٤ش p-n junctionأػٔن .
ٌٖٔ٣أً٠٣خ اؿَحء ػِٔ٤ش POCl3رطَ٣وش ٖٓ هطٞط : ٖ٤هطٞس طَٓ٤ذ ٓ PSGظزٞػش روطٞس ه٤خىس (٣لظَٔ إٔ
طٌ ٕٞػ٘ي ىٍؿخص كَحٍس ٓوظِلش) .
أػ٘خء حُؼِٔ٤ش ُٔٔ٣ ،ق رـخُ POCl3كو ٢ك ٢هطٞس طَٓ٤ذ ٝ ، PSGرؼي ًُي ٣ظْ ٗوَ حُ٘ٞحثذ رٌَ٘ أػٔن ٖٓ
PSGاُِ٤ًٍ ٠س حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ك ٢هطٞس حُو٤خىس )11,8(.
32
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٌٖٔ٣طؤ ْ٤حٗظ٘خٍ POCl3حُظوِ٤ي ١حٌُٔ ٖٓ ٕٞهطٞط ٖ٤ػَِٓ ٠كِظ :ٖ٤طَٓذ ١زوش ٓ ٝ PSGلَى ُظلَ٣ي
حُلٓٞل ٍٞاُ ٠ػٔن أًزَ ك ٢حُٔ. ٌٕٞ٤ِ٤
٣ؼي حٗظ٘خٍ حُزخػغ emitter diffusionأكي حُوطٞحص حُلَحٍ٣ش حُلخٓٔش ك ٢ط٤ٜ٘غ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُٜ٘خػ٤ش .
٣ظٌ ٕٞحُزخػغ ٖٓ حُ٘ٞع ُ nو٣٬خ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُ٘ٔٔ٤ش ٖٓ حُ٘ٞع pحُزِ ١ٍٞػٖ ٣َ١ن حٗظ٘خٍ حُلٓٞل . )P( ٍٞك٢
ػِٔ٤ش حٗ٫ظ٘خٍ ٣ ،ظْ آٍخٍ ٍهخثن حُٔ Si ٌٕٞ٤ِ٤حُ ٠حُلَٕ ٝطؼَٜ٠٣خ ػ٘ي 900 - 800ىٍؿش ٓج٣ٞش ٌُِ٣ٍٞي
حُلٓٞل ٝ )POCl3( َ٣ٍٞحًٔ٧ـٔٓ O2 ٖ٤خ ٣ئى ١اُ ٠طَٓذ PSGػِ ٠أٓطق ٍهخهش حُٔ . Si ٌٕٞ٤ِ٤طٌٔٔٙٛ ٠
حُوطٞس رخُظَٓ٤ذ حُٔٔزن ،ك٤غ ٣ؼَٔ ًٜٔ PSGيٍ ُٔخىس حُلٓٞلُ )P( ٍٞظ٘ظَ٘ كٍ ٢هخهش حُٔ. Si ٌٕٞ٤ِ٤
حُوطٞس حُظخُ٤ش ٢ٛحُو٤خىس ، drive-inك٤غ ٣ظْ ك َٜآيحى حُـخُحص حُ٘خثزش ٘٣ٝظَ٘ ١ ٖٓ Pزوش PSGرٌَ٘ أًزَ
كٍ ٢هخهش . Si
٣ـذ َٓحػخس ػ٬ػش طؤػَ٤حص ٓوظِلش .أ ، ً٫ٝحٗظ٘خٍ حُلٔلٝ ٝ PSG ٖٓ P ٍٞؿٞى ٙك ٢حُلخ٫ص حُ٘٘طش ًَٜرخث ً٤خ ٝ
ؿ َ٤حُ٘٘طش كٍ ٢هخهش . Si
٣ظْ ه٤خّ ػِٔ٤ش حٗ٫ظ٘خٍ رٞحٓطش ٓوخٓٝش حُٞ٧حف حُظ ٢طؼظٔي ػِ ٠ػٔن ِٛٝش ٝ p-n junctionطًَ ِ٤حُلٔل. P ٍٞ
ٝطـيٍ حٗ٩خٍس اُ ٠إٔ ػِٔ٤ش حٗ٫ظ٘خٍ طليع ك ٢حُـخٗذ حٓ٧خٓ( FS ٢حُٔؼَٟش ٓزخَٗس ُِـخُحص) ًٌُٝي ػِ ٠حُلٞحف
ٝحُـخٗذ حُوِل . RS ٢اًح ُْ ٣ظْ ط٘ل ٌ٤ػِٔ٤ش ػٍِ حُلٞحف كٔ ٌٕٞ٤حُزخػغ ىحثَس هٓ short-circuit َٜغ حًَُِ٤س
ٟٞ٣ .ق حٌَُ٘ حُظخُ ٢ػِٔ٤ش حٗظ٘خٍ POCl3كٗ ٢ظخّ أٗزٞد ًٞحٍطِ ٓـِن ٜٓ ٞٛ POCl3 ,يٍ ٓخثَ ٣ظْ طٞكَٙ٤
ٗ٧زٞد حُؼِٔ٤ش رـَٔ ٙرـخُ , N2ػٖ ٣َ١ن هِٓ O2 ٢غ ًٔ , POCl3خ ٟٓٞق ك ٢حٌَُ٘ ح٧طٌٕٞ٤ٓ ، )11( ٢
٘ٛخى ُٗٔ ٞطزوش ًٔ , PSGخ ٟٞٓ ٞٛق ك ٢حُٔؼخىُش :
33
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ػِٓ ٠طق حُٔ٣ ، Si ٌٕٞ٤ِ٤ظْ طل 2 P2O5 َ٣ٞاُ ٠ػ٘ َٜحُلٓٞل ٍٞأػ٘خء هطٞس حُو٤خىس ًٔ drive-in stepخ ٞٛ
ٟٓٞق ك ٢حُٔؼخىُش )11( :
ٔ٣ظويّ ًٜٔ PSGيٍ ُِو٤خىس drive-inكًٍ ٢حص حُلٔل P ٍٞآُ ٠طق حُٔ . Si ٌٕٞ٤ِ٤أػ٘خء ػِٔ٤ش حُو٤خىس
٣ ، drive-in processظْ ا٣وخف ٣ٝ POCl3ظْ اٟخكش كوُ O2 ٢ز٘خء ١زوش أًٔ٤ي ٍه٤وش أٓلَ ُ PSGظؼِِ٣
حٗظ٘خٍ ًٍحص حُلٔل P ٍٞكٓ ٢طق حُٔ. Si ٌٕٞ٤ِ٤
34
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٞ٣ؿي ىحهَ أٗزٞد حٗ٫ظ٘خٍ هْٔ ٓ٘خ١ن طٔؤً ٖ٤خ ٟٞٓ ٞٛق ك ٢حٌَُ٘ حُظخُ. ٢
• ٓ٘طوش حُظلٔ - Loading zone )LZ( َ٤حُٔ٘طوش حُظ٣ ٢ظْ طلٔ َ٤حَُهخهخص ٜٓ٘خ ك ٢حٗ٧زٞد.
• ٓ٘طوش حُظلٔ َ٤حًَُِٔ٣ش ( - Center loading zone )CLZحُٔ٘طوش حُٞحهؼش ر٘ٓ ٖ٤طوش حُظلٔٝ َ٤حُٔ٘طوش
حًَُِٔ٣ش.
• ٓ٘طوش حُـخُ حًَُِٔ٣ش ( - Center gas zone )CGZحُٔ٘طوش حُٞحهؼش ر٘ٓ ٖ٤طوش حًَُِٔ ٘ٓٝطوش حُـخُ.
• ٓ٘طوش حُـخُ ( - Gas zone )GZحُٔ٘طوش حُظ ٢طوَؽ ٜٓ٘خ حُـخُحص ػزَ حُؼخىّ.
ػخىسً ٓخ ٣ظْ ٟز ٢ىٍؿخص كَحٍس ًَ ٓ٘طوش طٔوُِ ٖ٤ل ٍٜٞػِٓ ٠وخٓٝش ٓ emitter sheet resistanceظٔخ٣ٝش
ُـٔ٤غ حَُهخهخص ًٔ .خ ك ٢حٌَُ٘ حُظخُ)9( ٢
35
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
٣ـذ إٔ طٌ ٕٞر٤جش ػِٔ٤ش حٗ٫ظ٘خٍ ٗظ٤لش ُِـخ٣ش ٝرخُظخُ٣ ٢ظْ حٓظويحّ ٓخىس حٌُٞحٍطِ ُٗ٨خر٤ذ .طئػَ أً٠٣خ ٗظخكش حٗ٧خر٤ذ
ٗظَح ُؼيّ ٝؿٞى روخ٣خ ك ٢حٗ٧زٞد ك ٢حٗظ٘خٍ حُط ٍٞحُـخُ ، ١كبٗ٘٣ ٚظؾ ػ٘ٚ ٤ٛٝخٗش ٓ٘طوش حُظلٔ َ٤ػِٗ ٠ظخثؾ حُؼِٔ٤شً .
ً
ػِٔ٤ش أٗظق .حُظلٔ َ٤ك ٢ظَٝف حُ٠ـ ٢حُٔ٘ول٣ُ ٌٖٔ٣ )LP( ٞخىس حٗ٩ظخؿ٤ش .ػخىس ٓخ ٣ظْ طلٍٔ 1000 َ٤هخهش ك٢
أٗزٞد ٝحكي ٝرؤٔش أٗخر٤ذ حٗظ٘خٍ كٗ ٢ظخّ َٗ٘ ٖٓ ٗٞع حُيُكؼخص .
ًٔخ طْ حٓظويحّ ٗظخّ حٗ٫ظ٘خٍ حُٔ inline diffusion system ٖٔ٠ك٤غ ٣ظْ ٗوَ حَُهخهخص ػِ ٠كِحّ ٓغ كٔٞ
حُلٓٞل٣ٍٞي ًٜٔيٍ ُٔٞحى حُظ٘٣ٞذ رخُلٔل P dopants ٍٞك ٢حٗ٩ظخؽ حُظـخٍٓٝ . ١غ ًُي ،رخُٔوخٍٗش ٓغ حُؼِٔ٤ش
حُٔ٘ٔ٠ش ،كبٕ ػِٔ٤ش حُيُكؼخص أًؼَ ٗظخكش ٝكؼخُ٤ش ًٝلخءس .
رخُ٘ٔزش ُِو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٖٓ حُ٘ٞع nأٓ ٝلخ ْ٤ٛحُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُٔظويٓش ٓؼَ ٣ ، PERTؼظٔي حٗظ٘خٍ حُيُكؼخص ٖٓ
حُ٘ٞع pػِٜٓ ٠خىٍ حُز )B( ٍٕٝٞحُٔ٘زؼش ٓؼَ ػ٬ػ ٢رَ٤ٓٝي حُز. )BBr3( ٍٕٝٞ
أػ٘خء ػِٔ٤ش حٗ٫ظ٘خٍ ٘٣ ،ظَ٘ حُلٓٞل ٖٓ ٍٞحُ٘ٞع ْ٤ُ nكو ٢كٓ ٢طق حَُهخهش حُٔطِٞد ط٘٣ٞزٜخ ٌُٖٝ ,أً٠٣خ
ٓٔخٍح ًَٜرخثً٤خ ر ٖ٤حُٔطق حٓ٧خٓٝ ٢حُوِلَُِ ٢هخثن ٝرٌٜٙ
ً ك ٍٞكٞحف حَُهخهش ًٌُٝي ػِ ٠حُـخٗذ حُوِلٔٓ ، ٢خ ٣وِن
حُطَ٣وش ٘ٔ٣غ حُؼٍِ حٌَُٜرخث ٢ر ٖ٤ؿخٗز ٢حَُهخهش ٌٛٝح أَٓ ِٓز . ٢حُٜيف ٖٓ ػِٔ٤ش حُللَ ٝػٍِ حُلٞحف ٞٛاُحُش
ٌٛح حُٔٔخٍ حٌَُٜرخث ٢ك ٍٞكخكش حَُهخهش رٞحٓطش طٌي ْ٣أهَح ٙحُو٣٬خ كٞم رؼٜ٠خ حُزؼ , ٞػْ طؼَٜ٠٣خ اُ ٠ؿَكش
حُللَ رخُزُٓ٬خ plasma etching chamberرخٓظويحّ ٍرخػ ٢كِ ٍٝٞحُٔ٤ؼخٕ (ُ )CF4للَ حُلٞحف حُٔؼَٟش .
رؼي حُللَ ،طزو ٠آٌخٗ٤ش ٝؿٞى روخ٣خ حُـٔٔ٤خص ػِ ٠حَُهخهش ٝكٞحكٜخ ٌُُ .ي طلظخؽ حَُهخهخص اُ ٠حُـٔ َ٤حُؼخُٗ٩ ٢حُش
روخ٣خ ػِٔ٤ش حُللَ حُٔخروش .رؼي ٌٛح حُـٔ َ٤حُؼخٗٓ ٌٖٔ٣ ، ٢ؼخُـش حَُهخثن أً٠٣خ رظَٓ٤ذ حُط٬ء حُٔ٠خى ُٗ٬ؼٌخّ
(. anti-reflective coating )ARC
36
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
رخٟ٩خكش اُ ٠طٌ٘ٓ َ٤طق حَُهخثن ، surface texturingؿخُزًخ ٓخ ٣ظْ ٬١ء حُٔطق رطزوش ٓ٠خىس ُٗ٪ؼٌخّ
ُ ARCظوِ َ٤حٗ٫ؼٌخّ ٣ُٝخىس ًٔ٤ش حُٞ٠ء حُٔٔظ ٚك ٢حُوِ٤ش .
٣ؼٌْ ٓطق حُٔ Si ٌٕٞ٤ِ٤حُؼخٍ ١أًؼَ ٖٓ ٖٓ ٪30حُٞ٠ء حُٔخه . ٢طؼَٔ ػِٔ٤ش حُظٌ٘ texturing َ٤ػِ ٠طلٖٔ٤
حُظوخ ١حُٞ٠ء ٖٓ .حُٔٔظلٖٔ طوِ َ٤حٗ٫ؼٌخّ حٌُ٣ ١ظْ حُل ٍٜٞػِ ٚ٤ػٖ ٣َ١ن طَٓ٤ذ ١زوش . ARC
ًٔخ طْ حٓظويحّ أًٔ٤ي حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُٔ٘٠ؾ كَحٍ٣خ ً ( thermally grown silicon oxide )SiO2أً٠٣خ ًٔخىس
طؤ passivation material َ٤ك ٢ه٣٬خ حُزخػغ حُوِل٤ش حُٔ٘ظَ٘س ٓٞهؼ٤خ ً (passivation emitter )PERL
. rear locallyؿؼِض حُٔؼخُـش حُلَحٍ٣ش حُؼخُ٤ش ٝ ٝهض حُٔؼخُـش حُط َ٣ٞحُظؤ َ٤حُوخثْ ػِ SiO2 ٠ؿ٘ٓ َ٤خٓذ
ُٗ٪ظخؽ حُ٠وْ ُِو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش .
ػِٔ٤ش طَٓ٤ذ حُزوخٍ حٌُ٤ٔ٤خث ٢حُٔلٖٔ رخُزُٓ٬خ (٘ٓ )PECVDخٓزش ُظَٓ٤ذ ١زوش SiNx: H ٖٓ ARC
ٝحُظ ٫ ٢طوَِ حٗ٫ؼٌخّ كلٔذ ،رَ طؤَ أً٠٣خ رخػغ حُـخٗذ حٓ٧خٓ ٖٓ ٢حُ٘ٞع passivated front-side n- n
ٝ type emitterرخُظخُ ٢طلًٔ ٖ٤لخءس حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش .
٣ظ َٜحٌَُ٘ حُظوط٤طُ٘ ٢ظخّ ٞٗ ٖٓ PECVDع حُيُكؼخص Batch- typeك ٢حٌَُ٘ حُظخُ٣ . )38( ٢ظْ طلَٔ٤
حَُهخهخص ك ٢كخكظش ٖٓ حُـَحك٤ض ٓغ ٓٞحؿٜش حُـٞحٗذ حٓ٧خٓ٤ش ُزؼٜ٠خ حُزؼ . ٞطو ّٞرُٓ٬خ حُظَىى حَُحىRF ١ٞ٣
plasmaػِ ٠أٓخّ ؿخُحص ح٤ٗٞٓ٧خ ( ٝ )NH3حُٔ )SiH4( ٕ٬٤حُظ ٢طؼَٔ ػ٘ي ىٍؿش كَحٍس 450-400ىٍؿش
ٓج٣ٞش رظَٓ٤ذ ١زوش SiNx: Hحُٜٔيٍؿش كٔذ حُٔؼخىُش حُظخُ٤ش )38(.
37
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
٣ظْ حُظلٌْ كٓ ٢ؼخَٓ حٌٔٗ٫خٍ (ُ )RIـ٘خء SiNx: Hرٞحٓطش ٗٔزش ؿخُ ، SiH4 / NH3رٔ٘٤خ طؼظٔي حُٔٔخًش
ػِٓ ٠يس حُظَٓ٤ذ ُ ٌٖٔ٣ .ـ ARCحُٔٔظ٘يس اُ SiNx:H ٠طوِ َ٤حٗ٫ؼٌخّ ُطٞٓ ٍٞؿش ٝحكي .
38
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
رخُ٘ٔزش ُِو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٣ ،ظْ حهظ٤خٍ ٝ RIحُٔٔي ُظوِ َ٤حٗ٫ؼٌخّ ػ٘ي ٞٓ ٍٞ١ؿش ٣زِؾ ٗ 600خٗٓٞظَ ك٤غ اٜٗخ
ًٍٝس حُط٤ق حُ٘ٔٔ . ٢حُٔٔخًش حًُ٘ٔٞؿ٤ش ُـ ٗ 85-80 ٢ٛ SiNx: H ARCخٗٓٞظَ ٓغ ( ) RI 2.0-2.1
ٓٔخ ٣ؼط ٢حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ًُٗ ٞخ ٖٓ حٍُ٧م اُ ٠حٍُ٧م حُز٘لٔـ. ٢
ٖٓ حُٔ٬ٓ ْٜكظش إ ٗٔ٤ؾ حُٔطق ٣ ARC ُٕٞ ٝ surface textureؼظٔي ػِ ٠هٜخث ٚحُظَٓ٤ذ حُٔليىس .
٘ٛخى ٓـٔٞػش ٓظ٘ٞػش ٖٓ حُٞكيحص حُ٘ٔٔ٤ش ك٤غ ُٕٞ ٌٕٞ٣حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش أؿٔن ػِ ٠ػٌْ حُِ ٕٞحٍُ٧م
حًُ٘ٔٞؿ. ٢
٣ظ َٜحٌَُ٘ حُظخٍُٞٛ )a( ٢س طٔؼ٤ِ٤ش ُوِ٤ش ٗٔٔ٤ش ٓظؼيىس حُزٍِٞحص ٓغ ، SiNx: Hرٔ٘٤خ ٣ظ َٜطزخُٕٞ ٖ٣
SiNx: Hر٘خ ًء ػٌِٜٔٓ ٠خ ك ٢حٌَُ٘ ()38( . )b
39
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
إٔ ١زوش ( ) SiNx:Hؿ٘ٓ َ٤خٓذ ُظؤ َ٤حُٔٞٗ ٖٓ ٌٕٞ٤ِ٤ع ٝ ) p-type Si ( pرخُظخُ ٢طٔظويّ ػٞحٍُ ًَٜرخث٤ش
ٓؼَ أًٔ٤ي حُ Al2O3 ّٞ٤ُ٘ٔ٧ظؤ َ٤حُـخٗذ حُوِلُ RS ٢ز٘٤ش حُوِ٤ش ٓؼَ ه٣٬خ حُـ PERCأُِ ٝزٞحػغ ٖٓ حُ٘ٞع
pك ٢حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٖٓ حُ٘ٞع . ) p-type emitters in n-type solar cells ) n
ك٘ٛ ٢خػش أٗزخ ٙحُٔ٬ٛٞص ٘ٛ ،خى ػ٬ع َ١م أٓخٓ٤ش ُظَٓ٤ذ حُطزوخص حَُه٤وش ػِ ٠حَُهخثن حُٔ٤ٌٗٞ٤ِ٤ش : ٢ٛٝ ،
Low Pressure Chemical Vapor Deposition LPCVD طَٓ٤ذ حُزوخٍ ً٤ٔ٤خث٘ٓ ٢ول ٞحُ٠ـ٢
طَٓذ روخٍ ً٤ٔ٤خث٘ٓ ٢ول ٞحُ٠ـ )LPCVD( ٢ػزخٍس ػٖ طو٘٤ش طَٓ٤ذ روخٍ ً٤ٔ٤خث ٢طٔظويّ حُلَحٍس ُزيء طلخػَ
ؿخُ حُٔٞحى ح٤ُٝ٧ش ػِ ٠حًَُِ٤س حُِٜزش ) ٌٛ ) Solid substrateح حُظلخػَ ػِ ٠حُٔطق ٓ ٞٛخ ٓ ٌَ٘٣خىس حُطٍٞ
حُِٜذ ( ٔ٣ . ) solid phase materialظويّ حُ٠ـ ٢حُٔ٘ولُ )LP( ٞظوِ َ٤أ ١طلخػ٬ص ٍٞ١ؿخُ ؿَٓ َ٤ؿٞد
كًٌُٝ ، ٚ٤ي ٣ِ٣ي ٖٓ حٗ٫ظظخّ ػزَ حًَُِ٤س ٣ .ظ ٖٔ٠ػِٔ٤ش حُظَٓ٤ذ حُظ٣ ٢ـذ اؿَحإٛخ ك ٢أكَحٕ حٗ٧زٞد ٝطظطِذ
ىٍؿخص كَحٍس ػخُ٤ش .
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition طَٓ٤ذ حُزوخٍ حٌُ٤ٔ٤خث ٢حُٔلٖٔ رخُزُٓ٬خ
PECVD
طَٓ٤ذ حُزوخٍ حٌُ٤ٔ٤خث ٢حُٔلٖٔ رخُزُٓ٬خ ( ٞٛ )PECVDػِٔ٤ش طَٓ٤ذ روخٍ ً٤ٔ٤خث ٢طٔظويّ ُظَٓ٤ذ أؿ٘٤ش
ٍه٤وش ٖٓ كخُش ؿخُ٣ش (روخٍ) اُ ٠كخُش ِٛزش ػِِ٤ًٍ ٠س . substrateطيهَ حُظلخػ٬ص حٌُ٤ٔ٤خث٤ش ك ٢حُؼِٔ٤ش ٝ ،حُظ٢
طليع رؼي طٌ ٖ٣ٞرُٓ٬خ حُـخُحص حُٔظلخػِش٣ .ظْ اٗ٘خء حُزُٓ٬خ رٌَ٘ ػخّ ػٖ ٣َ١ن طَىى حَُحى( )RF( ٞ٣حُظ٤خٍ حُٔظَىى
( ) )ACأ ٝطلَ٣ؾ حُظ٤خٍ حُٔزخَٗ ( )DCر ٖ٤هطز٣ ، ٖ٤ظْ َٓء حُلَحؽ رٜٔ٘٤خ رخُـخُحص حُٔظلخػِش ٢ٛٝ .حُطَ٣وش حً٧ؼَ
ٗٞ٤ػًخ ُظَٓ٤ذ ٬١ء ARػِٓ ٠طق حَُهخهش .ك ٢ػِٔ٤ش ٞ٣ ، PECVDؿي حُـ٬ف حَُه٤ن ك ٢كخُش ؿخُ٣ش ٖٓ ٝ
ه ٍ٬ػِٔ٤ش طلخػَ ً٤ٔ٤خث ٢طظِٜذ ػِٓ ٠طق حَُهخهش .
41
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition طَٓ٤ذ حُزوخٍ حٌُ٤ٔ٤خث ٢رخُ٠ـ ٢حُـ١ٞ
APCVD
٣َ١وش ط٤ُٞق ك٤غ طظؼَ ٝحًَُِ٤س ُٞحكي أ ٝأًؼَ ٖٓ حُٔٞحى حُٔظطخَ٣س ،ػ٘ي حُ٠ـ ٢حُـٝ ، ١ٞحُظ ٢طظلخػَ أ ٝطظلَِ
ػِ ٠حُٔطق ٗ٩ظخؽ ٍٝحٓذ ٞ٣ .كَ طَٓ٤ذ حُزوخٍ حٌُ٤ٔ٤خث ٢رخُ٠ـ ٢حُـ ١ٞكً ٓٝ ً٬طخ ر ٖ٤حٌُلخءس ٝآٌخٗ٤ش حُظلٌْ
ٝحُظ٘ـ َ٤حُٔٔظخُ ُِظٌَحٍ ك ٢طـط٤ش ح٧ؿ٘٤ش حَُه٤وش ػِ ٠حًَُخثِ.
طٌ ٕٞحٌُلخءس ٝحُـٞىس أػِ ٠رٌَ٘ ػخّ ٖٓ طلخػ٬ص حَُٔكِش حُٔخثِش رٔزذ حُظلٌْ حُٔٔظخُ ك ٢حُٔطق ر ٖ٤حُـ٘خء
ٝحًَُِ٤س ٔ٣ .ظويّ كو ٢ك ٢ػيى هِ ٖٓ َ٤حُظطز٤وخص ٣ٝظطِذ ىٍؿخص كَحٍس ػخُ٤ش .
ك ٢حُوطٞس حُظخُ٤ش ،طظْ ١زخػش هطٓ ١ٞؼيٗ٤ش metal inlinesػِٓ ٠طق حَُهخهش رٜيف اٗ٘خء ٓ٬ٛٞص أ٤ٓٝش
. ohmic contactsطظْ ١زخػش ٌٙٛحُوط ١ٞحُٔؼيٗ٤ش ػِ ٠حُـخٗذ حُوِل ٖٓ ٢حَُهخهش ٓ ٞٛٝ ،خ ٠ٔٔ٣حُطزخػش
حُوِل٤ش . backside printing
٣ظْ طلو٤ن ًُي ٖٓ ه١ ٍ٬زخػش حُٔؼخؿ ٖ٤حُٔؼيٗ٤ش metal pastesرؤؿِٜس ١زخػش ٓطل٤ش هخٛش screen
printingط٠غ ٌٙٛحُوط ١ٞحُٔؼيٗ٤ش ػِ ٠حُـخٗذ حُوِل . ٢رؼي حُطزخػش ،طو٠غ حَُهخهش ُؼِٔ٤ش طـل٤ق drying
. processرٔـَى إٔ طـق ،طظزغ ٌٙٛحُؼِٔ٤ش ١زخػش حُٔ٬ٛٞص ػِ ٠حُـخٗذ حٓ٧خٓ ، ٢ػْ طـلق حَُهخهش َٓس أهَ. ٟ
هطٞس حُٔؼخُـش ح٧هَ٤س ُظ٤ٜ٘غ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٓ ٢ٛؼخُـش حُـخٗذ حٓ٧خٓ ٝ FS ٢حُـخٗذ حُوِلRS ٢
ٓ٫ظوَحؽ حُطخهش رؤهَ هٔخثَ ٓوخٓٝش .حُل٠ش ٓ ٢ٛ Agخىس ط َ٤ٛٞؿ٤يس ُِزخػغ ٖٓ emitterحُ٘ٞع ، nرٔ٘٤خ
٣و ّٞح Al ّٞ٤ُ٘ٔ٧رؼَٔ ط َ٤ٛٞؿ٤ي ؿيًح ٓغ حًَُِ٤س ٖٓ حُ٘ٞع ٣ . pظْ حٓظويحّ ِٓ٣ؾ ٖٓ ػـ٘٤ش ٓؼيٗ٤ش
ُ Ag / Alطزخػش ط٬٤ٛٞص padsػِ ٠حُـخٗذ حُوِلُ RS ٢ظٔ َ٤ٜحُظَحر ٢ر ٖ٤حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ك ٢حُِٞف حُ٘ٔٔ٢
.طٔؼ َ٤طوط٤طُ ٢ؼِٔ٤ش ١زخػش حُٔطق ك ٢حٌَُ٘ حُظخُ)38( : ٢
41
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
42
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
٘٣ظَ٘ حُٔؼـ ٕٞحُٔؼيٗ metal paste ٢ػِ ٠حُٔطق ػزَ حُـَٔ floodك ٢ػِٔ٤ش طٔٔ ٠كًَش حُٔٔٔلش
squeegee movementحُظ ٢طَٓذ حُؼـ٘٤ش حُٔؼيٗ٤ش ػِ ٠حُوِ٤ش ر٘خ ًء ػِ ٢ٔٗ ٠حُٔطق . screen-pattern
٣ظْ ٟٝغ ػـ٘٤ش ٓؼيٗ٤ش ًٗٔٞؿ٤ش ُٔ٬ٛٞص حُل٠ش/أُُِٔ٘ ّٞ٤ـخٗذ حُوِل ، ) Ag / Al - RS ( ٢أ٬ٛٞٓ ٝص أُّٔ٘ٞ٤
( ٬ٛٞٓ ٝ ) RS- Alص ك٠ش ُِـخٗذ حٓ٫خٓ. ) FS- Ag ( ٢
ٓغ هخ٤ٛش حُٔطق ٟٝ ٝ ٌٙٛغ ٓؼـٓ ٕٞؼيٗ ٢ؿ٤ي ٣ ،ـذ حُل ٍٜٞػِٓ ٠ؼخَٓ ِٓت ( ) Fill-Factor FFػخرض
ر٘ٔزش أًزَ ٖٓ ُِ ٪ 80و٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٓ Al-BSFغ كويحٕ طظِٟٞ َ٤ث ٢ر٘ٔزش أهَ ٖٓ . ٪ 6
حُظـل٤ق ٝحُلَم حَُٔ٣غ ُِٔؼخؿ ٖ٤حُٔؼيٗ٤ش Drying and fast Firing of Metallization pastes
طظٌ ٕٞحُٔؼخؿ ٖ٤حُٔؼيٗ٤ش ٖٓ ٓٔلٞم ٓؼيٗ٣ٌٓٝ ٢زخص ٞٓٝحى ٍحرطش ػ٣ٞ٠ش .ك ٢كخُش ػـ٘٤ش حُل٠ش ُِـخٗذ حٓ٧خٓ٢
( ، ) FS Ag-pasteطلظ ١ٞحُؼـ٘٤ش حُٔؼيٗ٤ش أً٠٣خ ػُِ ٠ؿخؽ glass-fritػ٘يٛخ ٣للَ ١زوش حُـ ( ) SiNx: H
٣ ٝظٓ ْٓ٬غ حُزخػغ ٖٓ حُ٘ٞع . ) n-type emitter ( n
٣ظْ طـل٤ق حُٔؼخؿ ٖ٤حُٔؼيٗ٤ش رؼي حُطزخػش ٣ٝ ،ظْ آٍخُٜخ حُ ٠كَٕ حُلَم حَُٔ٣غ ( ) fast-firing furnace
ُِظِز٤ي ٝ sinteringطٌ٘ َ٤ط٬٤ٛٞص حُِ ّٞ٤ُ٘ٔ٫ـخٗذ حُوِل٬ٛٞٓ ٝ ) RS Al- BSF ( ٢ص حُل٠ش ُِـخٗذ
حٓ٧خٟٓٞ٣ . ) FS Ag-contact ( ٢ق حٌَُ٘ أىٗخٓ ٙؼخ ً٫ػِ ٠كَٕ حُلَم حَُٔ٣غ ٓغ ِٓق طؼَ٣ق ىٍؿش حُلَحٍس .
()9
43
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٟٞ٣ٝق حٌَُ٘ حُظخُ ٢ػِٔ٤ش طِز٤ي اٛزغ حُل٠ش ُِـخٗذ حٓ٧خٓ)9(. ) FS Ag-finger ( ٢
ػ٘يٓخ طَٔ حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ػزَ كَٕ حُلَم حَُٔ٣غ ٣ ،ظْ كَم حُٔٞحى حُؼ٣ٞ٠ش ٝ ،طظزؼٜخ ػِٔ٤ش ٣ِٓ َٜٛؾ حُِؿخؽ
ٝ glass-fritأهَ٤ح ً طٌ ٖ٣ٞرٍِٞحص حُل٠ش Agحُظ ٢ط ْٓ٬حُزخػغ ٖٓ حُ٘ٞع ٣ . nـذ ٟزِٓ ٢ق حُلَم ر٘خ ًء ػِ٠
أٗٞحع ٓؼ٘٤ش ٖٓ حُٔؼخؿ ٖ٤حُٔؼيٗ٤ش ِٓ ٝق حٗظ٘خٍ حُزخػغ .
ً
حطٜخ ٫أً٤ٓٝخ ؿ٤يًح ػِ٠ ػِٓ ٠ز َ٤حُٔؼخٍ ٌٖٔ٣ ،إٔ طٌ ٕٞأػِ ٠ىٍؿش كَحٍس كَم طٌ٘ٓ ٕٞول٠ش رخُ٘ٔزش ُظٌَ٘٤
حُـخٗذ حٓ٧خٓ ، FS ٢رٔ٘٤خ ٌٖٔ٣إٔ طئى ١ىٍؿش حُلَحٍس حَُٔطلؼش ؿيًح اُ ٠حٗظ٘خٍ حُل٠ش Ag-diffusionهٍ٬
ِٛٝش ٝ p-nطل َ٣ٞحُِٛٞش ( طـٞٓ َ٤٤هغ ِٛٝش . ) p-n
44
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
٣ظ َٜحٌَُ٘ حُظخٍُٞٛ ٢س ُوِ٤ش ٗٔٔ٤ش ٓ Al-BSFظؼيىس حُزٍِٞحص ًخِٓش )14( .
حٗول٠ض طٌِلش حُؼٞحَٓ حُٔوظِلش كٓ ٢ؼخُـش حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ػِ َٓ ٠حُٔ٘ ، ٖ٤رٔ٘٤خ ٫طِحٍ ٓٔخٔٛش ٓ٬ٛٞص حُل٠ش
Agحٓ٧خٓ٤ش ٢ٛحً٧ؼَ أ٤ٔٛش .
طْ اٗـخُ هيٍ ًز ٖٓ َ٤حُؼَٔ ٓ٫ظزيحٍ حُل٠ش Agرٔؼيٕ ريٓ َ٣ؼَ حُ٘لخّ ( )Cuحٌُ ُٚ ١هٔ٤ش ط َ٤ٛٞهَ٣زش ؿيًح ٖٓ
حُل٠ش ًٔ ، Agخ ٞ٣كَ ِٓ٤س طٌِلش ًزَ٤س ٓلظِٔش ٣ .ظٔ ِ٤حُ٘لخّ رخٗظ٘خٍ ػخُ ٝ ٢هخرِ٤ش ٌُِٝرخٕ ك ٢حُٔSi ٌٕٞ٤ِ٤
ٝرخُظخُ٣ ٢ظْ طَٓ٤ذ ١زوش كخؿِ ٓؼَ حُ٘ )Ni( ٌَ٤ػِ ٠حُٔ Si ٌٕٞ٤ِ٤هزَ ٬١ء حُ٘لخّ .
طظطِذ ػِٔ٤ش حُظؼي ٖ٣ػِ ٠حُـخٗذ حٓ٧خٓ front-side metallization ٢حُوخثْ ػِٗ -ٌَ٤ٗ ٠لخّ Ni-Cuهطٞس
كلَ اٟخك٤ش ُـ ARCك ٢حُـخٗذ حٓ٧خٓ ٢ػِ ٠ػٌْ حُظؼي ٖ٣حُوخثْ ػِ ٠ػـ٘٤ش حُل٠ش ٝ Agكٓ ٢ؼظْ حُلخ٫ص أً٠٣خ
هطٞس طِز٤ي sinteringاٟخك٤ش ٖٓ حُُ٘ Ni ٌَ٤ظوِٓ َ٤وخٓٝش حُظٝ ْٓ٬حُل ٍٜٞػِ ٠حُظٜخم ؿ٤ي ُِٔ َٛٞحُٔؼيٗ. ٢
45
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
أى ٟحُظلٔ ٖ٤حُٔٔظَٔ كٓ ٢ؼخؿ ٖ٤حُل٠ش ُِ Agـخٗذ حٓ٧خٓ FS ٢ؿ٘زًخ اُ ٠ؿ٘ذ ٓغ حُزٔخ١ش ٝحُٔٞػٞه٤ش ٝحٗ٩ظخؿ٤ش
حُؼخُ٤ش ُؼِٔ٤ش ١زخػش حُٔطق اُٛ ٠ؼٞرش حُظؼي ٖ٣حُوخثْ ػِٗ – ٌَ٤ٗ ٠لخّ ُِ Ni-Cu basedظ٘خكْ ٓغ حُظؼيٖ٣
حُوخثْ ػِ ٠حُل٠ش ُِ Agـخٗذ حٓ٧خٓ. FS ٢
رؼي إٔ طٔض ١زخػش حُٔ٬ٛٞص حُٔؼيٗ٤ش ػِ ٠حُـخٗز ٖ٤حُوِل ٝ rear side ٢حٓ٧خٓ ٝ ، front side ٢طْ طََٔ٣
حَُهخثن حُٔطزٞػش ػزَ كَٕ حُظِز٤ي ُ sintering furnaceظِٜذ حُٔؼخؿ ٖ٤حُٔؼيٗ٤ش حُـخكش ػِ ٠حَُهخثن .رؼي ًُي ،
٣ظْ طزَ٣ي حَُهخثن ٌٖٔ٣ٝرخُلؼَ طٔٔ٤ظٜخ رخُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش .
ك ٌٙٛ ٢حُؼِٔ٤ش حُٜ٘خث٤ش ٣ ،ظْ حهظزخٍ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُـخِٛس ُِظـٔ٤غ طلض ظَٝف ٓلخًخس ٗ٧ؼش حُْ٘ٔ ػْ ٣ظْ
ط٤ٜ٘لٜخ ٝكَُٛخ ٝكوًخ ٌُلخءطٜخ ٣ .ظْ حُظؼخَٓ ٓغ ٌٛح رٞحٓطش ؿٜخُ حهظزخٍ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حٌُ٣ ١و ّٞطِوخثً٤خ رخ٫هظزخٍ .
ٓخ ٓخىس هخّ ؿي٣يس ط ُٔظويّ رؼي ًُي ك ٢طـٔ٤غ حُٞكيحص حٌَُٟٜٞٝث٤ش حُ٘ٔٔ٤ش .حػظٔخىًح ػْ طٜزق حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش أٓخ ً
ػِٓ٬ٓ ٠ش ػِٔ٤ش حٗ٩ظخؽ ٝؿٞىس ٓخىس ٍهخهش حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حٓ٧خٓ٤ش ٣ ،ظْ رؼي ًُي ط٤ٜ٘ق حُ٘ظ٤ـش حُٜ٘خث٤ش ك ٌَٗ ٢هِ٤ش
ٗٔٔ٤ش اُ ٠ىٍؿخص ٓوظِلش ُـٞىس حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش .
46
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
حُل َٜحُؼخٗ٢
47
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
طٜ٘ق حُٔٞحى حُِٜزش حُزِ٣ٍٞش حُ ٠ػ٘خِٛٞٓ َٛش ٌَُِٜرخء ٝػ٘خٗ َٛزِٛٞٓ ٚش ٝحهَ ٟػخُُش ٗٔزش حُ ٠هخرِ٤ظٜخ
ُلَٔ حُظ٤خٍ حٌَُٜرخثٝ .٢ط٘ظظْ ًٍحص ٌٙٛحُؼ٘خ َٛكٛ ٢لٞف ٓ٘ظظٔش ؿخُزخ ,ك٤غ ٌٕٞ٣حُظًَ٤ذ حُزِ ٌُٜٙ ١ٍٞحُٜلٞف
ٓظ٘خر٬ُ ٚرؼخى حُؼ٬ػش ٌٛ ٖٓٝح حٗ٫ظظخّ طظٌَ٘ ٝكيحص ح ٝه٣٬خ ٌٓٗٞش حُ٘زٌش حُزِ٣ٍٞش .حٕ حٌُ٫ظَٗٝخص حُوخٍؿ٤ش ٌٍُحص
حُٔٞحى حُِٜزش ٓ٘ظًَش ُـٔ٤غ ًٍحص حُٔخىس ٢ٛٝ ,كَس حُلًَش ر ٌٙٛ ٖ٤حٌٍُحص كٓ ٢ـخٍ ٝحٓغ ٖٓ ىٍؿخص حُلَحٍس .حٕ
حٌُظَٗٝخص حٌٍُس حُوخٍؿ٤ش ٌٙٛطٔٔ ٠حٌُظَٗٝخص حُظٌخكئ )ُٜٝ .(valence electronsخ حُي ٍٝحَُث ٢ٔ٤ك ٢طلي٣ي
حُوٞح ٙحُل٣ِ٤خ٣ٝش ٝحٌُ٤ٔ٤خ٣ٝش ُِٔخىسٝ .طٔ َ٤حُٔيحٍحص حُوخٍؿ٤ش حُلخ٣ٝش ػِ ٠حٌُظَٗٝخص طٌخكئ حٕ طٌ٘ٓ ٕٞزؼش.
حٕ حُٔٞحى ًحص حُظ َ٤ٛٞحُؼخُ ٢ػ٘يٛخ حٌُظَ ٕٝطٌخكئ ٓٔظؼي ٌٕٞ٣ ٕ٫كَح ً رخٓظ١ ٚٓ٬خهش رٔ٤طش .حٓخ حُٔٞحى حُؼخُُش ك٢ٜ
ًحص طًَ٤ذ ٝط٣ُٞغ حٌُظَ ٢ٗٝطٌ ٕٞك ٚ٤حٌُ٫ظَٗٝخص ٓ٘يٝىس ىحثٔخ ً حُ ٠حٌٍُحص ح ٖٓٝ ,ّ٫حُٜؼٞرش حٕ ٗـي حٌُظَٗٝخص
كَس ك ٢ىٍؿش حُلَحٍس ح٫ػظ٤خى٣ش .حٓخ ٗز ٚحُٔ َٛٞك َٛٞٓ ْ٤ُ ٜٞؿ٤ي ٫ٝػخٍُ ؿ٤ي ك ٢ىٍؿخص حُلَحٍس ح٫ػظ٤خى٣ش
ح ٫حٗ ٚػخٍُ ك ٢حُيٍؿخص حُٞح١جش َٛٞٓٝؿ٤ي ك ٢حُيٍؿخص حُؼخُ٤ش ٖٓٝحٓؼِظ ٚػ٘ َٜحُِٔٝ (Si) ٌٕٞ٤حُـَٓخّٗٞ٤
))17( . (Ge
ٔ٣ظِي ًَ حٌُظَ١ ٕٝخهش ٓؼ٘٤ش ٖٟٔحُٔٔظ ٟٞحٌُ٣ ١ي ٍٝكٝ .ٚ٤حًح حٓظِي ١خهش حٟخك٤ش طـؼَ ١خهظٔٓ ٚخ٣ٝش حُ١ ٠خهش
ٓٔظ ٟٞحهَ كؤٗ٣ ٚولِ حُ٣ٝ ٚ٤يٝ .ٟٚ٘ٔ ٍٝطٌ١ ٕٞخهش حُٔٔظ٣ٞخص حُوَ٣زش ٖٓ حُ٘ٞحس هِِ٤ش ٝطِ٣ي ػ٘ي ح٫رظؼخى ػٖ حُ٘ٞحس.
ح ١حٕ حٌُ٫ظَ ًٝ ٕٝحُطخهش حُؼخُ٤ش ٌٕٞ٣ك ٢حُٔٔظ٣ٞخص حُزؼ٤يس ػٖ حُ٘ٞحسٌُٝ .ح ٌٕٞ٣حهَ حٍطزخ١خ ً رخُ٘ٞحس .حٕ ٘ٛخى
ٓ٘خ١ن ر ٌٙٛ ٖ٤حُٔٔظ٣ٞخص هخُ٤ش ٖٓ ٝؿٞى حٌُ٫ظَٗٝخص طٔٔ ٠حُٔ٘خ١ن حُٔلظٍٞس ).(forbidden regions
٣ظ٘زغ حُٔيحٍ ح ٍٝ٫رخٌُظَ ٖ٤ٗٝكو .٢حٓخ حُٔيحٍ حُؼخٗ ٢كؤٗ٣ ٚظ٘زغ رؼٔخٗ٤ش حٌُظَٗٝخص ٝحُؼخُغ ٣ظ٘زغ رؼٔخٗ٤ش ػَ٘
ك٤غ حٕ ٍ ٞٛ nهْ حُٔيحٍ )17( . حٌُظٌٌَٛٝ ٕٝح ٢ٛٝطظزغ حُؼ٬هش
ط٘ؤْ ؿٔ٤غ حُٔيحٍحص (ػيح حُٔيحٍ ح )ٍٝ٫حُٓ ٠يحٍحص ػخٗ٣ٞش )ٝ (subshellsطلظ ١ٞػِ ٠ػيى ٖٓ حٌُ٫ظَٗٝخص (ػ٘يٓخ
طٌ٘ٓ ٕٞزؼش) ًخ٫ط:٢
حُٔيحٍ حُؼخٗ ١ٞح 2 = ٍٝ٫حٌُظَ ,ٕٝحُٔيحٍ حُؼخٗ ١ٞحُؼخٗ 6 = ٢حٌُظَٕٝ
حُٔيحٍ حُؼخٗ ١ٞحُؼخُغ = 10حٌُظَ ,ٕٝحُٔيحٍ حُؼخٗ ١ٞحَُحرغ = 14حٌُظَٕٝ
48
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
حٕ حٌُ٣ ١ؼ٘٘٤خ كٌٛ ٢ح حُٟٔٞٞع ُ ْ٤حُٔيحٍحص حُيحهِ٤ش حُٔ٘زؼش ٝحٗٔخ حُٔيحٍحص حُوخٍؿ٤ش ؿ َ٤حُٔ٘زؼش ٣ٝيػٌٛ ٠ح
حُٔيحٍ رٔيحٍ حُظٌخكئ )ٝ (valence levelحٓخ حُٔيحٍ حٌُٝ ٚ٤ِ٣ ١حُوخُ ٖٓ ٢حٌُ٫ظَٗٝخص ك ٢ىٍؿش حُٜلَ حُٔطِن كٜٞ
ٓيحٍ حُظٝ (conduction level) َ٤ٛٞر ٖ٣ٌٛ ٖ٤حُٔيحٍ٘ٛ ٖ٣خى كـٞس ١خهش ٓلظٍٞس ).(forbidden energy gap
ٞ٣ؿي ك ٢حُزٍِٞس ٓ ٖ٤٣٬حٌٍُحص حُٔظـخٍٝس ٌُُٝي كؤٕ حٌُ٫ظَٗٝخص ٌٍُِحص حُٔظـخٍٝس طظؤػَ رزؼٜ٠خ حُزؼ٘٣ٝ ٞظؾ ػٖ
ٌٛح حٍ٫طزخ ١حٗيٓخؽ ٓٔظ٣ٞخص حُطخهش ٌٍُِحص ؿٔ٤ؼخ ٝطظٌ ٕٞكِٓش ٓٔظ٣ٞخص ١خهش ري ٫ػٖ ٓيحٍحص ٓ٘لَىسٝ .رٌُي ٘٣ظؾ
ٝطٌ ٕٞحٌُ٫ظَٗٝخص ٖٟٔ كِٓش ٖٓ ٓٔظ٣ٞخص حُطخهش طٔٔ ٠كِٓش حُظٌخكئ )ُٜ َِٓٗٝ (valence bandخ رخَُِٓ
ٌٙٛحُلِٓش ٓو٤يس رخٌٍُس ٫ٝط٘ ظَى رخُظ َ٤ٛٞحٌَُٜرخثٝ ٢ك ٖ٤طل َٜحٌُظَٗٝخص حُظٌخكئ ػِ١ ٠خهش ًخك٤ش طٌ ٕٞكٜ٤خ
ٓظلٍَس ٖٓ حٍ٫طزخ ١رخٌٍُس طولِ حُ ٠حُلِٓش حُظخُ٤ش ٢ٛٝكِٓش حُظ٤ٔٓٝ (conduction band) َ٤ٛٞض كِٓش
ٝ .طٞؿي رٖ٤ حُظ ٕ٫ َ٤ٛٞحٌُ٫ظَٗٝخص حُٔظٞحؿيس كٜ٤خ ط٘خٍى ك ٢ػِٔ٤ش حُظ َ٤ٛٞحٌَُٜرخثُٜ َِٓ٣ٝ ٢خ رخَُِٓ
حُلِٓظ٘ٓ ٖ٤طوش ٓلظٍٞس ٞ٣ ٫ؿي كٜ٤خ ٓٔظ٣ٞخص ١خهش.
حٕ ًٍحص حُٔٞحى حُِٜزش ٓظَحرطش كٔ٤خ رٜ٘٤خ رطَم ػي٣يس ك ٢ٜحٓخ حٕ طلوي حٌُظَ٘٤ُ ٕٝظوَ حًٍُ ٠س حهَ ٟح ٝطٌظٔذ
حٌُظًٍَ ٖٓ ٕٝس حهَ٣َ١ٝ ٟوش حُظَحر ٌٙٛ ٢طيػ ٠حَٛ٫س ح٤ٗٞ٣٫ش ) (Ionic bondرٔزذ طؤ ٖ٣حٌٍُحص.
ٝحٓخ حٕ ط٘ظَى حٌٍُحص رؼيى ٖٓ حٌُظَٗٝخص حُظٌخكئ ًٔخ ٣ل َٜك ٢حُٔٞحى ٗز ٚحُِٔٛٞش ٌٛٝح ٓخ ٠ٔٔ٣رخَٛ٫س
حُظٔخ٤ٔٛش ).(Covalent bond
ُوي حٛطِق حُؼِٔخء ػِ ٠طؼز٤ض ٓٔظ١ ١ٞخهش هخ٣ ٙؼظزَ ًَٔؿغ طوخّ ػِ ٠حٓخٓٔٓ ٚظ٣ٞخص حُطخهش ح٫هَ٠ٔٔ٣ ٟ
ٓٔظ ٟٞك٤ٓ . EF ُٚ َِٓ٣ٝ (Fermi level) ٢َٓ٤ظْ َٗك٫ ٚكوخ ً .
49
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
٘ٛخى ٗٞػ ٖٓ ٖ٤حٗزخ ٙححُٔ٬ٛٞصً ,حط٤ش (ٗو٤ش) )ً٫ٝ (intrinsicحط٤ش (ؿٗ َ٤و٤ش) ).(extrinsic
طيػ ٠حٗزخ ٙحُٔ٬ٛٞص حُ٘و٤ش ٝحُوخُ٤ش ٖٓ حُ٘ٞحثذ ٝحُؼٞ٤د (ك ٢ىٍؿش حُٜلَ حُٔطِن) رخٗزخ ٙحُٔ٬ٛٞص حٌُحط٤شٓ ,ؼَ
حُٔٝ ٌٕٞ٤ِ٤حُـَٓخٗ ,ّٞ٤حٌُِحٕ ٣وؼخٕ ك ٢حُٔـٔٞػش حَُحرؼش ٖٓ حُـي ٍٝحُي ١ٍٝك٤غ حٜٗخ طٔظِي حٍرؼش حٌُظَٗٝخص ك٢
ٓيحٍ حُظٌخكئٌُُٝ .ي كؤٕ ٌٛح حُٔيحٍ حُوخٍؿ٣ ٢لظخؽ حُ ٠حٍرؼش حٌُظَٗٝخص حهَ٣ ٢ٌُ ٟظ٘زغ ٝطٌ ٕٞحٌٍُس ك ٢حهَ ١خهش
ٌٓٔ٘ش٣ٝ .لٌٛ َٜح ػ٘يٓخ طٔخًٍ ًَ ْٛس رؤٍرغ حٌُظَٗٝخص ٓغ حٍرغ ًٍحص ٓـخٍٝس (ك٤غ ٘ٛخى حٍرغ ًٍحص ٓظٔخ٣ٝش حُزؼي
ػٖ ًٍس هخٓٔش ك ٢حًَُِٔ ,حٓخ رو٤ش حٌٍُحص كزؼ٤يس ٗٔز٤خً) كظظًٍ ًَ َٜس ًٝؤٜٗخ طٔظِي ػٔخٕ حٌُظَٗٝخص كٓ ٢يحٍٛخ
حُوخٍؿٝ .٢طيػ ٠حَٛ٫س رخَٛ٫س حُظٔخ٤ٔٛش )ٌٗٞٓ (covalent bondش حُ٘زٌش حُزِ٣ٍٞشًٔ .خ ك ٢حٌَُ٘ أىٗخ.(17) ٙ
طٔؼ َ٤رٍِٞس ٓٗ ٌٕٞ٤ِ٤و ٢ػ٘ي ىٍؿش كَحٍس ٛلَ ًِلٖ )17( .
51
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٗ٬كع ٖٓ حٌَُ٘ أػ ٙ٬رؤٕ ؿٔ٤غ حُ٘ل٘خص ٓو٤يس حٓ ٝظؼخىُش ًَٜرخث٤خ ً .حٓخ ك ٢ىٍؿخص حُلَحٍس حُؼخُ٤ش كؤٕ حٌُ٫ظَٗٝخص
طٌظٔذ ١خهش ًخك٤ش ُظوطغ حٝ٫ح َٛكظٜزق كَس ٤ِ١وش طٔخ ْٛك ٢ػِٔ٤ش حُظ َ٤ٛٞحٌَُٜرخث ٢ػ٘ي طِٔ ٢٤كَم ؿٜي ػِٜ٤خ.
ك٤غ طٌ ٕٞكًَش حٌُ٫ظَٗٝخص حُلَس ك ٢كِٓش حُظ َ٤ٛٞرخطـخٓ ٙؼخًْ ٫طـخ ٙحُٔـخٍ حٌَُٜرخث ٢حُِٔٔ ٢رٔ٘٤خ طظلَى
حُلـٞحص ر٘لْ حطـخ ٙحُٔـخٍٝ .حٌَُ٘ حُظخُ٣ ٢زٗ ٖ٤زٗ َٛٞٓ ٚو ٢ك ٢ىٍؿش كَحٍس حًزَ ٖٓ حُٜلَ حُٔطِن ٬ٗٝكع كٜ٤خ
حٌُ٫ظَٗٝخص حُلَس ٝحٓخًٜ٘خ حُٔٞؿزش ٝطِىحى حػيحى حٌُ٫ظَٗٝخص حُلَس حُطِ٤وش رِ٣خىس ىٍؿش حُلَحٍس.
طٔؼ َ٤رٍِٞس ٓٗ ٌٕٞ٤ِ٤و ٢ػ٘ي ىٍؿش كَحٍس أػِ ٖٓ ٠حُٜلَ حُٔطِن )17( .
51
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
حٕ ػِٔ٤ش ط٤ُٞي حُٝحؽ حٌُظَ – ٕٝكـٞس طٔٔ ٠رخُظؤ ٖ٣حُلَحًٍُٝ ,(thermal ionization) ١ي ٕ٫رخٍطلخع ىٍؿش
حُلَحٍس طل َٜرؼ ٞحٌُ٫ظَٗٝخص ػِ١ ٠خهش ٝطولِ ٖٓ كِٓش حُظٌخكئ حُ ٠كِٓش حُظ َ٤ٛٞطخًٍش هِلٜخ ٌٓخٗخ ً ٗخؿَح ً
٣لظخؽ حُ ٠حٌُظَ٤ُ ٕٝظؼخىٍ ٌُح ك ٔ٣ ٜٞظط٤غ حٕ ٣لَٔ ٗل٘ش ٓٞؿزش ٣ٝيػ ٠كـٞس )ٝ ,(holeرٌُي طظٌ ٕٞحُٝ٫حؽ
حٌُظَ – ٕٝكـٞس ٌٛٝ .ح ٓزيأ ٓ ْٜؿيح ً ُل ْٜحُ٤ش ػَٔ حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ٤ًٝل٤ش طلٟٞ َ٣ٞء حُْ٘ٔ حُ١ ٠خهش ًَٜرخث٤ش.
حٗزخ٬ٛٞٓ ٙص حُـٗ َ٤و٤ش (حُٔ٘ٞرش) حًُ٬حط٤ش )(Extrinsic or Doped Semiconductors 2–3–2
حٕ حُظؤ ٖ٣حُلَحٍ ١ك ٢حُٔٞحى حُِٜزش ٣ؼظٔي ًؼَ٤ح ػِ ٠ىٍؿش حُلَحٍس ك٤غ حٕ ح ١طـ١ َ٤ل٤ق ك ٢ىٍؿش حُلَحٍس ٣ليع
طـَ٤ح ً ؿٌٍ٣خ ً ك ٢ػيى حُ٘ل٘خص حُٔٞؿٞىس كٗ ٢ز ٚحُٔٝ .َٛٞرٌٜح طٌ ٕٞحُظ٤ِ٤ٛٞش )ُ٘ (conductivityز ٚحَُٔٛٞ
كٔخٓش ؿيح ُيٍؿش حُلَحٍس .ح ٫حٕ ك ٢ح٫ؿِٜس حٌُ٫ظَ٤ٗٝش ٖٓ حُ ١ٍَٝ٠حُٔ٤طَس ػِ٤ِٛٞٓ ٠ش حُٔٞحى ُظئى١
ح٫ؿَح ٝحُٔطِٞرشٌُٜٝ .ح حُٔزذ طؼخُؾ ح ٝط٘ٞد (ططؼْ) حُٔٞحى ٗز ٚحُِٔٛٞش حُ٘و٤ش ٓؼَ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤رؤٟخكش ًٔ٤خص
هِِ٤ش ٖٓ ًٍحص ػ٘خ َٛؿَ٣زش طٔٔ ٠رخُ٘ٞحثذ ) . (impuritiesكٞؿٞى حُ٘ٞحثذ كٗ ٢ز ٚحُٔ٣ِ٣ َٛٞي ٖٓ ٓ٤ِٛٞظٜخ
٤ٔ٣ٝطَ ػِٜ٤خ ٖٓ ه٤ًٔ ٍ٬ش حُ٘ٞحثذ حُٔ٠خكش ٣ٝوظ َٜح٫ػظٔخى ػِ ٠ىٍؿش حُلَحٍس ٣ٝئى ١حُ ٠ظٞٗ ٍٜٞع ٝحكي ٖٓ
كخٓ٬ص حُ٘ل٘ش ٝحهظلخء ح ٝط٠خإٍ حُ٘ٞع ح٫هَ٘ٛٝ .خى ٗٞػ ٖٓ ٖ٤حٗزخ ٙحُٔ٬ٛٞص حُـٗ َ٤و٤ش ٞٗ :ع ٓخُذ )(n-type
ٞٗٝع ٓٞؿذ ).(p-type
حًح ح٤ٟلض ًٔ٤ش ٖٓ ػ٘خ َٛحُٔـٔٞػش حُوخٓٔش (ًٌٍحص ٗخثزش) ٖٓ حُـي ٍٝحُيً( ١ٍٝخُلٔل ٍٞح ٝحٍُِٗ٤ن حٝ
حٗ٫ظ )ٕٞٔ٤حُٗ ٠زٗ َٛٞٓ ٚو ٖٓ ٢حُٔـٔٞػش حَُحرؼش ًخُِٔ ,ٌٕٞ٤كؤٕ ٌٙٛحٌٍُحص حُ٘خثزش (حُِظُٜ ٢خ هٔٔش حٌُظَٗٝخص
طٌخكئ) طيهَ ٖٟٔطًَ٤ذ ح ُِٔٝ ٌٕٞ٤طٌ ٕٞحٝح َٛطٔخ٤ٔٛش ٓغ حٌٍُحص حٍ٫رؼش حُٔل٤طش رٌَ ٜٓ٘خ ٣ٝزو ٠حٌُظَٕٝ
ٝحكي ,ى ٕٝحٕ ٣يهَ ٖٟٔح ١حَٛس (٣زوَٓ ٠طزطخ ً رخٌٍُس ح ّ٫ك ٢ىٍؿش حُٜلَ حُٔطِن)ٝ ,حٕ كٌٛ َٜح حٌُ٫ظَ ٕٝػٖ
حٌٍُسح٣ ٫ ّ٫لظخؽ حُ١ ٠خهش ًزَ٤س ,ك٤غ حٕ ٌٙٛحُطخهش ٢ٛحهَ رٌؼ ٖٓ َ٤حُطخهش حُُٓ٬ش ُ٘وَ حٌُظَ ٖٓ ٕٝكِٓش حُظٌخكئ
حُ ٠كِٓش حُظ َ٤ٛٞك ٢حٗزخ ٙحُٔ٬ٛٞص حُ٘و٤ش٣ٝ .يػٌٛ ٠ح حٌُ٫ظَ ٕٝرخٌُظَ ٕٝحُٜزش ح ٝحُٔخٗق )(donor electron
ٝحُ٘ٞحثذ رخُ٘ٞحثذ حُٔخٗلش ح ٝحُٞحٛزش .طئػَ حُ٘ٞحثذ ػِ ٠حُٔ٘طوش حُٔلظٍٞس ُ٘ز ٚحُٔ َٛٞك٤غ طوِِٜخ رٔزذ
حٓظليحع ٓٔظ ٟٞحُٔخٗق ح ٝحُٞحٛذ ) (donor levelحٌُ٣ ١وغ حٓلَ كِٓش حُظ َ٤ٛٞكِ٤حف ٓٔظ ٟٞكٗ ٢َٓ٤ل ٞكِٓش
حُظ ٖٟٔ َ٤ٛٞحُٔ٘طوش حُٔلَٓش.
حًح ح٤ٟلض ًٔ٤ش ٖٓ ػ٘خ َٛحُٔـٔٞػش حُؼخُؼش ٖٓ حُـي ٍٝحُيً( ١ٍٝخُز ٍٕٝٞح ٝح ّٞ٤ُ٘ٔ٫ح ٝحٌُخُٔ ّٞ٤ح ٝحٗ٫ي )ّٞ٣حُ٠
ٗزٗ َٛٞٓ ٚو ٖٓ ٢حُٔـٔٞػش حَُحرؼش ًخُٔ ,ٌٕٞ٤ِ٤كؤٕ ٌٙٛحٌٍُحص حُ٘خثزش ٓٞف طلظَ ٓٞحهغ ًٍحص حُِٔٝ ٌٕٞ٤طٌٕٞ
ٓغ حٌٍُحص حٍ٫رؼش حُٔل٤طش رٌَ ٝحكيس ٜٓ٘خ حٝح َٛطٔخ٤ٔٛشُٔٝ .خ ًخٗض ًٍحص حُ٘ٞحثذ ( حُزٓ ٍٕٝٞؼ )٬طلظ ١ٞػِ٠
ػ٬ع حٌُظَٗٝخص طٌخكئ كو ,٢كؼِٞٓ ٚ٤ف طزو ٠حَٛس طٔخ٤ٔٛش ٝحكيس طلظ ١ٞػِ ٠حٌُظَٗٝخ ً ٝحكيح ً ٝطلظخؽ حُ ٠حٌُظَٕٝ
حهَ ٓ٫ظٌٔخٍ حُز٘٤ش حُزِ٣ٍٞش ح٫ػظ٤خى٣ش .كٗ ٌٕٞ٤وٜخٕ ك ٢ػيى حٌُظَٗٝخص حٝ٫ح َٛحُظٔخ٤ٔٛش ٠ٔٔ٣ٝكـٞس )(hole
ٌٓ ٞٛٝخٕ كخٍؽ ٣لظخؽ حُ ٠حٌُظَٝ ٕٝهي حػظزَص حُلـٞحص ً٘خه٬ص ح ٝكخٓ٬ص )ٗ (carriersل٘ش ٓٞؿزش ٓٔخ٣ٝش
ُ٘ل٘ش حٌُ٫ظَ ٕٝرخُٔويحٌٍُٜٝ .ح ٓٔ٤ض ٌٙٛحُ٘ٞحثذ رخُ٘ٞحثذ حُٔظوزِش )٣ .(acceptor impuritiesوَِ حُظ٘٣ٞذ
رخُٔخىس حُٔظوزِش ٖٓ ػَ ٝحُٔ٘طوش حُٔلظٍٞس ٣ِ٣ٝق ٓٔظ ٟٞكٗ ٢َٓ٤ل ٞكِٓش حُظٌخكئ ٣ٝظٌٔٓ ٕٞظ ٟٞحٌٍُحص
حُٔظوزِش هَد كِٓش حُظٌخكئ ًٔخ ك ٢حٌَُ٘ أىٗخ)17( . ٙ
52
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
حًزَ ٖٓ ح ٝحُٔظوزِش حٕ ط٤ِ٤ٛٞش حُ٘ٞحثذ طٌ ٕٞؿخُزش ػِ ٠حُظ٤ِ٤ٛٞش حٌُحط٤ش حًح ًخٕ طًَ ِ٤حُ٘ٞحثذ حُٞحٛزش
طًَ ِ٤كخٓ٬ص حُ٘ل٘ش حٌُحط٤ش ٝ . ni=piكٗ ٢ز ٚحُٔ َٛٞحُ٘خثذ ٣وَ طًَ ِ٤حُلخٓ٬ص ح٫هِ٤ش ر٘لْ ػيى حَُٔحص حُظ٢
٣ِ٣ي رٜخ طًَ ِ٤حُلخٓ٬ص حً٫ؼَ٣ش كؤًح ًخٕ ni=nn=pn=1013cm-3ك ٢حُـَٓخٗ )17( ّٞ٤ػْ ط٠خػق طًَِ٤
حٌُ٫ظَٗٝخص رؼي حٟخكش حٌٍُحص حُٔخٗلش رـ َٓ 1000س رل٤غ حٛزق nn=1016cm-3كٔ٤وَ طًَ ِ٤حُلـٞحص رـ َٓ 1000س
ٜ٣ٝزق pn=1010cm-3ح ١حهَ رَِٔٓ ٕٞ٤س ٖٓ طًَ ِ٤حٌُ٫ظَٗٝخص ٝحُٔزذ كًُ ٢ي ,حٕ حػخىس ح٫طلخى طظ٘خٓذ َ١ى٣خ ً ٓغ
طًَ ِ٤حٌُ٫ظَٗٝخص ٝرٌُي ٓ٤ظ٠خ ػق ػيى حٌُ٫ظَٗٝخص حُظ ٢طظلي ػخٗ٤ش ٓغ حُلـٞحص رـ َٓ 1000س كظٜزق حُلـٞحص
َٓ 1000س حهَ ٓٔخ ًخٗض ػِٝ .ٚ٤رخُ٘ٔزش حُٗ ٠ز َٛٞٓ ٚحُٔخُذ كؤٕ حُؼ٬هش)17( :
ٌٖٔ٣ٝحػظزخٍ ٓٝخ ه َ٤ػٖ ٗز ٚحُٔ َٛٞحُٔخُذ ٜ٣ق ه ُٚٞػِٗ ٠ز ٚحُٔ َٛٞحُٔٞؿذ ك٤غ حٕ
ح ١حٕ )17( :
53
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ػ٘يٓخ طَطلغ ىٍؿش كَحٍس ٗز ٚحُٔ َٛٞحُ٘خثذ ًؼَ٤ح ً ػٖ ىٍؿش كَحٍس حُـَكش كؤٕ حٌُ٫ظَٗٝخص ح ٝحُلـٞحص ٓٞف
ط ٖٔ٤ٜػِ ٠حٌُ٫ظَٗٝخص ٝحُلـٞحص حُ٘خثزش ٝطٜزق ًؼخكش حٌُ٫ظَٗٝخص ك ٢كِٓش حُظٔٓ َ٤ٛٞخ٣ٝش َٓس حهٌَُ ٟؼخكش
حُلـٞحص ك ٢كِٓش حُظٌخكئ ٌٌٛٝح كؤٕ حُلَحٍس حُؼخُ٤ش ؿَٓ َ٤ؿٞد كٜ٤خ ,ك ٢ٜطزؼي ػ٘خٗ َٛز ٚحُٔ ٖٓ َٛٞحىحء ػِٜٔخ
رخٍُٜٞس ح٫ػظ٤خى٣شٌٛ ٝ .ح ٣لَٔ طَحؿغ أىحء حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ٓغ أٍطلخع ىٍؿش كَحٍطٜخ .
٠ٔٔ٣حُظ٤خٍ حُ٘خطؾ ػٖ حُظـ َ٤ك ٢حُ٫حكش حٌَُٜرخث٤ش رظ٤خٍ حُ٫حكش )٣ ٞٛٝ (displacement currentظ َٜك٢
حُؼٞحٍُ كو .٢حٓخ حُظ٤خٍ حُ٘خطؾ ٖٓ ٝؿٞى حٗليحٍ ك ٢حُـٜي ك ٠ٔٔ٤رظ٤خٍ حُلَٔ ح ٝحُظ٣ ٞٛٝ َ٤ٛٞظ َٜك ٢حُٔ٬ٛٞص
ٝحٗزخ ٙحُٔ٬ٛٞص ٠ٔٔ٣ٝ ,حُظ٤خٍ حُ٘خطؾ ٖٓ كًَش ًَ حٌُ٫ظَٗٝخص ك ٢كِٓش حُظ َ٤ٛٞح ٝحُلـٞحص ك ٢كِٓش حُظٌخكئ ك٢
ٗزً َٛٞٓ ٚحط ٢ػ٘ي طِٔٓ ٢٤ـخٍ ًَٜرخث ٢رظ٤خٍ ح٤ٔٗ٫خم ) (drift currentطٔخٗ٤خ ً ٓغ حَُٔػش حُٜ٘خث٤ش حُظ ٢طِٜٜخ
كخٓ٬ص حُ٘ل٘ش حَٓ ١ػش ح٤ٔٗ٫خم ) ٖٓٝ . (drift velocityؿٜش حهَ٘ٛ ٟخى ط٤خٍ حهَ ٣ظ َٜكو ٢ك ٢حٗزخٙ
حُٔ٬ٛٞص ػ٘ي ؿ٤خد حُٔـخٍ حٌَُٜرخثٝ ٢ػ٘يٓخ ٌٕٞ٣ط٣ُٞغ حُ٘ل٘خص ىحهَ ٓخىس ٗز ٚحُٔ َٛٞؿ٘ٓ َ٤ظظْ ٠ٔٔ٣ٝرظ٤خٍ
حٗ٫ظ٘خٍ ). (diffusion current) (ID
كل ٢حٌَُ٘ أىٗخ , )17( ٙحًح ًخٕ طًَ ِ٤حٌُ٫ظَٗٝخص ك ٢حُٔ٘طوش n-ك ٢ىحهَ حُٔخىس ٗز ٚحُِٔٛٞش حًزَ ٓٔخ ٞٛػِ ٚ٤ك٢
حُٔ٘طوش p-كؤٕ ٝؿٞى ٌٛح حٗ٫ليحٍ ك ٢حُظًَٞٓ (concentration gradient) ِ٤ف ٣ؼَٔ ػِ ٠ىكغ حٌُ٫ظَٗٝخص
ُٗ٬ظ٘خٍ ٖٓ حُٔ٘طوش n-رؤطـخ ٙحُٔ٘طوش ٓ p-ئى٣خ ً رٌُي حُ ٠حكيحع ط٤خٍ حٗ٫ظ٘خٍ.
طظ٘خٓذ َ١ى٣خ ً ٓغ حٗليحٍ حُظًٌَُٜٙ ِ٤ ٌٛح ٝهي ٝؿي حٕ ًؼخكش ط٤خٍ حٗ٫ظ٘خٍ حُ٘خطؾ ٖٓ حٗظ٘خٍ حٌُ٫ظَٗٝخص
حٌُ٫ظَٗٝخص ك ٢حُٔخىس ٗز ٚحُِٔٛٞش حُٔخُزش .
طظ٘خٓذ َ١ى٣خ ً ٓغ حٗليحٍ حُظًَ ٌُٜٙ ِ٤حُلـٞحص ك٢ ًٌُي كخٕ ًؼخكش ط٤خٍ حُلـٞحص حُ٘خطـش ػٖ حٗظ٘خٍ حُلـٞحص
حُٔخىس ٗز ٚحُِٔٛٞش .
ٝحٕ حطـخ٣َٓ ٙخٕ حُلـٞحص ٞٛك ٢ح٫طـخ ٙحُٔؼخًْ ُظ٤خٍ حُلـٞحص رٔ٘٤خ ٌٕٞ٣ط٤خٍ حٗظ٘خٍ حٌُ٫ظَٗٝخص كٗ ٢لْ حطـخٙ
َٓ٣خٕ حٌُ٫ظَٗٝخص.
54
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٓٔخ طويّ ٣ظز ٖ٤حٗ ٚك ٢كخُش طِٔٓ ٢٤ـخٍ ًَٜرخث ٢ػِٗ ٠ز٣ َٛٞٓ ٚلَٔ حٗليحٍح ً ك ٢طًَ ِ٤حُ٘ل٘خص ريحهِ ٚكؤٕ ٗٞػٖ٤
ٖٓ حُظ٤خٍ ٓٞف ٣َٔ٣خٕ كٔٛ ٚ٤خ :ط٤خٍ ح٤ٔٗ٫خم ٝط٤خٍ حٗ٫ظ٘خٍ .
55
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
١خهش ك ٢َٓ٤أٔٓ ٝظ ٟٞك ٢َٓ٤ك ٢ك٣ِ٤خء حُـٞحٓي ٝك٣ِ٤خء حُٔٞحى حٌُٔؼلش طٔؼَ أػِٔٓ ٠ظ١ ٟٞخهش ٘٣ـِٜخ اٌُظَ ٕٝػ٘ي
ىٍؿش حُٜلَ حُٔطِن .
ػ٘ي ىٍؿش كَحٍس حُٜلَ حُٔطِن ( ٛلَ ًِلٖ ) طٌظٔذ حٌُ٩ظَٗٝخص أ١ ١خهش كَحٍ٣ش طٔخػيٛخ ػِ ٠حُظلَى ٝ .طزيأ
رَٔء ٓٔظ٣ٞخص حُطخهش ح٧ىٗ ٠ك ٢طـٔؼخص حٌٍُس أ ً٫ٝػْ ح٧ػِ ٠كخ٧ػٌِِ٘ٓ ٠ش رلَح ً ٖٓ حٌُ٧ظَٗٝخص ٣يػ ٠رلَ ك, ٢َٓ٤
ٔ٣ؼَ ٓطق ٌٛح حُزلَ ( ١خهش ك)20,21(. ) Fermi Energy ٢َٓ٤
ػ٘ي أٍطلخع ىٍؿش حُلَحٍس كٞم حُٜلَ حُٔطِن ٫طظِكِف ١خهش ك ٢َٓ٤ػٖ ٌٓخٜٗخ ػِ ٠ح٬١٩م ٜٗ٧خ كي ٓؼِ٤ٔٓ ٖ٤
ُِٔخىس ٌُٖ ,حٌُ٧ظَٗٝخص حُظ ٢طٌظٔذ ١خهش طظؼيٌٛ ٟح حُلي ,ك ٢ٜطظُٞع كٞه١ ٚزوخ ً ُظ٣ُٞغ رُٞظِٓخٕ ٝطٜزق كَس
ٌٜ٘ٔ٣خ حُلًَش ٝحُظ. َ٤ٛٞ
ُطخهش ك ٢َٓ٤أ٤ٔٛش ًزَ ٟك ٢طؼ٤ِٛٞٓ ٖ٤٤ش حُٔخىس ٌَُِٜرخء ٜٗ٩خ ٓٔئٓ ٍٝزخَٗ ػٖ طؼ ٖ٤٤ػيى حٌُ٩ظَٗٝخص حُظ٢
طٜؼي ُ٘طخم حُظٌُُٝ َ٤ٛٞي طٌظٔذ أ٤ٔٛش أًزَ ك ٢أٗزخ ٙحُٔ٬ٛٞص .كلٔذ اكٜخء ك-٢َٓ٤ىَ٣حى ٌٕٞ٣حكظٔخٍ
ٝؿٞى اٌُظَ ٕٝػ٘ي ٓٔظ١ ٟٞخهش كًٌُٝ ، %50 ٢ٛ ٢َٓ٤ي حكظٔخٍ ٝؿٞى ػـَس ػ٘ي ٗلْ ٓٔظ١ ٟٞخهش ك٢ٛ ٢َٓ٤
أ٠٣خ ٔٓ , %50خ ٣ؼ٘ ٢طٞحؿي كٞحَٓ ٗل٘ش ٖٓ -حُ٘ٞػ - ٖ٤ػ٘ي ٓٔظ ٟٞك. ٢َٓ٤
حٌُِ٘ ٖ٤أىٗخ ٙطٟٞلخٕ ٓوط ٢كِّ حُطخهش ك ٢أٗزخ ٙحُٔ٬ٛٞص ٝط٣ُٞغ كِّ حُطخهش ُِٔ٬ٛٞص ٝأٗزخ ٙحُٔ٬ٛٞص ٝ
حُؼٞحٍُ ,ػِ ٠حُظٞحُ. )22( . ٢
56
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ك ٢حُٔ٬ٛٞص ٣ظيحهَ ٗطخهخ حُظٌخكئ ٝحُظ٣ٝ ، َ٤ٛٞوغ ٓٔظ ٟٞك ٢َٓ٤ك٘ٓ ٢طوش حُظيحهَ .ػ٘ي حُٜلَ
حُٔطِن ٓظٌ ٕٞؿٔ٤غ حٌُ٩ظَٗٝخص أٓلَ ١خهش كٍٝ ، ٢َٓ٤ؿْ ًُي كزؼٜ٠خ ٌٕٞ٣كٗ ٢طخم حُظٔٓ ، َ٤ٛٞخ ٣ـؼِٜخ
ط َٛٞحٌَُٜرخء ػ٘ي حُٜل َ حُٔطِن ٝ .ؿ٘ ٢ػٖ حًٌَُ أٜٗخ ٓظ َٛٞحٌَُٜرخء ػ٘ي ىٍؿخص كَحٍس أػًُِ ٖٓ ٠ي .
ك ٢أٗزخ ٙحُٔ٬ٛٞص ؿ َ٤حُٔ٘ٞرش ٣وغ ٓٔظ ٟٞك ٢َٓ٤ك ٢حُٔ٘ظٜق رٗ ٖ٤طخم حُظٌخكئ ٗٝطخم حُظ ٫ٝ ، َ٤ٛٞطٞؿي
اٌُظَٗٝخص كٗ ٢طخم حُظ َ٤ٛٞػ٘ي حُٜلَ حُٔطِن .
57
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٌُٖ ػ٘ي حٍطلخع ىٍؿش حُلَحٍس طٜؼي رؼ ٞحٌُ٩ظَٗٝخص اُٗ ٠طخم حُظٝ َ٤ٛٞطوِ ٢أٓخًٜ٘خ كٗ« ٢طخم حُظٌخكئ»
ٓوِلش ػـَحصِ٣ٝ ،ىحى ػيى حٌُ٩ظَٗٝخص حُظ ٢طظَى ػـَحص رخٍطلخع ىٍؿش حُلَحٍس ٘ٛٝ .خى طَٜكخٕ ٌُُ٪ظَ ٕٝكٌٙٛ ٢
حُلخُش :
-ػ٘ي آيحى حٌُ٩ظَٗٝخص رطخهش ك ٢أٗزخ ٙحُٔ٬ٛٞص ،آخ رٞحٓطش ٍكغ ىٍؿش حُلَحٍس أ ٝرظِٔ ٢٤كٞطٗٞخص ًحص ١خهش
أًزَ ٖٓ كـٞس حُطخهش ,طِي ه٤خٍحص ؿٓ َ٤وزُٞش ك ٢أؿِذ حُظطز٤وخص رٔزذ حٓظ٬ٜى ًؼ ٖٓ َ٤حُطخهش حُلَحٍ٣ش أ ٝحُطخهش
حٗ٩ؼخػ٤ش .
ُ -كِكش ٓٔظ ٟٞكٛ ٢َٓ٤ؼٞىح ً أُ ً٫ِٝٗ ٝظَؿ٤ق ًلش آخ حٌُ٩ظَٗٝخص أ ٝحُؼـَحص ٌٙٛ .حُِكِكش ٫طظْ رَكغ
حُلَحٍس ٝاٗٔخ طظْ ػٖ ٣َ١ن حُظ٘٣ٞذ اٟخكش ٓخىس أهَ٘ٓ ٟخٓزش ًِٔٝخ ُحى حُظ٘٣ٞذ ٣ظِكِف حُٔٔظ ٟٞػٖ ٌٓخٗٚ
ريٍؿش أًزَ ٣ .ظ٤ق حُظ٘٣ٞذ حُٔ٘خٓذ طـٔٓ َ٤٤ظ ٟٞك ٢َٓ٤اُ ٠حُويٍ حَُٔؿٞد .
ك ٢حُؼٞحٍُ ٝ ٫ ،ؿٞى «ٌُ٩ظَٗٝخص ط »َ٤ٛٞػ٘ي حُٜلَ حُٔطِن ٌُٖٝ .طظٞؿي اٌُظَٗٝخص ط َ٤ٛٞػ٘ي ىٍؿخص كَحٍس
ػخُ٤ش ٜ٣ٝ .زق حكظٔخٍ ط٤ُٞي اٌُظَ-ٕٝكـٞس ٌٓٔ٘خ ٌُٖٝ ،حُزُؼي ر ٖ٤حُطزوخص ً ٌٕٞ٣زَ٤ح ك ٢حُؼٞحٍُ .رخُظخُ٘ٓ ٢لظخؽ
اُ ٠هيٍ ًز ٖٓ َ٤حٓظ٬ٜى حُطخهش ٌِٓ ٌٕٞ٣ٝلخ ًٔ.خ ٟٓٞق ك ٢حٌَُ٘ أىٗخ)21( . ٙ
58
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
٘ٛخى ػ٬ػش أكِٓش :كِٓش حُظ ، َ٤ٛٞكِٓش حُظٌخكئ ٝ ،كـٞس حُطخهش .ػ٘ي ىٍؿش كَحٍس حُٜلَ حُٔطِن طٌ ٕٞؿٔ٤غ
حٌُ٩ظَٗٝخص َٓطزطش ٓٝظٞحؿيس ك ٢كِٓش حُظٌخكئ ٝط٘ظوَ حٌُ٩ظَٗٝخص ٖٓ كِٓش حُظٌخكئ اُ ٠كِٓش حُظ َ٤ٛٞك ٢حٗزخٙ
حُٔ٬ٛٞص ػٖ ٣َ١ن طٔو ٖ٤حُٔخىس أ ٝػٖ ٣َ١ن حُظطؼ ْ٤أٓ ٝـخٍ ًَٜرخثٗ ٢يطٛ ٚـَ٤س ٌٓ ٌٕٞ٣ .خٕ ٓٔظ ٟٞك٢َٓ٤
كٗ ٢ز ٚحُٔ َٛٞحُ٘و ٢ك ٢حُ ٢ٓٞر ٖ٤كِٓش حُظٝ Ec َ٤ٛٞر ٖ٤كِٓش حُظٌخكئ , Evأٓخ كٗ ٢ز ٚحُٔ َٛٞحُ٘خثذ أ١
حُ ُٔطؼْ ًِٔخ حٓظَٔ اٟخكش حُ٘ٞحثذ اُٗ ٠ز ٚحُٔ َٛٞحُ٘و ٢كبِٗ٣ ٚكق ٓ٘ٔٞد كٗ ٢َٓ٤ل ٞكِٓش حُظ َ٤ٛٞأ ٝكِٓش
حُظٌخكئ .كلٗ ٢ز ٚحُٔ َٛٞحُٔ٘ٞد رخُ٘ٞع ٓخُذ ٟٞٓ ٌٕٞ٣ n-typeغ ٓٔظ ١ٞك ٢َٓ٤هَ٣زخ ٖٓ كِٓش حُظًِٔٝ َ٤ٛٞخ
طِىحى حٌٍُحص حُ٘خثزش حُٔخٗلش ِ٣كق ٓٔظ ١ٞك ٢َٓ٤أًؼَ ُ٤وظَد ٖٓ كِٓش حُظ َ٤ٛٞأٓخ كٗ ٢ز ٚحُٔ َٛٞحُ٘خثذ ٖٓ
حُ٘ٞع ٓٞؿذ p-typeكٟٞٓ ٌٕٞ٤غ ٓٔظ ١ٞك ٢َٓ٤هَ٣زخ ٖٓ كِٓش حُظٌخكئ ). (Ec
ػيى حُلخ٫ص حُٔٔٔٞف رٜخ ُ ظٝ َٜكيس ١خهش ٌَُ ٝكيس كـْ طٛٞق ريحُش ًؼخكش حُٔٔظ٣ٞخص ػ٘ي ٓٔظ١ ٟٞخهE ٢
طٛٞق رخُٔؼخىُش )16( :
حٌُظِش حُلؼِ٤ش ٣ٝؼزَ ػٜ٘خ ريُ٫ش ًظِش ٌٓ ٕٞحٌُ٧ظَ ٕٝرخُٔؼخىُش : ك٤غ
) N(Eطٔؼَ ًؼخكش حُٔٔظ٣ٞخص h ,طٔؼَ ػخرض رٗ٬ي Ec ,طٔؼَ ١خهش كِٓش حُظَ٤ٛٞ
59
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٗ٬كع ٖٓ حٌَُ٘ أػ , )16( ٙ٬حٌُٟٞ٣ ١غ حُؼ٬هش رً ٖ٤ؼخكش ٓٔظ٣ٞخص حُطخهش ( ػيى ٓٔظ٣ٞخص حُطخهش ُٞكيس حُلـْ )
)١ٝ N(Eخهش حُلِّ ,اٗ ٚك ٢كخُش حُٔٞحى حُ٘زِٛٞٓ ٚش حُٔظزٍِٞس ( حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُزِ ) c-Si ١ٍٞطٌ ٕٞهٔ٤ش )N(E
طٔخٛ ١ٝلَ ,رٔ٘٤خ حُٔٞحى حُ٘زِٛٞٓ ٚش حُـٓ َ٤ظزٍِٞس ( حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُـٓ َ٤ظزِ ) a-Si:H ٍٞطٌ ٕٞهٔ٤ش )N(E
٫طٔخٛ ١ٝلَ .
ح َٓ٧حٌُ٣ ١لَٔ ُٔخًح طل َ٠أٗزخ ٙحُٔ٬ٛٞص حُٔظزٍِٞس ػِ ٠أٗزخ ٙحُٔ٬ٛٞص حُـٓ َ٤ظزٍِٞس ك٘ٛ ٢خػش حُو٣٬خ
حُ٘ٔٔ٤ش .
61
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ا ٕ حُٔ٤ِٛٞش حٌَُٜرخث٤ش ُِٔٞحى حُِٔٛٞش طوَ رِ٣خىس ىٍؿش حُلَحٍس رٔ٘٤خ طظلٖٔ ك ٢كخُش حُٔٞحى حُ٘زِٛٞٓ ٚش ٣ٝ ,لَٔ
ًُي رٌ٣ُ ٕٞخىس ىٍؿش حُلَحٍس طِ٣ي ٖٓ ٓوخٓٝش حُٔٞحى حُِٔٛٞش رٔ٘٤خ طوَِ ٖٓ ٓوخٓٝش حُٔٞحى حُ٘زِٛٞٓ ٚش .إ ٛـَ
حُلخؿِ حُطخه ٢ك ٢حُٔٞحى حُ٘زِٛٞٓ ٚش ٣ـؼَ حُظ َ٤ٛٞحٌَُٜرخثٌ٘ٔٓ ٢خ ً اًح ٓخ أٍطلؼض ىٍؿش حُلَحٍس ٝحُٔزذ كًُ ٢ي
َ٣ؿغ حُ ًٕٞ ٠حُلخؿِ حُطخه٣ ٢وَ ٓغ ُ٣خىس ىٍؿش حُلَحٍس ١ ,زوخ ً ُِٔؼخىُش )16( :
( ) ) Eg(0طٔؼَ حُلخؿِ حُطخه ٢ػ٘ي ىٍؿش كَحٍس حُٜلَ حُٔطِن ٝ ,كيس ه٤خٜٓخ evأٌُظَ.ٕٝكُٞض
( ) aطٔؼَ ػخرض ٣ؼظٔي ػِٞٗ ٠ع حُٔخىس حُ٘زِٛٞٓ ٚش ٣ٝؼٌْ ٓويحٍ حُظ٘خه ٚك ٢هٔ٤ش حُلخؿِ حُطخهٌَُ Eg ٢
أٍطلخع ك ٢ىٍؿش حُلَحٍس
طظلخػَ حُٔخىس حُ٘زِٛٞٓ ٚش ٓغ ١خهش كٞط٤ٗٞش رٍٜٞس طـؼَ حُطخهش حُلٞط٤ٗٞش حُٔٔظٜش ًخك٤ش ُ٘وَ حٌُ٧ظَ٘ٓ ٖٓ ٕٝطوش
٢ٛ Eحُظ٢ حُظٌخكئ حُ٘ٓ ٠طوش حُظًُٝ , َ٤ٛٞي ٣ؼ٘ ٢إ حُلٞطٗٞخص ًحص حُطخهش أًزَ ٖٓ حُلخؿِ حُطخهEg ٢
طٔخ ْٛك ٢اٗظخؽ حُظ٤خٍ حٌَُٟٜٞٝث. ٢
ٗظَح ً ٕ٧حٌُ٧ظَٗٝخص حُٔ٘ظوِش ٖٓ ٓ٘طوش حُظٌخكئ حُ٘ٓ ٠طوش حُظ َ٤ٛٞطظَى ٍٝحثٜخ كـٞحص ٌٖٔ٣اػظزخٍٛخ أٗٞ٣خص ٓٞؿزش
,كؤٕ ٝؿٞى حُِٛٞش حُؼ٘خث٤ش ٜ٣زق ٣ٍَٟٝخ ً ُوِن ٓـخٍ ًَٜرخث٤ُ ٢ؼَٔ ػِ ٠كٝ َٜطـٔ٤غ حُلٞحَٓ carriersك٢
ٓ٘طوظ ٢حُظ ٝ َ٤ٛٞحُلَٔ رٍٜٞس طـؼَ حُظ٤خٍ حٌُِ ٢حُٔظُٞي ػزخٍس ػٖ ٓـٔٞع حُظ٤خٍ حٌُ٧ظَ ٢ٗٝك٘ٓ ٢طوش حُظٝ َ٤ٛٞ
ط٤خٍ حُلـٞحص ك٘ٓ ٢طوش حُظٌخكئ .
61
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
طًَ٤ذ حُٜٔخّ حُؼ٘خثُِٔ ٢خىس حُ٘زِٛٞٓ ٚش ١ ,خهش ٓ٘طوش حُظ١ٝ Ec َ٤ٛٞخهش ٓ٘طوش حُظٌخكئ Ev
ًٔخ ًًَٗخ ٓٔزوخ ً ٗ ,ظَح ً ٌُ N(E) = 0 ٕٞك ٢حُلخؿِ حُطخهُِٞٔ ٢حى حُ٘زِٛٞٓ ٚش ,كؤٕ آظليحع ٓٔظ٣ٞخص ١خه٤ش
ك ٢حُلخؿِ حُطخهُِٔ ٢خىس حُ٘زِٛٞٓ ٚش ٣٫ظْ ا ٫رلوٜ٘خ رخُ٘ٞحثذ حُٔؼط٤ش ٌُُ٨ظَٗٝخص (حُٔخُزش) أ ٝطِي حٌُٔظٔزش
ٌُُ٨ظَٗٝخص (حُٔٞؿزش) رٍٜٞس طـؼَ حُٔٔظ ٟٞحُطخهُِٞ٘ ٢حثذ حُٔؼط٤ش EDهَ٣زش ٖٓ ٓٔظ١ ٟٞخهش حُظEc َ٤ٛٞ
ٝ ,حُٔٔظ ٟٞحُطخهُِٞ٘ ٢حثذ حٌُٔظٔزش EAهَ٣ذ ٖٓ ٓٔظ١ ٟٞخهش حُظٌخكئ Evح َٓ٧حٌُ٣ ١لٖٔ ٖٓ حُٔ٤ِٛٞش
حٌَُٜرخث٤ش ُِٔخىس حُ٘زِٛٞٓ ٚش ًُٝ ,ي رظـِ٤ذ ػيى حُلٞحَٓ حُٔخُزش carrier nػِ ٠حُٔٞؿزش carrier pك ٢كخُش
حُ٘ٞحثذ حُٔؼط٤ش ٝ ,طـِ٤ذ ػيى حُلٞحَٓ حُٔٞؿزش ػِ ٠حُٔخُزش ك ٢كخُش حُ٘ٞحثذ حٌُٔظٔزش .أ ١هِن اُحكش كٟٞٓ ٢غ
ٓٔظ١ ٟٞخهش كٗ ٢َٓ٤ل ٞحُٔٔظ ١ٞحُطخهُِ٘ ٢خثزش حُٔ٠خكش )16( .
62
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
آظٜخ ٙحُلٞطٗٞخص ك ٢حُٔخىس حُ٘زِٛٞٓ ٚش ٔ٣لَ ػٖ ط٤ُٞي أُٝحؽ ٖٓ كٞحَٓ حُظ٤خٍ حُٔٞؿزش ٝحُٔخُزش ٣ٝ ,ظْ ًُي
رخٗ٧ظوخٍ حُٔزخَٗ ٌُُ٨ظَٗٝخص ٖٓ ٓ٘طوش حُظٌخكئ حُ٘ٓ ٠طوش حُظ َ٤ٛٞػزَ حُلخؿِ حُطخهُِٔ ٢خىس حُ٘زِٛٞٓ ٚش . Eg
كؤٕ اٗظوخٍ حٌُ٧ظَٗٝخص ػزَ حُلخؿِ حُطخه٣ ٫ ٢ظْ ا ٫اًح ًخٗض ١خهش حُلٞط ٕٞحُٔٔظ ٚأًزَ ٖٓ حُلخؿِ حُطخه٢
ُٝ , E Egظلًُٔ َ٤ي ٗ٘ظَ حُ ٠حُظ٣ُٞغ حُط٤لٗ٨ُ ٢ؼخع حُ٘ٔٔ ٢حُٔخه ٢ػِٝ ٠كيس حُٔٔخكش ,ك٤غ ٟٞ٣ق إٔ
حٗ٧ؼخع حُ٘ٔٔ ٢حُٔخه٘٣ ٢ؤْ حُ ٠أٗؼخع رطخهش أهَ ٖٓ حُلخؿِ حُطخه ٌٕٞ٤ٓٝ ٢اٗؼخع ٔ٣٫خ ْٛك ٢اٗظخؽ حُظ٤خٍ
حُلٞط٣ٝ ٢ٗٞظزيى ػِ ٌَٗ ٠كَحٍس ٝ ,حُؤْ حٌُِٔ٣ ١ي ١خهش أػِ ٖٓ ٠حُلخؿِ حُطخهٔ٤ٓ ٢خ ْٛك ٢ط٤ُٞي حُظ٤خٍ ٝحُطخهش
حُلخث٠ش ط٤٠غ ًلَحٍس ,كؼِ ٚ٤اٗظخؽ حُظ٤خٍ حُلٞط٣ ٢ٗٞؼظٔي ًِ٤خ ً ػِ ٠حُلٞطٗٞخص حُٞحهؼش ٖٟٔحُلخؿِ حُطخهًٌُٝ , ٢ي
٘ٛخى أٗؼش ط٘لٌ ه ٍ٬حُوِ٤ش ٫ٝطٔظ ٚك ٢ٜأ٠٣خ ً ٫طٔخ ْٛك ٢اٗظخؽ حُظ٤خٍ .ا ١إ ٘ٛخى كخؿِ ١خهٓ ٢ؼ ٌٕٞ٣ ٖ٤ػ٘يٙ
اٗظخؽ حٌَُٜرخء حُ٘ٔٔ٤ش أهٓ ٠ٜخ . ٌٖٔ٣كٔؼ ٌٕٞ٣ ٌٕٞ٤ِ٤ُِٔ ً٬حُلخؿِ حُطخهًٔ 1.2 ev ٢خ ٟٓٞق ك ٢حٌٗ٫خٍ
أىٗخ ٙحٌُٟٞ٣ ١ق حُظ٣ُٞغ حُط٤لٗ٨ُ ٢ؼخع حُ٘ٔٔ ٢حُٔخه ٢رخُ٘ٔزش ُِٔ)16( . ٌٕٞ٤ِ٤
63
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
64
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
حُل َٜحُؼخُغ
65
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ؿٜخُ ك ٢حُلخُش حُِٜزش ٣لٟٞ ٍٞء حُْ٘ٔ ,ػِ٤ٛ ٠جش طيكن ٖٓ حُلٞطٗٞخص ،اُ١ ٠خهش ًَٜرخث٤ش
حٌَُ٘ أىٗخ( ٙد ) (ٟٞ٣ , )15ق طًَ٤ذ أ ١هِ٤ش ٗٔٔ٤ش ه٤خٓ٤ش .
حُوخػيس هطؼش ٖٓ حُٔ ٖٓ ٌٕٞ٤ِ٤حُ٘ٞع pحُٔ٘ٞرش هِ ً٬٤رخُز ٍٕٝٞحُظٌٜٔٓ ٢خ أهَ ٖٓ ٝ . 1mmهي أٗ٘ت هطؼش ٖٓ
حُٔ ٖٓ ٌٕٞ٤ِ٤حُ٘ٞع nحُؼخُ٤ش حٗ٩خرش رٔٔي حهَ ٖٓ ٞ٘ٓ 1 μmرش رخُلٔل ٍٞرظًَ ِ٤أػِ ٠رٌؼ. َ٤
ٝرٔزذ حُـٜي حُيحهُِِِٛٞ ٢ش , p-nط٘ظوَ حٌُ٧ظَٗٝخص حُ ٠حُٔ٘طوش ٖٓ ٗٞع ٝ nطُٞي ١خهش ًَٜرخث٤ش ٗزٜ٤ش ُظِي
حُظ ٢طُٞيٛخ ح ١رطخٍ٣ش ً٤ٔ٤ًَٜٝخث٤ش .
66
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
١ٝز ًوخ ُ٘ظَ٣ش حٗ٫ظوخ٫ص حٌُٔ٤ش ٣ظلخػَ حٗ٩ؼخع ،ػِ٤ٛ ٠جش طيكن ٖٓ حُلٞطٗٞخصٓ ،غ ٗز ٚحُٔ َٛٞرطَ٣وظٌٖٔ٣ , ٖ٤
حٓظٜخ ٙكٞط ٕٞرطخهش أًزَ ٖٓ ١خهش حُلـٞس حُوخٛش رخُٔخىس ٗز ٚحُِٔٛٞش ٝاٗ٘خء ُٝؽ اٌُظَٝ ٕٝػـَس ٌُٜ ٌٖٔ٣ٝ .ح
حُِٝؽ إٔ ٣ؼ٤ي ح٫طلخى ُٜ٣ٝيٍ كٞطًٗٞخ ٖٓ حُطخهش ٓٔخً٣ٝخ طوَ٣زًخ ُلـٞس حُطخهش حُوخٛش ر٘ز ٚحُٔ١ٝ . َٛٞزوًخ ُٔزيأ
حُظٞحُٕ كبٕ حكظٔخ٫ص حُؼِٔ٤ظ ( ْٖ٤ط٤ُٞي حٌُظَ-ٕٝكـٞس ٝاػخىس ح٩طلخى ) ٓظٔخ٣ٝش ٝ .طؼظزَ ٗظ٤ـش ٜٓٔش كٔ٤خ ٣ظؼَِّن
رٌلخءس حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٕ٧ٝحُطخهش حُوخٛش رِٝؽ حٌُ٩ظَٝ ٕٝحُؼـَس ٓٔخ٣ٝش ُؤ٤ش ٗطخم حُطخهش ،كبٕ أكٓ َ٠خىس
٣ـذ إٔ طٌ ٕٞكـٞس حُ٘طخم حُوخٛش رٜخ هَ٣زش ٖٓ ٢ٓٝحُط٤ق حًُ٘ٔٔٔ . ٢خ ك ٢حٌَُ٘ أىٗخ. )15( ٙ
٘ٛٝخى ػخَٓ آهَ ٣ئػَ ػًِ ٠لخءس حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٞٗ ٞٛٝع كـٞس حُطخهش ,حػظٔخىًح ػِ ٠حُٔٞهغ حُ٘ٔزُِ ٢ـِء حُؼِ١ٞ
ٖٓ ٗطخم حُظٌخكئ ٝحُـِء حُٔلِٗ ٖٓ ٢طخم حُظ َ٤ٛٞك ٢ك٠خء حُٔظـ ٚحُٔٞؿ ، ٢أٓخ إٔ ٗ ٌٕٞ٣زٓ َٛٞٓ ٚزخَٗ أ ٝؿَ٤
ٓزخَٗ .
67
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
رخُ٘ٔزش ٗ٧زخ ٙحُٔ٬ٛٞص ًحص حُلـٞس حُٔزخَٗس ٓؼَ ٍُٗ٤و٤ي حُـخُٝ ّٞ٤ػخٗ٤٘٤ِ٤ٓ ٢ي اٗي ّٞ٣حُ٘لخّ ٝط٣ٍِٞ٤ي حٌُخىّٓٞ٤
ُ ٌٖٔ٣ ،لٞط ٕٞػِٗ ٠لٓ ٞزخَٗ اػخٍس اٌُظَٗ ٖٓ ٕٝطخم حُظٌخكئ ُ٘طخم حُظ َ٤ٛٞ؛ ٓ ٌٕٞ٣ ٝؼخَٓ حٓ٫ظٜخ ٙػخُ ً٤خ ،
* ٝ . ) 1رخُ٘ٔزش ٗ٧زخ ٙحُٔ٬ٛٞص ًحص حُلـٞس ؿ َ٤حُٔزخَٗس ٓؼَ حُٔٝ ٌٕٞ٤ِ٤ رٞؿ ٚػخّ أًزَ ٖٓ (
حُـَٓخٗ ٫ , ّٞ٤طٌ٘ٛ ٕٞخى ٓلخًحس ر ٖ٤حُـِء حُؼِٗ ٖٓ ١ٞطخم حُظٌخكئ ٝحُـِء حُٔلِٗ ٖٓ ٢طخم حُظ َ٤ٛٞك ٢ك٠خء
حُٔظـ ٚحُٔٞؿٝ ، ٢طليع ح٩ػخٍس ٗظ٤ـش ُظ ٢ٓٞكٞط ، ٕٞأ ٝرؼزخٍس أهَ ،ٟحٛظِحُ ٗزٌ ٢؛ ٖٓ ػْ ٓ ٌٕٞ٣ؼخَٓ
* ٝ , ) 1طٌ٘ٛ ٕٞخى كخؿش ًَُِ٤س أًؼَ ٌٓٔخ ً ًٔ .خ ك ٢حٌَُ٘ أىٗخٙ حٓ٫ظٜخً ٙ
هِ ،٬٤رٞؿ ٚػخّ أهَ ٖٓ (
)15( .
68
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
٣ٝؼَ ٝحٌَُ٘ حُظخُ )15( ٢أ٤١خف حٓ٧ظٜخً٧ ٙؼَ حُٔٞحى حُ٘زِٛٞٓ ٚش آظويحٓخ ً ك ٢حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ٣ٝ .ؼَٝ
حُـي ٍٝأىٗخ )15( ٙهٞح ٙأًؼَ حُٔٞحى آظويحٓخ ً ك ٢حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش .
69
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٟٞ٣ق حٌَُ٘ أىٗخَٗ ٙكخ ً ًٔ٤خ ً ( كٔذ طلٔ َ٤ك٣ِ٤خء حٌُْ ) ٌُ٤ل٤ش ط٤ُٞي حُطخهش حٌَُٜرخث٤ش ٖٓ هِ٤ش ٗٔٔ٤ش ُٞ٣ .ي أ١
كٞطُٝ ٕٞؽ أٌُظَ ٝ ٕٝػـَس ك ٢حُٔ٘طوش ٖٓ حُ٘ٞع ٝ , Pرٔزذ حُٔـخٍ حٌَُٜرخث ٢حُيحهِ , ٢حٌُ َ٤٘٣ ١ربطـخ ٙحُٔ٘طوش
ٖٓ حُ٘ٞع , Pط٘ـَف حٌُ٧ظَٗٝخص حُ ٠حُٔ٘طوش ٖٓ حُ٘ٞع , Nك ٢ك ٖ٤طزو ٠حُؼـَحص ك ٢حُٔ٘طوش ٝ , Pرظَ٤ٛٞ
حُطَكٓ ٖ٤ؼخ ً ٌٖٔ٣ ,إٔ ط٘ظوَ ًَ حٌُ٧ظَٗٝخص حُُٔٞيس ٖٓ هزَ حُلٞطٗٞخص حُ ٠حُٔ٘طوش ٝ , Nطٌَٔ حُيحثَس .
ٝط٤خٍ ىحثَس حُو ٞٛ ) Short-circuit current Isc ) َٜط٤خٍ حٌُ٧ظَٗٝخص حُظُٞ٣ ٢يٛخ ٟٞء حُْ٘ٔ ًٔ ,خ ٟٓٞق
ك ٢حٌَُ٘ أىٗخ ( ٙأ ) )15( .
اًح ُْ طظ َٜحُٔ٘طوظخٕ هخٍؿ٤خ ً طُٞي حُ٘ل٘خص حُٔظَحًٔش ك ٢حُٔ٘طوظ ( ٖ٤طَحًْ حٌُ٫ظَٗٝخص ك ٢حُٔ٘طوش ٝ , nطَحًْ
حُؼـَحص ك ٢حُٔ٘طوش ) pؿٜيح ً ػزَ طٌؼ٤ق حُِٛٞش ٜ٣ٝ , junctionزق حُـٜي كَم ؿٜي أٓخُِٜٓٔ ٢خّ حُؼ٘خث٢
( ِٛٝش حُوِ٤ش p-n junctionطؼَٔ ًٜٔخّ ػ٘خث٣ٝ , ) diode ٢وَ ٓٔي ٓ٘طوش حٗ٧ظوخٍ ٘٘٣ٝؤ ط٤خٍ ٔٛخّ ػ٘خث٢
أٓخٓٝ , ٢ػ٘يٓخ ٣ظٔخ ٟٝط٤خٍ حُٜٔخّ حُؼ٘خث ٢حٓ٧خٓٓ ٢غ ط٤خٍ حُـَف حُوخ ٙرخٌُ٧ظَٗٝخص حُظ ٢طُٞيٛخ حُلٞطٗٞخص
٣ليع طٞحُٕ .
ٌٕٞ٣ٝكَم حُـٜي ك ٢حُطَك ٖ٤كَم ؿٜي حُيحثَس حُٔلظٞكش ٝحُظ٣ ٢طِن ػِٜ٤خ ) ) Open-circuit voltage Voc
ُِوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ًٔ .خ ك ٢حٌَُ٘ أىٗخ ( ٙد ) )15( .
71
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
71
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٌٖٔ٣طٔؼ َ٤أ ١هِ٤ش ٗٔٔ٤ش رٜٔيٍ ط٤خٍ ٓٔظَٔ ,ػ٘ي ٓو ١ٞأٗؼش حُْ٘ٔ ػِٜ٤خ طُٞي ط٤خٍ َٓ ,ر١ٞش ػِ ٠حُظٞحُ١
رٜٔخّ ػ٘خثُِٛٞ ٢ش ًٔ , p-n junctionخ ك ٢حٌَُ٘ أىٗخ)15( . ٙ
⁄
( )
حُظ ٢طؼي حُٔؼخىُش حٓ٧خٓ٤ش ُِو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ,ك٤ٛ ٢ـش ٓظ٘خٓوش ٓغ ٓؼخىُش حُٜٔخّ حُؼ٘خث , ٢ك ٢ك ٖ٤إٔ كَم حُـٜي
ٌٕٞ٣ىحثٔخ ً ٓٞؿزخ ً ,كبٕ حُظ٤خٍ ٌٕٞ٣ىحثٔخ ً ٓخُزخ ً ٌٛٝ ,ح أَٓ ٓل ٕ٧ ّٜٞحُٜٔخّ حُؼ٘خث ٢ؿٜخُ ٓخُذ ٔ٣ظِٜي ١خهش .رٔ٘٤خ
حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش طؼظ زَ رطخٍ٣ش ٣ ,ـذ ػٌْ اطـخ ٙحُظ٤خٍ ٌُ ,ح كبٕ ٓخ ٤ٛ ٢ِ٣ـش أكُٔ َ٠ؼخىُش حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش )15( :
⁄
( )
72
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
إ كَم ؿٜي حُيحثَس حُٔلظٞكش ٞٛ Vocكَم حُـٜي حٌُ ٌٕٞ٣ ١ػ٘ي ٙحُظ٤خٍ ٛلَح ً ًٔ ,خ ٟٓٞق ك ٢حٌَُ٘ أىٗخ)15(: ٙ
رٔخ حٕ حُٜيف ٞٛطلٔ ٖ٤أىحء حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ٝ ,طلٔ ٖ٤أىحء حُوِ٤ش ٣ظْ رَكغ هٔ٤ش ؿٜي حُوِ٤ش حُٔلظٞكش ,كٌُِي ٣ـذ
ٝرخُظخُ ٢طلٔ ٖ٤حىحء حُوِ٤ش ُِ٣خىس هٔ٤ش كَم حُـٜي طوِ َ٤ط٤خٍ حُلوي ٝحُٔٞؿٞى ك ٢حُلي ح٫ه َ٤ك ٢حُٔؼخىُش
حُ٘ٔٔ٤ش .
73
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٓ ٞٛـٔٞع ػ٬ع ط٤خٍحص :حُلوي كٓ ٢طق حُوِ٤ش ( ٝ , ) emitter- e ٗ٬كع ٖٓ حُٔؼخىُش حٕ هٔ٤ش ط٤خٍ حُلوي
حُلوي كٓ ٢خىس حُوِ٤ش ( ٝ , ) bulkحُلوي ك ٢حُٔطق حُوِلُِ ٢وِ٤ش ( . ) Back-Side BS
كخُلي ح٣ ٍٝ٫ليى ط٤خٍ حُلوي كٓ ٢طق حُوِ٤ش ك١ ٢زوش حُزخػغ َٔ٘٣ٝ Emitterط٤خٍ حُلوي ك ٢حُٔٔخكش ر٬ٛٞٓ ٖ٤ص
٢ٛٝطٌ ٕٞحػِٕ٫ ٠ ٝط٤خٍ حُلوي ك٘ٓ ٢طوش ٓ٬ٛٞص حُل٠ش حُل٠ش ٢ٛٝ
ػِٔ٤ش طًَ٤ذ ٓ٬ٛٞص حُل٠ش طٔزذ طوَ٣ذ رٔ ٢٤ك٘ٓ ٢طوش حُظًَ٤ذ )1(.
ٝحُظ ٢طليع ٗظ٤ـش ٝؿٞى ٗٞحثذ ٓؼَ حُلي٣ي ٝحٌَُٝ ّٝؿَٛ٤خ , حُلي حُؼخٗٔ٣ ٢ؼَ حُلوي كٓ ٢خىس حُوِ٤ش
ٌُُي ٣ـذ حٓظويحّ ِٓٗ ٌٕٞ٤و٣ُِ ٢خىس حٌُلخءس ٝطوِ َ٤ط٤خٍ حُلوي ٝرخُظخُٗ ٢ل َٜػِ ٠ؿٜي ىحثَس ٓلظٞكش ػخُ . ٢حًٕ
حٓ ْٛؼ٤خٍ ٗ٫ظخؽ ه٣٬خ ٗٔٔ٤ش رٌلخءس ػخُ٤ش ٗ ٢ٛوخٝس حُِٔ ٢ٛٝ ٌٕٞ٤حٓ ْٛؼ٤خٍ ػِ ٠ح٬١٫م )1(.
ٝ حُلي حُؼخُغ َٔ٘٣ط٤خٍ حُلوي كٓ ٢طق حُوِ٤ش حُوِلٝ BS ٢طَ٘ٔ ط٤خٍ حُلوي ر ٖ٤حُٔ٬ٛٞص حُوِل٤ش
. ط٤خٍ حُلوي ػ٘ي حُٔ٬ٛٞص حُوِل٤ش
ًٔ,خ ك٢ ٝ Series Resistanceحُٔوخٓٝش ٝه ْ٤حُٔوخٓٝش ًٌُٝي ٘ٛخى ػ٬هش ر ٖ٤طوِ َ٤ط٤خٍ حُلوي
حٌَُ٘ حُظخُ)1( . ٢
74
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ًٔخ ًًَٗخ ٓخروخ ً كؤٗ٘خ ٗ٘ز ٚحُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش رٜٔيٍ ُِظ٤خٍ حٌَُٜرخث ٢رل٤غ حًح ٓوطض حٗؼش حُْ٘ٔ ػِٜ٤خ طُٞي ط٤خٍ ُٞٝ
ٗٔظؼ ٞ٤ػٖ حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ريحٞ٣ى ٝحكي ُظٌ ٕٞحًؼَ رٔخ١ش ك ٢طلِ َ٤حُٔؼط٤خص .
٢ٛٝطٔؼَ حُٔوخٓٝش حٌُِ٤ش حُيحهِ٤ش ٌٕٞ٣ٝر ٖ٤حُوطذ حُٔٞؿذ ٝحُٔخُذ ُٝ ,ي٘٣خ ٓوخٓٝش ٓ َٔ٤ط٤خٍ ٠ٔٔ٣
ُِوِ٤ش ٣ؼ٘ٓ ٢وخٓٝش هط ١ٞحُل٠ش ٓٝوخٓٝش ٓٞحى حُوِ٤ش ًِٔٝخ ُحىص ٌٙٛحُٔوخٓٝش هِض ًلخءس حُوِ٤ش ٘٣ٝزؼؾ ٓ٘ل٘٢
حُويٍس ُٓ٬لَ ٣ٝوَ ٓؼخَٓ حُِٔت ُِ Fill Factorوِ٤ش .
ٓ ٢ٛٝوخٓٝش ػٍِ حُٔطق حٓ٫خٓ emitter ٢طٔخٓخ ػٖ هِق حُوِ٤ش ٣ BSؼ٘ ٢حُل َٜحٌَُٜرخث٢ حٓخ حُٔوخٓٝش
ًِٔخ ًخٗض ًزَ٤س ًخٗض ًلخءس حُوِ٤ش حػِ. ٠
⁄
( )
٣وَ كٔ٣ِ٤ي حُلوي ك ٢هٔ٤ش حُظ٤خٍ رٔ٘٤خ ًِٔخ ُحىص هٔ٤ش ٗ٬كع حُلي ح٫ه َ٤ك ٢حُٔؼخىُش ,كؤًِٗٔ ٚخ ُحىص هٔ٤ش
هٔ٤ش حُلوي ك ٢حُظ٤خٍِٛ ُٞٝض هٔ٤ظٜخ ُوً ْ٤زَ٤س ؿيح ٌٖٔ٣حٕ ٗ َٜٔحُلي ح٫ه َ٤ك ٢حُٔؼخىُش ٓٔخ ٣لٖٔ حىحء حُوِ٤ش .
ٔ٣ ٞٛٝؼَ ط٤خٍ حُلوي ٣ Leak Currentـذ حٕ ٣وَِ ح٠٣خ ُظوَِ٤ ُٝي٘٣خ ح٠٣خ حُلي حُؼخٗ ٢ك ٢حُٔؼخىُش ٝكٜ٤خ
حُلوي ك ٢حُظ٤خٍ ٝطلٔ ٖ٤حىحء حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش .كِ٣خىس ط٤خٍ حُلوي ٣وَِ حُلُٞظ٤ش ُِوِ٤ش ًِٔٝخ هَ ط٤خٍ حُلوي ٓ٣ِ٤ي كَم
حُـٜي ُِوِ٤ش ٣ٝلٖٔ ح٫ىحء .
كؼٞحَٓ طلٔ ٖ٤حىحء حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش حُٔظٔؼِش رخٗ٫ؼخع حُ٘ٔٔ ٝ ٢ىٍؿش حُلَحٍس ٜ٣ؼذ حُظلٌْ رٜخ ٌُُي ٣ظْ حُظلٌْ
رؼٞحَٓ حهَُ ٟظلٔ ٖ٤ح٫ىحء ٓؼ ٬طوِ َ٤حُٔوخٓٝش حُيحهِ٤ش ُِوِ٤ش ٝطوِ َ٤ط٤خٍ حُلوي ً ٌٙٛٝخٗض ٜٓٔش طط َ٣ٞحُو٣٬خ
حُ٘ٔٔ٤ش ٢ٛٝطوِ َ٤حُٔوخٓٝش حُيحهِ٤ش ٝط٤خٍ حُلوي .
حًٕ حُٜيف ٞٛطوِ َ٤ط٤خٍ حُلوي ٝرخُظخُ ٢طلٔ ٖ٤كَم ؿٜي حُيحثَس حُٔلظٞكش ُِوِ٤ش ٝحُ٘ظ٤ـش طلٔ ٖ٤حىحء حُوِ٤ش ًٌُٝ .ي
هيٍ ك١ ٢زوش حُزخػغ ( ٓطق حُوِ٤ش حٓ٫خَٓٗ Emitter ) ٢كغ حُٔوخٓٝش حُٔطل٤ش ُطزوش حُزخػغ Emitter
حٌٓ٫خٕ ٌٙٛٝحُؼِٔ٤ش طظطِذ رخٕ طٌ ٕٞهط ١ٞحُل٠ش ٓ٬ثٔش ؿيح ُظو ّٞرؼِٔ٤ش حُظ. َ٤ٛٞ
ُِ Sheet Resistanceزخػغ ًِٔخ ٛؼزض ػِٔ٤ش حُظ َ٤ٛٞرخُل٠ش ٌٙٛٝ ٣ؼًِ٘ٔ ٢خ ُحىص حُٔوخٓٝش حُٔطل٤ش
ُٜخ ػ٬هش رظًَ٤ذ حُل٠شًِٔ ٝ ,خ ٍكؼ٘خ حُٔوخٓٝش حُٔطل٤ش ُِزخػغ ًِٔخ ُحىص ٝ Vocطلٖٔ حىحء حُوِ٤ش )1( .
75
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
طظليى هيٍس حُوَؽ ُِ Pوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش رلخَٟ َٛد كَم حُـٜي ٝ Vحُظ٤خٍ ٝ , ) P = I * V ( Iطٌ ٕٞىحثٔخ ً
أهَ ٖٓ كخَٟ َٛد ط٤خٍ ىحثَس حُو Isc َٜك ٢كَم ؿٜي حُيحثَس حُٔلظٞكش ٝ , Vocحُويٍس حُٔويٍس ُِوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش
1 kw /ك ٢ظَ ظَٝف ( حُويٍس ح٤ٔٓ٧ش ) ٢ٛأه ٠ٜهيٍس هَؽ رظيكن ُِلٞطٗٞخص هيٍ 1 sun ٙأ٣ ٝؼزَ ػٜ٘خ
ه٤خٓ٤ش ,رٞؿ ٚػخّ ,إ َٗ ١حُويٍس حُو)15(: ٞٛ ٟٜٞ
١زوخ ً ُٔؼخىُش حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ,إ هيٍس حُوَؽ ًيحُش ُلَم ؿٜي حُيهَ )15( : ٢ٛ V
⁄
⌊ ( ⌋)
ٌٕٞ٣كَم ؿٜي حُويٍس حُو ٟٜٞأهَ كو ٢روِ ٖٓ َ٤كَم ؿٜي حُيحثَس حُٔلظٞكش :
76
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٓؼخَٓ حُِٔت : Fill Factorهٔٔش حُويٍس ح٫ػظٔ٤ش ُِٞف ػِ ٠كخَٟ َٛد ؿٜي حُيحثَس حُٔلظٞكش Vocك ٢ط٤خٍ
ىحثَس حُؤً , Isc َٜخ ك ٢حٌَُ٘ أىٗخ)1( ٙ
77
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٗخُِٓ ٬وِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش حُوخثٔش ػِِٛٝ ٠ش ٟٝ ٝ p-nؼخكيح ً ً ً
طلِ٬٤ ك ٢ػخّ , 1961أٗـِ ٛٝ ٢ًِٞٗ ْ٤ُٝخْٗ ًٚ٤ٔ٣ٞ
أهٌُ ٠ٜلخءس حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش أكخى٣ش حُِٛٞش ً٘ظ٤ـش ُٔزيأ حُظٞحُٕ حُظلٝ , )15( ٢ِ٤ٜط ُؼَف حٌُلخءس ػِ ٠أٜٗخ
ٗٔزش حُويٍس حُٔويٓش ُلَٔ ٓؼ ٖ٤كٓ ٢وخرَ هيٍس حٗ٩ؼخع حُٔخهُِ ٢وِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ٘ٛٝ.خى ػ٬ػش ٓؼخٓ٬ص كٌٛ ٢ح حُ٘ؤٕ :
ٝ ,طؼظٔي حٌُلخءس ػِ٠ ٝ ,كـٞس ١خهش ٗز ٚحُٔ, َٛٞ ٝ ,ىٍؿش كَحٍس حُوِ٤ش , ىٍؿش كَحٍس حُْ٘ٔ ,
ٗٔزظ٫ ٖ٤رؼي٣ظ)15( : ٖ٤
طظَحٝف ر1ev ٖ٤ طٔخٝ , - 0.025ev ١ٝ طٔخ , 0.5ev ١ٝك ٢ك ٖ٤إ رٍٜٞس ػخٓش ,إ
طظَحٝف ر-80 ٝ 40 ٖ٤ طظَحٝف طوَ٣زخ ً رٝ , -4 ٝ 2 ٖ٤ ٖٓٝ , 2ev ٝػْ كؤٕ حُؤ٤ش ح٤ٓ٧ش حُو٤خٓ٤ش ٢ٛإ
)15( .
ُٝ - 2ؽ أٌُظَٝ ٕٝكـٞس ٝحكي ٓؼخٍ ٌَُ كٞط ٕٞىحهَ .
١ - 3خهش حٌُ٧ظَ ٝ ٕٝحُلـٞس حُِحًىس ػٖ كـٞس حُ٘طخم طظزيى رٌَ٘ كَحٍس .
ح٫كظَحٟخص حُٔخروش ٓظلووش ػِٗ ٠ل ٞؿ٤ي ك ٢حُـخُز٤ش حُؼظٔ ٖٓ ٠حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُظوِ٤ي٣ش ٣ٝ ,ظْ حُظلون ٖٓ حُ٘ظخثؾ
ٖٓ ه ٍ٬حُظـخٍد ٓخ ُْ ٔ٣ظزؼي ٝحكي أ ٝأًؼَ ٖٓ طِي ح٧كظَحٟخص ٓ ,ؼ ً٬ػ٘ي آظويحّ ٟٞء ْٗٔ ًَِٓ ٓٝ ,غ ًُي
ٗلخكع ٗظَ٣ش ٗ ٚ٤ٔ٣ًٞ ٝ ٢ًِٞػًِٜٗٞ ٠خ ٛل٤لش .
78
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
هيٍَّ ٗٔٗ ٚ٤ٔ٣ًٞٝ ٢ًِٞزش هيٍس أُٝحؽ حٌُ٩ظَٗٝخص ٝحُلـٞحص ٝهيٍس حٗ٩ؼخع حُٔخه ٢رخكظَح ٝإٔ حٓظٜخ٤ٛش ٗزٚ
طٌٝ ٕٞحكي ٔ٣ٝ ,ظويّ أ٠٣خ ً طٌٛ ٕٞلَح ً ُٝظِي حُظ ٢رطخهش أًزَ ٖٓ حُُِٔ َٛٞلٞطٗٞخص رطخهش أهَ ٖٓ
ُظوئٗ َ٣زش ح٩طلخى حٗ٩ؼخػُِٝ ٢ؽ أٌُظَ ٕٝكـٞس ,رخُ٘ٔزش ُِلٞطٗٞخص حُظ١ ٢خهظٜخ أًزَ ٖٓ كـٞس حُطخهش طظزيى َٓ٣ؼخ ً
ر٤ٜجش ١خهش كَحٍ٣ش ٖٓ حٌُ٧ظَٗٝخص ,أ ١اُٗ ٌٖٔ٣ ٚلٞط ٕٞرطخهش أًزَ ٖٓ كـٞس ٗطخم ٗز َٛٞٓ ٚإٔ ٣ؼ َ٤أٌُظَٖٓ ٕٝ
ٗطخم حُظٌخكئ حُٗ ٠طخم حُظ١ٝ . َ٤ٛٞخهش ُٝؽ حٌُ٧ظَ ٝ ٕٝحُلـٞس حُِحثيس ػٖ كـٞس حُ٘طخم طظزيى َٓ٣ؼخ ً ػِ٤ٛ ٠جش ١خهش
ٝؿِء ١خهش حُلٞطٗٞخص حُٔٔظويٓش ك ٢حُظلُِ َ٣ٞطخهش حٌَُٜرخث٤ش ٔ٣خ١ٝ كَحٍ٣ش رٔو٤خّ ُٓ٘ ٢هيٍSec. ٙ
كـٞس حُ٘طخم ًٔ .خ ٟٓٞق ك ٢حٌَُ٘ أىٗخ)15( . ٙ
ٝػِ ٚ٤كؤٕ حٌُلخءس حُوُِ ٟٜٞو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٢ٛكو ٢أٓظٜخ ٙؿِء ١خهش حُلٞطٗٞخص حُٔٔخ٣ٝش ُلـٞس حُ٘طخم
طٔخ2.2 ١ٝ ٝطزيى حُطخهش حُلخث٠ش رٌَ٘ كَحٍس ٝ .ػ٘يٓخ طٌٔٗ ٕٞزش كـٞس حُ٘طخم حُ ٠ىٍؿش حُلَحٍس حُ٘ٔٔ٤ش
طٌ ٕٞحٌُلخءس حُؤً . 44% ٟٜٞخ ك ٢حٌَُ٘ حُظخُ)15( . ٢
79
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
طوَ٣زخ ً , 0.5evطٌ ٕٞكـٞس حُ٘طخم حُٔؼِ. 1.1ev ٠ طٔخٝ , 5800 K ١ٝطٔخ١ٝ ٝػ٘يٓخ طٌٕٞ
ٝػِ ٚ٤ػ٘يٓخ طٌ ٕٞكـٞس حُ٘طخم ٛـَ٤س ٌٕٞ٣آظٜخ ٙحُلٞطٗٞخص ًزَ٤ح ً ٓ ٌُٖٝ ,ؼظْ ١خهش حُلٞطٗٞخص طظزيى ػِ٤ٛ ٠جش
كَحٍس ٝ ,ػ٘يٓخ طٌ ٕٞكـٞس حُ٘طخم ًزَ٤س ٣وَ ٓي ٟحٓ٧ظٜخ ٙحُط٤ل. ٢
طليى حٌُلخءس حُو ٟٜٞأه ٠ٜط٤خٍ ىحثَس ٓلظٞكش ١٧هِ٤ش ٗٔٔ٤ش ٝ ,حٌُ٣ ١وخرَ هيٍس أُٝحؽ حٌُ٧ظَٗٝخص ٝحُلـٞحص
حُظُٞ٣ ٢يٛخ حٗ٩ؼخع حُ٘ٔٔ ٢حٌُ ١طٔظوزِ ٚحُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ًٌُٝ ,ي ٣ظُٞي ط٤خٍ طَٔ٣ذ ( ط٤خٍ حٗ٩زخع حُؼٌٔ ) ٢ػ٘ي أ١
ِٛٝش ًِٔٝ , pnخ ُحى ط٤خٍ حٗ٩زخع حُؼٌٔ ٢هَ كَم ؿٜي حُيحثَس حُٔلظٞكش ٝرخُظخُ ٢طوَ حٌُلخءس ٝ,حُؼخَٓ حُٔ ْٜحُٔليى
ٝ ٞٛهض اػخىس ح٩طلخى ,ك٤غ رٔـَى ط٤ُٞي ُٝؽ أٌُظَ ٝ ٕٝكـٞس ربٓظٜخ ٙكٞطٟٞ ٕٞء ُ ٌٕٞ٣ي ٟحُِٝؽ ٓ٩ َ٤ػخىس
ح٩طلخى رظ٤ُٞي اٗؼخع أ ٝا٬١م ١خهش ,كٔذ ٓزيأ حُظٞحُٕ حُظل , ٢ِ٤ٜك٤غ طو٠غ أُٝحؽ حٌُ٧ظَٗٝخص ٝحُلـٞحص ك ٢أ١
هِ٤ش ٗٔٔ٤ش ُ٘ٞػٍ ٖ٤ث ٖٓ ٖ٤٤ٔ٤حُؼِٔ٤خص :ط٤ُٞي أُٝحؽ أٌُظَ ٝ ٕٝكـٞس ٖٓ هزَ حٗ٩ؼخع حُ٘ٔٔ ٝ ٢ػيس ػِٔ٤خص
اػخىس اطلخى .
ٌٖٔ٣ٝطوِ َ٤أ ٝطـ٘ذ حُؼٞحَٓ حُؼي٣يس حُظ ٢طئى٩ ١ػخىس ح٧طلخى ٝ ,حُظ ٢طؼظزَ ِٓز٤ش ػًِ ٠لخءس حُوِ٤ش ٓٝ ,زيأ حُظٞحُٕ
حُظل٣ ٢ِ٤ٜو ّٞػِٓ ًٕٞ ٠ؼيٍ حُظ٤ُٞي ٓٔخُٔ ١ٝؼيٍ ح٩طلخى ,أ ١إ حٗ٧زؼخػ٤ش طٔخ ١ٝحٓ٧ظٜخ٤ٛش ػ٘ي أٞٓ ٍٞ١ ١ؿ٢
ٓؼ. ٖ٤
81
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
٣ؼظزَ أٓ ْٛؼ٤خٍ ُٔؼَكش ؿٞىس حُِٞف حُ٘ٔٔٝ ٢ح١٫خٍ حُِٓ٘ ٢حٌُ ١طْ كٜ٤خ ط٤ٜ٘غ حُِٞف ٌٖٔ٣ٝ ,طوً ْ٤٤لخءس حُو٣٬خ
حُ٘ٔٔ٤ش ٖٓٝػْ ًلخءس حُٞ٧حف حُ٘ٔٔ٤ش ٖٓ هٔ٤ش ؿٜي حُيحثَس حُٔلظٞكش )1( .
رؤٔش ؿٜي حُِٞف ػِ ٠ػيى ه٣٬خ حُِٞف كؤًح ًخٕ حُـٜي )1( .
حًٕ ٓٔظ ٟٞكُٞظ٤ش حُو٣٬خ ٓ ْٜؿيح ًٔؼ٤خٍ ُِظويّ رؤىحء حُٞ٫حف ,كٌِٔخ حٍطلغ حُـٜي ًِٔخ طلٖٔ حىحء حُِٞف ٝ .ه٣٬خ
Full Back Surfaceكُٞظ٤ظٜخ ٫طظـخ ٢ِٓ 660 ُٝكُٞض ٌُٖٝػ٘ي حُظلُ ٍٞظو٘٤ش حُـ ٝ PERCحُظ ٢حٓظـَهض
ٓ٘ٞحص حُ ٠حٕ حٛزلض طـخٍ٣ش ٝحهظٜخى٣ش ٌٙٛ ,حُظو٘٤ش هِِض ػِٔ٤ش طَٔد ط٤خٍ حُظ٘زغ Ioػ٘ي حُٔطق حُوِلُِ ٢وِ٤ش
rear surfaceرٌَ٘ ًز َ٤ؿيح ٝ ,ػِٔ٤ش حػخىس حُ٫ظلخّ ُلخٓ٬ص حٌُ٫ظَٗٝخص ٝحُزَٝطٗٞخص Recombination
, Carriersكخٍطلغ ؿٜيٛخ حُ ٢ِٓ 685 ٠كُٞض ًٌُٝ ,ي ٗ٬كع ه٣٬خ حُـ ِٛٝ Heterojunctionض ُـ ٝ 730
٢ِٓ 740كُٞض .
81
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
حُل َٜحَُحرغ
82
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
كخكع حُِٞف حُ٘ٔٔ ٢ػِ ٠طًَ٤ذ ٗٔط٣ ُْ ٢ظـٞ٘ٓ ٖٓ َ٤حص ٞٛٝأ١خٍ ٓؼيُٗ ٝ ٢ؿخؽ ١ٝزوش ػخُُش ٗلخكش ٝ EVA
حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ١ ٝزوش ٖٓ ٝ EVAػْ حُطزوش حُوِل٤ش ٘ٛ ٝيٝم حَُر ٌُٖ . ٢حُظـَ٤٤حص حُظ ٢كيػض ٢ٛطـ َ٤حُوِ٤ش
حُ٘ٔٔ٤ش ٝطـ َ٤حُظو٘٤ش حُٔٔظويٓش ك٘ٛ ٢خػش حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ٘ٓ .ظطَم ٘ٛخ حُ ٠أٌٗٞٓ ْٛخص حُِٞف حُ٘ٔٔ. ٢
83
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
أٝ ْٛظ٤لش ُطزوش حُِؿخؽ ٢ٛحُلٔخ٣ش ٖٓ حُظِق ,ك٤غ ٣ؼَٔ ُؿخؽ حُٞ٧حف حُ٘ٔٔ٤ش حُٔوTempered solar ٟٞ
ً panel glassطزوش ٝحه٤ش ُُٞ٨حف حُ٘ٔٔ٤ش ٔٓ ،خ ٘ٔ٣غ حُؼٞحَٓ حُز٤ج٤ش ٓؼَ ح٧روَس ٝحُٔ٤خٝ ٙحٓٝ٧خم ٖٓ اط٬ف
حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٞ٣ .كَ ُؿخؽ حُٞ٧حف حُ٘ٔٔ٤ش حُٔؤ tempered glass ٠أً٠٣خ هٞس ػخُ٤ش ٗٝ ,لخً٣ش ٓٔظخُس ,
ٓخ ٓ٘ولً٠خ .
ٝحٗؼٌخ ً
طْ ططُ َ٣ٞؿخؽ هخُ ٖٓ ٢حُظلَِ حُ٘خؿْ حُٔلظَٔ )Potential Induced Degradation free(PID-free
رخٓظويحّ ُؿخؽ ؿي٣ي ُٓولق ً٤ٔ٤خثً٤خ ػٖ ٣َ١ن حٓظزيحٍ أٗٞ٣خص حُٜٞى Na ّٞ٣رؤٗٞ٣خص حُزٞطخٓ K ّٞ٤ك٘ٓ ٢طوش
ٔ٤ٔ٤ً ٠خثً٤خ .
حُٔطق ٌٛ ,ح حُ٘ٞع ٖٓ حُِؿخؽ ػزخٍس ػٖ ُؿخؽ ٌٓ٤ِ٤خص حُٓ ٝ Aluminosilicate glass ّٞ٤ُ٘ٔ٧و َّ
ٔ٣ظويّ حُِؿخؽ حُٔؤ٤ٔ٤ً ٠خثً٤خ ػِٗ ٠طخم ٝحٓغ ك ٢حُٞ٫حف حُ٘ٔٔ٤ش ًٌُٝي ك ٢حُٜٞحطق حًٌُ٤ش .
ُوي ٝؿي إٔ ؿ٤خد أٗٞ٣خص حُٜٞى Na ions ّٞ٣ك٘ٓ ٢طوش حُٔطق ٣ؤغ رٌَ٘ ًز َ٤حُظلَِ حُ٘خؿْ حُٔلظَٔ , PID
طيٍٞٛح ٗي٣يًح رخٓظويحّ ُؿخؽ حُٜٞىح ٝحُـ َ٤حُظوِ٤ي. Soda-lime glass ١
ً كظ ٠رخٓظويحّ ٗلْ حُو٣٬خ حُظ ٢طظَٜ
طْ اؿَحء اهظزخٍُِظلون ٖٓ طؤػ َ٤آظويحّ حُِؿخؽ حُٔولق ً٤ٔ٤خث٤خ ً PID-free glassػِ ٠أىحء ه٣٬خ حُطخهش حُ٘ٔٔ٤ش
,رؼي ٓ 96خػش ٖٓ ططز٤ن 1000كُٞض ػِ ٠حُوِ٤ش ،ربٓظويحّ ٝكيطًَٟٜٞٝ ٖ٤ث٤ش ٖٓ حٍرغ ه٣٬خ ٗٔٔ٤ش ٌَُ ٝكيس
,أكيٛخ طٔظويّ ُؿخؽ طوِ٤ي ٝ ١ح٫هَ ٟطٔظويّ ُؿخؽ ٓولق ً٤ٔ٤خث٤خ ً . PID-free
طيٍٞٛح ك ٢حُطخهش رؤًؼَ ٖٓ ٣ ٫ٝ ٪90ظزو ٖٓ ٪10 ٟٞٓ ٠حُطخهش ،ك ٢ك ٖ٤إٔ
ً ط ُظ َٜحُٞكيس ًحص حُِؿخؽ حُظوِ٤ي١
حُٞكيس ًحص حُِؿخؽ حُٔؤ٤ٔ٤ً ٠خثً٤خ ٫طظ َٜأ ١طيٓ ٍٞٛغ ح٫كظلخظ رؤًؼَ ٖٓ ٖٓ ٪99.5حُطخهش .
٣ظْ ٓ٘غ اٗظوخٍ حٗٞ٣خص حُٜٞى Na ّٞ٣اٍُ ٠هخهش حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤رخٓظويحّ حُِؿخؽ حُٔؤ٤ٔ٤ً ٠خثً٤خ PID-Free
. Tempered Glass
ُ٣ـَٔ حُِؿخؽ ك ٢كٔخّ ٣لظ ١ٞػِٗ ٠ظَحص حُزٞطخٓ٣ . Potassium nitrate ّٞ٤ظْ طزخىٍ أٗٞ٣خص حُٜٞىّٞ٣
Sodium ions Naحُٔٞؿٞىس ػِ ٠حُٔطق حُِؿخؿٓ ٢غ أٗٞ٣خص حُزٞطخٖٓٓ Potassium ions K ّٞ٤
حُٔلِ. ٍٞ
84
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
٫طظ َٜحُٞكيحص حُِٔٝىس رِؿخؽ ٓؤ٤ٔ٤ً ٠خثً٤خ chemically tempered glassأ ١طيno degradation ٍٞٛ
ٓغ ح٫كظلخظ رؤًؼَ ٖٓ ٖٓ ٪99.5حُطخهش .
ك٘ٛ ٢خػش حُطخهش حُ٘ٔٔ٤ش ٌٕٞ٣ ،حُظـِ٤ق حً٧ؼَ ٗٞ٤ػًخ ٞٛأٓ٤ظخص ك َ٤٘٤ح٣٩ؼ ٖ٤ِ٤حُٔظٜخُذ ( . )EVAرٔٔخػيس آُش
حُظٜل٤ق ٣ ، Lamination machineظْ طٜل٤ق laminatedحُو٣٬خ ر ٖ٤أؿ٘٤ش ٖٓ ٓخىس EVAك ٢كَحؽ
ٝ ،حٌُ ٌٕٞ٣ ١طلض حُ٠ـ٣ . ٢ظْ اؿَحء ٌٛح ح٩ؿَحء ك ٢ىٍؿخص كَحٍس ط َٜاُ 150 ٠ىٍؿش ٓج٣ٞش .طظٔؼَ اكيٟ
ػٞ٤د ١زوخص EVAك ٢أٜٗخ ُٔ٤ض ٓوخٓٝش ُٗ٨ؼش كٞم حُز٘لٔـ٤ش ٝ not UV-resistantرخُظخُ ٢كبٕ حُِؿخؽ
حٓ٧خٓ ٢حُٞحهٓ ٢طِٞد ُلل ٚحٗ٧ؼش كٞم حُز٘لٔـ٤ش .
85
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ىٍٝح
ً رٔـَى إٔ ٣ظْ طٜل٤ق ٛ laminatedلخثق حُـ ، EVAطِؼذ ٛلخثق أٓ٤ظخص ك َ٤٘٤ح٣٩ؼEVA sheets ٖ٤ِ٤
ًٓٔ ٜخ ك٘ٓ ٢غ حَُٞ١رش ٝحٓٝ٧خم ٖٓ حهظَحم حُٞ٧حف حُ٘ٔٔ٤ش ٝ .رٔٔخػيس EVAأً٠٣خ " ،ططل "ٞحُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش
ر ٖ٤حُِؿخؽ ٝحُطزوش حُوِل٤ش ٔٓ ،خ ٔ٣خػي ػِ ٠طِ ٖ٤٤حُٜيٓخص ٝحٛ٫ظِحُحص ٝرخُظخُ ٢كٔخ٣ش حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٝىٝحثَٛخ .
حُٔظخٗش Durability
ُ٣ؼَف ١زوش EVAػخُ ٢حُـٞىس رٔظخٗش ٓٔظخُس ٝ ،أً٠٣خ ك ٢حُظَٝف حُـ٣ٞش حُٜؼزش ٓ ،ؼَ حٍطلخع ىٍؿش حُلَحٍس
ٝحَُٞ١رش حُؼخُ٤ش.
86
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
حُظَحرBonding ٢
ك ٢ظَ حُظَٝف حُٔ٘خٓزش ُ ٌٕٞ٤ٓ ،طزوش ٍ EVAحرطش ٛ٫وش ٓٔظخُس Excellent Adhesive Bonding
رخُِؿخؽ حُ٘ٔٔ ْ٤ُٝ ( Solar Glass ٢حُِؿخؽ حُو٤خٓ ٕ٧ ، ٢حُِؿخؽ حُ٘ٔٔٓ ُٚ ٢طق هٖ٘ ) .طَطزEVA ٢
أً٠٣خ رٌَ٘ ؿ٤ي ؿيًح رخُطزوش حُوِل٤ش . Back Sheet
ط٘ظ EVA َٜر٘لخك٤ظٜخ حُٔٔظخُس ٌٛ . Excellent Transparencyح ٣ؼ٘ ٢إٔ حٍٓ٩خٍ حُزOptical ١َٜ
ٓ transmissionوز٘ٔ٣ ٫ٝ ٍٞغ حٌُؼ َٖٓ٤أٗؼش حُْ٘ٔ حُظ ٢طلخ ٍٝحُ ٍٞٛٞاُ ٠حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش .ك ٢حُٞهض
حُلخٔ٣ ، َٟظويّ حُؼي٣ي ٖٓ حًَُ٘خص حُٜٔ٘ؼش هِل٤ش ٗلخ ًكش ٔٓ ،خ ٣ئى ١اُٗ ٠لخك٤ش ر ٖ٤حُو٣٬خ ٗظ٤ـش ٌُُي ُ٣ .ؼَف ٌٛح
حُ٘ٞع ٖٓ حُٞكيحص ٗز ٚحُ٘لخكش . semi-transparent
طلظٓ ١ٞؼظْ حُطزوخص حُوِل٤ش Back sheetsػِ١ ٠زوخص ٓظؼيىس ٘ٛ ٌُٖٝ ، multiple layersخى أً٠٣خ ١زوخص
هِل٤ش أكخى٣ش حُطزوش ٔٓ single layerظويٓش ك ٢حُٞكيحص حٌَُٟٜٞٝث٤ش .طلظ ١ٞحُٞ٧حف حُوِل٤ش حٌَُٟٜٞٝث٤ش
حُٔٔظويٓش ػِٗ ٠طخم ٝحٓغ ػِ١ ٠زوخص طؼظٔي ػِ ٠حُزَٔ٤ُٞحص ٓؼَ حُز ٢ُٞا٣ؼ ٖ٤ِ٤ط٣َ٤لؼخُ٤ض ( ، )PETكِ٣ٍٞي حُز٢ُٞ
ك ، )PVF( َ٤٘٤كِ٣ٍٞي حُز ٢ُٞكِ٤٘٤يٝ )PVDF( ٖ٣حُز ٢ُٞأٓ٤ي ( )PAرٔٔخًخص طظَحٝف ٖٓ 30آٌَُٝ٤ٓ 270 ٠ظَ .
ىٍٝح ًٓٔ ٜخ ك ٢كٔخ٣ش حُٞكيس حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٖٓ ح٩ؿٜخى ٝ ،رخُظخُ ٢كبٕ حُٔظخٗش
طِؼذ حُطزوش حُوِل٤ش ُُٞ٨حف حُ٘ٔٔ٤ش ً
ِ٣ٞ١ش حُٔيُِٜ ٟلخثق حُوِل٤ش أَٓ رخُؾ ح٤ٔٛ٧ش .
87
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
٣ظْ ٟٝغ حُطزوش حُوِل٤ش ُِٞكش حُ٘ٔٔ٤ش طلض ٟـٌ٤ٓ ٢خٗ ٝ ٢ٌ٤ر٤جٓ ٢ظٌٍَ ٌُٝ ,ح ٣ـذ إٔ طئى ١حُـَ ٚ٘ٓ ٝؿ٤يًح
ُٔ٠خٕ ٍٞ١حُؼَٔ حٌُُِِٞ ٢كش رؤًِٜٔخ .طلظ ١ٞحُٞكيحص حٌَُٟٜٞٝث٤ش حًُ٘ٔٞؿ٤ش ( )PVػِ ٠ر٘٤ش حُطزوش حُٟٔٞلش
ك ٢حٍُٜٞس أػ٣ . ٙ٬ظْ حٓظويحّ حُِٞف حُوِل ، ٢حُٜٔٞ٘ع ػخىسً ٖٓ ر َٔ٤ُٞأ٣ِٓ ٝؾ ٖٓ حُزَٔ٤ُٞحص ُ ،ظـط٤ش حُـِء
حُوِل ٖٓ ٢حُٞكيحص حٌَُٟٜٞٝث٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ٝ .طظٔؼَ حُٞظ٤لش حَُث٤ٔ٤ش ُ ٌٜٙحُطزوش ك ٢طٞك َ٤ػٍِ ًَٜرخثُِ ٢يٝحثَ
حُيحهِ٤ش ٓغ حُز٤جش حُوخٍؿ٤ش ٌُُ .ي ،هي ٣ظٔزذ حُ ٍَ٠ك ٢كيٝع ٓوخ َ١ؿٔٔ٤ش ػِ ٠حُٔٓ٬ش .
ح٩هلخهخص حُٔ٤يحٗ٤ش ُِطزوش حُوِل٤ش ٝ Back sheetآػخٍٛخ ػِ ٠أىحء حُِٞف حُ٘ٔٔ: ٢
ك ٢حُٔ٘ٞحص ح٧هَ٤س ،حُىحى حُلَ٘ حُٔ٤يحُِٜٗ ٢لخثق حُوِل٤ش back sheetsرٔؼيٍ ٌٍ٘٣رخُوطَ ٝ .طَ٘ٔ ٌٙٛ
حُظ٘ووخص (حُطزوش حُيحهِ٤ش أ ٝحُوخٍؿ٤ش) ٝ ،حُظ٘ون ٝحٛ٧لَحٍ .طظ َٜحُٔ٬كظخص حُٔ٤يحٗ٤ش ُ٣خىس ٓؼي٫ص طيٍٞٛ
حُطزوش حُوِل٤ش رَٔ ٍٝحُٞهض ٓغ ؿٔ٤غ أٗٞحع ٓٞحى حُطزوش حُوِل٤ش ٝ .هي أٗخٍص حُظوخٍ َ٣اُ ٠إٔ ح٩هلخهخص حُٔ٤يحٗ٤ش ُ٘ٞع
ٖٓ PAحُطزوش حُوِل٤ش ط َٜاُ ٪95 ٠كٓ ٢ض ٓ٘ٞحص كو ٖٓ ٢حُظ٘ـ. َ٤
ٗظَح ٕ٧حُٞ٧حف حُوِل٤ش ٜٓٔٔش ُِؼَٔ ًؼخٍُ ،كبٕ حُوَِ أ ٝحُلَ٘ ػخىس ٓخ ٣ئى ١اُ ٠طؤػٟ َ٤خٍ ػِ ٠أىحء حُٞكيس
ً
حٌَُٟٜٞٝث٤ش .طؼظزَ أهطخء حُظؤٍ ٞ٣رٔزذ حٗولخٓ ٝوخٓٝش حُؼٍِ ٢ٛحُ٘ظ٤ـش حً٧ؼَ ٗٞ٤ػًخ ُلَ٘ حُطزوش حُوِل٤ش .
ٓ ٞٛٝخ ٣ئى ١ؿخُزًخ اُ ٠طؼؼَ حُؼخًْ ٔٓ ،خ ٣ظٔزذ ك ٢كوي ١خهش ًز . َ٤رخٟ٩خكش اُ ٠كويحٕ ح٧ىحء ٌٖٔ٣ ،إٔ طئى١
أػطخٍ حُظؤٍ ٞ٣أً٠٣خ اُ٬ٌ٘ٓ ٠ص طظؼِن رخُٔٓ٬ش ٔٓ ،خ هي ٣ئى ١اُ ٠كيٝع هطَ كَ٣ن ُِ٘ظخّ رؤًِٔ . ٚهطَ٤رٌَ٘
هخ ٙػِ ٠حٗ٧ظٔش حٌَُٟٜٞٝث٤ش حٌُزَ٤س ،ك٤غ ٌٖٔ٣إٔ َٔ٣ط٤خٍ حُظَٔد ى ٕٝإٔ ٬٣كظ ٚأكي ُلظَس ِ٣ٞ١ش رٔزذ
ٗطخم كٔخٓ٤ش ٌٓٗٞخص حًظ٘خف ح٧ػطخٍ .
ٌٖٔ٣إٔ ٣ئى ١طٌٔٝ َ٤طلٌ٤ي حُطزوش حُوِل٤ش أً٠٣خ اُ ٠طآًَ أَٗ١ش طٍٝ َ٤ٛٞر ٢حُو٣٬خ Ribbon connections
ٝأَٗ١ش حُظ busbars َ٤ٛٞىحهَ حُيحثَس حُيحهِ٤شٞٓ .ف ٣ظٔزذ حُظآًَ ك ٢ظٗ ٍٜٞوخٓ ١خه٘ش ٔٓ hot spotsخ
٣ؼ٘ ٢إٔ حُطخهش ٣ظْ طزي٣يٛخ ػِ ٌَٗ ٠كَحٍس ٓٔخ ٣ئى ١اُ ٠كوي اٟخكُِ ٢طخهش .
88
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
طْ طٓ ْ٤ٜٔؼ٤خٍ ٜٗخىس حُٞكيس حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٓٝ IEC 61215ؼ٤خٍ حُٔٓ٬ش ٫ IEC 61730هظزخٍ حُٞكيحص
حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٟي ح٩هلخهخص حُٔزٌَس ٫ٝطلخً ٢حُ٠ـ ١ٞحُز٤ج٤ش حُظ ٢هي طٞحؿٜٜخ حُٞكيحص حٌَُٟٜٞٝث٤ش كٌٛ ٢ح حُٔـخٍ
ٓ .غ حُظويّ ك ٢حهظزخٍ حُٔٞػٞه٤ش ُِٞكيحص حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝحُٔٞحى ٌٖٔ٣ ،ح ٕ٥اه٠خع حُطزوش حُوِل٤ش ٫هظزخٍحص اؿٜخى
ٓـٔؼش ٓٝظِِٔٔش ٌُِ٘ق ػٖ كخ٫ص كَ٘ ٓ٘خرٜش ُظِي حُظُٞ ٢كظض كٌٛ ٢ح حُٔـخٍ .
ػخىسً ٓخ ٣ظْ طلي٣ي طي ٍٞٛحُطزوش حُوِل٤ش ٝكَ٘ حُٞكيحص حٌَُٟٜٞٝث٤ش ك ٢حُٔ٤يحٕ ٖٓ ه ٍ٬حُلل ٚحُز . ١َٜحػظٔخىًح
ػِٔٓ ٠ظ ٟٞحُظلَِ ٌٖٔ٣ ،اؿَحء حهظزخٍ كَى Rubbing testرخٓظويحّ ٓخىس ػخُُش .هزَ حُو٤خّ رٌُي ٣ ،ـذ
ػٍِ ِِٓٔش حُو٣٬خ The Stringػٖ حُيحثَس حٌَُٜرخث٤ش ٌٖٔ٣ .أً٠٣خ حٓظويحّ حُظ َ٣ٜٞحُلَحٍُ ١ظلي٣ي حُ٘وخ١
حُٔخه٘ش حُ٘خطـش ػٖ حُظآًَ أ ٝحُظ٘ ٙٞحُ٘خطؾ ػٖ ػ٤ذ ك ٢حُطزوش حُوِل٤ش ٌٖٔ٣ .حٓظويحّ ٌٛح رخ٫هظَحٕ ٓغ حُظَ٣ٜٞ
ػخُ ٢حُيهش رخٓظويحّ ١خثَحص ري٤١ ٕٝخٍ ُ٫ظوخ ١حُظ٘ ٖ٣ٞحُٔلظَٔ حَُٔث ٖٓ ٢حُـخٗذ حٓ٧خُِٓٞ ٢كيس حٌَُٟٜٞٝث٤ش .
ٌٖٔ٣أً٠٣خ طلي٣ي ٗٞع حُطزوش حُوِل٤ش حُٔٔظويّ ك ٢حُٞكيس حُ٘ٔط٤ش حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝحُظي( ٍٞٛإ ٝؿي) رخٓظويحّ
ٓط٤خك٤ش كُ ٚ٤٣ٍٞظل َ٣ٞحٗ٧ؼش طلض حُلَٔحء ( Fourier Transform Infrared )FTIRك ٢حُٔـخٍ ٢ٛٝ ،
طو٘٤ش طٔظويّ ُظلي٣ي حُٔٞحى حُز٣َٔ٤ُٞشٔ٣ .ظويّ ٟٞء حٗ٧ؼش طلض حُلَٔحء ُٔٔق حُؼ٘٤خص ٝحًظ٘خف حُوٜخثٚ
حٌُ٤ٔ٤خث٤ش ُِٔخىس .
٣ظْ طؼي ٖ٣حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُٔ٤ٌٗٞ٤ِ٤ش حُظوِ٤ي٣ش رَ٘حثٍ ٢ه٤وش ٓٔظطِ٤ش حٌَُ٘ thin rectangular-shaped
ٓ stripsطزٞػش ػِ ٠حُٔطق حٓ٧خٓٝ ٢حُوِلُِ ٢وِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ٘٣ .خٍ اَُٗ ٠حث ٢حُظ ْٓ٬حٓ٧خٓ٤ش ٝحُوِل٤ش ٌٙٛ
ػِ ٠أٜٗخ ه٠زخٕ حُظ ، َ٤ٛٞأ . busbars ٝحُو٠زخٕ حُ٘ٔٔ٤ش ُٜ solar busbarsخ ؿَٝ ٝحكي رٌُٔٚ٘ٝ ٢٤
ٓ : ْٜاٜٗخ ط َٛٞحُظ٤خٍ حُٔزخَٗ حٌُ ١ط٘ظـ ٚحُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ٖٓ حُلٞطٗٞخص حُٞحٍىس .
ػخىسً ٓخ طٌ ٕٞه٠زخٕ ط َ٤ٛٞحُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٜٓٞ٘ػش ٖٓ حُ٘لخّ حُٔطِ ٢رخُل٠ش ٣ .ؼي حُط٬ء حُل٣ً ٍَٟٝ ٢٠خ
ُظلٔ ٖ٤ط َ٤ٛٞحُظ٤خٍ (حُٔطق حٓ٧خًٌُٓٝ )٢ي ُظوِ َ٤حًٔ٧يس (حُٔطق حُوِل. )٢
ػٔٞىً٣خ ػِ ٠ه٠زخٕ حُظ busbars َ٤ٛٞطٞؿي أٛخرغ حُ٘زٌش حُٔؼيٗ٤ش ٝحَُه٤وش ؿيًح super-thin grid fingers
ٝ ،حُظ ٢طٔٔ ٠أً٠٣خ أٛخرغ حُظ ْٓ٬أٝ , contact fingers ٝطؼَف رزٔخ١ش :اٜٗخ أٛخرغ ٓ fingersظِٜش
رٞحٓطش ه٤٠ذ حُظ. busbar َ٤ٛٞ
ط ُـٔغ حٛ٧خرغ fingersحُظ٤خٍ حُٔظُٞي ٝطِٔٔ ٚاُ ٠حُو٠زخٕ ٣ . busbarsظْ ُلخّ أٓ٬ى حُظـٔ٤غ Tab wires
رو٠زخٕ حُظُ busbars َ٤ٛٞظِِٔٓ َ٤ٛٞش ٖٓ حُو٣٬خ ٝ string of cellsرخُظخُ ٢طـٔ٤غ حُظ٤خٍ حٌَُٜرخث٢
ُِِٔٔش ٝحكيس .
89
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٝحُظ ٢طو ّٞرؼي ٣ظْ طٓ َ٤ٛٞـٔٞػخص ٓ َٓ٬حُو٣٬خ cell stringsرخُظٞحُ ١رٞحٓطش أٓ٬ى ٗخهِش bus-wires
ًُي رظ َ٤ٛٞحُطخهش حُظَحًٔ٤ش ٖٓ ؿٔ٤غ حُو٣٬خ اُ٘ٛ ٠يٝم حُظ. junction box َ٤ٛٞ
طٟٞق حٍُٜٞس أىٗخ ٙهِ٤ش ٓ ٌٕٞ٤ِ٤ٓ PVظؼيىس حٌَُٔ٣ظخ٫ص رٜخ 3أَٗ١ش (أكو٤ش) ٝ busbarsأٛخرغ (ٍأٓ٤ش)
: fingers
ك ٢حٓ٧خّ ٣ ،ظٔٓ ِ٤طق حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش حُظوِ٤ي٣ش ر٘زٌش ٖٓ ٌٙٛحٛ٧خرغ حُيه٤وش حُظ ٢طـٔغ حُظ٤خٍ ٝط ِٚٛٞحُ٠
ه٠زخٕ ط َ٤ٛٞحُظ٤خٍ .طظْ ١زخػش ٌٙٛحُٔ٬ٛٞص -حُو٠زخٕ ٝحٛ٧خرغ -ػِ ٠حُٔطق ػزَ طو٘٤ش طٔٔ١ ٠زخػش حُٔطق
. screen printing
91
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
حُٔلظخف ك ٢طٝ ْ٤ٜٔاٗظخؽ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُظوِ٤ي٣ش ٞٛطلو٤ن حُظٞحُٕ حٓ٧ؼَ ر: ٖ٤
: busbars and fingers resistance losses هٔخثَ ٓوخٓٝش حُو٠زخٕ ٝحٛ٧خرغ
طليع رٔزذ حٓظويحّ ػيى هِ َ٤ؿيًح ٖٓ حُٔٔٓ٬خص حُٔؼيٗ٤ش ٝ ، metallic contactsرخُظخُ ٢هِن ٓٔخكخص أًزَ رْٜ٘٤
.
ٗ ٞٛظ٤ـش ػيى ًز َ٤ؿيًح ٖٓ حُٔ٬ٛٞص contactsػِٓ ٠طق حُوِ٤ش ٔٓ ،خ ٘ٔ٣غ حُٞ٠ء رٌَ٘ أٓخٓ ٖٓ ٢ىهٍٞ
حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش .
طظٔؼَ حُؼٞحَٓ حُٔئػَس ك ٢حٍطلخع ٝػَ ٝه٠زخٕ حُظٝ ، busbar َ٤ٛٞػَ ٝحٛ٧خرغ : fingersحُٔٔخكخص رٖ٤
حٛ٧خرغ ٝحُو٠زخٕ رخٟ٩خكش اُٞٗ ٠ع حُٔؼيٕ ٝؿٞىط. ٚ
solar bus wire and tab wire ِٓي حُظ َ٤ٛٞحُِ٘ٔٔٓٝ ٢ي حُظـٔ٤غ : 6–4
ٗظَح ٕ٧حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُلَى٣ش ط٘ظؾ ؿٜيًح ٓ٘ولً٠خ ٖٓٝأؿَ حُل ٍٜٞػِ ٠ؿٜي ٓ٘خٓذ ٣ ،ـذ ط َ٤ٛٞحُو٣٬خ
ً
حُ٘ٔٔ٤ش كِِٔٓ ٢ش ُظٌ٘ٛ َ٤لٞف ُ .ظ َ٤ٛٞحُو٣٬خ حُلَى٣ش ك ٢حُِِٔٔش ٝأً٠٣خ رٔوخٓٝش ِِٓٔش ٓ٘ول٠ش ٣ ،ظْ ُلخّ
َٗ ٢٣حُظ ْٓ٬حُٔؼيٗ - Tab wire – ٢آخ ٣يً٣ٝخ أ ٝأُ٤خ رَ٘ ٢٣حُظ . - busbar - َ٤ٛٞكٜٗ ٢خ٣ش ِِٓٔش حُو٣٬خ
َ٣رِٓ ٢ي حُ٘خهَ ٌٙٛ bus wireحُٜلٞف رخُظٞحُ٤ُ . ١ظْ ؿٔغ ط٤خٍحص ٓ َٓ٬حُو٣٬خ حَُٔطزطش .
ِٓي حُظـٔ٤غ ( ) Tab wire or Tabbing wireػزخٍس ػٖ ِٓي ٗلخٓٔٓ ٢طق ٣ . Flat Copper Wireظْ
طل َٙ٤٠ػخىس ػٖ ٣َ١ن طٔط٤ق ح٬ٓ٧ى حُ٘لخٓ٤ش حُٔٔظيَ٣س كٔٓ ٌَٗ ٢طق ٣ .ظْ اػطخء حُِذ حُ٘لخٓ١ ٢زوش ُلخّ
ُِٔٔ solder coatخف رُٜٔٞش ُلخّ حُو٣٬خ .
ٔٔي ٝػَٓ ٝوظِق ٖٓ ،كٞحُ ْٓ 1 ٢اُ ٠كٞحُُِ ْٓ 2 ٢ؼَ . ٝطظَحٝف حُٔٔخًخص ٖٓ كٞحُ ٢ػَُ٘ حُِٔٔ٤ظَ طظٞكَ ر ُ
ػَ٘ ٖٓ ٖ٣حُِٔٔ٤ظَ .
اُ ٠كٞحُُ ٢
٣ظْ حٓظويحّ ِٓي حُ٘خهَ َُ bus wireرٛ ٢لٞف حُو٣٬خ ػِ ٠حُظٞحُ . ١اٗ ٚأً٠٣خ ٓ ،ؼَ ِٓي حُظـٔ٤غ ، tab wire
ٗظَح ٣ ٚٗ٧ـذ إٔ ٣لَٔ ٓـٔٞع ط٤خٍحص حُٜق ٣ ،ـذ إٔ ٜٓٞ٘ع ٖٓ ٓوطغ ػَٔٓ ٢ٟطق ً . flat cross-section
ُِِٔ ٌٕٞ٣ي حُ٘خهَ bus wireرٔٔي ٝػَ ٝأًزَ ُِٔٔخف رٔوخٓٝش أهَ ٌَُ ٝكيس ِٓ ٖٓ ٍٞ١ي حُظـٔ٤غ
. tabbing wire
91
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٓؼَ حُـ ، tabbing wireكٜٞ٘ٓ ٜٞع أً٠٣خ ٖٓ ِٓي ٗلخٓ ٢ىحثَ ٖٓ ١ه ٍ٬ػِٔ٤ش ىٍكِش Rolling process
ٓٝـِق رطزوش ٖٓ حُِلخّ ُِٔٔ layer of solderخف رخُِلخّ حُٔ. َٜ
طظَحٝف حُٔٔخًش حُٔظخكش ػخىس ٖٓ كٞحُ ْٓ 0,15 ٢اُ ٠كٞحُ٣ . ْٓ 0,35 ٢ظٞكَ رؼَ٣ ٝظَحٝف ٖٓ ْٓ 4آُْ 6 ٠
طوَ٣زًخ .كٝ ٢حهغ ح ، َٓ٧كبٕ ُِٞ bus wire ٝ tabbing wireكيحص حُ٘ٔٔ٤ش ٗ ٢ٛلٜٔخ رٌَ٘ ػخّ كو٣ ٢ـذ
إٔ ٣لَٔ ( (bus wireط٤خٍ حُ٘خهَ (ٝ ، )bus currentحٌُ ٌٕٞ٣ ١أًزَ رؼيس َٓحص ٖٓ ط٤خٍ حُِِٔٔش row current
ٖٓٝ .ػْ ٣ـذ إٔ ِٓ ٌٕٞ٣ي حُ٘خهَ أًؼَ ًٌٓٔخ ٝأٓٝغ ٗطخهخ ً ٔٛ٬ً .خ ٣زخع ػُِ ٌَٗ ٠لخص رؤكـخّ ٓوظِلش .
حٓ٧خُ٤ذ ٓظؼيىس حُـٞحٗذ ُٔ٤ض ٓٞؿٜش كو٧ ٢ىحء حُوِ٤ش ٞٓٝػٞه٤ظٜخ ٌُٖٝأً٠٣خ رٌَ٘ ًزٗ َ٤ل ٞطوِ َ٤طٌخُ٤ق حُٔٞحى -
هخٛش كٔ٤خ ٣ظؼِن رخُؼـ٘٤ش حُل٤٠ش حُٔٔظويٓش ك٘ٛ ٢غ ه٠زخٕ حُظ َ٤ٛٞحُظوِ٤ي٣ش -رخٟ٩خكش اُ ٠حُظلٔ٘٤خص حُـٔخُ٤ش .
طؼي ه٣٬خ ه٠زخٕ ( أٓ٬ى ) حُظ َ٤ٛٞحُٔظؼيىس ، multi-busbar cellsرٌَ٘ ِٓلٞظ ٖٓ 5حُ5 – ( َٛٞٓ 12 ٠
ٝ ، ) 12 BBحكيس ٖٓ ح٫طـخٛخص حَُث٤ٔ٤ش ك ٢ط ْ٤ٜٔحُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٝحُٞكيس حُ٘ٔط٤ش .
طًَِ حُؼي٣ي ٖٓ حًَُ٘خص حُٜٔ٘ؼش ُِٞكيحص حٌَُٟٜٞٝث٤ش حٌُزَ٤س ،رٌَ٘ ٓظِح٣ي ػِ ٠اٗظخؿٜخ ػِٝ ٠كيحص حُطخهش
حٌَُٟٜٞٝث٤ش رخٓظويحّ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ًحص حُظ ْٓ٬حُوِلٓ )PERC( ٢غ ؿٜخص حطٜخٍ أٓخٓ٤ش ( . ) 5 – 12 BB
ٌٛح حُؼيى حُٔظِح٣ي ٖٓ حُٔ٬ٛٞص ٣وَِ ٖٓ هٔخثَ حُٔوخٓٝش حُيحهِ٤ش ٝ ،حُظ ٢طَؿغ اُ ٠حُٔٔخكش ح٧هَ ر ٖ٤حُٔ٬ٛٞص .
ػِ ٠حَُؿْ ٖٓ إٔ حُؼيى حً٧زَٖٓ حُٔ٬ٛٞص طِ٣ي ٖٓ طظِ َ٤حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ،ا ٫إٔ ح٧ىحء حُؼخّ ُِو٣٬خ ٓظؼيىس
حُٔ٬ٛٞص أك َ٠رٌؼ ٖٓ َ٤ه٣٬خ ( ) 2 – 3 BBحُٔخروش .
92
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٗظَح ٕ٧حُ٘وٞم حُٜـَ٤س طليع ػخىسً ر ٖ٤ه٠زخٕ حُظ ، َ٤ٛٞكبٕ طؤػ ٌٙٛ َ٤حُ٘وٞم ٣ظْ طوِٗ ِٚ٤لَٗ ٞحثق حُو٣٬خ
ً
حٛ٧ـَ حُٔظؤػَس ر ٖ٤ه٤٠زٝ . ٖ٤رخُظخُ ، ٢رخُٔوخٍٗش ٓغ حُو٣٬خ حُظوِ٤ي٣ش ، 3BB ٝ 2BBكبٕ حُٔٞػٞه٤ش ِ٣ٞ١ش حُٔيٟ
ُوِ٤ش ٓظؼيىس حُو٠زخٕ كظ ٠ك ٢كخُش كيٝع ط٘ووخص ٛـَ٤س طٌ ٕٞأػِ . ٠أً٠٣خ ٗ ٖٓ ،خك٤ش حُظٌِلش ٔٔ٣ ،ق حُظْ٤ٜٔ
ٓظؼيى حُو٠زخٕ ٓغ ه٠زخٕ حُظ َ٤ٛٞحَُه٤وش رظول ٞ٤اؿٔخُُِ ٢ؼـ٘٤ش حُل٤٠ش رخٛظش حُؼٖٔ .
ػِ ٠ػٌْ ٜٗؾ ٓظؼيى حُٔ٬ٛٞص ،كبٕ رؼ ٞحًَُ٘خص حُٜٔ٘ؼش طٔ َ٤ك٣َ١ ٢ن ري٬ٛٞٓ ٕٝص ،طٔظويّ ه٠زخٕ
حُظ َ٤ٛٞحُٜلَ٣ش ٝحُظ٣ ٢طِن ػِٜ٤خ Zero-wire designأ ١إ طٜٔ٤ٜٔخ ري ٕٝأٓ٬ى َٗ ,حثق حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش
حُٔظيحهِش ,حُظ ٢طَطز ٢حٍطزخ ً١خ ًَٜرخثً٤خ رزؼٜ٠خ حُزؼ ٞرٌَ٘ ٓزخَٗ .
-ط ْ٤ٜٔأًؼَ َٓٗٝش ُلـْ حُٞكيس ٣ -وظ َٜط ْ٤ٜٔحُٞكيس حُظوِ٤ي٣ش ػِ ٠كـْ حُوِ٤ش ٓٝظطِزخص حُظزخػي
-ػٞ٤د ٓظؤِٛش ك ٢حُوِ٤ش أهَ حكظٔخُ٤ش ٓؼَ حُظ٘ووخص حُيه٤وش ٝ ،حُظ ٢طليع ؿخُزًخ رٔزذ ُلخّ حُوِ٤ش
رٔ٘٤خ طًَِ طٔ٤ٜٔخص حُٔ٬ٛٞص حُٔظؼيىس ٝحُٔ٬ٛٞص ح٧هَ ػِ٣ُ ٠خىس ح٧ىحء ٝحُٔٞػٞه٤ش ،طًَِ حُٔ٘خٛؾ ح٧هَ ٟػِ٠
طوِ َ٤طٌخُ٤ق حُٔٞحى ًُٝ ،ي ك ٢حُٔوخّ ح ٍٝ٧ػٖ ٣َ١ن طوِ َ٤طٌِلش حُٔؼيٕ حُل٬ٓ٧ silver metallization ٢٠ى
حُظٜٗ . َ٤ٛٞؾ آهَ ٣ظْ حُظَ٣ٝؾ ُ ٚكخًُ٤خ ٞٛحٓ٫ظزيحٍ حٌُخَٓ ُِل٠ش ُٔؼيٕ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش رٔٞحى ريِ٣ش ٓؼَ
حُوٜي َ٣أ ٝحُ٘. ٌَ٤
93
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ُوي طِٛٞض حُٜ٘خػش ك ٢حُٔ٘ٞحص ح٧هَ٤س اُ ٠ري َ٣أًؼَ كؼخُ٤ش ٖٓ ك٤غ حُظٌِلش ُو٠زخٕ حُظ َ٤ٛٞحُظوِ٤ي٣ش حٌُخِٓش :
ه٠زخٕ ٗوَ ر٘ٔ ٢هٓ ٢ظوطغ ٔٓ ،خ ٣وَِ ٖٓ حٓظويحّ ػـ٘٤ش حُل٠ش رخٛظش حُؼٖٔ .طٞؿي أٗٞحع ٓوظِلش ٖٓ أَٗ١ش
حُظ َ٤ٛٞر٘ٔ ٢هٓ ٢ظوطغ ٓ ، dash-line pattern busbarsؼَ ، dash-6 ٝ ، dash-5 ٝ ، dash-3
ٝكظ. dash-8 ٠
، ٗظَح ٕ٧طول٠٤خص حُظٌِلش ؿخُ ًزخ ٓخ طٔ َ٤ؿ٘زًخ اُ ٠ؿ٘ذ ٓغ طول٠٤خص حُـٞىس ٝحُٔٞػٞه٤ش ػِ ٠حُٔي ٟحُطَ٣ٞ
ً
ٌٖٔ٣أً٠٣خ ٓ٬كظش ًُي رخُ٘ٔزش ٫هظَحػخص حُٔ٬ٛٞص ر٘ٔ ٢هٓ ٢ظوطغ .
أظَٜص ح٧رلخع إٔ ه٠زخٕ حُظً َ٤ٛٞحص حُ٘ٔ ٢حُٔظوطغ dash-pattern busbarأًؼَ ػَٟش ُِظ٘ون حُٔلظَٔ
ٝطي ٍٞٛحُطخهش ٢ٛٝ -حٌُٔ٘٬ص حُظ ٢طِىحى ٓغ ػيى حُوط ١ٞحُٔظوطؼش ٓ ، dash-linesغ طَحًْ ح٩ؿٜخى حُلَحٍ١
ٝحُظ٘ون حٌُ٣ ١ليع كُٝ ٢ح٣خ َٗ ٢٣حُظٝ َ٤ٛٞرخُظخُِ٣ ٢ىحى ٓغ ػيى حُظوطؼخص . dashes
94
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ً
ٓـخُِ ٫ظلٔ٣ . ٖ٤ظ ٖٔ٠أكي ٌٙٛ ػ٘ي طلٔ ٖ٤أىحء حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ،طٞكَ أٓ٬ى حُظـٔ٤غ tabbing wiresأً٠٣خ
حُظلٔ٘٤خص حٓظويحّ أٓ٬ى حُظـٔ٤غ حُٔٔظيَ٣س ٝ ، round tab wireحُظ - ٢رخُٔوخٍٗش ٓغ ح٬ٓ٧ى حُٔٔظطِ٤ش حٌَُ٘
-طؤط ٢رظظِ َ٤أهَ رٔزذ ٓٔخكظٜخ حُٜـَ٤س .
إ حٓظويحّ أٓ٬ى حُظـٔ٤غ حُِٔٗٞش ُٚ colored tab wireأٓزخد ؿٔخُ٤ش ك ٢حُٔوخّ حٝ ٍٝ٧هي ط َٛٞحُزخكؼٕٞ
ًٌُٝي حًَُ٘خص حُٜٔ٘ؼش اُ ٠كِ ٍٞكٌٛ ٢ح حُٜيى ُظلٔ ٖ٤حُٔظ َٜحُؼخّ ُِٞكيحص حُ٘ٔٔ٤ش .
95
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
حُل َٜحُوخْٓ
96
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
حُظؤػ َ٤حٌَُٟٜٞٝث٣ ٢ؼ٘ ٢كَكً٤خ ط٤ُٞي ؿٜي ػ٘ي حُظؼَٞ٠ُِ ٝء ُٞ .كظض ٌٙٛحُظخَٛس َٓ ٍٝ٧س ٖٓ هزَ حُل٣ِ٤خث٢
حُلَٗٔ ٢اىٓٗٞي ر َ٣ٌَ٤ػِ ٠هِ٤ش ً٤ٔ٤ًَٜٝخث٤ش ك ٢ػخّ ، 1839رٔ٘٤خ ٫كظٜخ حُؼخُٔخٕ حُزَ٣طخٗ٤خٕ W.G. Adams
R.E. ٝػِ ٠ؿٜخُ حُلخُش حُِٜزش ٜٓٞ٘ع ٖٓ حُٔ ّٞ٤٘٤ِ٤ك ٢ػخّ )9( . 1876
ٌٓ٘ حُؤٔ٤٘٤خص كٜخػيًح ً ،خٕ ٘ٛخى طويّ َٓ٣غ ك ٢أىحء حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُظـخٍ٣ش ٖٓ > ٪1اًُٝ ٪24 < ٠خٕ
حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤رٔؼخرش "كٜخٕ حُؼَٔ" ك ٢حُٜ٘خػش حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٌٓ٘ ًُي حُل٣ . ٖ٤ظ َٜطط ٍٞه٣٬خ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُ٘ٔٔ٤ش
ك ٢حٌَُ٘ أىٗخ)9( . ٙ
ًخٗض حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُٔ٤ٌٗٞ٤ِ٤ش ح ٠ُٝ٧حُظ ٢أظَٜٛخ ٍحَٓ أٓ ٖٓ Russell Ohl َٛٝوظزَحص ر َ٤ه ٍ٬حٍ٧رؼ٤٘٤خص
ٖٓ حُوَٕ حُٔخٓ ٢ٟز٘٤ش ػِ ٠طوخ١ؼخص ١ز٤ؼ٤ش طٌِ٘ض ٖٓ ك َٜحُ٘ٞحثذ أػ٘خء ػِٔ٤ش حُظزًِ . ٍٞخٗض ًلخءس حُو٣٬خ أهَ
ٖٓ ٪1رٔزذ ػيّ حُظلٌْ كٞٓ ٢هغ حُِٛٞش ٝؿٞىس ٓخىس حًُُٔ ٌ٘ٓٝ . ٌٕٞ٤ِ٤ي حُل ، ٖ٤ط ُٔظويّ حُظٔٔ٤ش ُظٔٔ٤ش
حُٔ٘خ١ن (حُ٘ٞع :pحُـخٗذ حٌُٓ ٞٛ ١ؼَٟ٪ُ ٝخءس ٝحُ٘ٞع :nحُـخٗذ ح٥هَ) حٌُ ١هيٓ Ohl ٚك ٢حٛط٬كخص
طٔٔ٤ش حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش .
ه ٍ٬حُؤٔ٤٘٤خص ٖٓ حُوَٕ حُٔخً ، ٢ٟخٕ ٘ٛخى طط٣َٓ ٍٞغ ك ٢ػِٔ٤ش حٗ٫ظ٘خٍ ًحص ىٍؿش حُلَحٍس حَُٔطلؼش ُِٔ٘ٞرخص
dopantsك ٢حُٔ . ٌٕٞ٤ِ٤أظ َٜر ٝ َٕٞٓ٤كٗ ٝ َُٞخرِٖ ٖٓ ٓوظزَحص رٝ َ٤ؿٞى هِ٤ش ٗٔٔ٤ش كؼخُش ر٘ٔزش
ٓ ٪4.5غ حُ٘ٞحثذ dopingحُوخثٔش ػِ ٠حُِ٤ؼٝ ، ّٞ٤حُظ ٢طلٔ٘ض آُ ٪6 ٠غ حٗظ٘خٍ حُز. Boron diffusion ٍٕٝٞ
ًخٕ ُِوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش "حكخ١ش " wrap-upك ٍٞحُ( ٌَ٤ٜحٌَُ٘ ٓ )9() bغ ٝؿٞى ًَ ٖٓ حُٔ٬ٛٞص ػِ ٠حُـخٗذ
حُوِلُ ٢ظـ٘ذ هٔخثَ حُظظٌُِٜ٘ٝ ، َ٤خ أىص اُ ٠هٔخثَ ٓوخٓٝش أػِ ٠رٔزذ حُ ٌَ٤ٜحُِٔظق .رلِ ٍٞػخّ ، 1960ططٍٞ
ٌَ٤ٛحُوِ٤ش ًٔخ ٟٞٓ ٞٛق ك ٢حٌَُ٘ )9(. c
ٗظَح ٕ٧حُظطز٤ن ًخٕ ٓ٫ظٌ٘خكخص حُل٠خء ،كوي طْ حٓظويحّ ًٍِ٤س ػخُ٤ش حُٔوخٓٝش طزِؾ ُِ 10 Ω.cmل ٍٜٞػِ٠
ً
أهٓ ٠ٜوخٓٝش ُٗ٪ؼخع .
طْ حٓظويحّ ٓٔٓ٬خص حُظزو َ٤حُلَحؿ vacuum evaporated contacts ٢ػِ ٬ً ٠حُـخٗز ، ٖ٤رٔ٘٤خ طْ حٓظويحّ
٬١ء أ ٍٝأًٔ٤ي حًُٔ SiO ٌٕٞ٤ِ٤ط٬ء ٓ٠خى ُٗ٬ؼٌخّ ( )ARCػِ ٠حُـخٗذ حٓ٧خٓ. Front Side FS ٢
ك ٢أٝحثَ حُٔزؼ٤٘٤خص ٝ ،ؿي إٔ ٝؿٞى ح ّٞ٤ُ٘ٔ٧حُِٔزي sintered Aluminumػِ ٠حُـخٗذ حُوِل ٢أى ٟاُ ٠طلٖٔ٤
أىحء حُوِ٤ش ٖٓ ه ٍ٬طٌ٘ٓ َ٤طق ٓ٘ٞد رٌَ٘ ًز heavily doped interface َ٤ط ُؼَف رخْٓ كوَ حُٔطق حُوِل٢
(ٝ Back Surface Field )Al-BSFحُظوِ ٖٓ ٚحُ٘ٞحثذ .
97
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
أى ٟط٘ل ٌ٤حٛ٧خرغ حُيه٤وش ٝحُٔظوخٍرش finer and closely spaced fingersاُ ٠طوِ َ٤حُلخؿش اُ ٠ط٘٣ٞذ حُِٛٞش
. doping junction
طْ حٓظويحّ ُ ARCؼخٗ ٢أًٔ٤ي حُظ٤ظخٗٝ )TiOx( ّٞ٤طْ حهظ٤خٍ ٌُٓٔ ٚظوِ َ٤حٗ٫ؼٌخّ ٞ١٧حٍ ٓٞؿ٤ش أهٝ َٜاػطخء
ٓظ َٜر٘لٔـُِ ٢و٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش .
طْ اؿَحء ِٓ٣ي ٖٓ حُظلٔ ٖٓ ٖ٤ه ٍ٬طٌ٘ َ٤حُٔطق َُِ Texturingهخثن . Wafersأى ٟطٌ٘ َ٤حُٔطق اُ٠
ٓظَٜح ىحً ً٘خ .
ً طلٔٓ ٖ٤لخَٛس حُٞ٠ء ٝاػطخء حُو٣٬خ
طظ َٜر٘٤ش حُوِ٤ش حُٔلٔ٘ش ك ٢حٌَُ٘ . )9(. dك ٢ػخّ ، 1976أظ Arndt ٝ Rittner َٜه٣٬خ ٗٔٔ٤ش رٌلخءحص
طوظَد ٖٓ . ٪17
كووض حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش حُزخػؼش حُٔ٘لؼِش ( )PESCػٓ٬ش كخٍهش كً ٢لخءس ٪20كً . 1986 -1984 ٢خٗض ٓ٘طوش
حُظ ْٓ٬حُٔؼيٗ / ٢حُِٔ ٪ 0.3 ٌٕٞ٤كو ٢ك ٢ه٣٬خ ، PESCرٔ٘٤خ طْ حٓظويحّ ١زوش ِٓىٝؿش ZnS / ٖٓ ARC
MgF2ك ٖٓ ًَ ٢حُ٤ٜخًَ حُوِ٣ٞش .ك ٢ػخّ ، 1994طْ اػزخص هِ٤ش حُزخػغ حُوِل ٢حُٔ٘ظَ٘ ٓلِ ً٤خ ()PERL
رٌلخءس . ٪ 24
رخُٔوخٍٗش ٓغ هِ٤ش ، PESCكبٕ هِ٤ش ُ PERLيٜ٣خ أَٛحٓخص ٓوِٞرش ػِ ٠حُٔطق حٓ٧خُٓ FS ٢ظلٔٓ ٖ٤لخَٛس
حُٞ٠ء ٝحُظؤ َ٤حُوخثْ ػِ ٠ح٤ًٔ٧ي ػِ ٬ً ٠حُـخٗز. ٖ٤
١زوش طؤ َ٤ح٤ًٔ٧ي ػِ ٠حُـخٗذ حُوِل ٢كٔ٘ض أً٠٣خ حٗ٫ؼٌخّ حُيحهُِ ٢ط ٍٞحُٔٞؿش حُطٝ َ٣ٞرخُظخُ ٢حٓظـخرش حُط٤ق .
رخٟ٩خكش اُ ٠أر٘٤ش حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُٔظطٍٞس ً ،خٕ ٘ٛخى أً٠٣خ ططٔٓ ٍٞظَٔ كٓ ٢ـخٍ حُظ٤ٜ٘غ ٖٓ ك٤غ ُ٣خىس حٗ٩ظخؿ٤ش
ٝهطٞحص حُؼِٔ٤ش حُٔلٔ٘ش ٝهل ٞحُظٌخُ٤ق .
98
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
٣ظ َٜط٤ٜ٘ق ٝحٓغ ٞٗ٧حع ٓوظِلش ٖٓ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ؿ٘زًخ اُ ٠ؿ٘ذ ٓغ ٗطخهخص حٌُلخءس ك ٢حٌَُ٘ أىٗخ .)9(. ٙطؼي
ٗظَح ُؼِٔ٤ش
طو٘٤ش ٓـخٍ حُٔطق حُوِل ّٞ٤ُ٘ٔ٨ُ ٢حُو٤خٓٝ )Al-BSF( ٢حكيس ٖٓ أًؼَ طو٘٤خص حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٗٞ٤ػًخ ً
حُظ٤ٜ٘غ حُزٔ٤طش ٗٔز ً٤خ .
99
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
٣ؼظٔي ػِ ٠طَٓ٤ذ ١زوش أًُٔ٘ ّٞ٤خِٓش ػِ ٠حُٔطق حُوِل ٖٓ ) full rear-side RS Al deposition ( ٢هٍ٬
) حٌُٔ٣ ١خػي ػِٛ ٠ي حٌُ٩ظَٗٝخص ٖٓ حُـخٗذ ػِٔ٤ش ١زخػش حُٔطق ٝ screen-printingطٌ٘BSF ( َ٤
حُوِل ٖٓ rear-side ٢حًَُِ٤س ٖٓ حُ٘ٞع ٝ pطلٔ ٖ٤أىحء حُوِ٤ش .
طؼَٔ حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ًحص حُظ ْٓ٬حُوِلُِ ٢زخػغ حُوخَٓ ( )PERCػِ ٠طلٔ ٖ٤ر٘٤ش ٖٓ Al-BSFه ٍ٬اٟخكش
١زوش طؤ َ٤حُـخٗذ حُوِلُ ٢ظلٔ ٖ٤طؤ َ٤حُـخٗذ حُوِلٝ rear-side passivation ٢حٗ٫ؼٌخّ حُيحهِ . ٢أًٔ٤ي
حٓ ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧خىس ٓ٘خٓزش ُظؤ َ٤حُٔطق حُوِل. RS ٢
111
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
إ طو٘٤خص حُو٣٬خ حُؼ٬ع حُٔظزو٤ش ٢ٛرٌَ٘ أٓخٓ ٢طو٘٤خص ػخُ٤ش حٌُلخءس طؼظٔي ػًٍِ ٠خثِ حُٔ ٖٓ Si ٌٕٞ٤ِ٤حُ٘ٞع . n
طلظ ١ٞحُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ؿ َ٤حُٔظـخٗٔش heterojunction solar cell a-Siػِ١ ٠زوخص a-Siػِ ٠حُـخٗذ
حٓ٧خٓ ٝ FS ٢حُـخٗذ حُوِلِ٤ًٍ ٖٓ RS ٢س حُٔ ٖٓ Si ٌٕٞ٤ِ٤حُ٘ٞع ُ nظٌ٘٬ٛٝ" َ٤ص ؿٓ َ٤ظـخٗٔش
"heterojunctionػِ ٠ػٌْ ِٛٝش p-n junctionحُظوِ٤ي٣ش حُوخثٔش ػِ ٠حٗ٫ظ٘خٍ ػخُ ٢حُلَحٍس .
طٔٔق ٌٙٛحُظو٘٤ش رخُٔؼخُـش ك ٢ىٍؿخص كَحٍس ٓ٘ول٠ش ٌُٜ٘ٝ ،خ كٔخٓش ؿيًح ُـٞىس ٝحؿٜخص حُٔطق surface
. interfaces
ك ٢ط ْ٤ٜٔحُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ًحص حُظ ْٓ٬حُوِل ٢حُز ، Interdigitated Back Contact )IBC( ٢٘٤طٞؿي ً٬
حُٔ٬ٛٞص ػِ ٠حُـخٗذ حُوِلٔٓ RS ٢خ ِ٣ـ ٢هٔخثَ طظِ َ٤حُٔ٬ٛٞص ُِـخٗذ حٓ٧خٓ . FS ٢ػخىسً رخُ٘ٔزش ُِو٣٬خ
حُ٘ٔٔ٤ش ٓ ، IBCظٌ ٕٞحُِٛٞش ٓٞؿٞىًس أً٠٣خ ػِ ٠حُـخٗذ حُوِل. ٢
حُو٣٬خ ػ٘خث٤ش حُٞؿًٔ ، Bifacial cells ٚخ ٞ٣ك ٢حٌٜ٘ٔ٣ ، ْٓ٫خ حُظوخ ١حُٞ٠ء ٖٓ ؿخٗز ٢حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش .
ٔ٣ظِِّ ًُي إٔ ُِ ٌٕٞ٣ـخٗذ حُوِل ٢أً٠٣خ ٓ٬ٛٞص ر٘ٔ ٢حُ٘زٌش ُ grid-pattern contactsظٌٔ ٖ٤ؿٔغ حُٞ٠ء .
ك ٢حُزيأ ٟٓ٘ٞق كٌَس ٓزٔطش ػٖ ً٤ل٤ش ػَٔ حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ًٔزيأ ػخّ ُ٘ظٌٖٔ ٖٓ ٍْٓ ٍٞٛس ٝحٟلش ُٔخ ٣ليع
ىحهَ حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ٖٓٝػْ طٔ َٜك ْٜطو٘٤خص حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٝططٍٛٞخ .
ط ظٌ ٕٞحُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٖٓ ػيس ١زوخص ًحص ٓٔي ٛـ َ٤ؿيح كٗ ٢طخم حٌَُٔٗٝ٤خص (حُٔ ٞٛ ٌَٕٝ٤ؿِء ٖٓ ِٖٓٓ ٕٞ٤
حُٔظَ) .ك٘ٓ ٢ظٜق حُوِ٤ش ٗـي حُٔخىس حُلؼخُش أ ٝحُٔخىس حُٔخٛش ُِٞ٠ء حُظ ٢طٔظٟٞ ٚء حُْ٘ٔ ٝط٘ظؾ حٌُ٩ظَٗٝخص.
ٌُٖ ح ٌُ٩ظَ٣ ٕٝلَٔ ٗل٘ش ٓخُزشٝ ،اًح طَى ٌٓخٗٝ ٚطلَى كخٌُٔخٕ حُلخٍؽ ٣لَٔ ٗل٘ش ٓٞؿزش ٜٗٔٔ٤خ كـٞس ٖٓٝ ،ػْ
كبٗ ٚرؼي ٓو ١ٞحُٞ٠ء ٣ظٌ ٕٞىحهَ حُٔخىس حُٔخٛش ُِٞ٠ء ٓ ٖٓ َ٤حُ٘ل٘خص حُٔخُزش ٔٓ َ٤ٓٝخػَ ٖٓ حُ٘ل٘خص حُٔٞؿزش.
ٌٛٝح حُل ٖٓ ٞ٤حُ٘ل٘خص ٣ظلَى ػ٘ٞحث٤خ ىحهَ حُٔخىس ٖٓٝ ،ػْ اًح حٛطيّ اٌُظَٗ( ٕٝل٘ش ٓخُزش) رلـٞس (ٗل٘ش
ٓٞؿزش) ٓ٤لوي حٌُ٩ظَ ٕٝحُطخهش حُظ ٢حًظٔزٜخ ٣ٝؼٞى أُٓ ٠ظٞح ٙحٓ ٞٛٝ ،٢ِٛ٧خ ٠ٔٔ٣أػخىس حُظًَ٤ذ ( ح٧طلخى ) ,
٘ٓٝلوي حٌُ٩ظَٗٝخص حُظٗ ٢لظخؽ اُٜ٤خ ُظ٤ُٞي حُظ٤خٍ حٌَُٜرخث.٢
111
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٌُُي ٣ظْ ٟٝغ ١زوش ٖٓ ٓخىس ٜٓٔٔش رطَ٣وش ٓؼ٘٤ش ٝكٔٓ ٢ظ١ ٟٞخهش ٓؼٓ٫ ٖ٤ظٜخ ٙحٌُ٩ظَٗٝخص ٓٝخىس أهًَ ٟحص
ٓٔظ١ ٟٞخهش ٓ٘خٓذ ٓ٫ظٜخ ٙحُلـٞحص ٖٓٝ ،ػْ ط ُلَؽ حُٔخىس حُلؼخُش ك ٢حُٔ٘ظٜق ٖٓ حُ٘ل٘خص أ ٫ٝكؤٝ ،٫ٝطٔظَٔ
ػِٔ٤ش اػخٍس حٌُ٩ظَٗٝخص ٝط٤ُٞي حُ٘ل٘خص ٣َٓٝخٜٗخ اُ ٠حُطزوخص حُٔخٛش ُِ٘ل٘خص حُٔخُزش ٝحُٔٞؿزشٜ٘ٓٝ ،خ اُ ٠حُيحثَس
حُوخٍؿ٤ش… ٌٌٛٝح رٌَ٘ ٓٔظَٔ.
ح٘ٓ ٕ٫ظٌِْ ر٘٢ء ٖٓ حُظل َ٤ٜػٖ طو٘٤خص ٘ٛخػش حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ,ك٤غ طْ أهظ٤خٍ طو٘٤خص حُو٣٬خ حً٧ؼَ ٗٞ٤ػخ ً .
: ٢ٛٝه٣٬خ ٓـخٍ حُٔطق حُوِل , BSF ٢ه٣٬خ طؤ َ٤حُزخػغ ٝحُوِ٤ش حُوِل٤ش , PERCحُوِ٤ش حُـٓ َ٤ظـخٗٔش
, SHJهِ٤ش حُظ ْٓ٬حُوخَٓ ٤ًٔ٧ي حُ٘لن , TOPconه٣٬خ ح٫طٜخٍ حُوِل ٢حُٔظيحهَ , IBCه٣٬خ
حُزَٝكٌٔخ٣ض حُ٘ٔٔ٤ش . PSC
رخُ٘ٔزش ُو٣٬خ ٓـخٍ حُٔطق حُوِل , BSF ٢كوي أٓظ٘يٗخ ػَِ١ ٠م ط٤ٜ٘ؼٜخ ٝهٜخثٜٜخ ك ٢حُل ٍٜٞحُٔخروش حُظ٢
ٟٝل٘خ كٜ٤خ ٣َ١وش ط٤ٜ٘غ حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ٌُٜٗٞخ حُوِ٤ش حُٔؼظٔيس طـخٍ٣خ ً ُؼوٞى ًٝخٗض ٢ٛأٓخّ ُظ ٍٜٞح٫ؿ٤خٍ
حُٔظويٓش رخُ٘ٔزش ُِو٣٬خ حُٔ٤ٌٗٞ٤ِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش حُ٬كوش ٌُُي ٌٖٓٔ حُؼٞىس ُِل ٍٜٞحُٔخروش .
ٝأٓظؼَٟ٘خ ر٘٢ء ٖٓ حُظلُ َ٤ٜو٣٬خ حٍ ٝ PERCه٣٬خ TOPconحُ٘ٔٔ٤ش ٓ٧ظلٞحًٛخ ػِ ٠حٗ٫ظخؽ حُظـخٍ١
ُٔٞم حُطخهش حُ٘ٔٔ٤ش كخُ٤خ ً ًٌُٝ .ي ه٣٬خ حُزَٝكٌٔخ٣ض طؼظزَ ٜٓٔش ُٜٝخ ٓٔظوزَ ٖٓٝحٌُٖٔٔ إٔ طٔظل ًٞػِٞٓ ٠م
حُطخهش حُ٘ٔٔ٤ش ك ٢كخٍ طٔض ٓؼخُـش ٓ٘خًِٜخ حُلخُ٤ش ٝهٜٛٞخ ً ٌِٓ٘ش اٗليحٍ ح٧ىحء حَُٔ٣غ .
112
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
هِ٤ش ٓـخٍ حُٔطق حُوِل: Back Surface Field ( BSF) ٢ 3–5
٢ٛٝحُوِ٤ش حُظوِ٤ي٣ش حَُث٤ٔ٤ش حُٔٔظويٓش ٗ٫ظخؽ حُٞحف حُطخهش حُ٘ٔٔ٤ش ُـخ٣ش ٞٗ ٖٓ ٢ٛٝ 2014ع حُو٣٬خ . P-type
()1
ٓطؼْ ح ّٞ٤ُ٘ٔ٫رخُِٔٓٝ ٌٕٞ٤غ حٓظويحّ حُ ٌٕٞ٣ ّٞ٤ُ٘ٔ٫ي٘٣خ ٓخ ك٤غ ٣ظٌٓ ٕٞطق حُوِ٤ش حُوِل ٖٓ ٢حّٞ٤ُ٘ٔ٫
ٗٔٔ ٚ٤ط٤خٍ حُظ٘زغ ٣ٝؼظزَ ٌٛح كوي ًز َ٤ك ٢حُٔطق حُوِلُِ ٢وِ٤ش ٌُُي ٣ـذ طولٌٛ ٞ٤ح حُظ٤خٍ ُيٍؿخص هِِ٤ش ؿيح ٌُُ .ي
ًخٕ حُظٞؿُ ٚظو٘٤ش حٍ ُ PERCظوِ َ٤ط٤خٍ حُظ٘زغ ٝرخُظخُ ٢طوِ َ٤حُؤخثَ .
ٌٖٔ٣طَه٤ش ه ٢حٗظخؽ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش Al-BSFاُ ٠ػِٔ٤ش اٗظخؽ ه٣٬خ PERCرٞحٓطش أىحط ٖ٤اٟخك٤ظ: ٖ٤
طَٓ٤ذ ١زوش حُظؤُِٔ َ٤طق حُوِلrear-side passivation layer RS ٢
حُُِ ٍِ٤لظق حُظ ْٓ٬حُٟٔٞؼ ٢ػِ ٠حُٔطق حُوِلopening local contacts RS ٢
٣ظ َٜطظخرغ حُظ٤ٜ٘غ ُو٣٬خ Al-BSFحُ٘ٔٔ٤ش ك ٢حٌَُ٘ أىٗخ . ٙحُظ ْ٤ٜٔحُو٤خُِٓ ٢و٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُظـخٍ٣ش ٓغ ٗٔ٢
حُ٘زٌش ُِٔ grid-patternطق حٓ٧خٓ٬ٛٞٓ ٝ FS ٢ص ًخَٓ حُٔطق حُوِلfull-area contacts RS ٢
113
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٌٖٔ٣حَُؿٞع ُِل َٜح ٍٝ٧حُؤْ ( 1 – 11 – 1حُ ) 9 – 11 – 1 ٠ك٤غ طٟٞق ػِٔ٤خص ط٤ٜ٘غ ٝهٞح ٙه٣٬خ حُــ
. BSF
114
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
Passivated Emitter and Rear Cell حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٖٓ ٗٞع PERC 4–5
ٗٔظؼَ ٝحُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش رظو٘٤ش حُظؤ َ٤حُزخػغ ٝحُوِ٤ش حُوِل٤ش (Passivated Emitter and Rear )PERC
ٝ . Cellحُظ ٢طْ ط٤ٜ٘ؼٜخ ٓوظزَ٣خ ً ًوِ٤ش ٗٔٔ٤ش ٖٓ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ك ٢حُؼٔخٗ٤٘٤خص ٖٓ حُوَٕ حُٔخٝ ، ٢ٟحُظ ٢أػزظض ًلخءس
ؿ٤يس ٣ ُْ ٌُٖٝظْ طيحُٜٝخ طـخٍ٣خ ً ا ٫هزَ ػيس ٓ٘ٞحص رؼي إٔ أهٌص حُٔٔخٍ حُٜل٤ق ُظٜزق حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش حُٔ٘ٔ٤ٜش
طـخٍ٣خ ً رؼي حُظط َ٣ٞحُ٘خَٓ رخُ٘ٔزش ُؼِٔ٤خص حُظ٤ٜ٘غ ٝحُٔٞحى ٝأىٝحص حٗ٧ظخؽ .
ٝهٜٛٞخ ً إ حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٗلٜٔخ طٔ َ٤ػِ ٠حُطَ٣ن حُٜل٤ق ُظٜزق حُٔ٘ٔ٤ٜش طٌُ٘ٞٞؿ٤خ ً ػِ ٠ط٤ُٞي حُطخهش ٝ ,
هل ٞاٗزؼخػخص ؿخُحص ح٩كظزخّ حُلَحٍ , ١رؤك ظَحٓ ٝؼيٍ ٗٔٓ ٞظُِ ٢ٓٞظًَ٤زخص حٌَُٟٜٞٝث٤ش حُٔ٘٣ٞش ٓ , % 25غ
طٞهغ ه ْ٤أػِ ٠رٌؼ٫ َ٤كوخ ً .
ُؼوٞى ًخٕ كٞحُ ٖٓ ٪ 90 ٢اٗظخؽ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُؼخُٔ ٢رظو٘٤ش ٓـخٍ حُٔطق حُوِل, ( Al-BSF (ّٞ٤ُ٘ٔ٨ُ ٢
ٞ٣كٌَٛح حُظُِ ْ٤ٜٔوِ٤ش ًلخءس ٓؼظيُش ٝطً ٤ٜ٘ؼخ رًٔ ٤طخ ٞٓٝػٞهًخ ٌُُ ،ي طٌٗٞض ُٜخ هزَس ٝحٓؼش ٖٓ ك٤غ أىٝحص حُظ٤ٜ٘غ
ٝحُٔٞحى ٝح٩ؿَحءحص .
طٔؼَ طٌِلش ط٤ٜ٘غ حُوِ٤ش ( ٓ٘لِٜش ػٖ ًِلش أٗظخؽ ٍهخثن حُِٔ ٌٕٞ٤حُزِ ) ١ٍٞكٞحٍُ ٢رغ طٌِلش حُٞكيس ،ك ٢ك ٖ٤إٔ
طٌِلش ط٤ٜ٘غ حُوِ٤ش كٞحُٜٗ ٢ق طٌِلش حُ٘ظخّ ٝ .رخُظخُ ، ٢كبٕ ػِٔ٤ش ط٤ٜ٘غ حُو٣٬خ طزِؾ كٞحُ ٢ػُٖٔ طٌِلش حُ٘ظخّ
حٌُٔظَٔ )2( .
طٔظَٔ طٌِلش حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ً٘ٔزش ٖٓ طٌِلش حُ٘ظخّ حٌَُٟٜٞٝث ٢حٌُخَٓ ك ٢حٗ٫ولخًُٝ . ٝي ٓ ٕ٧ ,ؼظْ ٌٓٗٞخص
حُ٘ظخّ ( ٓؼَ حُ٘وَ ٝ ,حٝ , ٍٝ٧حُٔ٤خؽ ٤ٛٝخًَ حُيػْ حُل٣ً٫ٞش ٝ ,ح٬ٓ٧ى ٝ ,ا١خٍحص حٝ , ّٞ٤ُ٘ٔ٧حُِؿخؽ ) طظٔظغ
ر٘٠ؾ طـخٍ ١أًزَ ٖٓ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٝ ،رخُظخُُ ٢يٜ٣خ كَ ٙأهَ ُول ٞحٓ٧ؼخٍ .
ٗظَح ٕ٧حُِ٣خىس كً ٢لخءس حُوِ٤ش طِ٣ي ٖٓ هل ٞحُظٌِلش ٖٓ ه ٍ٬طوِ َ٤حُٔٔخكش حُظ ٢ط٘ـِٜخ حُٔ٘ظٓٞش .ك ٢حُٔوخرَ ،
ً
كبٕ حٗ٫ولخ ٝك ٢طٌِلش حُوِ٤ش ٌَُ ٓظَ َٓرغ ُ ٚطؤػ َ٤أهَ .
ًخٕ حُيحكغ حَُثُِ ٢ٔ٤ظل ٍٞاُ ٠حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش رظو٘٤ش ٞٛ PERCطلٔ ٖ٤حٌُلخءس ٓوخٍٗش رخُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش رظو٘٤ش
Al-BSFحُٔخروش ُٜخ ,طظٔؼَ حُِٔح٣خ حَُث٤ٔ٤ش ُـو٣٬خ حُـ PERCػِ ٠هِ٤ش حُـ ٞٛ Al-BSFطوِ َ٤اػخىس
حُظًَ٤ذ ُِٔطق حُوِلٝ Recombination ٢حُظ ٢طٔزذ طُٞي ط٤خٍحص ٟخثؼش ٓٔخ ٣ئىٗ٧ ١ولخ ٝك ٢ؿٜي حُيحثَس
حُٔلظٞكش ُِ Vocوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ٝرخُظخُ ٢طٔزذ رؤٗولخً ٝلخءس حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ًٌُ ٝ .ي طلٔ ٖ٤حٗؼٌخّ حُٔطق
حُوِلُِ ٢وِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ٓٔخ ٣ظ٤ق ٗ٧ؼٌخّ ًٔ٤ش أًزَ ٖٓ حٗ٧ؼخع حُ٘ٔٔ ٢ػ٘ي ٓطق حُوِ٤ش حُوِلٝ ٢ػٞىطٜخ ُيحهَ
حُوِ٤ش ُِ٣خىس ط٤ُٞي حُظ٤خٍ .
115
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٝك ًوخ ُوخٍ١ش ٣َ١ن حُظٌُ٘ٞٞؿ٤خ حُي٤ُٝش ُِطخهش حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٌِٗ ،ض حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش رظو٘٤ش حُـ ٪ 20 PERC
ٖٓ حُٜ٘خػش حٌَُٟٜٞٝث٤ش ك ٢ػخّ ِٛٝ ٝ 2017ض اُ ٖٓ ٪ 50 ٠حُٜ٘خػش حٌَُٟٜٞٝث٤ش حُؼخُٔ٤ش ك ٢ػخّ 2020
ٔٓ ٢ٛٝظَٔس رخٍ٧طلخع حُ٘ٓٞ٣ ٠خ ٌٛح )3(.
٣ظٌ ٕٞحُٔطق حُوِل١ ٖٓ ٢زوش ٖٓ ح ّٞ٤ُ٘ٔ٧حُٔزخثٌ , Aluminum Alloyed layer ٢اٟخكش كلَ ىه٤ن
micro groovingػِ ٠حُٔطق حٓ٫خٓ ٢َٓٛ ٢حٌَُ٘ ُِوِ٤ش ٔ٣خػي ك ٢طوِ َ٤حٗؼٌخّ حُٞ٠ء ػِ ٠حُٔطق حٓ٧خٓ٢
ٝرخٟ٧خكش حُٓ ٠لخَٛس حُٞ٠ء ٝرخُظخٍُ ٢كغ ًلخءس حُظلُِ َ٣ٞوِ٤ش .حٌَُ٘ ح٫طُ ٢وِ٤ش )50( . PERC
طط َ٣ٞحُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ػخُ٤ش حٌُلخءس High-efficiency solar cellsأػظٔيص ٓزيأ ( طلٔ ٖ٤ؿٜي حُيحثَس
حُٔلظٞكش ُِ Vocوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش أ ٝ ً٫ٝحُظ٤خٍ ٝ Currentػخَٓ حُِٔت ٞٓ Fill Factor FFف طظزؼٜخ ) .
116
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ػِٔ٤ش طؤ Passivation َ٤حُٔطق حٓ٧خُِٓ ٢وِ٤ش ٌ٣زض ػِٔ٤ش أػخىس ح٫طلخى ٝرخُظخُٔٔ٣ ٢ق ُـٜي حُوِ٤ش رخٍ٧طلخع
.حُلي ح٧ىٗ٧ ٠ػخىس حُظًَ٤ذ(ح٫طلخى) ٬ُِٛٞٔ Recombinationص حُٔؼيٗ٤ش ُِٔطق حٓ٧خُِٓ ٢وِ٤ش طْ
ػٖ ٣َ١ن كَ٘ ١زوش أًٔ٤ي طؤٗ َ٤لوٍ ٢ه٤وش طلو٤وٜخ ػٖ ٣َ١ن حُظؤُِٔ َ٤خكش حُظ, ْٓ٬
Thin Passivated Tunnel Oxideر ٖ٤حُِٔ ( ٌٕٞ٤ؿْٔ حُوِ٤ش ) ٝحُٔؼيٕ ٝ ,ػٖ ٣َ١ن َٗ٘ٛخ ك ٢حُٔ٘طوش
هِق حُٔ٬ٛٞص حُٔؼيٗ٤ش ٝحُٔٔخكش ر ٖ٤حُٔ٬ٛٞص حُٔؼيٗ٤ش ٝ ( Metal Fingersحُظ ٢طٌَ٘ ٖٓ % 99
ٓٔخكش ٓطق حُوِ٤ش حٓ٧خٓ٣ ) ٢ظْ طؤِٜ٤خ رؤًٔ٤ي كَحٍٝ , Thermal Oxide ١حٌُ٘ٔ٣ ١غ ٬١ء حُل٠ش حُظ٣ ٢طِ٠
رٜخ حُٔ٬ٛٞص حُٔؼيٗ٤ش ٖٓ حُظٓ ْٓ٬غ حًُِٔٔ . ٌٕٞ٤خ ٟٓٞق ك ٢حٌَُ٘ حُظخُ)49(. ٢
117
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٗٝظ٤ـش ٌُُي أٍطلغ ؿٜي حُوِ٤ش كٞم ٢ِٓ 650كُٞض ٔٓ ,خ ٣يٍ ػِ ٠إٔ طؤ َ٤حُٔطق حٓ٧خُِٓ ٢وِ٤ش front
ً surface passivationخٕ كؼخٌُُ , ً٫ي طل ٍٞحٗ٧ظزخ ٙحُ ٠طوِ َ٤أػخىس حُظًَ٤ذ ػ٘ي حُٔطق حُوِلُِ ٢وِ٤ش Rear
. Surface recombination
حُٔطق حُوِلُِ ٢و٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُٔخروش طظٌٓ ٖٓ ٕٞزخثي حٓ alloyed Aluminum ّٞ٤ُ٘ٔ٧خ ٠ٔٔ٣رٔـخٍ
حُٔطق حُوِلٔٓ , BSF ٢خ ٣لي ٖٓ ُ٣خىس ًلخءس حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش رٔزذ ٓؼي٫ص ػِٔ٤ش اػخىس حُظًَ٤ذ حُؼخُ٤ش ٟ ٝؼق
حٗ٧ؼٌخّ .إ طَٓ٤ذ أًٔ٤ي حُظؤ Passivation Oxide َ٤ػِ ٠حُٔؼيٕ ُٔؼظْ حُٔطق حُوِلُِ ٢وِ٤ش ٖٓ ٗؤٗ ٚإٔ
٣وَِ ٖٓ اػخىس حُظًَ٤ذ )3( .
إ طوِ٘ٓ َ٤طوش حُظ ْٓ٬ر ٖ٤حُٔؼيٕ ٝحُٔ Metal - Silicon contact area ٌٕٞ٤ِ٤ك ٢حُوِق ٖٓ ٗؤٗ ٚإٔ ٣وَِ
ٖٓ اػخىس طًَ٤ذ حُٔطق حُوِل ، Rear-surface recombination ٢ػٖ ٣َ١ن حُٔوخٍٗش ٓغ ٓ٘طوش حُظْٓ٬
حُٔؼيٗ٤ش حُٔ٘ول٠ش ػِ ٠حُٔطق حٓ٧خٓ. ٢
ًخٕ أكي ح٫كظٔخ٫ص ٞٛحُظ ْ٤ٜٔػ٘خث ٢حُٞؿ Bifacial ٚحٌُ٣ ١وظ َٜكٔٓ ٚ٤خكش حُٔؼيٕ حُوِل ٢ػِٖٓ ٪ 10 - 5 ٠
حُٔطق ٓ ،غ ٝؿٞى ػخٍُ طؤ٣ َ٤ـط ٢رخه ٢حُٔطق حُوِل ٝ . ٢ح٧كظٔخٍ ح٫هَ ٞٛطٔي٣ي حُٔؼيٕ حُوِل ٢ػزَ حُٔطق
حُوِل ٢رخٌُخَٓ ٘ٗ٩خء َٓآس كؼخُش ُ ٌُٖٝ ،ظو٤٤ي ؿِء حُظ ْٓ٬حُٔؼيٗ ٖٓ ٢ه ٍ٬اٟخكش ػخٍُ حُظؤ َ٤ر ٖ٤حٌُٕٔٞ٤ِ٤
ٝح)3( . ّٞ٤ُ٘ٔ٧
حُٔٔش حُِٔٔ٤س ُو٣٬خ ٢ٛ PERCحُٔطق حُوِلُِ ٢وِ٤ش ,ك٤غ طْ طوِ َ٤حُلوي حٗ٧ؼخػ ٢حُ٘ٔٔ ٝ ٢حُلوي رٔزذ أػخىس
حُظًَ٤ذ recombinationرٌَ٘ ًزٓ َ٤وخٍٗش ٓغ حُو٣٬خ حُٔخروش ُٜخ ٢ٛٝه٣٬خ BSFرؤٓظويحّ ١زوش ػخًٔش ٖٓ
ح ّٞ٤ُ٘ٔ٧كٞم ػخٍُ حُظؤ َ٤حُوِل ٢طْ طلو٤ن حُظ ْٓ٬ر ٖ٤حُٔ ٝ ٌٕٞ٤ِ٤ح ٖٓ ّٞ٤ُ٘ٔ٧هٓ ٍ٬ـٔٞػش ٖٓ حُؼوٞد
حُٜـَ٤س ك ٢حُؼخٍُ حٌَُٜرخث ٢حٌُ٣ ١ـط ٢كٞحُ ٖٓ ٪1 ٢حُٔطق حُوِلٓ ٢غ طزخػي كٞحًُٔ. ِْٓ 1 ٢خ ٟٞ٣ق حُلَم
رٜ٘٤خ ٝر ٖ٤هِ٤ش BSFك ٢حٌُِ٘ ٖ٤ح٫ط)3(. ٖ٤٤
118
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٌٛح حُ ٌَ٤ٜحُزُِٔ ٢٤وِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ًخٕ هخىٍح ً ػِ ٠اٗظخؽ ًلخءس ػخُ٤ش ط . % 23 - 22 َٜك ٢ط٤ٜ٘غ ه٣٬خ حٍ
PERCح٤ُٝ٧ش ,طْ طَٓ٤ذ ١زوش ٖٓ أًٔ٤ي طؤ َ٤كَحٍ thermal passivating oxide ١ػِ ٠حُٔطق حُوِل٢
ُِوِ٤ش ٝكظق ٓـٔٞػش ٖٓ حُؼوٞد حُٜـَ٤س ربٓظويحّ حُطزخػش حُلـَ٣ش حُٞ٠ث٤ش . Photolithography
ٖٓٝػْ طْ طزو َ٤ح Aluminum ّٞ٤ُ٘ٔ٧ػِٓ ٠طق حُوِلُِ ٢وِ٤ش ٖٓٝػْ طِٜ٤خ ػِٔ٤ش طِز٤ي Sinteringك ٢ؿخُ
طٌ٘ َ٤ػ٘ي 400 – 250ىٍؿش ٓج٣ٞشٝ ,طْ ػَٔ كلَ ىه٤ن ػِٓ ٠طق حُوِ٤ش حٓ٧خٓ ٢رٌَ٘ أَٛحٓخص ٓوِٞرش
ُ inverted pyramidsظوِ َ٤هٔخثَ حٗ٫ؼخع حُ٘ٔٔ ٢رٔزذ حٗ٧ؼٌخّ ُٝ reflectionظلٔ ٖ٤ػِٔ٤ش ٓلخَٛس
حُٞ٠ء حُٔ٘ؼٌْ ػٖ أٝؿ ٚحٌَُ٘ حُ , ٢َٜٓأ ١أػخىس حُ٘ؼخع حُٔ٘ؼٌْ ُيحهَ حُوِ٤ش ُِ٣خىس أٗظخؽ حُوِ٤ش ٖٓ حُطخهش
٘٣ .ظَٔ حُٔطق حٓ٧خُِٓ ٢وِ٤ش ػِ ٠رخػغ اٗظوخث ٖٓ ٢حُلٔل ( selective phosphorus emitter ٍٞطلض
حُٔ٬ٛٞص حُٔؼيٗ٤ش ) ٬١ٝ , Metal contactsء ٓ٠خى ُٗ٨ؼٌخّ ٝ , Antireflection coatingأًٔ٤ي طؤَ٤
كَحٍ , thermal oxide passivation ١أًٔ٤ي حُظؤُِٔ َ٤طق حٓ٧خٓٝ ٢حُوِلُِ ٢وِ٤ش طْ طلٔ ٚ٘٤رٞحٓطش
حُظِي ٖ٣رخ Aluminum Annealing ّٞ٤ُ٘ٔ٧أ ٝحُظِي ٖ٣رـخُ طٌ٘١ٍ َ٤ذ wet forming gas annealing
ػ٘ي ىٍؿش كَحٍس 400ىٍؿش ٓج٣ٞش ٝ .أك َ٠ؿٜي ُٞكع ٢ِٓ 705كُٞض .
هِ٤ش حٍ PERCػخُ٤ش ح٧ىحء ح٤ُٝ٧ش ُْ initial high-performance PERCطٌٖ طلظ ١ٞػِ١ ٠زوش أ٤ٗٞ٣ش
ػ٘ي ٗوخ ١حُظُِٔ َ٤ٛٞطق حُوِلُِ ٢وِ٤ش . rear contact pointsك٤غ ًخٕ ط ْ٤ٜٔرٔ٢٤ ٓٞؿزش layer
أٓظلخى ٖٓ كو٤وش إ ح ّٞ٤ُ٘ٔ٧حُـٓ َ٤وِ ٌٖٔ٣ non-alloyed aluminum ١ٞإٔ ٣لون ٓوخٓٝش ٓ٘ول٠ش ُ٘وخ١
حُظ َ٤ٛٞحُٔزخَٗس رخُ٘ٔزش َُ٘٣لش حُٔٞٗ ٌٕٞ٤ِ٤ع ٘ٓ pول٠ش حُٔوخٓٝش low-resistance P-type wafer
( 0.5 - 0.1أ ) ْٓ . ّٝري ٕٝكيٝع أٗظ٘خٍ ُِٔطق . without surface diffusion
119
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
٣ؼَٔ ؿِء حُظ ْٓ٬حُوِل rear contact fraction ٢رٌَ٘ ؿ٤ي ٖٟٔحُ٘طخم ٓ % 10 – 0,1غ حٌُِٕٔٞ٤
ٓ٘ول ٞحُٔوخٓٝش ٗٞع ً . Pخٗض رٔخ١ش َٓٝػش ػِٔ٤ش ط٤ٜ٘غ ه٣٬خ حٍ ٜٔٓ PERCش ,كوي ٓٔلض ربكَحُ طويّ
َٓ٣غ َٓ ,ػخٕ ٓخ أٛزق ٖٓ حُٞحٟق إٔ ه٣٬خ حٍ ٌٖٔ٣ PERCإٔ ط٘ظؾ ؿٜيًح ػخًُ٤خ ُِيحثَس حُٔلظٞكش ًٝخٗض أكَ٠
ٖٓ حُزيحثَ .
ك ٢رؼ ٞحُو٣٬خ ،طْ هِ ٢ح ٝ ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧حُِٔٓ ( ٌٕٞ٤زٌ٤ش ) ٝأٓظويٓض ػ٘ي ٗوخ ١حُظ ْٓ٬حُوِل٤ش ػ٘ي ىٍؿخص كَحٍس
أػِ 600 ٖٓ ٠ىٍؿش ٓج٣ٞش ٓٝ ,غ ًُي ًخٗض حُ٘ظخثؾ ري٘ٛ ٕٝخػش حُٔزخثي أكٔ٣ ُْٝ ، َ٠ظَٔ ٌٛح حُٜ٘ؾ ِٔٗٝ ,ض
حُٔ٘خًَ حُظ ٢طٔض ٓٞحؿٜظٜخ حُلَحؿخص ٝ voidsحَٟ٧حٍ حُظُ ٢لوض رخ٤ًٔ٧ي حُوِل ٢أى ٟحُؼَٔ حُ٬كن ٖٓ هزَ حُؼي٣ي
ٖٓ حُزخكؼ ٖ٤اُ٣َ١ ٠وش ٓـي٣ش طـخًٍ٣خ ُظ٘لٌٛ ٌ٤ح حُٜ٘ؾ ًٔ ،خ ٟٞٓ ٞٛق ٫كوخ ً .
ًخٕ ٖٓ حُٞحٟق إٔ ط ٖ٤ٔ٠حٗظ٘خٍ حُز ٍٕٝٞك ٢حُٔطق حُوِلُِ ٢وِ٤ش ُي ٚ٣حُويٍس ػِ٣ُ ٠خىس طلٔ ٖ٤أىحء حُوِ٤ش ٝ ،إ
ًخٕ ًُي ػِ ٠كٔخد حُظؼو٤ي حٟ٩خك. ٢
أػِ٘ض أ ٍٝهِ٤ش PERCطـخٍ٣خ ً ك , ّ 2011 ٢رٔٞحٛلخص ٗ ,وخ ١طٞٓ ْٓ٬هؼ٤ش ُٔ Al-BSFطق حُوِ٤ش حُوِل( ٢
, ) Local Al-BSF rear contactطَٓ٤ذ ١زوش طؤٝ , ) PECVD passivation layer ( َ٤رٌلخءس أػِ٠
ٖٓ ُ % 19و٣٬خ ٗٔٔ٤ش روطَ )3( . ِْٓ 156
٣ظْ ط٤ٟٞق هِ٤ش PERCحُظـخٍ٣ش حًُ٘ٔٞؿ٤ش ك ٢حٌَُ٘ أىٗخ . )52( ٙك٤غ طٟٞق حًَُِ٤س حٌُٔٗٞش ٖٓ حٌُِٕٔٞ٤
حُٔ٘ٞرش رخُز( ٍٕٝٞحُ٘ٞع )pحُِٔ ٌٕٞ٤أكخى ١أٓ ٝظؼيى حُزٍِٞحص ٣ .لظ ١ٞحُٔطق حٓ٧خُِٓ ٢وِ٤ش ػِ٤ٔٗ ٠ؾ ٢َٓٛ
ٓوِٞد ٝ ،حٗظ٘خٍ حُلٓٞل ٝ ، phosphorus diffusion ٍٞأٛخرغ ك٤٠ش ٓطزٞػش ػِ ٠حُٔطق حٓ٫خٓ( ٢
١ٝ ، ) screen printed silver fingersزوش ٗ٤ظَ٣ي حُٔ١ . silicon nitride layer )SiN( ٌٕٞ٤ِ٤زوش ٗظَ٣ي
حُِٔ ٢ٛ SiN ٌٕٞ٤كٗ ٢لْ حُٞهض ٬١ء ٓ٠خى ُٗ٬ؼٌخّ ٬١ٝ antireflection coatingء طؤَ٤
ُِ٘ٔ passivation coatingطوش ر ٖ٤حٛ٧خرغ حُل٤٠ش ٘٣ .ز ٚط ْ٤ٜٔحُٔطق حٓ٧خٌٓٛ ٢ح ٌَُ ٖٓ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش
رظو٘٤ش ٝ Al-BSFحُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش رظو٘٤ش ٔٓ ، PERCخ ٣ظـ٘ذ حُلخؿش اُ ٠طط َ٣ٞأىٝحص ٞٓٝحى ٝػِٔ٤خص ؿي٣يس .
111
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
٣ظٌ ٕٞحُٔطق حُوِلُ ٢وِ٤ش ٖٓ Al-BSFح ّٞ٤ُ٘ٔ٧حُٔوِ ١ٞرـٞىس طؤٟ َ٤ؼ٤لش ٗٔزً٤خ ٝحٗؼٌخٓ٤ش ٟؼ٤لش ُٗ٨ؼش .
ك ٢حُٔوخرَ ٣ ،ظٔ ِ٤ط PERC ْ٤ٜٔرطزوش ٖٓ ح ّٞ٤ُ٘ٔ٧حُٔطزٞػش ػِٓ ٠طق حُوِ٤ش ٝحُظ ٢طو ّٞرظ ْٓ٬حُٔ٬ٛٞص
رٌَ٘ ؿِثٓ ٢غ ٓطق حُٔ , ٌٕٞ٤ِ٤ر ٌٙٛ ٖ٤حُٔ٘خ١ن طٞؿي ١زوش ػخُُش ،ػخىسً أًٔ٤ي حaluminum ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧
ٗ ٝ oxideظَ٣ي حُٔ ، silicon nitride ٌٕٞ٤ِ٤حُظ ٢طؤَ ٓ passivatesؼظْ حُٔطق حُوِلُِ ٢وِ٤ش ٝطٔ٘غ
أً٠٣خ ح ُْٔ ٖٓ ّٞ٤ُ٘ٔ٧حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤رخٓظؼ٘خء ٓ٘خ١ن حُظًٔ ( ْٓ٬خ ك ٢حٌَُ٘ حُٔخرن ) ٝ, )52(.رخُظخُٞ٣ ، ٢كَ طْ٤ٜٔ
PERCاػخىس طًَ٤ذ أهَ ُِٔطق حُوِل ٝ ٢حٗؼٌخٓ٤ش ٓلٔ٘ش ُِٔطق حُوِل. ٢
ػ٘ي آظويحّ ١زوش طؤ َ٤حُؼخٍُ ٖٓ أًٔ٤ي حُِٔ dielectric passivation SiO2 ٌٕٞ٤ػِ ٠حُٔطق حُوِل٢
ُِوِ٤ش .هي طٌٌِ٘ٓ ٌٙٛ ٕٞش رخُ٘ٔزش ُٗ٪ظخؽ حُظـخٍُ ١ؼيس أٓزخد ٌٖٔ٣ :إٔ طظٔزذ حُ٘ل٘خص حُٔٞؿزش حُٔٞؿٞىس
رٌَ٘ ػخّ ك ٢أًٔ٤ي حُِٔ SiO2 ٌٕٞ٤ك ٢ظ٘ٓ ٍٜٞطوش حٓظ٘لخى ( , ) depletion regionأ١ ٝزوش حٗو٬د ٖٓ
حُ٘ٞع nػِ ٠حُٔطق حُوِلُِ ٢وِ٤ش ٔٓ ،خ ٣ئى ١اُ٣ُ ٠خىس اػخىس حُظًَ٤ذ ػِ ٠حُٔطق حُوِل٤ًٔ٧ ٌٖٔ٣ ٫ . ٢ي
حُٔ SiO2 ٌٕٞ٤ِ٤ك ٢كي ً حط ٚإٔ ٣ظلَٔ رُٜٔٞش هطٞس حُظٔو ٖ٤حُلَحٍُ ١ط٬ء ٓطق حُوِ٤ش رؼـ٘٤شح( ّٞ٤ُ٘ٔ٧
ٌٖٔ٣ٝ . ) firing stepإٔ طظٔزذ حًٔ٧يس حُلَحٍ٣ش ًحص ىٍؿخص حُلَحٍس حُؼخُ٤ش ك ٢طيٓ ٍٞٛي ٟحُل٤خس ك ٢رؼٞ
حًَُخثِ .
طْ طط َ٣ٞحُؼي٣ي ٖٓ حُطَم ُِظـِذ ػِ ٌٙٛ ٠حُٔ٘خًَ ،رٔخ كًُ ٢ي حٓظويحّ ٣ . AlOx / SiNyلظ AlOx ١ٞػِ٠
ٗل٘خص ٓخُزش ٔٓ ،خ ٣ئى ١اُ ٠طَحًْ حُؼوٞد ( حُ٘ل٘خص حُٔٞؿزش ) ٝأٓظ٘لخى حٌُ٩ظَٗٝخص depletion electrons
ػِ ٠حُٔطق حُوِلُِ ٢وِ٤ش ٔٓ ،خ ٔ٣خػي ػِ ٠طؤ َ٤حُٔطق حُوِل ) SiNy( . ٢ػزخٍس ػٖ ػخٍُ ه ٌٚ٘ٔ٣ ١ٞطلَٔ
هطٞس حُظٔو ٖ٤حُلَحٍُ Firing step ١ط٬ء ٓطق حُوِ٤ش رؼـ٘٤ش حٝ ّٞ٤ُ٘ٔ٧حُظ ٢طليع ػ٘ي ىٍؿخص كَحٍس ػخُ٤ش
.رٔ٘٤خ ٔ٣ظويّ SiNyػِٗ ٠طخم ٝحٓغ ػِ ٠حُٔطق حٓ٧خُٓ ٢و٣٬خ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُ٘ٔٔ٤ش ٕ٧ ،حُظَٓ٤ذ حُظـخٍُ ١ـ
٣ AlOxظطِذ طط َ٣ٞأىٝحص ؿي٣يس ٌُُي ٣ؼظزَ ٌِٓق ٖٓ ٗخك٤ش طط َ٣ٞه ٢حٗ٧ظخؽ ُِو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش .
111
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
طْ كظق كظلخص حُظ ْٓ٬ك ٢ػخٍُ حُٔطق حُوِل ٢كٓ ٢وظزَحص طط َ٣ٞه٣٬خ حُـ PERCػٖ ٣َ١ن حُِ٤ؼٞؿَحك٤خ حُٞ٠ث٤ش
ٞٛٝ ، photolithographyأَٓ ٌِٓق إ طط َ٣ٞحٓ٫ظجٜخٍ رخُِ ٍِ٤ػخُ ٢حَُٔػش ُِ high-speed ablationؼٍِ
حٌَُٜرخث ٢حُوِل ٖٓ ٢أؿَ كظق كظلخص حُظٔٓ ْٓ٬ق رظٌٓ ٖ٣ٞطق هِل٘ٓ ٢ول ٞحُظٌِلش ً .خٕ ٓطِٞد ػَٔ ًزَ٤
ُظط َ٣ٞأىٝحص ٝػِٔ٤خص ٓ٘خٓزش ػخُ٤ش حَُٔػش.
ػخىس ٓخ طو ّٞهطٞس حٗظ٘خٍ حُلٔل phosphorus diffusion step ٍٞك ٢اٗظخؽ ه٣٬خ حُـ Al-BSFرظ٘٣ٞذ
dopingحٓ٧طق حٓ٧خٓ٤ش ٝحُوِل٤ش ٓؼخ ً .ػِٔ٤ش طٌ٘ٓ َ٤زخثي ح Aluminum alloying ّٞ٤ُ٘ٔ٧ك ٢حُٔطق
حُوِلُِ ٢وِ٤ش طِـ ٢حُظ٘٣ٞذ رخُلٔلُِٔ phosphorus doping ٍٞطق حُوِلُِ ٢وِ٤ش .
ك ٢ه٣٬خ حُـ ٣ ، PERCظْ طَٓ٤ذ كو ٢ح ّٞ٤ُ٘ٔ٧حُٔوِٞٓ ١ٞهؼ٤خ ً ٌُُ ,ي ٣ـذ حٓظزؼخى حُظ٘٣ٞذ رخُلٓٞلٍٞ
ُِٔ phosphorus dopingطق حُوِلُِ ٢وِ٤ش .
طْ طط َ٣ٞحُؼِٔ٤خص حُظـخٍ٣ش رظَٓ٤ذ ػخٍُ ٝحه ٢ػِ ٠حُٔطق حُوِلُِ ٢وِ٤ش هزَ حٗظ٘خٍ حُلٓٞل ٍٞأ ٝربُحُش ١زوش
حُلٔل ٍٞحُوِل٤ش رؼي حٗ٫ظ٘خٍ رخٓظويحّ ػِٔ٤ش كلَ ٍ١ذ ٖٓ ؿخٗذ ٝحكي . single-sided wet etching process
ًخٕ حُٔؼيٕ حُوِلُ ٢وِ٤ش حُـ ٖٓ PERCح ّٞ٤ُ٘ٔ٧حُٔزوَ ْ٤ُ ٞٛٝ ، evaporated aluminumحهظٜخى ً٣خ ,طْ
حٓظزيحُ ٚرؤُٔ٘ٓ ّٞ٤طزٞع ػِ ٠حُٔطق ،ػِ ٠ؿَحٍ هِ٤ش حُـ ، Al-BSFرخٓ٫ظويحّ حُٔٔظَٔ ُظو٘٤ش حٗ٩ظخؽ حُ٠وْ
ٓ٘ول٠ش حُظٌِلش .
ٌَ٘٣حُٔ ٝ Si ٌٕٞ٤ِ٤حٓ Al ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧زٌ٤ش ِٜٓش حٜٜٗ٫خٍ Eutectic Alloyك ٢كظلخص حُظ ْٓ٬أػ٘خء هطٞس
حُظٔو ٖ٤ريٍؿخص كَحٍس ػخُ٤ش أػ٘خء ٬١ء ٓطق حُوِ٤ش ٌٖٔ٣ٝ ، Firing Stepإٔ طظٌَ٘ ٓ٘طوش ٍه٤وش ٖٓ حّٞ٤ُ٘ٔ٧
حُٔ٘ٞد ػ٘ي حُٔطق ر ٖ٤حُٔزٌ٤ش حَُٜٜٔ٘س ٝحُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حٌُُِٔ ٕٞوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ٌٛ .ح ٣وَِ ٖٓ ٓوخٓٝش حُظٝ َ٤ٛٞ
اػخىس حُظًَ٤ذ ػ٘ي ٗوخ ١ح٫طٜخٍ .
ًزَ٤ح ٖٓ حُؼَٔ ُظٌ٘ٓ َ٤زخثي حُ٘ٔ ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧خ١ن حُظ َ٤ٛٞرٌَ٘ ٓٞػٞم ،رٔخ كًُ ٢ي ططَ٣ٞ
هيٍح ً
ًخٕ ٓطِٞرًخ ً
حُٔؼخؿ ٖ٤حُٔؼيٗ٤ش حُٔظوٜٜش .
حُظو٘٤خص حُظٔٓ ٢لض رظ٤ٜ٘غ طـخٍ٘ٓ ١ول ٞحُظٌِلش ُـ PERCطْ ططَٛ٣ٞخ هٞ٘ٓ ٍ٬حص ٖٓ هزَ حُؼي٣ي ٖٓ
حٗ٧وخٝ ٙحًَُ٘خصًٌُٝ .ي ٓٔق حُظوخٍد ر ٖ٤ػِٔ٤ش ط٤ٜ٘غ حُو٣٬خ رظو٘٤ش PERCحُلخُ٤ش ٝػِٔ٤ش ط٤ٜ٘غ حُو٣٬خ
رظو٘٤ش Al-BSFح٧هيّ رخٗظوخٍ طـخٍ٣َٓٝ ِْٓ ١غ اُ ٠ه٣٬خ . PERC
112
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٌَ٤ٛهِ٤ش حُـ ٞٛ PERCطط١ ٍٞز٤ؼ ٖٓ ٢ر٘٤ش هِ٤ش كوَ حُٔطق حُوِل ٢حُو٤خٓBack Surface )BSF( ٢
Fieldحُٔخروش ُٜخ ٌٛ .ح حُ٘ٞع ٖٓ حُو٣٬خ حُوخثْ ػِ٣ BSF ٠ؼخٗ ٖٓ ٢رؼ ٞحُوٞ٤ى ٝ ،حُظ ٢أٛزلض أًؼَ ٟٞٝكًخ
ٓغ طًَ ِ٤حُٜ٘خػش ػِ٣ُ ٠خىس ًلخءس حُو٣٬خ .
١زوش ح ّٞ٤ُ٘ٔ٧حُٔؼيٗ٤ش ٣ - Metallic Aluminum Filmظْ ٟٝؼٜخ ػِ ٠حُـخٗذ حُوِل ٖٓ ٢حُوِ٤ش ُظٌ ٕٞرٔؼخرش
هِ٤ش ٌٜ٘ٔ٣ ٫ - BSFخ ىػْ حُـٜٞى حُٔزٌُٝش ُظوَِٓ َ٤ػخص اػخىس حُظًَ٤ذ حُوِل، Rear recombination ٢
كو 60 ٢اُٟٞ ٖٓ ٪ 70 ٠ء حٗ٧ؼش طلض حُلَٔحء ( )IRحٌُ َٜ٣ ١اُ ٠ح ّٞ٤ُ٘ٔ٧حُوِل٘٣ ٢ؼٌْ ُِوِق ٌٖٔ٣ ,طوَِ٤
ٌٙٛحُؤخثَ حٌَُٜرخث٤ش ٝحٗ٫ؼخػ٤ش رٌَ٘ ًز َ٤ػٖ ٣َ١ن طَٓ٤ذ ١زوش طؤ passivation َ٤ػخُُش اٟخك٤ش ػِ٠
حُـخٗذ حُوِلٌٛٝ ٢ح ٞٛحُــ ٣ , PERCظؼخَٓ ٌٛح حُٔل ّٜٞكوٓ ٢غ طلٔ ٖ٤حُٔطق حُوِل ، ٢هخٛش رٜيف طوَِ٤
هٔخثَ اػخىس حُظًَ٤ذ ػِ ٠حُـخٗذ حُٔؼظْ ُِوِ٤ش ٔٓ ٞٛٝ ،ظوَ طٔخ ًٓخ ػٖ حُـخٗذ حٓ٧خٓ٣ . ٢ـذ اٟخكش هطٞط ٖ٤اُ٠
ػ٬ع هطٞحص اٟخك٤ش كو ٢اُ ٠ه ٢أٗظخؽ حُو٣٬خ حُو٤خٓ٤ش حُٔخروش )2( .
طَٓ٤ذ ١زوش طؤ َ٤ػِ ٠حُٔطق حُوِلُِ ٢وِ٤ش ٣ٝ ، Rear Passivation Layerظْ ػَٔ كظلخص كٜ٤خ ٫كوًخ رخٍُِِ٤
٩كٔخف حُٔـخٍ ُظٌ٘ٗ َ٤وخ ١حطٜخٍ هِل٤ش ر ٖ٤حُِٔ١ٝ ٌٕٞ٤زوش ح ّٞ٤ُ٘ٔ٧حُٔؼيٗ٤ش ٛ ,خطخٕ هطٞطخٕ اٟخك٤ظخٕ ٜٓٔظخٕ
ُٔؼخُـش حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُو٤خٓ٤ش .
ٝرخُظخُ ، ٢كبٕ ٗظخّ طَٓ٤ذ ١زوش حُظؤٗٝ َ٤ظخّ كظق حُطزوش رخُِ ٍِ٤رٌَ٘ أٓخٓٔٛ ٢خ ٓـٔٞػظخ ح٧ىٝحص حٟ٩خك٤ش حُظ٢
٣ظْ اٟخكظٜخ ػخىسً حُ ٠هطٓ ١ٞؼخُـش حُو٣٬خ حُو٤خٓ٤ش )2( . BSF
113
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
حٌَُ٘ أىٗخٟٞ٣ ٙق ِٓوُ ٚوطٞحص ط٤ٜ٘غ ه٣٬خ حُــ )2( . PERC
114
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
115
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
116
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٓلظخف ط٤ٜ٘غ ه٣٬خ حُــ ٞٛ PERCحُظؤ َ٤حُوِل ، Rear Passivation ٢ك ٢ك ٖ٤إٔ حُٔخىس حُٔوظخٍس رخ٩ؿٔخع
ٌُٜح حُـَ ٢ٛ ٝرٗ ٬ي أًٔ٤ي ح ٢ٛٝ ) Aluminum Oxide ) ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧حَٜٗٛخ أٟخكش ُٔٞحى حهَ ٟح٠٣خ طٔظويّ
ُظؤٓ َ٤طق حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ٓؼَ أ٤ٗ ٢ًٔٝظَ٣ي حُٔ . Silicon Oxynitride ٌٕٞ٤ِ٤ك ٢حَُٔحكَ حٖٓ ٠ُٝ٫
ط٤ٜ٘غ ه ١٬ح ُـ ، PERCطْ آظويحّ أًٔٗ ٢ظَ٣ي حُٔ . ٌٕٞ٤ِ٤حٓظَٔحُؼَٔ ػِ ٌٙٛ ٠حُظٌُ٘ٞٞؿ٤خ ً٧ؼَ ٖٓ ػوي ٝطْ
طٔ٣ٞوٜخ طـخٍ ً٣خ ك ٢ػخّ ٓ . 2012زذ آهَ ٫طوخً ٌٛح حُٔٔخٍ ٞٛطـ٘ذ حٓظويحّ ٓٞحى طؤ َ٤رخٛظش حُؼٖٔ ٌُٖ .
أًٔ٤ي حَٓ ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧ػخٕ ٓخ ٓ٤طَ ،هخٛش ك ٢حُ. ٖ٤ٜ
ٓخ ٣ـؼَ أًٔ٤ي ح ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧ك ًوخ ٓٔ ًِ٤ح ُِـخ٣ش ً ٞٛؼخكظ ٚحُؼخُ٤ش ؿيًح ٖٓ حُ٘ل٘خص حُٔخُزش حُؼخرظش حُظ ٢ط َٜاُ/ 1013 ٠
طٞؿي حُ٘ل٘خص حُؼخرظش ٓزخَٗس ػِ ٠حُٞحؿٜش ر ٖ٤أًٔ٤ي ح ٝ ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧أًٔ٤ي حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُز ٢٘٤حٌُ ٞٔ٘٣ ١ػِ٠
ٍهخهش حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤أػ٘خء ػِٔ٤ش حُظَٓ٤ذ ٔٓ ،خ ٖٔ٠٣طؤ َ٤كؼخٍ ٔ٣ .ـَ أًٔ٤ي ح ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧أً٠٣خ ىٍؿخص ػخُ٤ش ك٢
حُظؤ َ٤حٌُ٤ٔ٤خث٣ . ٢ؼَٔ ًوِحٕ ٤ٛيٍٝؿ ٖ٤كؼخٍ ِٝ٣ى حُ٤ٜيٍٝؿُ ٖ٤ظ٘زغ حَُٝحر ٢حٌُٔٗٞش ػِٓ ٠طق حُوِ٤ش أػ٘خء
هطٞحص حُٔؼخُـش حُلَحٍ٣ش .أٓخ رخُ٘ٔزش ُِوٜخث ٚحٗ٧ؼخػ٤ش ،ك ٌٜٙحُطزوخص طًٌ ٕٞحص كـٞس ٗطخم 6.4حٌُظَٕٝ
كُٞض ٗ ,لخكش رخُ٘ٔزش ُـِء ٖٓ ٟٞء حُْ٘ٔ حَُٔطز ٢رظطز٤وخص حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش.
حُـخٗذ حُِٔز ٢حُٞك٤ي ٓ ٞٛؼخَٓ حٌٔٗ٫خٍ حُٔ٘ول ٞاُ ٠كي ٓخ ,حُزخُؾ ٔٓ ، 1.65خ ٣ـؼَ أًٔ٤ي ح ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧أهَ
ٓ٬ثٔش ٌُ١ ٚٗٞزوش أكخى٣ش ٓ٠خىس ُٗ٬ؼٌخّ Single layer antireflection filmػِ ٠ؿخٗذ حُزخػغ Emitter
ُِوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش .
إ أًٔ٤ي ح ٌٚ٘ٔ٣ ٫ ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧طِز٤ش ؿٔ٤غ ٓظطِزخص حُظؤ َ٤حُوِلٝ ٢كي . ٙاٜٗخ طلظخؽ اُ١ ٠زوش كٔخ٣ش ٝحه٤ش ُللظٜخ ٖٓ
ػـ٘٤ش حُــ BSFحُٜٔٞ٘ػش ٖٓ ح . ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧ه٬ف ًُي ،أػ٘خء هطٞس حُظٔو ٖ٤حُؼخُٞٓ ، ٢ف ٣وظَم حّٞ٤ُ٘ٔ٧
حُٔؼيٗ ٢حُٔطزٞع ػِٓ ٠طق حُوِ٤ش ١زوش حًٔ٤ي حٔٓ ، ّٞ٤ُ٘ٔ٫خ ٣ئى ١اُ ٠اط٬ك ٚطٔخٓخ ً .
ٖٓ حُٔظطِزخص حُٜٔٔش ُطزوش حُظؤ َ٤حُوِل٤ش ٞٛحٗ٫ؼٌخّ حُيحهِ ٢ك ٢حُـِء حُوِل ٖٓ ٢حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ٣ .ئىٌٛ ١ح
اُ ٠طلي٣ي ٓو٤خّ ُِلي ح٧ىٗٓ ٖٓ ٠ظطِزخص ٓٔخًش حُطزوش ٝ ،حٌُ٣ ١ظَحٝف ٖٓ 100اُٗ 120 ٠خٗٓٞظَ ( ٓوخٍٗش
رلٞحُ 60 ٢اُٗ 70 ٠خٗٓٞظَ ػِ ٠حُٔطق حٓ٫خُِٓ ٢وِ٤ش ) .إ طَٓ٤ذ ٓؼَ ٌٙٛحُطزوش حٌُٔٔ٤ش ٖٓ أًٔ٤ي
حٓ ُٚ ٌٕٞ٣ ُٖ ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧ؼ٘ ٠حهظٜخى ١رٔزذ حُظٌِلش حُؼخُ٤ش .
117
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
اٟخكش اًُُ ٠ي ،كبٕ طَٓ٤ذ أًٔ٤ي ح ّٞ٤ُ٘ٔ٧حُٔٔ٤ي ٣ئػَ ِٓزًخ ػِ ٠اٗظخؿ٤ش ح٧ىحس ,طٌ ٕٞهٜخث ٚحُـٞىس ح٧هَٟ
ُِطزوش ٓ ،ؼَ حُوٞس حٌُٔ٤خٗ٤ٌ٤ش ٝحُٔوخٓٝش حُٔطل٤ش أك َ٠ػ٘يٓخ طٌ ٕٞحُطزوش ٍه٤وش ٗٞػًخ ٓخ ٌٛٝ .ح ٣ؼ٘ ٢إٔ ١زوش
أًٔ٤ي ح٣ ّٞ٤ُ٘ٔ٧ـذ إٔ طٌٍ ٕٞه٤وش ٝ ،كٗ ٢لْ حُٞهض ٣ـذ إٔ طٌٌ٤ٔٓ ٕٞش ريٍؿش ًخك٤ش ُلٔخ٣ش حُوٜخثٚ
حُز٣َٜش ( حٗ٧ؼخػ٤ش ) ٝ .رخُظخُ ، ٢كبٕ ٟٝغ ١زوش ٍه٤وش ٖٓ أًٔ٤ي حٝ ّٞ٤ُ٘ٔ٧طـط٤ظٜخ رخٓظويحّ ٗ٤ظَ٣ي حٌُٕٔٞ٤ِ٤
ٞٛحُلَ حً٧ؼَ ٓ٬ثٔش ٝحُطَ٣وش حُٔٔظويٓش ُظَٓ٤ذ ٌٙٛحُطزوش حُلخٓ٤ش ٣َ١ ٢ٛوش . PECVD
كٔ٤خ ٣ظؼِن ك٤ً ٍٞل٤ش طَٓ٤ذ أًٔ٤ي ح ٌٕٞ٣ ، ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧ح٫هظ٤خٍ ك ٢حُٔـخٍ حُظـخٍ ١ر ٖ٤طَٓ٤ذ حُزوخٍ حٌُ٤ٔ٤خث٢
حُٔلٖٔ رخُزُٓ٬خ حُٔؼَٝف رـخ ( )PECVDحُٔٔظويّ ُظَٓ٤ذ ٗ٤ظَ٣ي حُٔٝ ٌٕٞ٤ِ٤طَٓ٤ذ حُطزوش حٌٍُ٣ش ()ALD
. Atomic Layer Deposition
ٓؼظْ ػِٔ٤خص حُظ٤ٜ٘غ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ُٜخ ؿٌٍٛٝخ كٓ ٢ؼخُـش أٗزخ ٙحُٔ٬ٛٞص ٝطْ طؼيِٜ٣خ ك ٢حُـخُذ ُـؼِٜخ ٓ٘خٓزش
ُٗ٪ظخؽ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٌٛٝ ،ح ٘٣طزن رٌَ٘ هخ ٙػِ ٠طَٓ٤ذ أًٔ٤ي ح ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧رطَ٣وش طَٓ٤ذ حُطزوش حٌٍُ٣ش ALD
.
ك ٢حُٞحهغ ً ،خٗض أٗظٔش طَٓ٤ذ حُطزوش حٌٍُ٣ش ٢ٛ ALDح ٠ُٝ٧حُظ ٢طٔ َٜطَٓ٤ذ أًٔ٤ي حُِ ّٞ٤ُ٘ٔ٧ظَحً٤ذ
حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٓ . PVلخػ٬ص ALDحُٔٔظويٓش ك ٢ططز٤وخص أٗزخ ٙحُٔ٬ٛٞص ٓ ٢ٛلخػ٬ص رط٤جش ُِـخ٣ش .ك٢
ك ٖ٤إٔ ٝهض حُٔؼخُـش حُلؼِ ٌٕٞ٣ ٢رٔو٤خّ ِٓ ٢ػخٗ٤ش ٝ ،إ حُؼِٔ٤خص حٟ٩خك٤ش ٓؼَ حُظ٘و٤ش كٜٗ ٢خ٣ش ًَ هطٞس طٔظـَم
ر٠غ ػٞحٕ ٗ .ظ٤ـش ٌُُي ،ػخىسً ٓخ ٗ٧ ٌٕٞ٣ظٔش ALDحُظوِ٤ي٣ش اٗظخؿ٤ش ٓ٘ول٠ش كٞحٍُ 50 ٢هخهش ك ٢حُٔخػش ٞٛٝ ,
أَٓ ؿَٓ َ٤ؿٞد ك ٚ٤رخُ٘ٔزش ُِظ٤ٜ٘غ حٌَُٟٜٞٝث. ٢
ُِظـِذ ػٌِٛ ٠ح حُو٤ي ٛ ٍٞ١ ،خٗؼ ٞحُٔؼيحص ٜٓ٘خص اٗظخؽ ٓزظٌَس .طْ اؿَحء طلي٣ي ؿَػخص حُٔخىس ح٤ُٝ٧ش ٝحُٔئًٔي
ٝحُظط َ٤ٜكٗ ٢لْ ؿَكش حُٔلخػَ ٌُٖٝ ,طْ طٌ٤٤ق حُٔ٘ظـخص ٓغ كـْ حٗظخؽ أًزَ .
٣يػْ ALDرطز٤ؼظ ٌٙٛ ٚحُظؼي٬٣ص ٓ ،ؼَ ُ٣خىس كـْ حٗ٫ظخؽ أٓ ٝؼخُـش حًَُخثِ (حُٔطق حَُٔحى حُظَٓ٤ذ ػِ) ٚ٤
رٔٔخكش أًزَ ٝ ،حُظُٜ ٢خ طؤػٓ َ٤ليٝى ػِٝ ٠هض حُيٍٝس .طظٔ ِ٤حٗ٫ظٔش حُلي٣ؼش رؤطٔظش ًً٤ش ٓغ ًَٓزش ٓٞؿٜش طِوخث ً٤خ
ُُٜٔٞش حُظ٘ـ. َ٤
118
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
طؼخُؾ ح٧ىحس حُـي٣يس أً٠٣خ ىكؼش ٖٓ ٍ 800هخهش كٝ ٢هض ٝحكي ،طلون اٗظخؿ٤ش ػخُ٤ش طزِؾ ٍ 6000هخهش ك ٢حُٔخػش .
ٔخ ؿ٤يًح ٓغ حٗلَحف أهَ ٖٓ ٪1ىحهَ
٣ظْ ط٘ل ٌ٤حُؼِٔ٤ش ػ٘ي 150اُ 300 ٠ىٍؿش ٓج٣ٞش ٝطظَٜحُطزوش حُ٘خطـش طـخٗ ً
حُٞؿزش حُٞحكيس َُِ ٪2 ٝهخثن ٖٓ ٗلْ حُٞؿزش ٝ ٖٓ ٝؿزخص ٓوظِلش .
ٗظَح ٕ٧أًٔ٤ي ح٣ ّٞ٤ُ٘ٔ٧ظَٓذ رؼي ٗ٤ظَ٣ي حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ػِ ٠ؿخٗذ حُزخػغ ، emitterكبٕ ٌٛح حُؼخٍُ حٌَُٜرخث٢
ً
١ً dielectricحُ٘ل٘ش حُٔخُزش حُؼخرظش ُٖ ٣ظٓ ْٓ٬غ ٓطق رخػغ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤؛ ريًُ ٖٓ ٫ي ٞٓ ٞٛؿٞى ػِ٤ٗ ٠ظَ٣ي
حُٔٝ . ٌٕٞ٤ِ٤رخُظخُ٣ ، ٢ظْ طـ٘ذ طٌ١ ٖ٣ٞزوش حٗ٫ؼٌخّ .
ًزيٗ٧ َ٣ظٔش ALDحُظوِ٤ي٣ش حُظ ٢طؼظٔي ػِ ٠حُٞهض ٝطؼَٔ ك ٢ٔٗ ٢حٗظخؽ ىكؼخص ،هخّ ػيى هِٛ ٖٓ َ٤خٗؼ ٢حُٔؼيحص
رظط ALD َ٣ٞحٌُٔخٗ. ٢
ٌٛٝح ٣ؼ٘ ٢أٗ ٚريٟ ٖٓ ً٫ن حُٔٞحى حُٔظلخػِش ك ٢ؿَكش ٝحكيس ٣ ،ظْ طؤ ْ٤حُٔلخػَ اُ٘ٓ ٠خ١ن ٓ٘لِٜش ٣ ٝظْ كَٜ
ٓ٘خ١ن حُٔلخػَ ٌٙٛرٔظخثَ ؿخُ٣ش ىحهِ٤ش .ػ٘ي حُؼَٔ رٌَ٘ ٛل٤ق ٌٖٔ٣ ،إٔ طؼَٔ ٝحه٤خص حُـخُ ًٔلخَٓ ؿخُ ٔٓ ،خ
٣ظ٤ق كًَش حَُهخهش رطَ٣وش ؿ َ٤حكظٌخً٤ش .طؼَٔ ٓلخَٓ حُـخُ أً٠٣خ ًلٞحؿِ حٗظ٘خٍ ر٘ٓ ٖ٤خ١ن حُظلخػَ ٔٓ ،خ ٘ٔ٣غ
حُظلخػ٬ص حُٔظوخ١ؼش ٝحُظَٓذ حُطل ٢ِ٤ػِ ٠ؿيٍحٕ حُٔلخػَ .
٫طٔٔق ٌٙٛحُطَ٣وش رٟٞغ حُظ٘ـ َ٤حُٔزخَٗ كلٔذ ،رَ ٣ظْ ط٘لٌٛ٤خ أً٠٣خ ػ٘ي حُ٠ـ ٢حُـٔٓ ، ١ٞخ ٞ٣كَ حٌُؼٖٓ َ٤
حُٞهض ُ٠ن حُٔلخػَ ٝط٘ل .ٚٔ٤طَٓ٤ذ حُطزوش حٌٍُ٣ش حٌُٔخٗ ٞٛ ٢طط َ٣ٞكُِٜ٘ ١َٜخػخص حٌَُٟٜٞٝث٤ش .
ِٓ٤س أهَٓ ٟظؤِٛش ك ALD ٢حٌُٔخٗ٤ش ٢ٛإٔ حُظَٓ٤ذ ٣ليع كو ٢ػِ ٠ؿخٗذ ٝحكي .ط٘وَ حَُهخهخص أكخى٣ش ح٫طـخٖٓ ٙ
أكي َ١ك ٢ؿَكش حُظَٓ٤ذ اُ ٠حُطَف ح٥هَٓ .غ ٌٛح حُٜ٘ؾ ،طزي ٝؿَكش حُظلخػَ ًٝؤٜٗخ ٗلن ٣ .َ٣ٞ١ظْ كوٖ حُٔٞحى
ح٤ُٝ٧ش ك ٢ر٤جش حُٔؼخُـش ػٖ ٣َ١ن ِِٓٔش ٖٓ حُو٘ٞحص حُ٤٠وش ٖٓ أػِٝ ٠أٓلَ حُـَكش رخطـخ ٙحَُهخهش .حُلـٞس حُ٤٠وش
ٓٔظوَح .
ً ط ٖٔ٠أً٠٣خ ً
ٗو٬
طَٓ٤ذ حُزوخٍ حٌُ٤ٔ٤خث ٢حُٔلٖٔ رخُزُٓ٬خ ( ٞٛ )PECVDطو٘٤ش طَٓ٤ذ ٍث٤ٔ٤ش طٔظويّ ك ٢ط٤ٜ٘غ ه٣٬خ حٌُٕٔٞ٤ِ٤
حُ٘ٔٔ٤ش .ط ُٔظويّ ٓلخػ٬ص ُ PECVDظَٓ٤ذ ١زوخص ٍه٤وش ٖٓ ٗ٤ظَ٣ي حُٔٓٝ ، )SiNx( ٌٕٞ٤ِ٤ئهَح ً ،أًٔ٤ي
ح )AlOx( ّٞ٤ُ٘ٔ٧ك ٢ط٤ٜ٘غ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش . PERC
119
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
طو٘٤خص ُ PECVDظَٓ٤ذ ٗ٤ظَ٣ي حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ػِ ٠حُـخٗذ حٓ٫خٓ ٖٓ ٢حُوِ٤ش طٔظويّ أ٠٣خ ً ُظَٓ٤ذ أًٔ٤ي ح. ّٞ٤ُ٘ٔ٧
٣ؼي اىهخٍ ٓخىس ػ٬ػ٤ٓ ٢ؼ َ٤ح ٝ )TMA( ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧طٌ٤٤ق آُ٤ش حُظ٘ظ٤ق ٔٛخ حُظـَ٤٤حٕ حٓ٧خٓ٤خٕ حٌُِحٕ ٣ـذ إٔ
طو٠غ ُٜٔخ أٗظٔش ُ PECVDظظٌٖٔ ٖٓ طَٓ٤ذ أؿ٘٤ش أًٔ٤ي ح ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧ػِ ٠حُـخٗذ حُوِلُِ ٢وِ٤ش .
طظٔؼَ اكي ٟحُِٔ٤حص حُٜٔٔش ٗ٧ظٔش PECVDػِ ٠أىٝحص ٢ٛ ALDحُويٍس ػِ ٠طَٓ٤ذ ١زوش كٔخ٣ش ٖٓ
ٗ٤ظَ٣ي حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤أػِ ٠أًٔ٤ي ح ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧كٗ ٢ظخّ ٝحكي ى ًَٔ ٕٝحُلَحؽ ٌٛ ,ح ٣ؼ٘ ٢إٔ ػِٔ٤ش حُظؤ َ٤حُوِل ٢حٌُخِٓش
٣ظْ ط٘لٌٛ٤خ كٔٓ ٢خٍ ٝحكي .
ك ٢ك ٖ٤إٔ حٗ٩ظخؿ٤ش ٢ٗ ٢ٛء ُِٓ ْٜـخ٣ش ،كبٕ ٓؼيحص حُظَٓ٤ذ ُٜخ حُؼي٣ي ٖٓ هٜخث ٚح٧ىحء ح٧هَٜ٘ٓ ٟخ ٓٔي ١زوش
حُظَٓ٤ذ حُٔ ٠ٛٞرٜخ ٝحٓظ٬ٜى حُٔٞحى ح٤ُٝ٧ش ٝ ٝهض حُظ٘ـ ٢ٛٝ , َ٤ػٞحَٓ ٍث٤ٔ٤ش .
ٓٔي حُطزوش ,ػ٘يٓخ ٣ظؼِن ح َٓ٧رٔٔي حُطزوش ٞ٣ ٫ ،ؿي ٓؼ٤خٍ ,طظٔؼَ حُطَ٣وش حُ٘خثؼش ك ٢حُللخظ ػِ ٠أًٔ٤ي
حٍ ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧ه٤وًخ ٗٞػًخ ٓخ ،رٔ٘٤خ ٤ٗ ٨ٔ٣ظَ٣ي حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُلـٞس ُ٤ظ٘خٓذ ٓغ ٓظطِزخص حُلي ح٧ىٗ ٖٓ ٠حُٔٔي ٖٓ كٞحُ٢
100آٌَُٝ٤ٓ 120 ٠ظَ ُطزوش حُظؤُٔ َ٤طق حُوِ٤ش حُوِلُ ٢لٔخ٣ش حٗ٫ؼٌخّ حُيحهِ ٢حُوِل. ٢
٣ظـ َ٤حُٔٔي حُٔطِٞرش ٤ًٔ٧ي حٝ ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧كوًخ ُطَ٣وش حُظَٓ٤ذ ٝأً٠٣خ ٖٓ ٜٓ٘غ ٥هَ .حُطزوخص حَُه٤وش ٗٔزً٤خ حَُٔٓزش
رخٓظويحّ ً ALDخك٤ش ُظٞك َ٤طؤ َ٤كخثن ٓوخٍٗشً رـ . PECVDك ٢حُٞحهغ ٗ ،ـق ٜٓ٘ؼٞح أىٝحص حُظَٓ٤ذ ك ٢طوَِ٤
ٓٔي حُطزوش .
ه ٍ٬ح٣٧خّ حُ ٠ُٝ٧ظط َ٣ٞأًٔ٤ي حً ، ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧خٕ ٓٔي حُـ٘خء ٗ 30خٗٓٞظَ ٗخثؼًخ .أٛزق ٖٓ حٌُٖٔٔ ح ٕ٥حُلٍٜٞ
ػِٔٓ ٠ي ؿ٘خء ٖٓ ٍهْ ٝحكي ٓغ ًَ ٗظخّ ٝطو٘٤ش طوَ٣زًخ )2(.
ػخىس طٌ ٕٞؿَكش حُظَٓ٤ذ رط 6 ٍٞأٓظخٍ ٓ ًَ ٝظَ ٖٓ حُطٔ٣ ٍٞؼَ طَٓ٤ذ ٗ 1خٗٓٞظَ ٖٓ ٓٔي حُـ٘خء حُٔظَٓذ ،
ٌٛح ٣ؼ٘ ٢إٔ حُٔٞحٛلخص ٗ 6 ٢ٛخٗٓٞظَ ٌُٖ , )2(.ك ٢حُلو٤وش حُ٘ظخّ ٣يػْ أً٠٣خ طَٓ٤ذ أؿ٘٤ش أٍم ٖٓ ٗ 1خٗٓٞظَ
.رٔ٘٤خ ًخٗض ط٤ٛٞخص حُٜٔ٘ؼ ٖ٤رٔٔي ؿ٘خء ٖٓ 6اُٗ 10 ٠خٗٓٞظَ ك ٢طوخٍٝ َْٛ٣ك ًوخ ُيٍحٓخص ٝطـخٍد كؼِ٤ش طْ
اؿَحءٛخ ،كبٜٗخ طٜ٘ق رٔٔي ١زوش أًٔ٤ي ح ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧رٔٔي ٗ 4خٗٓٞظَ .ػ٘يٓخ ٞٛ PECVD ٌٕٞ٣حهظ٤خٍ طو٘٤ش
حُظَٓ٤ذ ٝ ِِّ٣ ،ؿٞى أؿ٘٤ش أًؼَ ًٌٓٔخ ٗٔزً٤خ ُظلو٤ن هٜخث ٚحُظؤ َ٤حُٔطِٞرش )2( .
121
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
رَٜف حُ٘ظَ ػٖ طو٘٤خص حُظَٓ٤ذ حُٔٔظويٓش ك ٢طَٓ٤ذ أًٔ٤ي ح ، ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧كبٕ ٓٔي ١زوش حُظـط٤ش حًُ٘ٔٞؿ٤ش
حُٔ ٠ٛٞرٜخ طظَحٝف ٖٓ 100اُٗ 120 ٠خٗٓٞظَ ,أكي أٓزخد حٌُٛخد اُ١ ٠زوخص حُلٔخ٣ش حً٧ؼَ ًٌٓٔخ ٓ ٞٛؼـٕٞ
حُل٠ش ػِ ٠حُـخٗذ حُوِل . ٢ػخىسً ٓخ طٔظويّ ٓؼخؿ ٖ٤ؿٓ َ٤وخٓٝش ُِلَحٍس حُؼخُ٤ش ُِـخٗذ حُوِل ٌُٖٝ . ٢اًح ًخٕ ٓٔي
ٗ٤ظَ٣ي حٍُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ه٤وًخ ؿيًح ،كوي ٗٞحؿٌِ٘ٓ ٚش ك ٢ػِٔ٤ش حُظٔو ٖ٤حُؼخُ٤ش ٔٓ ،خ ٣وَِ ٖٓ ؿٞىس حُظؤ َ٤حُوِل ٢ػ٘ي
ٓ٬ٛٞص حُوِ٤ش ( ٢ٌُ , ) busbarطٌ ٕٞك ٢حُـخٗذ ح ، ٖٓ٥طٔظويّ حًَُ٘خص ١زوخص أًؼَ ًٌٓٔخ هِ .ً٬٤أ ٝرؼزخٍس أهَٟ
،طؼَٔ ح٧ؿ٘٤ش حٌُٔٔ٤ش ػِ ٠طؼِٓ ِ٣وخٓٝش حُظٔو ٖ٤حُؼخُ. ٢
حُٔٔش حُٜٔٔش حُظخُ٤ش ٗ٧ظٔش طَٓ٤ذ حًٔ٤ي ح ٢ٛ AlOx ّٞ٤ُ٘ٔ٫حٓظ٬ٜى ػ٬ػ٤ٓ ٢ؼ َ٤ح ٞٛٝ ، TMA ّٞ٤ُ٘ٔ٫أكي
ػٞحَٓ حُظٌِلش حَُث٤ٔ٤ش ك ٌٙٛ ٢حُوطٞس ٣ ٫ؼظٔي حٓظ٬ٜى حُٔٞحى ح٤ُٝ٧ش ػِٔٓ ٠خًش حُـ٘خء كلٔذ ،رَ ٣ؼظٔي أً٠٣خ
ػِ ٠ط ْ٤ٜٔحُٔلخػَ ٓٝؼيٍ حٓظويحّ ػ٬ػ٤ٓ ٢ؼ َ٤ح . )TMA( ّٞ٤ُ٘ٔ٫إٔ أهَ حٓظ٬ٜى ٖٓ ٣ TMAزِؾ ٓ 1ـْ ٌَُ
ٍهخهش٣.ظٔؼَ أكي حُظلٔ٘٤خص ك ٢حُظول ٞ٤حٌُز َ٤كٔٓ ٢خًش حُـ٘خء حُٔ ٠ٛٞرٗ ٖٓ ٚطخم 10اُٗ 20 ٠خٗٓٞظَ اُ٠
هٔ٤ش ٗ 8خٗٓٞظَ ٔٓ ،خ ٣ ٫وَِ ٖٓ حٓظ٬ٜى حُـ ٓ TMAزخَٗس كلٔذ رَ ٣ـؼَ حٓظويحّ ( )TMAكؼخُِ ً٫ـخ٣ش .
()2
ٓوطُٔ ٢ؼيٍ ٓٔي طَٓ٤ذ ؿ٘خء حًٔ٤ي حُ ّٞ٤ُ٘ٔ٫زؼ ٞحُٜٔخٗغ كٔذ طو٘٤ش حُظَٓ٤ذ )2(. PECVD ٝ ALD
121
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
رٔ٘٤خ طؼظٔي ؿٔ٤غ حُطَم حًٌٍُٔٞس أػ ٙ٬ػِ ٠أًٔ٤ي ح ّٞ٤ُ٘ٔ٧حُٔظَٓذ رخُزوخٍ Vapor Deposition Aluminum
Oxide AlOxحٌُ٣ ١ظطِذ أىٝحص طَٓ٤ذ ٓوٜٜش ،كوي ٍٞ١ص ًَٗش ًَٗ ٢ٛٝ ، New E Materialsش
طخرؼش ًَُ٘ش Eternal Materials Co. Ltdك ٢طخٞ٣حٕ ٓ ،ؼـ ٕٞأًٔ٤ي ح ّٞ٤ُ٘ٔ٧حُوخرَ ُِطزخػش ػِٓ ٠طق
حُوِ٤ش )2( . Screen Printable Aluminum Oxide Pasteػ٘ي ططز٤و٣ ، ٚؼَٔ ٌٛح حُٔؼـًٔ ٕٞخىس طؤَ٤
هِل٤ش ، Rear Passivation Materialػِ ٠ؿَحٍ روخٍ أًٔ٤ي ح ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧حُٔظَٓذ .
هيٓض New E Materialsطلخ َ٤ٛػٖ ٜٗـٜخ حُزي َ٣كٍٝ ٢هش ك٘٤ش طْ طوئٜ٣خ ك ٢حُٔئطَٔ حُظخٓغ ٝحُؼَٖ٘٣
ُ٬طلخى حٍٝٝ٧رٞٓ( PVSEC ٢حى حُظؤ َ٤حُـي٣يس حُوخرِش ُِطزخػش ٖٓ ٝ AlOxطٌخَٓ حُؼِٔ٤ش ٓغ ه ٢حٗ٩ظخؽ
حُظـخٌٍُ ١لخءس ػخُ٤ش (ُ )٪20و٣٬خ PERCحُ٘ٔٔ٤ش ) .
ٌٛح حُٜ٘ؾ ُِٓ ٚح٣خ ٓؼ٘٤ش ٣ :ظْ ططز٤ن حُٔؼـ ٕٞػزَ ١خرؼخص ٓطق حُوِ٤ش ٢ٛٝ ، screen printerأهَ طؼو٤يًح ك٢
حُظ٘ـٝ َ٤حُ٤ٜخٗش ٝ ،طظطِذ ًِلش ٓخُ٤ش أهَ ٓوخٍٗش رؤىٝحص حُظَٓ٤ذ ٖٓٝ .حُِٔح٣خ حً٧ؼَ أ٤ٔٛش إٔ ٌٛح حُٜ٘ؾ ِ٣ـ٢
حٓظويحّ ػ٬ػ٤ٓ ٢ؼ َ٤حً ٌِٓ ْ٤ُ ٞٛٝ ، )TMA( ّٞ٤ُ٘ٔ٧لخ كلٔذ ٌُٚ٘ٝهط َ٤أً٠٣خ .
رؼ ٞحًَُ٘خص حُٜٔ٘ؼش ُِو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش طٞح َٛػِٜٔخ ك ٢حُظط َ٣ٞرخٓظويحّ ٜٗؾ PERCحٌُ٣ ١ؼظٔي ػِ٠
١زخػش حُ٘خٗش ٖٓ أًٔ٤ي حٝ ، ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧حٌُ ١كووض كً ٚ٤لخءس ر٘ٔزش ٪21ر٘خ ًء ػِٓ ٌَ٤ٛ ٠لٖٔ ٓغ طلٔ٘٤خص ك٢
حُٔطق حٓ٧خٓٝ ٢حُوِل. ٢
كٍٝ ٢هش ك٘٤ش َُٗ٘ص ك ٢حُيٍٝس حُؼخُؼش ٝحُؼ٬ػ٬ُ ٖ٤طلخى حٍٝٝ٧ر ، PVSEC ٢طْ طويٗ ْ٣ظخثؾ حُؼي٣ي ٖٓ حُظلٔ٘٤خص ،
ٓؼَ حُزخػغ حٗ٫ظوخث١ٝ selective emitter ٢زوش حُظـط٤ش حُِٔىٝؿش ٖٓ أًٔ٤ي حُٔ٤ٗ / ٌٕٞ٤ِ٤ظَ٣ي حُٔٝ , ٌٕٞ٤ِ٤
حُط٬ء حُٔ٠خى ُٗ٬ؼٌخّ حُٔلٖٔ , improved anti-reflection coatingحُظ ٢كووض ٗلً ٞلخءس ٪ 21.4
ٖٓ ه ٍ٬ط٘ل ٌ٤طو٘٤خص ٓـي٣ش ٘ٛخػً٤خ ك ٢طو٘٤ش ١زخػش أًٔ٤ي حُ AlOx ّٞ٤ُ٘ٔ٫و٣٬خ حُــ ٓ . PERCخ ٠ٔٔ٣
رظو٘٤ش ٢ٛٝ ، Dual Layer Capping DL CAPحهظٜخٍ ُِظـط٤ش حُِٔىٝؿش .طؼظٔي ػِٓ ٠ؼـ ٕٞأًٔ٤ي
حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُٔطزن ٓغ ١زخػش ٓطق حُوِ٤ش . screen printing
ٖٓ هٌٛ ٍ٬ح حُٜ٘ؾ حُـي٣ي ،طْ طلو٤ن ُ٣خىس ًزَ٤س كٓ ٢ظ ٢ٓٞحٌُلخءس ر٘ٔزش ٓ ٪0.45وخٍٗش رو٣٬خ حُــ PERC
حُو٤خٓ٤ش ٌٛ ٖٓ .ح ٝ ،كوًخ ُِ٘ظخثؾ حُٔويٓش ٓ ،خ ْٛحُزخػغ حٗ٫ظوخثARC ٝ DL CAP ، selective emitter ٢
حُٔلٖٔ ك٣ُ ٢خىس حٌُلخءس ر٘ٔزش ٪ 0.16 ٝ 0.13 ٝ 0.16ػِ ٠حُظٞحُ)2( .٢
٪21.52 ، ٪21.44رٔ٘٤خ ًخٗض أكً َ٠لخءس ٝر٘خءح ً ػِ ٌٙٛ ٠حُ٘ظخثؾ كوي ِٛٝض ٓظً ٢ٓٞلخءس حُو٣٬خ رليٝى
ػ٘ي ططز٤ن ٌٙٛحٓ٧خُ٤ذ حٟ٩خك٤ش )2( .
122
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
إٔ طو٘٤ش حُظـط٤ش حُِٔىٝؿش DL CAPحُوخثٔش ػِٓ ٠ؼـ ٕٞحُطزخػش ٌٖٔ٣ printing pasteىٓـٜخ رُٜٔٞش ٓغ
هط ١ٞحٗ٩ظخؽ حُلخُ٤ش رخٓظويحّ ٗظخّ ٗ٤ظَ٣ي حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حًُ٘ٔٞؿ ٢رؤهَ طٌِلش ٓخُ٤ش اٟخك٤ش ًٔ.خ إ حُلَ ٓظٞحكن أً٠٣خ ٓغ
ر٘٤ش ه٣٬خ حُـ ٤ًٔ٧ PERCي ح ّٞ٤ُ٘ٔ٧حُوخثٔش ػِ ٠طَٓ٤ذ حُزوخٍ.
طي ٍٝطو٘٤ش ه٣٬خ حُــ PERCرٌَ٘ أٓخٓ ٢ك ٍٞططز٤ن حُظؤ َ٤حُوِلٓ٫ ٌُٖٝ , Rear Passivation ٢ظوَحؽ
كخٓ٬ص حُ٘ل٘ش ٖٓ حُـخٗذ حُوِل٣ ، ٢ـذ إٔ ط َٜحُٔٔٓ٬خص حُٔؼيٗ٤ش metallic contactsاُ ٠حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤أٓلَ
١زوش حُظؤ َ٤ى ٕٝاط٬كٜخ ٖٓ ,أؿَ طٔ٤ٜي حُٔٔخٍ ُ ّٞ٤ُ٘ٔ٨حُٔؼيٗ٬ُ ٢طٜخٍ رخُٔ٣ ، ٌٕٞ٤ِ٤ظْ كظق ١زوش طؤَ٤
حُٔطق حُوِل ٢رخُِ ٢ٛٝ ، ٍِ٤هطٞس طٔٔ ٠ػًٔٓ ٞخ كظق حُظ ْٓ٬رخُِLaser Contact Opening )LCO( ٍِ٤
.طويّ حُؼي٣ي ٖٓ ًَٗخص حُِ ٍِ٤حَُحثيس أٗظٔش ًحص طو٘٤خص ٓوظِلش ,ػِٓ ٠ز َ٤حُٔؼخٍ ،أىحس ٓزظٌَس طؼظٔي ػِ ٠حُلًَش
حُٔٔظَٔس ,ػِ ٠ػٌْ ح٧ىٝحص حُظ ٢طؼظٔي ػِ ٠ط ْ٤ٜٔحُطخُٝش حُيٝحٍس ٝ ،حُظُٜ ٢خ طؤهَ ُٓ٘ ٢ك ٢حُلًَش حٌُٔ٤خٗ٤ٌ٤ش ،
طٔٔق طو٘٤ش حُلًَش حُٔٔظَٔس رخُظيكن حُٔٔظَٔ َُِهخثن .
٣ظْ ٟٝغ حَُهخهش حَُٔحى ٓؼخُـظٜخ ػِٓٝ ٠خىس ٞٛحث٤ش طَٔ ػزَ ٓـٔٞػش ٓٔظ٘ؼَحص ً٫ظ٘خف حُٜ٘يٓش حُلو٤و٤ش
ٟٞٓٝغ حَُهخهش ,حُظِ٣ ْ٤ٜٔـ ٢أ ١كظَس حٗظظخٍ ,أػ٘خء ٓؼخُـش اكي ٟحَُهخثن ،طؼَٔ أٗظٔش حُٔلخًحس رخُظٞحُٓ ١غ
حَُهخثن ح٧هَ . ٟرٔؼش اٗظخؿ٤ش ٓليىس طزِؾ 3800حٍُ 8000 ٠هخهش ك ٢حُٔخػش )2( .
رٔ٘٤خ طو٘٤ش حُطخُٝش حُيٝحٍس أىٝحطٜخ طؼظٔي ػِٜٓ ٠خىٍ ُٗ ٍِ٤خٗٞػخٗ٤ش ٜٔٔٓٝ ,ش ُِللخظ ػِ ٠طٌخُ٤ق حُ٤ٜخٗش ٓ٘ول٠ش
٣ ,ؼظٔي حُ٘ظخّ ػِٜ٘ٓ ٠ش ٓ٘٠يس ىٝحٍس ٝطزِؾ حٗ٩ظخؿ٤ش حُٔويٍس ٍ 6000هخهش ك ٢حُٔخػش .طيػْ ح٧ىحس أً٠٣خ
حُِهَكش حُٔؼويس ٓ ،ؼَ حُِهَكش حُٔ٘وطش ٝحُٔظوطؼش )2( .
إ طَٓ٤ذ ١زوش حُظؤ َ٤حُوِل ٝ ٢اُحُش حُظَٓذ حُـَٓ َ٤ؿٞد ُِٔؼخىٕ ٔٛخ َٗ١خٕ أٓخٓ٤خٕ ٜٓٔخٕ ُو٣٬خ حُــ
ًٌُ ، PERCي كبٕ طِٔ٤غ حُٔطق حُوِلٗ ُٚ ٢لْ ح٤ٔٛ٧ش .حُٔزذ ٍٝحء اُحُش حُٔطق حٌَُٔ٘ ػِ٤ٛ ٠جش هْٔ ( ؿَ٤
ٓٔظ ١ٞح ١رٌَ٘ ٞٛ ) ٢َٓٛإٔ حُٔطق حُؼ٘ٞحث ٢حُ٘ز ٚ٤رخُُ٣ َّٜظ َٜىٍؿش أػِ ٖٓ ٠اػخىس ح٧طلخى ٓوخٍٗش رخُٔطق
حُٜٔوٝ . ٍٞأكي حٓ٧زخد حُٞحٟلش ٞٛإٔ حُٔطق حُ٣ِ٣ ٢َٜٓي ٖٓ ٓٔخكش حُٔطق ًٌُ ٝي حَُٝحر ٢حُٔظيُ٤ش
. dangling bondsهخٛش ػ٘ي حٓظويحّ طو٘٤ش طَٓ٤ذ حُزوخٍ حٌُ٤ٔ٤خث ٢حُٔلٖٔ رخُزُٓ٬خ ُِ PECVDظَٓ٤ذ ،
ٗظَح ٕ٧حُـخٗذ حُوِلُِ ٢وِ٤ش ٘٣ ٫خٍى ر٘٘خ ١ك ٢حٓظٜخٙطٌ ٕٞطـط٤ش ١زوش حُظؤ َ٤أك َ٠ػِٓ ٠طق ٓٔظً ٝ . ١ٞ
حُٞ٠ء ٘٣ ٫ٝخٍى كٓ ٢لخَٛس حُٞ٠ء حُٔزخَٗ ،ك ٍَٟ ٬ك ٢اُحُش حُٔطق حٌَُٔ٘ حُـٔٓ َ٤ظ. texturing ١ٞ
123
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
٘ٛٝخى ٓزذ أًؼَ ؿ٣َٛٞش ,رؼي ػِٔ٤ش حٗ٫ظ٘خٍ ٣ ، diffusionظْ ط٘٣ٞذ ٍ dopingهخهش حُِٔ٣ ، ٌٕٞ٤ـذ إٔ
٣ظْ اهلخء حُٔطق حُوِل ٢رٌَ٘ ٝحٟق أ٣ ٝظْ طلو٤ن حٗ٫ظ٘خٍ أكخى ١حُـخٗذ ٚٗ٧ .اًح ًخٕ حُلٓٞلٞٓ ٍٞؿٞىًح ك٢
حُـخٗذ حُوِل ، ٢ك٤ـذ اُحُظٌٛٝ ٚح ٓخ٣ليع ػ٘ي حؿَحء طِٔ٤غ حُٔطق حُوِلُِ ٢وِ٤ش .
Metallization حُظؼيٖ٣
ٓؼَ أ ١طو٘٤ش ه٣٬خ ٗٔٔ٤ش ٓظويٓش ،طظطِذ ه٣٬خ ٗ PERCظخّ ٓؼـٓ ٕٞؼيٗ metallic paste ٢هخ. ٙحُٔ٘ظؾ
حً٧ؼَ أ٤ٔٛش ُِٔؼخىٕ ٞٛػـ٘٤ش حُٔطق حُوِل٣ ٫ . Back Surface Field BSF ٢ظلخػَ ٓؼـ ٕٞحّٞ٤ُ٘ٔ٧
حُٔ٘خٓذ ك ٢طِي حُٔ٘خ١ن حُظ٣ ٢ـط ٢كٜ٤خ ١زوش حُظؤ ٌُٚ٘ٝ ، َ٤كٗ ٢لْ حُٞهض ٘٘٣ت ٗوخ ١ط َ٤ٛٞك ٢حُٔ٘خ١ن
حُٔلظٞكش رخٓظويحّ حُِ٘ٗ٩ ٍِ٤خء ٗوخ ١ط َ٤ٛٞهِل٤ش ٓٞهؼ٤ش ٔٓ . Local BSFخص ٌٙٛحُٔؼخؿً ٖ٤حص ٗو٫ : ٖ٤
٘٣زـ ٢إٔ طظـِـَ ه١ ٍ٬زوش حُظؤ٣ ٝ , َ٤ـذ إٔ طظ َٜحُظٜخم ٝ Adhesionهخرِ٤ش ُلخّ solderabilityؿ٤يس .
ٖٓ حُ٘خك٤ش حُل٘٤ش ٟٞٓ ِِّ٣ ٫ ،طلو٤ن ١زوش ٓؼيٗ٤ش هِل٤ش ٓ ٝؼخؿ BSF ٖ٤هخٛش ُو٣٬خ حُـ ، PERCرٔ٘٤خ ٌٖٔ٣
ططز٤ن ٓؼـ ٕٞحُظ َ٤ٛٞحٓ٧خٓ ٢حُو٤خٓ ٢ػِ ٠ؿخٗذ حُزخػغ ( ٓطق حُوِ٤ش حٓ٧خٓٓ . ) ٢غ ح٧هٌ ك ٢ح٫ػظزخٍ كو٤وش إٔ
ه٣٬خ حُـ PERCطلظخؽ اُ ٠حُٔؼخُـش ك ٢ىٍؿخص كَحٍس ٓ٘ول٠ش ٗٔزً٤خ .
ٌٖٔ٣طلو٤ن ٓ٘خ١ن حُظ َ٤ٛٞحُٔٞهؼ٤ش Local BSFرؼيس َ١م ,حِٞٓ٧د حُٔؼ٤خٍ ٞٛ ١إٔ ٌٕٞ٣كظق ٓ٘خ١ن
حُظ َ٤ٛٞرخُِ ٢ُٔ٘ ٍِ٤حُو٘ٛ, line pattern ٢خى آٌخٗ٤ش ُظلٔ ٖ٤حٌُلخءس ػ٘ي ططز٤ن ٗٔٗ ٢وط dot ٢أٓ ٝظوطغ
ُ dashed patternلظق ١زوش حُظؤ َ٤حُوِلٌٛ . rear passivation layer ٢ح ٣وَِ ٖٓ حُٔوخٓٝش حٌُزَ٤س
ُِظ ْٓ٬حُوِلًٌُ . ٢ي طٔظويّ ٓؼخؿ ٖ٤ح ّٞ٤ُ٘ٔ٧حُٔطِ٤ش رخُٔٝ ٌٕٞ٤ِ٤حُظ ٢طٔ َٜطٌ٘ َ٤حُٔزخثي أػ٘خء طلو٤ن
حُظ ْٓ٬حُوِلٝ ، ٢رخُظخُ ٢طلٔ ٖ٤كؼخُ٤ش طٌ٘ َ٤حُظ. ْٓ٬
٘ٛخى طلٖٔ ٓ ْٜآهَ ك ٢طو٘٤ش ه٣٬خ حُـ , PERCك٤غ ٣ؼَٔ ٜٓ٘ؼ ٞحُو٣٬خ ػِٝ ٠ؿٞى أًٔ٤ي حAlOx ّٞ٤ُ٘ٔ٧
ػِ ٠ؿخٗز ٢حَُهخهش ,طظطِذ اٟخكش أًٔ٤ي ح AlOx ّٞ٤ُ٘ٔ٧ػِ ٠ؿخٗذ حُزخػغ( ٓطق حُوِ٤ش حٓ٧خٓEmitter ) ٢
طلٔ ٖ٤حُؼـ٘٤ش ،ك٤غ ٣ـذ إٔ ٣وظَم حُٔؼـ ٖٓ ٕٞه١ ٍ٬زوش حُـ٘خء حُؼخٍُ )2( . Dielectric film
124
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
* ٗو ّٞرٔؼخُـش ً٤ٔ٤خث٤ش ر٤ٜيٍ٤ًٔٝي حُزٞطخٓٓ KOH ّٞ٤غ رؼ ٞحُظؼي٬٣ص ػِ ٠ح٫كٔخ ٝ ٝرٞؿٞى ػخَٓ حُلَحٍس
ٌٙٛٝحُؼِٔ٤ش طو ّٞرظـٓ َ٤٤طق حُوِ٤ش ح ِْٓ٫حُ ٠طٌٗ ٖ٣ٞظٞء ح٘ٓ ٝخ١ن حٗز ٚرخُ َّٜرل٤غ ٗـٓ َ٤طق حُوِ٤ش حِْٓ٫
حُٓ ٠طق ًٗ ٝظٞء ٢َٓٛحٌَُ٘ ٝطٔٔ ٌٙٛ ٠حُؼِٔ٤ش رـ ( ٝ ) Textureطـَ ٌٙٛ ١حُٔؼخُـش حٌُ٤ٔ٤خث٤ش ػِٓ ٠طق
حُوِ٤ش حٓ٫خٓٝ ٢حُوِل٣َُ٘ ٢لش حُِٔ. ٌٕٞ٤
* ػْ ٣ظْ حؿَحء ػِٔ٤ش حٗظ٘خٍ ٓطلُِ ٢لٔلُٔ ٍٞطق حُوِ٤ش حٓ٫خٓٝ . ٢طظ َٜػِٔ٤ش حٗ٫ظ٘خٍ ػِٓ ٠طق ٝحكي ٌُٖٝك٢
حُلو٤وش ػِٔ٤ش حٗ٫ظ٘خٍحُٔطل ٢طظْ ُوِ٤ظٓ ٖ٤ظوخٍرظ Back to Back ٖ٤رل٤غ ٗوَِ هيٍ حٌٓ٫خٕ ٌٙٛحُؼِٔ٤ش رل٤غ
ػِ ٠حُٔطق حُوِل ٢رؼي ًُي ٣ظْ حُحُظٜخ ً٤ٔ٤خث٤خ ػزَ حؿِٜس هخٛش ُ ٌٕٞ٣ي٘٣خ ١زوش هل٤لش ٖٓ
125
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
* ػِٔ٤ش ٓؼخُـش ً٤ٔ٤خث٤ش ُٔطق حُوِ٤ش حُوِلُ٩ ٢حُش حٌَُ٘ حُُٔ ٢َٜٓطق حُوِ٤ش ٝاُحُش ٍٝحٓذ حُلٔل ٍٞحُظ ٢طَٓزض
ػِ ٠حُٔطق ه ٍ٬ػِٔ٤ش اٗظ٘خٍ حُلٔل. ٍٞ
* ٗو ّٞرط٬ء ٓطق حُوِ٤ش حُوِل ٢رظَٓ٤ذ ٓخىس ح٤ًٔٝي حً AlOx ّٞ٤ُ٘ٔ٫طزوش طؤُِٔ َ٤طق حُوِلُِ ٢وِ٤ش .
ٝطَٓ٤ذ ١زوش ٖٓ أًٔ٤ي كَحٍ ١ػِٓ ٠طق حُوِ٤ش حٓ٧خٓ٢
* ٬١ء ٓطق حُوِ٤ش حٓ٫خٓٝ ٢حُوِل ٢رظَٓ٤ذ ٓخىس ٗظَحص حُِٔ. ٌٕٞ٤
٣ؼ٘ ٢حُٔطق حُوِلُ ٢وِ٤ش حُـ ٔ٤ُ PERCض كوٗ ٢ظَحص حُِٔ ٌُٖ ٌٕٞ٤طلض ٌٙٛحُطزوش َٗٓذ ١زوش ٖٓ ٓخىس ح٤ًٔٝي
ح ّٞ٤ُ٘ٔ٫طًٌ ٕٞحص ٗل٘ش ٓخُزش ١ٝزوش ٗظَحص حًُِٔ ٌٕٞ٤حص ٗل٘ش ٓٞؿزش ٝح ُٖ ٫طؼَٔ حُوِ٤ش رٌَ٘ ؿ٤ي حًح ُْ طٞؿي
ٌٙٛحُطزوخص ًٌُ .ي طو١ ّٞزوش ٗظَحص حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤رلٔخ٣ش ١زوش أًٔ٤ي حٝ . ّٞ٤ُ٘ٔ٧ر ٌٜٙحُلخُش ٣ظْ حُو٠خء ػِ ٠ػِٔ٤ش
حػخىس حُ٫ظلخّ ُلخٓ٬ص حُ٘ل٘ش حُٔخُزش ٝحُٔٞؿزش حٗ ١وَِ ط٤خٍ حُلوي ُـخ٣ش % 5ح ١حٗ ٚطْ حُظوِٓ ٖٓ ٚؼظْ ط٤خٍ حُلوي
ك ٌٙٛ ٢حُٔ٘طوش ٌٙٛ.حُؼِٔ٤ش طٔٔ ٠حُظؤ. ) Passivation (َ٤
ط٤ٟٞق هخ٤ٛش اٗؼٌخّ حُٞ٠ء ٖٓ ٓطق حُظؤ َ٤حُوِلُ ٢يحهَ حُوِ٤ش َٓس حهَ٣ُِ ٟخىس حُظ٤خٍ
126
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
* رؼي ًُي ح ّٞ٤ُ٘ٔ٫حٓخٓخ ُٖ ٔ٣ظط٤غ حُ ٍٞٛٞحُ ٠حُِٔ ٌٕٞ٤رٔ٘٤خ حُل٠ش طٔظط٤غ حُ ٍٞٛٞحُ ٠حُِٔ ٌٕٞ٤ػزَ ٗظَحص
حُِٔ ٕ٫ ٌٕٞ٤ىه٤ن حُِؿخؽ حُٔوِٓ ١ٞغ ٓؼـ ٕٞحُل٠ش رؤٌٓخٗ ٚػوذ ١زوش ٗظَحص حُِٔ٘ٓ ٖٓ ٌٕٞ٤خ١ن ٓليىس ٝرخُظخُ٢
ٍٞٛٝحُل٠ش حُ٘ٓ ٠طوش حُُِٔ ٌٕٞ٤ؼَٔ طًَٜ َ٤ٛٞرخث ٢رٔ٘٤خ حٔ٣٫ ّٞ٤ُ٘ٔ٫ظط٤غ ًُي .
ٌُُي ٗٔظويّ حُُِ ٍِ٤ؼَٔ كظلخص ك١ ٢زوش ٗظَحص حُِٔ١ٝ ٌٕٞ٤زوش حُظؤٝ َ٤رؼي ػَٔ ٌٙٛحُلظلخص ٗو ّٞرظَ٤ٛٞ
ح ّٞ٤ُ٘ٔ٫حٓخ ١زخػظ ٚرٌَ٘ ًِ ٢ح١ ٝزخػظ ٚرٌَ٘ هطًٔ ١ٞخ ك ٢حُٞحف ٝ Bifacialرؼي ًُي ٗٔوٖ حُوِ٤ش حُ ٠حػِٖٓ ٠
. Local 750ىٍؿش ٓج٣ٞش ُظٌ٘ٓ ٖ٣ٞخ١ن طٔٔ٠
حًٕ حُلَم ر ٖ٤حُو٣٬خ حُظ ٌٕٞ٣ ٢طٔخّ حُٔطق حُوِلُِ ٢وِ٤ش ٓغ ح ّٞ٤ُ٘ٔ٫رٌَ٘ ًخَٓ ٝ Full Back Surface Al
( Localطٌ ٌٙٛ ٕٞحُلظلخص ٤ٟوش ط َٜحُٓ 60 ٠خٌَٓٝ٣ظَ ) حُو٣٬خ حُظ ٢طلظ ١ٞػِ ٠كظلخص طّٞ٤ُ٘ٔ٬ُ َ٤ٛٞ
حٕ ط٤خٍ حُلوي حُؼخُ ٌٕٞ٣ ٢ك ٢ؿِء ٓليٝى ك٘ٓ ٢طوش حُلظلخص رخٟ٫خكش ُظ٤خٍ حُلوي حُٔ٘ول ٞك ٢حُٔ٘طوش ر ٖ٤حُلظلخص
ٌٙٛٝحُؼِٔ٤ش هخٓض رَكغ 20حُ ٖٓ % 30 ٠ؿٜي حُوِ٤ش ٝرٌُي حٛزلض ه٣٬خ حُـ PERCطويّ ُ٘خ ًلخءس حػِ ٠طَٜ
حُ ٠حًؼَ ٖٓ ٓ ٌُٖٝ . % 23خُحُض ٘ٛخى ٓ٘خًَ ك ٢كٞحهي ٓ٘طوش حُزخػغ ٝ Emitterك ٢ح٣ٝ ّٞ٤ُ٘ٔ٫ـذ طوِ َ٤طِي
حُلٞحهي حُ ٠حهَ ٓخ . ٌٖٔ٣
127
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
حًٕ هِ٤ش حٍ ً PERCظو٘٤ش ػخُـض ػيس ٓٔخثَ ٖٓ حٜٔٛخ طوِ َ٤ط٤خٍ حُلوي ٝحٌٍُ ١كغ ٖٓ ؿٜي حُيحثَس حُٔلظٞكش ُِوِ٤ش
ٝرخُظخٍُ ٢كغ ًلخءس حُوِ٤ش رخٟ٫خكش ُؼٌْ حٗ٧ؼخع حُ٘خكٌ ه ٍ٬حُوِ٤ش ٖٓ حُٔطق حُوِلُِ ٢وِ٤ش ٝحػخىط ٚحُ ٠ىحهَ
حُوِ٤ش ٓٔخ ٣ِ٣ي ٖٓ ٓؼيٍ حٗ٫ؼخع حُ٘ٔٔ ٢حُٔٔظلخى ُٓ٘ ٚظ٤ُٞي حُظ٤خٍ حٌَُٜرخث ٌٙٛ ًَ . ٢حُؼٞحَٓ ؿؼِض طو٘٤ش ه٣٬خ حٍ
PERCطويّ ه٣٬خ ٗٔٔ٤ش رٌلخءس حػِ. ٠
128
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
كظ ٌَ٤ٛ ٢حُظ ْٓ٬حُوخَٓ ٤ًٔ٧ي حُ٘لن ( Tunnel Oxide Passivation Contact )TOPConرِٔ٣ي ٖٓ
حٛ٫ظٔخّ ُظط َ٣ٞحُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ػخُ٤ش ح٧ىحء ٖٓ ه ٍ٬اىهخٍ ١زوش أًٔ٤ي ٗلن tunnel oxide layerر ٖ٤حًَُِ٤س
ٝ substrateحُِٔٓ ٌٕٞ٤ظؼيى حُزٍِٞحص ٞٛٝ, poly-Siح٧كُ َ٠ظلو٤ن طؤ َ٤حُٔطق interface passivation
.طؼظٔي ؿٞىس طؤ١ َ٤زوش أًٔ٤ي حُ٘لن tunnel oxide passivation layerرٌَ٘ ٝحٟق ػٍِ ٠حرطش أًٔ٤ي
حُٔ SiO ٌٕٞ٤ِ٤ك١ ٢زوش أًٔ٤ي حُ٘لن ٝ ،حُظ ٢طظؤػَ رخُظِي ٖ٣حُ٬كن subsequent annealingك٤غ طظٌَ٘
١زوش أًٔ٤ي حُ٘لن ك٘ٓ ٢طوش ح٤ًٔ٧ي حُؼخٗ٣ٞش ( ) Si2O3 ، Si2O ، SiOكٓ ٢طق حُظٓ interface ْٓ٬غ
حًَُِ٤س . substrate
ك٘ٓ ٢طوش ح٤ًٔ٧ي حُؼخٗ٣ٞش ،طظٌَ٘ ٍحرطش ؿ٘٤ش رخًٔ٧ـٗ O2 ٖ٤ظ٤ـش حُظِي ٖ٣حُ٬كن حٌُ٣ ١لٖٔ أً٠٣خ ؿٞىس
حُظؤُِ . َ٤ظلٌْ ك ٌَٗ ٢حُٔطق ٝ ، surface morphologyحُظِيٓٝ ، annealing ٖ٣ؼيٍ حُظٔخٍع
ٌٖٔ٣ ، acceleration rateطلو٤ن ِٛٝش p-nرـٜي طوَ٣زخ ً ٢ِِٓ 700كُٞض أ ٝأًؼَ ( ) Vocرٞؿٞى ٗلن
أًٔ٤ي ٓ oxide tunnelغ هخ٤ٛش حُظؤ َ٤ػٍِ ٠هخهش ٖٓ حُ٘ٞع . ) P-type wafer ( pط٘ول ٞؿٞىس حُظؤَ٤
ُِؼ٘٤خص حُٔؼَٟش ُِظِي ( ٖ٣حُٔؼخُـش حُلَحٍ٣ش حَُٔ٣ؼش RTP ) Rapid Thermal Processingػ٘ي ىٍؿخص
كَحٍس أػِ 900 ٖٓ ٠ىٍؿش ٓج٣ٞش رَٔػش ُ .ظلٔ ٖ٤ؿٞىس طؤ١ َ٤زوش أًٔ٤ي حُ٘لن ٣ ،ـذ َٓحػخس حُوٜخثٚ
حُل٣ِ٤خث٤ش ٝحٓ٫ظوَحٍ حُلَحٍُِ ١طزوش حَُه٤وش )4( .
حُٔؼخُـش حُلَحٍ٣ش حَُٔ٣ؼش ( ٢ٛ )RTPػِٔ٤ش ط٤ٜ٘غ أٗزخ ٙحُٔ٬ٛٞص ,طو ّٞرظٔوٍ ٖ٤هخثن حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤اُ٠
ىٍؿخص كَحٍس طظـخ 1000 ُٝىٍؿش ٓج٣ٞش ُٔيس ٫طِ٣ي ػٖ ر٠غ ػٞحٕ .أػ٘خء حُظزَ٣ي ٣ ،ـذ هل ٞىٍؿخص كَحٍس
حَُهخهش رز٢ء ُٔ٘غ كيٝع هِغ ٝطٌَٔ ٗخطؾ ػٖ حُٜيٓش حُلَحٍ٣ش . thermal shock
ؿخُزًخ ٓخ ٣ظْ حُ ٍٞٛٞآُ ٠ؼي٫ص حُظٔو ٖ٤حَُٔ٣ؼش ٌٙٛرٞحٓطش ٜٓخر٤ق ػخُ٤ش حٌُؼخكش أ ٝحُِ . ٍِ٤ط ُٔظويّ ٌٙٛ
حُؼِٔ٤خص كٓ ٢ـٔٞػش ٓظ٘ٞػش ٖٓ حُظطز٤وخص ك ٢ط٤ٜ٘غ أٗزخ ٙحُٔ٬ٛٞص رٔخ كًُ ٢ي حُظ٘٣ٞذ حُ٘٘ ٝ ٢حًٔ٧يس
حُلَحٍ٣ش ٝاػخىس طيكن حُٔؼخىٕ ٝطَٓ٤ذ حُزوخٍ حٌُ٤ٔ٤خث. ٢
طلظ ١ٞحُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش حُٔ٤ٌٗٞ٤ِ٤ش حُــ TOPConػِ ٠رخػغ أٓخٓ٘ٓ ٢ظَ٘ ٖٓ حُزboron diffused ٍٕٝٞ
ٝ ، SiOx /أهطخد ٝ ، front emitterػِ ٠حُٔطق حُوِلٗ ٢لن أًٔ٤ي ًحص ر٘٤ش - poly-Si / SiNx: H
ٓطزٞػش ػِ ٠حُٔطق screen-printed electrodesػِ ٬ً ٠حُـخٗز)53( . ٖ٤
129
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
طزِؾ ط٤خٍحص حُظ٘زغ ٌُٜ Joح حُ ٌَ٤ٜػِ ٠حُٔطق حُٜٔوٓ٧ٝ 1.3 fA / cm2 ٍٞطق حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حٌُِٔ٘ش (ؿَ٤
ٓٔظ٣ٞش) 3.7 fA / cm2 texturedهزَ ١زخػش ٓ٬ٛٞص حُل٠ش .رؼي ١زخػش ٓ٬ٛٞص حُل٠ش ِ٣ ، Agىحى ط٤خٍ
حُظ٘زغ ٌُٜ Joح حُ ٌَ٤ٜاُ 50.7 fA / cm2 ٠ػِ ٠أٓطق حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حٌُِٔ٘ش، Textured silicon surfaces
)4 ( .
ك ٢ط ْ٤ٜٔه٣٬خ حُـ ٣ ٫ ، TOPConظ ْٓ٬حُٔؼيٕ رٌَ٘ ٓزخَٗ ٓغ حَُهخهش حُِٔ٤ٌٗٞ٤ش .ريًُ ٖٓ ً٫ي ٣ ،ظْ طَٓ٤ذ
١زوش أًٔ٤ي ٗلن ٍه٤وش ٓ ، Thin tunneling oxideظزٞػًخ رطزوش ٓ٘ٞرش dopedريٍؿش ػخُ٤ش رخٓظويحّ
ٓٓ ٌٕٞ٤ِ٤ظؼيى حُزٍِٞحص ٗٞع Nأ . ) poly silicon n/p ( P ٝك٤غ ٣لـذ أًٔ٤ي حُ٘لن ٗٞػًخ ٝحكيًح ٖٓ ٗخه٬ص
حُ٘ل٘ش ٌُُ .ي ٘٣ ،خٍ اُ ٌٙٛ ٠حُز٘٤ش ػخىس رخْٓ حُٔ٬ٛٞص حُوخِٓش ٗ .لٖ رلخؿش اُٗ ٠ظخّ طَٓ٤ذ رٌٕٞ٤ِ٤ٓ ٢ُٞ
( ِٓٓ ٌٕٞ٤ظؼيى حُزٍِٞحص ) poly siliconػخُ ٢حُوٞ٠ع ٘ٛ ،ٌُٖ . high –yieldخى كٞحُ ٢ػ٬ع طو٘٤خص ٓوظِلش
٣ظْ أهٌٛخ ك ٢ح٫ػظزخٍ رخُ٘ٔزش ُظَٓ٤ذ ٌٙٛحُطزوخص ه ٍ٬حُظ٤ٜ٘غ ػِٗ ٠طخم ٝحٓغ )4( :
حُظ ٢طْ َٗكٜخ ٓٔزوخ ً ,رخٟ٩خكش حُ ٠ػِٔ٤ش حَُٕ . sputteringحُٔطِذ ح٫هَ حُٔ ٞٛ ْٜطؼي١ ٖ٣زوش حُز٢ُٞ
ٓ ٌٕٞ٤ِ٤حَُه٤وش . metallization of thin poly silicon filmطؼظزَ ١زخػش حُٔطق ريٍؿخص حُلَحٍس حُؼخُ٤ش
٢ٛ high temperature screen-printingحٌَُ٘ حُٜ٘خػ٪ُ ٢ؿَحء ٣ .ظٔؼَ حُظلي ١ك ٢حُللخظ ػِ١ ٠زوش
أًٔ٤ي حُ٘لن حَُه٤وش ١ /زوش حُز ٖٓ ٌٕٞ٤ِ٤ٓ ٢ُٞحُظيٓ َ٤رٔزذ طٔو ٖ٤حُٔؼـ ٕٞحُٔؼيٗ paste ٢ػ٘ي ىٍؿش
حُلَحٍس حَُٔطلؼش َ٣ِ٣ .ح٫كظَحم ُِؼـ٘٤ش حُٔؼيٗ٤ش حُطزوش حَُه٤وش ٖٓ حُز٣ٝ , ٌٕٞ٤ِ٤ٓ ٢ُٞيهَ ؿٔٔ٤خص حُل٠ش
حُ٘خٗ٣ٞش Agك ٢حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُزِ poly silicon ١ٍٞحٌُ٣ ١ؼُِ ط٤خٍ حُظ٘زغ j0ك٘ٓ ٢طوش حُظ ْٓ٬حُوخِٓش .
أؿ٘٤ش حُز ٌٕٞ٤ِ٤ٓ ٢ُٞحُظ٣ِ٣ ٢ي ٌٜٓٔخ ػٖ ٗ 150خٗٓٞظَ ٌٜ٘ٔ٣خ طلَٔ ح٫كظَحم ك ٢حُلَحٍس حُ٘ي٣يس ٗ ٖٓ ،خك٤ش
أهَ ، ٟطظٔظغ ١زوخص حُز ٌٙٛ ٌٕٞ٤ِ٤ٓ ٢ُٞرٔؼخَٓ حٓظٜخً ٙز)58( . coefficient of absorption َ٤
131
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٟٞ٣ق حٌَُ٘ أىٗخ ٙطـٔ٤غ ر٘خء حُوِ٤ش , )4( .أِ٤ٓ ْٛحص طٌ ٌٙٛ ٖ٣ٞحُوِ٤ش ٞٛرخػغ حُز boron emitter ٍٕٝٞػِ٠
حُـخٗذ حٓ٧خُِٓ ٢وِ٤ش ١ٝ ,زوش ٍر ٢هخِٓش Passivating Connecting layerػِ ٠حُـخٗذ حُوِلُِ ٢وِ٤ش ،
ٓغ حٛخرغ حُظ fingers َ٤ٛٞحُظ٣ ٢ظْ ُٜوٜخ رٞحٓطش ٗظخّ ١زخػش حُٔطق ًٌُٝ screen-printingي طظْ
حُطزخػش ػِ ٠حُٞؿ ٖ٤ٜحٓ٧خٓ ٝ ٢حُوِلُ ٢ظط َ٣ٞهِ٤ش ٗٔٔ٤ش ػ٘خث٤ش حُٞؿ . bifacial ٚحٌَُ٘ أىٗخٟٞ٣ ٙق طًَ٤ذ
هِ٤ش )4( . TOPcon
ػِ ٠حُٔطق حٓ٧خٓ٣ ،٢ظْ حٓظويحّ ١زوش ً SiNxط٬ء ٓ٠خى ُٗ٬ؼٌخّ ،ك ٢ك٣ ٖ٤ظْ حٓظويحّ ١زوش ٍه٤وش ٖٓ أًٔ٤ي
حُِ ) Al2O3( ّٞ٤ُ٘ٓٞ٧طزوش حُظؤ٤ِ٤شٔٓ ،خ ٣وَِ ٖٓ َٓػش اػخىس حُظًَ٤ذ حُٔطل ٢اُ ٠أهَ ٖٓ / ْٓ 50ػخٗ٤ش.
ك ٢حُوِق٣ ،ظْ حٓظويحّ ١زوش ٗلو٤ش ٍه٤وش ؿيًح (≥ ٗ 2خٗٓٞظَ) ٖٓ ً SiO2طزوش ٗوَ اٌُظَ ،ٕٝك ٢ك٣ ٖ٤ظْ حٓظويحّ
١زوش ٍه٤وش ٖٓ ١زوش poly-Siحُٔ٘ٞرش رٌؼخكش ُ nظٞك َ٤حطٜخٍ أ ٢ٓٝك ٢حُوِق ٝحُٔـخٍ حٌَُٜرخثُ ٢ظظٌٖٔ
حٌُ٩ظَٗٝخص حُُٔٞيس ٟٞثً٤خ ٖٓ حَُٔ ٍٝػزَ ١زوش . SiO2
131
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
٘ٛخى ٗٞػخٕ ٓوظِلخٕ ٖٓ طٌ٘٣ٞخص TOPConرخُ٘ٔزش ُِٔطق حُوِلُِ ٢و٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُٔؼظٔيس ػِ: ٢ٛ .c-Si ٠
ٌَ٤ٛحُوِ٤ش حٌَُٟٜٞٝث٤ش ُـ ٝ ، n-TOPConحٌُٔ٣ ١ظويّ ًـٜش حطٜخٍ هِل٤ش ُِو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُٔٔظ٘يس اُn- ٠
.type c-Si
٣لظ ١ٞػِ ٠أًٔ٤ي حُ٘لن ،حٌُ ١طْ ططٝ َٙ٣ٞط٘ٔ٤ظ ٚك ٢كٔ ٞحُ٘٤ظَ٣يٓ ،غ ١زوش ٖٓ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُٔ٘ٞد ٗٞع . Pرؼي
ًُي ،طَٓ٤ذ ١زوش ٓ ٌٕٞ٤ِ٤ؿٓ َ٤ظزِ٣ٝ ، a-Si ٍٞظْ اؿَحء ػِٔ٤ش حُظِي ٖ٣ػ٘ي ىٍؿش كَحٍس ػخُ٤ش ؿيًحٝ ،حُظ ٢طظَحٝف
ر 800 ٖ٤ىٍؿش ٓج٣ٞش 900ٝىٍؿش ٓج٣ٞش .رؼي حُظِي ٣ ،ٖ٣ظْ طؼٌَٛ ٞ٣ح حُُ ٌَ٤ٜظؤ َ٤حُ٤ٜيٍٝؿُٔ ٖ٤يس كٞحُ30 ٢
ىه٤وش ػ٘ي ىٍؿش كَحٍس 400ىٍؿش ٓج٣ٞش.
٣ ٝظٌ ٌَ٤ٛ ٕٞهِ٤ش p-TOPConحُٔٔظويّ ًـٜش حطٜخٍ هِل٤ش ُِو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُٔٔظ٘يس آُٖ p-type c-Si ٠
١زوش أًٔ٤ي حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حَُ١زش ً٤ٔ٤خثً٤خ (١ ٢ٛٝ ،)SiOxزوش ٍه٤وش ُِـخ٣ش .ػٝ٬س ػًُِ ٠ي ،كٓ ٜٞـط ٠أً٠٣خ رطزوش
ٌٓٔ٤ش ٖٓ ًَر٤ي حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُٔ٘ٞد رخُلٓٞل٣ .)SiC( ٍٞزِؾ ٓٔي ٌٙٛحُطزوش ٗ 15خٗٓٞظَ٣ٝ ،ظْ طَٓ٤زٜخ رخٓظويحّ
ػِٔ٤ش طَٓ٤ذ حُزوخٍ حٌُ٤ٔ٤خث ٢حُٔؼُِ رخُزُٓ٬خ (ٝ ، )PECVDحُظ ٢طْ طو٣ٞظٜخ ٝطِٜزٜخ رٌَ٘ أًزَ ٖٓ ه ٍ٬ػِٔ٤ش
حُظِي ٖ٣ك ٢كَٕ أٗزٞر ٢ػ٘ي ىٍؿش كَحٍس ػخُ٤ش ط َٜآُ ٠خ كٞم 800ىٍؿش ٓج٣ٞش .
132
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
طَِٔٔ ػِٔ٤خص ٘ٛخػش هِ٤ش حُـ ٟٞٓ TOPConق ك ٢حٌَُ٘ حُظخُ)4( : ٢
133
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ربٓظويحّ ٓلِ٤ٛ ٍٞيٍ٤ًٔٝي حُزٞطخٓ٣ Potassium Hydroxide ( KOH) ّٞ٤ظْ طٌ ٢َٓٛ ٌَٗ ٖ٣ٞؿ٘ٓ َ٤ظظْ
ُٔطل ٢حُوِ٤ش حٓ٫خٓ ٝ ٢حُوِل. ٢
رؼي ط٘ظ٤ق ، RCAرخٓظويحّ ٓلِ ٍٞػ٬ػ ٢رَ٤ٓٝي حُز٣ ، )BBr3( ٍٕٝٞظْ اٗ٘خء رخػغ حُزboron ٍٕٝٞ
emitterك ٢كَٕ َٗ٘ حُز. ٍٕٝٞ
ٖٓ ه ٍ٬ػِٔ٤ش حُ٩حُش ُٔطق ٝحكي single side etchingربٓظويحّ ٓلِ ٖٓ ٌٕٞٓ ٍٞكخٓ ٞحُ٤ٜيٍٝكِ٣ٍٞي
ٝ Hydrofluoric acid HFكخٓ ٞحُ٘ظَ٣ي , Nitric acid HNO3طظْ اُحُش حُز ٍٕٝٞحُٔ٘ظَ٘ ػِ ٠حُٔطق
حُوِلُِ ٢وِ٤ش ٗ . Removing of rear boron diffusionل َٜػِ ٠هِ٤ش ٗٞع ٓ Nغ رخػغ حٓخٓٞٗ ٢ع . P
رؼي حُظ٘ظ٤ق رخُٔٞحى حٌُ٤ٔ٤خث٤ش ٣ ،ظْ طَٓ٤ذ أًٔ٤ي حُ٘لن tunneling SiOxكَحًٍ٣خ ٖٓٝ ,ػْ ٣ظْ طَٓ٤ذ ١زوش
رٗ ٌٕٞ٤ِ٤ٓ ٢ُٞو٤ش intrinsic poly-siliconكٗ ٢ظخّ طَٓ٤ذ حُـ LPCVDػِٓ ٠طق حُوِ٤ش حُوِل٣ ٝ , ٢ظْ
ط٘٣ٞزٜخ ( ُ ) dopedظٌ n-type ٕٞك ٢كَٕ َٗ٘ ًِ٣ٍٞي حُلٓٞل. )POCl3( َ٣ٍٞ
رؼيٛخ ٣ ،ظْ اؿَحء ػِٔ٤ش حُ٩حُش Etching processػِ ٠ؿخٗذ ٝحكي ُِ single sideـخٗذ حٓ٧خُِٓ ٢وِ٤ش ُ٩حُش
حُ٘ٞحثذ ٓؼَ طَٓزخص حُز . poly silicone ٌٕٞ٤ِ٤ٓ ٢ُٞػْ ٣ظْ اؿَحء ط٘ظ٤ق RCAحٟ٩خك. ٢
٣ظْ طؤ َ٤رخػغ حُزٝ boron emitter ٍٕٝٞطَٓ٤ذ ١زوش ٖٓ ١زوش ػخُُش ٝ ، ، dielectric layerحُظ ٢طؼَٔ
ك ٢حُٔوخرَ ًط٬ء ٓ٠خىس ُٗ٬ؼٌخّ . anti-reflection layer
ػْ ٣ظْ طَٓ٤ذ ١زوش ٖٓ ٗظَ٣ي حُِٔ SiNx ٌٕٞ٤رخٓظويحّ طَٓ٤ذ حُزوخٍ حٌُ٤ٔ٤خث ٢حُٔلٖٔ رخُزُٓ٬خ . PECVD
رخُ٘ٔزش ُِظؼي٣ , ٖ٣ظْ ١زخػش ٓ٬ٛٞص ٓؼيٗ٤ش رظ H ْ٤ٜٔرٞحٓطش ١زخػش حُٔطق screen-printingػِ٬ً ٠
حُـخٗز . ) bus-bars ( ٖ٤طِٜ٤خ اؿَحء حُلَم حَُٔ٣غ ( ) Rapid Firing Procedhreرؤػِ ٠ىٍؿش كَحٍس
رليٝى 760ىٍؿش ٓج٣ٞش ) 85 , 4 ( .
طْ كل ٚحُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُٜٔٞ٘ػش ٖٓ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُزِ ١ٍٞريهش ك ٢حُٔ٘ٞحص حُوِِ٤ش حُٔخ٤ٟش ٝ .ؿي طًَ ِ٤ػخٍ ٖٓ
حٌُ٩ظَٗٝخص ك٘ٓ ٢طوش ط ْٓ٬حَُ٘٣لش حُٔٞؿزش ٝحُٔخُزش ك ٢حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ٝ ، P-N junctionرخُظخُ ٢كبٕ
حُ٘ظ٤ـش ٢ٛكويحٕ ًز٩ َ٤ػخىس طًَ٤ذ حٌُ٩ظَٗٝخص Recombinationك ٢حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ،ػ٘يٓخ ٌٕٞ٣حُٔؼيٕ
ػِ ٠حطٜخٍ ٓزخَٗ ٓغ ٍهخهش حُٔ. ٌٕٞ٤ِ٤
134
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
) ػِٓ ٠طق حُٔخىس ٖٓ حُ٘ٞع ٝ ، Pطلظ ١ٞػِ٠ ٣ظْ طؤ َ٤حُوِ٤ش رٞحٓطش ١زوش ٍه٤وش ٖٓ أًٔ٤ي ح( ّٞ٤ُ٘ٔ٧
ً )Siطزوش ٗلن ٝ ,ؿ٘خء رٞ٘ٓ ٌٕٞ٤ِ٤ٓ ٢ُٞد ١زوش ٍه٤وش ؿيًح كٞحُٗ 2 ٢خٗٓٞظَ ٖٓ ػخٗ ٢أًٔ٤ي حُٔ( ٌٕٞ٤ِ٤
ر٘يس ػِٓ ٠طق حُٔخىس ٖٓ حُ٘ٞع . N
طظٔؼَ حُوٜخث ٚحَُث٤ٔ٤ش ُِوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش TOPConك ٢حُظؤ َ٤ػِ ٠حُٔطق رٞحٓطش ؿ٘خء أًٔ٤ي حُ٘لن ،
ٝح٫طٜخٍ حٗ٫ظوخثُ ٢ظلو٤ن حُلي ح٧ىٗ ٠رٌَ٘ ٜ٣ ٫يم ٖٓ اػخىس حُظًَ٤ذ ٖٓ recombinationحُظ٘٣ٞذ حٌُٔؼق
Siحُ٘لو٤ش ٍ tunneling Si layerه٤وش رٔخ ٌ٣لُ٘ ٢وَ ُطزوش ر٣ . ٌٕٞ٤ِ٤ٓ ٢ُٞـذ إٔ طٌ١ ٕٞزوش
حٌُ٫ظَٗٝخص ٌُٖٝ , )85( ،كٗ ٢لْ حُٞهض ٌٖٔ٣ ،إٔ ٣ئى ١طؤػ َ٤حُٔـخٍ حُوخ ٙرٜخ اُ٘ٓ ٠غ ٗخه٬ص ح٧هِ٤ش
ٖٓ minority carriersحٗ٫ظوخٍ .
هٜخث ٚحُظؤُ َ٤طزوش ر ٌٕٞ٤ِ٤ٓ ٢ُٞحُٔ٘ٞرش رٌَ٘ ٌٓؼق طظ٘ٞع ٖٓ ه٬ٓ ٍ٬ثٔش ٓؼيٍ طًَ ِ٤حُ٤ٜيٍٝؿ ٖ٤ػٖ
٣َ١ن طَٓ٤ذ حُزوخٍ حُل٣ِ٤خث. )PVD( ٢
ػِٓ ٠ز َ٤حُٔؼخٍ ,طَٓ٤ذ حُطزوش حٌٍُ٣ش ( )ALDأ ٝحَُٕ ،أ ٝطَٓذ حُزوخٍ حٌُ٤ٔ٤خثٓ ، )CVD( ٢ؼَ طَٓ٤ذ
حُزوخٍ حٌُ٤ٔ٤خث ٢حُٔلٖٔ رخُزُٓ٬خ ( ، )PECVDأ ٝطَٓ٤ذ روخٍ ً٤ٔ٤خث٘ٓ ٢ول ٞحُ٠ـ. )LPCVD( ٢
طٌ٘ق ١زوش حُز ٢ُٞحُِٔ ٌٕٞ٤حُٔ٘ٞرش رٌَ٘ ٌٓؼق ػٖ ٗٞػ٤ش ؿ٤يس ٖٓ حُظؤ ، َ٤رٔزذ حٌُٔ٤ش حُٜخثِش ٖٓ ًٍحص
حُ٤ٜيٍٝؿ ٖ٤ك١ ٢زوش ر. ٌٕٞ٤ِ٤ٓ ٢ُٞ
135
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
حُطَم حُؼِٔ٤ش ُظَٓ٤ذ ١زوخص ٍه٤وش ُِـخ٣ش ٖٓ ح٤ًٔ٧ي ُِوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش TOPConكٞحُ 1.4 ٢اُٗ 1.5 ٠خٗٓٞظَ
طَ٘ٔ :حًٔ٧يس حُلَحٍ٣ش ٝ thermal oxidationحُـْٔ حٌُ٤ٔ٤خث ٢حَُ١ذ ٝ wet chemical dipping
ط٘ظ٤ق ح ُٕٝٝ٧كٞم حُز٘لٔـ. Ultra violet ozone cleaning )UV / O3( ٢
رخٟ٩خكش اًُُ ٠ي ،كبٕ أرٔ٣َ١ ٢وش ٗ٩ظخؽ حُطزوش حَُه٤وش ٖٓ ح٤ًٔ٧ي ٢ٛحُـْٔ حٌُ٤ٔ٤خث ٢حَُ١ذ كٓ ٢لِ ٍٞحُوِ٢٤
حُلٔ solution of acidic mixture ٢٠ػ٘ي ىٍؿش كَحٍس طِ٣ي ػٖ 90ىٍؿش ٓج٣ٞش ٌٖٔ٣ .أً٠٣خ ك َٜػِٔ٤ش
حًٔ٧يس حُلَحٍ٣ش اُ ٠أًٔيس ٍ١زش ٝؿخكش ٖٓ حًٔ٧ـٝ ، ٖ٤ك ًوخ ٓ٫ظويحّ ر٤جش حًٔ٧يس )4( .
حًٔ٧ـ ٖ٤حُ٘وٝ ٢حُـخف حُٔٔظويّ ًُٔ٨يس حُـخكش ٖٓ حًٔ٧ـً ٖ٤ـٓ ٞئًٔي ُٝ ،ظٌ ٖ٣ٞؿ٘خء ح٤ًٔ٧ي ،ػ٘ي ىٍؿخص
كَحٍس ػخُ٤ش ٣ظلخػَ حًٔ٧ـٓ ٖ٤زخَٗس ٓغ ؿخُ حُ٤ٜيٍحُ . hydrazine gas ٖ٣أٓخ حًٔ٧ـ ٖ٤حَُ١ذ ٞٛروخٍ ٗي٣ي
حُ٘وخء ٖٓ حُٔخء حُ٘وً ٢ـٓ ٞئًٔي ١ ٌَ٘٣ٝ ،زوش أًٔ٤ي ٖٓ ؿِ٣جخص حُٔخء ٝح٤ًٔ٧ي ػِٓ ٠طق حُظلخػَ .رٌَ٘ ػخّ ،
ٓ ٌٕٞ٣ؼيٍ أًٔيس حًٔ٧ـ ٖ٤حُـخف أهَ ٖٓ ٓؼيٍ أًٔيس حًٔ٧ـ ٖ٤حَُ١ذ .
٣ظْ اٗ٘خء حُظ٘٣ٞذ dopingحُٜخثَ ُطزوش حُز ٌٕٞ٤ِ٤ٓ ٢ُٞرٞحٓطش :حٓظويحّ طَٓ٤ذ حُزوخٍ حٌُ٤ٔ٤خث٘ٓ ٢ولٞ
حُ٠ـُ LPCVD ٢طزوش حُٔ ، ٌٕٞ٤ِ٤حُٔ٬ثٔش ٓغ ط٘٣ٞذ حٗٞ٣٧خص حٟ٩خك٤ش ،أ ٝػٖ ٣َ١ن حٓظويحّ طَٓ٤ذ
حُزوخٍ حٌُ٤ٔ٤خث ٢حُٔلٖٔ رخُزُٓ٬خ ُ PECVDظَٓ٤ذ ١زوش ٖٓ ؿ٘خء حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُٔ٘ٞد Silicon doping
)4,85(. film
136
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
٣ظْ ط٤ٜ٘ق ػٞحَٓ حُؤخٍس ك ٢كجخص :حُؤخٍس حُز٣َٜش ٝ Optical lossاػخىس حُظًَ٤ذ Recombination
ٝحُٔوخٓٝش )4,60( . Resistance
ٓؼ , ً٬ك ٢أكي حُظـخٍد حُظ ٢أؿَ٣ض ػِ ٠هِ٤ش TOPconه٤خٓ٤ش حُٔز٘٤ش طلخِٜ٤ٛخ ك ٢حُٔوطط ٝ ٖ٤حُـي ٍٝحُظخُ٤ش ()4
ك٤غ طْ طٔـً َ٤لخءس ه٤خٓ٤ش Bulk Limitػِ ٠أٗ)4( ٪33 ٚ
ك٤غ طْ طٔـ َ٤هٔخٍس ٪5.35رٔزذ ط٤خٍ حُظ٘زغ Joػ٘ي ٝ 10 fA / cm2ط٘ول ٞحٌُلخءس اُ٪27.6 ٠
ًٔخ ٟٞٓ ٞٛق ػ٘ي حُ٘وطش . 1
حُؼخَٓ حُؼخٗ ٞٛ ٢حُؤخٍس حُز٣َٜش حُظ ٢ط٘ظؾ ػٖ حُظظِ ٝ ٪0.65 َ٤حٗ٫ؼٌخّ حٓ٧خٓٝ ٪0.38 ٢كويحٕ حَُٜٝد
ٔٓ ٪0.02خ ٣وَِ حٌُلخءس ػ٘ي ٪26.55 ٝ ٪26.57 ٝ ٪26.95ػِ ٠حُظٞحًُٔ , ٢خ ٟٞٓ ٞٛق ػ٘ي حُ٘وخٝ 3 ٝ 2 ١
.4
حُؼخَٓ حُؼخُغ ٞٛهٔخٍس اػخىس حُظًَ٤ذ حُظٔ٣ ٢ززٜخ حُظؤ َ٤حٓ٧خٓٝ ، ٪0.37 ٢حُظ ْٓ٬حٓ٧خٓٔٓ٬ٓٝ ٪0.40 ٢ش
حُظؤ َ٤حُوِلٝ ٪0.11 ٢حُظ ٢طول ٞأً٠٣خ حٌُلخءس أًُ ٪25.67 ٝ ٪25.78 ٝ ٪26.18 ٠خ ٟٞٓ ٞٛق ػ٘ي
حُ٘وخ. 7 ٝ 6 ٝ 5 ١
َ٣ؿغ ػخَٓ حُؤخٍس ح٧ه َ٤اُ ٠حُٔوخٓٝش حٌَُٜرخث٤ش ٓ ٢ٛٝوخٓٝش حُظلٝ ٪0.10 َ٣ٞحُٔوخٓٝش حُظِِٔٔ٤ش ٪0.46حُظ٢
طٔزذ حٗولخ ٝحٌُلخءس أًُ ٪25.10 ٝ ٪25.56 ٠خ ٟٞٓ ٞٛق ػ٘ي حُ٘وطظ)56,4( . 9 ٝ 8 ٖ٤
٣ظْ ٛٝق طلِ َ٤ػخَٓ كويحٕ حٌُلخءس ك ٢ؿي ٍٝطلِ َ٤ػٞحَٓ هٔخثَ حٌُلخءس Analysis of efficiency loss
factorكٔذ ًؼخكش حُظ٤خٍ (ِِٓ ٢أٓز ، )2 ْٓ / َ٤ؿٜي حُيحثَس حُٔلظٞف ، Vocػخَٓ حُظؼزجش ، )٪( FFكويحٕ
حٌُلخءس ( ٝ )٪حٌُلخءس حُٜ٘خث٤ش .
137
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
طلِ َ٤ػخَٓ حُؤخٍس ٌُِظِش ٝ ،حُز٣َٜش ٝ ،اػخىس حُظًَ٤ذ ٝحُٔوخٓٝش )4( .
138
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
139
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
- 4طلُِ TCAD َ٤ؼ٘خث٤ش حُٞؿً ٝ ٚلخءس حُظلُ َ٣ٞو٣٬خ TOPConحُ٘ٔٔ٤ش ٗٞع n
٣ظْ كل ٚػ٘خث٤ش حُٞؿً ٝ Bifaciality ٚلخءس حُظلُ Conversion Efficiency َ٣ٞو٣٬خ ٞٗ TOPConع
ٖٓ nه ٍ٬طلٔ ٖ٤ػَ ٝاٛزغ ( حُٔ٬ٛٞص ) ُٔ Finger Widthطق حُوِ٤ش حُوِل٣ , )4( . Rear Side ٢ظْ
اؿَحء طلِ TCAD َ٤ػٖ ٣َ١ن طـ َ٤٤ػَ ٝاٛزغ حُـخٗذ حُوِلٌَٓٝ٤ٓ 25 ٖٓ Rear side finger ٢ظَ
آٌَُٝ٤ٓ 1200 ٠ظَ.
ًلخءس حُـخٗذ ٣ٝظْ ٓ٬كظش حٌُلخءس ػِ ٠حُـخٗذ حٓ٧خٓٝ ٢حُوِلٝ ٢أً٠٣خ ٣ظْ كٔخد ػ٘خث٤ش حُٞؿ ٚػٖ ٣َ١ن هٔٔش
حُوِل ٢ػًِ ٠لخءس حُـخٗذ حٓ٧خٓ)55( . ) rear side Eff. / front side Eff. ( ٢
طْ طٔـ َ٤حٌُلخءس ػ٘ي ٌَٓٝ٤ٓ 25ظَ ٖٓ ػَ ٝحٛ٩زغ حُوِل ٢ر٘ٔزش ٖٓ ٪23.01حُـخٗذ حٓ٧خٓ٪20.83 ٝ , ٢
( 20.83 ٖٓ حُـخٗذ حُوِلٝ ، ٢طؤط ٢ػ٘خث٤ش حُٞؿ ٚػ٘ي ٌٛح حُؼٌََٓٝ٤ٓ 25 ( ٝظَ ) ر٘ٔزش ٪90.53
)54,4( . ) % / 23.01 %
ًِٔخ ُحى ػَ ٝأٛزغ ط َ٤ٛٞحُـخٗذ حُوِل ، ٢ط٘ولً ٞلخءس حُـخٗذ حُوِلُِ ٢وِ٤ش رٌَ٘ ِٓلٞظ ٌُٖ ًلخءس حُـخٗذ
حٓ٧خُِٓ ٢وِ٤ش طِىحى هِ)54,4( . ً٬٤
ٗظَح ٗ٫ولخً ٝلخءس حُـخٗذ حُوِل ٢ػٖ ٣َ١ن ُ٣خىس ػَ ٝاٛزغ حُـخٗذ حُوِل٣ُٝ ٢خىس ًلخءس حُـخٗذ حٓ٧خٓ ٢ػ٘ي
ً
ُ٣خىس ػَ ٝحُـخٗذ حُوِلٌُُ ، ٢ي ٌ٘٘ٔ٣خ طلي٣ي حُؤ٤ش حُٔؼُِ ٠ؼَ ٝاٛزغ حُـخٗذ حُوِل ٢رخٓظويحّ , F1 + R0.2
ٝطؼ٘ ٢إٔ طِو ٚهٔ٤ش حٌُلخءس ر٘ٔزش ٖٓ ٪100حُـخٗذ حٓ٧خٓٝ ٢هٔ٤ش حٌُلخءس ر٘ٔزش ُِ ٪20ـخٗذ حُوِل. ٢
حُؤ٤ش حُٔؼُِ ٠ؼَ ٝاٛزغ حُـخٗذ حُوِلٌَٓٝ٤ٓ 100 ٢ٛ ٢ظَ ك٤غ طًٌ ٕٞلخءس حُـخٗذ حُوِلًٝ ٪19.85 ٢لخءس
حُـخٗذ حٓ٧خٓٝ ٪23.35 ٢حُلؼخُ٤ش حُٔؼِ ٠ػِ ٬ً ٠حُـخٗز ٪27.37 ٢ٛ ٖ٤طل َٜػِٜ٤خ ٖٓ ًٔ F1 + R0.2خ
ٟٞٓ ٞٛق ك ٢حٌَُ٘ أىٗخ)4( . ٙ
141
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
طلُِ TCAD َ٤ؼ٘خث٤ش حُٞؿً ٝ ٚلخءس حُظلُِ َ٣ٞو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٖٓ TOPConحُ٘ٞع )4(. N
141
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
طـٔغ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ؿ َ٤حُٔظـخٗٔش ر ٖ٤طو٘٤ظٓ ٖ٤وظِلظ ٖ٤ك ٢هِ٤ش ٝحكيس :هِ٤ش ٓٓ ٌٕٞ٤ِ٤ظزٍِٞس ٓلٍٜٞس رٖ٤
١زوظ ٖٓ ٖ٤حُٔ" ٌٕٞ٤ِ٤حَُه٤ن" ؿ َ٤حُٔظزِ.ٍٞ
طٔٔق ٌٙٛحُظو٘٤خص ،ػ٘ي حٓظويحٜٓخ ٓؼًخ ،رلٜي حُِٔ٣ي ٖٓ حُطخهش ٓوخٍٗش رخٓظويحّ أ ٖٓ ١حُظو٘٤ظ ٖ٤رٔلَىٔٛخ .حُ٘ٞع
حً٧ؼَ ٗٞ٤ػًخ ٖٓ حُٞ٧حف حُ٘ٔٔ٤ش ٜٓٞ٘ع ٖٓ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُزِ - ١ٍٞآخ أكخى ١حُزِ٣ٍٞش أٓ ٝظؼيى حُزٍِٞحص .حُ٘ٞع
ح٧هَ ٗٞ٤ػًخ ٖٓ حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٞٛح٧ؿ٘٤ش حَُه٤وش ٜٞ٘ٓ ٢ٛٝ ،ػش ٖٓ ٓـٔٞػش ٓظ٘ٞػش ٖٓ حُٔٞحى ،أكيٛخ
حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ؿ َ٤حُٔظزِ .ٍٞػِ ٠ػٌْ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُزِ٣ ٫ ، ١ٍٞلظ ١ٞحُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ؿ َ٤حُٔظزِ ٍٞػِ ٠ر٘٤ش رِ٣ٍٞش ٓ٘ظظٔش.
ريًُ ٖٓ ً٫ي ٣ ،ظْ طَط٤ذ ًٍحص حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤رٌَ٘ ػ٘ٞحث .٢رخُ٘ٔزش ُِظ٤ٜ٘غ ٣ ،ؼٌ٘ٛ ٢ح أٗ ٌٖٔ٣ ٚطَٓ٤ذ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ؿَ٤
حُٔظزِ ٍٞػِ ٠حُٔطق ٢ٛٝ -ػِٔ٤ش أرٔٝ ٢أهَ طٌِلش ٖٓ طٌ٘ َ٤رٍِٞحص حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُٔظزِ , )10( . ٍٞك ٢كي ًحط، ٚ
ٌٕٞ٣حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ؿ َ٤حُٔظزِ ٍٞأهَ ًلخءس ك ٢طلٟٞ َ٣ٞء حُْ٘ٔ اًَُٜ ٠رخءٓٝ .غ ًُي ،كبٜٗخ طظٔظغ رِٔ٤س حُظ٤ٜ٘غ
ح٧هَ طٌِلش ٌٙٛ .حُظٌِلش حُٔ٘ول٠ش ٝحَُٔٗٝش كٞٗ ٢ع حُٔٞحى حُظ ٌٖٔ٣ ٢إٔ ٣ظَٓذ ػِٜ٤خ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ؿ َ٤حُٔظزِٔٛ ٍٞخ
ِٓ٤طخٕ ٜٓٔظخٕ .
ٓغ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ؿ َ٤حُٔظـخٗٔش ،طلظٍ ١ٞهخهش حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُزِ٣ٍٞش حُظوِ٤ي٣ش ػِ ٌٕٞ٤ِ٤ٓ ٠ؿٓ َ٤ظزِٓ ٍٞظَٓذ
ػِٓ ٠طل ٚحٓ٧خٓٝ ٢حُوِل٘٣ .٢ظؾ ػٖ ٌٛح ١زوظخٕ ٖٓ ح٧ؿ٘٤ش حُ٘ٔٔ٤ش حَُه٤وش حُظ ٢طٔظ ٚكٞطٗٞخص اٟخك٤ش ُٖ ٣ظْ
حُظوخٜ١خ رٞحٓطش ٍهخهش حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُزِ٣ٍٞش حُٓٞطًٔ . ٠خ ك ٢حٌُِ٘ ٖ٤حُظخُ)10,62( . ٖ٤٤
Heterojunction Cell
142
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
طظٌ ٕٞحُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ٖٓ ٓخىس ٍه٤وش طِظو ٢ؿِ ًءح رًٔ ٤طخ ٖٓ ٟٞء حُْ٘ٔ حٌُٜ٣ ١طيّ رٜخ ٞٓ .ف َٔ٣رؼٟٞ ٞء
حُْ٘ٔ ػزَ حُوِ٤ش ٞٓٝ ،ف َ٣طي حُزؼ ٞح٥هَ ػٖ حُٔطق .طٔظل٤ي طو٘٤ش حُطخهش حُ٘ٔٔ٤ش ؿ َ٤حُٔظـخٗٔش ٖٓ ًُي ٖٓ
ه ٍ٬ر٘خء هِ٤ش ٗٔٔ٤ش ٖٓ ػ٬ع ١زوخص ٓوظِلش ٖٓ حُٔٞحى حٌَُٟٜٞٝث٤ش .طو ّٞحُطزوش حُٓٞط ٖٓ ٠حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤أكخى١
حُزِ٣ٍٞش رٔؼظْ أػٔخٍ طلٟٞ َ٣ٞء حُْ٘ٔ اًَُٜ ٠رخء ٘ٛ .خى ١زوش ػِ٤خ ٖٓ حُِٔ ٌٕٞ٤حَُه٤ن ؿ َ٤حُٔظزِ ٍٞطِظو٢
رؼٟٞ ٞء حُْ٘ٔ هزَ إٔ طٜطيّ رخُطزوش حُزِ٣ٍٞش ًٔ ،خ أٜٗخ طِظو ٢رؼٟٞ ٞء حُْ٘ٔ حٌُ٘٣ ١ؼٌْ ػِ ٠حُطزوخص
أىٗخٍ ٌٕٞ٣ٝ . ٙه٤ن ُِـخ٣ش ،ك٤غ َٔ٣حٌُؼٟٞ ٖٓ َ٤ء حُْ٘ٔ ٖٓ هٓٝ .ُٚ٬غ ًُي ،كبٜٗخ طُٞي ٓخ ٌ٣ل ٖٓ ٢حٌَُٜرخء
حٟ٩خك٤ش ُـؼَ حُظٌِلش حٟ٩خك٤ش ؿيَ٣س رخٛ٫ظٔخّ .ػِ ٠حُـخٗذ حُوِل ٖٓ ٢حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُزِ ١ٍٞطٞؿي ١زوش ٍه٤وش أهَ.ٟ
ِ٣ظوٟٞ ٢ء حُْ٘ٔ حٌُ َٔ٣ ١ػزَ أ١ ٍٝزوظٝ .ٖ٤اًح ًخٗض حُِٞكش ػزخٍس ػٖ طٗ ْ٤ٜٔلخف حُ ١ؿخؽ ُٞٝكش هِل٤ش
ًزَ٤ح ٖٓ حٌَُٜرخء رٔزذ ٟٞء حُْ٘ٔ حٌُ٘٣ ١ؼٌْ ػٖ حٍٝ٧ هيٍح ًٗلخكش ،كبٕ ٌٙٛحُطزوش حُوِل٤ش حَُه٤وش ٓظ٤٠ق ً
ٖٓ .ه ٍ٬ر٘خء هِ٤ش ٖٓ طًَ٤زش ٖٓ ػ٬ع ١زوخص ٟٞث٤ش ٓوظِلش ٌٖٔ٣ ،إٔ ط َٜحُِٞكش حُ٘ٔٔ٤ش ؿ َ٤حُٔظـخٗٔش اُ٠
ًلخءحص ط َٜاُ ٪21 ٠أ ٝأػٌِٛ . ٠ح ٓ٘خرُِٞ ٚكخص حُظ ٢طٔظويّ طو٘٤خص ٓوظِلش ُظلو٤ن أىحء ػخٍ .
143
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
حُِٔح٣خ حَُث٤ٔ٤ش ُِو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ؿ َ٤حُٔظـخٗٔش ػِ ٠ه٣٬خ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُزِ٣ٍٞش حُظوِ٤ي٣ش :٢ٛ
-طٌِلش أهَ ٓوخٍٗش رخُظو٘٤خص ح٧هَ ٟحُٔٔظويٓش ُظلٔ ٖ٤ح٧ىحء ٓ ،ؼَ PERC
ٓ -ؼخَٓ ىٍؿش كَحٍس أهَ (أىحء ٓلٖٔ ك ٢ىٍؿخص حُلَحٍس حَُٔطلؼش)
رخٟ٩خكش اًُُ ٠ي ٌٖٔ٣ ،إٔ طٌ ٕٞحُظو٘٤خص ح٧هَ ٟحُظٔ٣ ٢ظويٜٓخ حُٜٔ٘ؼ ٍُِٞٛٞ ٕٞاًُ ٠لخءحص ػخُ٤ش ؿيًح أًؼَ
طٌِلش٣ .ؼظزَ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤ؿ َ٤حُٔظزِ ٍٞطو٘٤ش ٍهٜ٤ش ٗٔز ً٤خ .ك ٢ك ٖ٤إٔ ٌٛح حُ٘ٞع ٖٓ حُطخهش حُ٘ٔٔ٤ش ًحص ح٧ؿ٘٤ش
حَُه٤وش ُ ْ٤ر٘لْ ًلخءس حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُزِ ١ٍٞطوَ٣زًخ ،ا ٫أٗٔ٣ ٚظل٤ي ٖٓ حُظ٤ٜ٘غ حُزٔٔٗ ٢٤زً٤خ ٖٓ .هِ١ ٍ٬ذ هطٞحص
ط٤ٜ٘غ أهَ ٖٓ حُظو٘٤خص ح٧هَ ، ٟكبٕ حُٞ٧حف ؿ َ٤حُٔظـخٗٔش ُيٜ٣خ حُويٍس ػِ ٠إٔ طٌ ٕٞكؼخُش ٖٓ ك٤غ حُظٌِلش ٖٓ
حٞٗ٧حع ح٧هَ. ٟ
هي طظٔظغ ُٞكخص HJTرِٔ٤س ػ٘يٓخ ٣ظؼِن ح َٓ٧رخ٧ىحء ػ٘ي ىٍؿخص حُلَحٍس حُؼخُ٤ش .حُٞ٧حف حُ٘ٔٔ٤ش أهَ كؼخُ٤ش ك٢
ىٍؿخص حُلَحٍس حَُٔطلؼش ٌٙٛ .ظخَٛس ٓؼَٝكش -ك ٢حُٞحهغ ٣ ،ظْ َٓى ح٧ىحء ػ٘ي ىٍؿش حُلَحٍس كٍٝ ٢هش ر٤خٗخص أ١
ُٞكش ٗٔٔ٤ش ٓٝ .غ ًُي ،كبٕ اكيِٓ ٟح٣خ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ًحص ح٧ؿ٘٤ش حَُه٤وش ٢ٛأٜٗخ طظٔظغ رٔؼخَٓ ىٍؿش كَحٍس
أك ٖٓ َ٠حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُزٌِٛ .١ٍٞح ٣ؼ٘ ٢إٔ ىٍؿخص حُلَحٍس حَُٔطلؼش ُٜخ طؤػ َ٤أهَ ػِ ٠ح٧ؿ٘٤ش حَُه٤وش ٜٓ٘خ ػِ٠
حُِٔ ٌٕٞ٤أكخى ١حُزِ٣ٍٞش أٓ ٝظؼيى حُزٍِٞحص حُظوِ٤ي. ١
ٓغ ٝؿٞى ١زوظ ٖٓ ٖ٤حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حَُه٤ن حُـٓ َ٤ظزِ ، ٍٞطٌظٔذ حُٞ٧حف ؿ َ٤حُٔظـخٗٔش ِٓ٤س ػِ ٠حُٞ٧حف حُ٘ٔٔ٤ش
حُظوِ٤ي٣ش ػ٘يٓخ ٣ظؼِن ح َٓ٧رخُللخظ ػِ ٠ح٧ىحء حُؼخُٓ ٢غ حٍطلخع ىٍؿش حُلَحٍس .
144
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ه٣٬خ ح٧طٜخٍ حُوِل ٢حُٔظيحهَ حُ٘ٔٔ٤ش ( Interdegetated Back Contact ) IBC 7–5
طؼي حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ( IBCح٫طٜخٍ حُوِل ٢حُٔظيحهَ) ٝحكيس ٖٓ طٌ٘٣ٞخص حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ًحص حُظ ْٓ٬حُوِلٌٖٔ٣ .٢
ُِو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ًحص حُظ ْٓ٬حُوِل ٢إٔ طلون ٗظًَ٣خ ًلخءس أػِ ٠ػٖ ٣َ١ن طلَ٣ي ؿٔ٤غ ٗزٌخص ح٫طٜخٍ حٓ٧خٓ٤ش -أٝ
ؿِء ٜٓ٘خ -اُ ٠حُـخٗذ حُوِل ٖٓ ٢حُوِ٤ش ٣ .ظْ طلو٤ن حٌُلخءس حُؼخُ٤ش حُٔلظِٔش رٔزذ حُظظِ َ٤حُٔ٘ول ٞكٓ ٢ويٓش
حُوِ٤ش ٌٛٝح ٓل٤ي رٌَ٘ هخ ٙك ٢حُو٣٬خ حَُٔطلؼش حُظ٤خٍ ٓؼَ حٌُٔؼلخص حُ٘ٔٔ٤ش أ ٝحُظًَ٤ذ كٔٓ ٢خكخص ًزَ٤س٘ٛ .خى
حُؼي٣ي ٖٓ أٗٞحع حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُوِل٤ش حُظٝ , َ٤ٛٞه٣٬خ ٝ ٢ٛ IBCحكيس ٜٓ٘خ .
طظٔظغ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ًحص حُظ ْٓ٬حُوِل ٢رخُويٍس ػِ٘ٓ ٠غ ؿٔ٤غ هٔخثَ حُظظِ َ٤ػٖ ٣َ١ن ٟٝغ ً ٬حُٔ٬ٛٞص ػِ٠
حُـِء حُوِل ٖٓ ٢حُوِ٤ش .رل٤غ ٖٓ حٌُٖٔٔ ؿٔغ أُٝحؽ حُؼوٞد ٝحٌُ٩ظَٗٝخص حُ٘خطـش ػٖ حُٞ٠ء حٌُ٣ ١ظْ حٓظٜخٚٛ
ك ٢حُٔطق حٓ٧خُِٓ ٢وِ٤ش ك ٢حُـِء حُوِل ٖٓ ٢حُوِ٤ش ،رخٓظويحّ هِ٤ش ٗٔٔ٤ش ٍك٤ؼش ٜٓٞ٘ػش ٖٓ ٓخىس ػخُ٤ش حُـٞىس.
ٌٙٛحُو٣٬خ ٓل٤يس رٌَ٘ هخ ٙك ٢ططز٤وخص حٌُٔؼق حُ٘ٔٔ ٝ . ٢طظٔؼَ كخثيس اٟخك٤ش ُ ٌٜٙحُو٣٬خ ك ٢أٍٗ ٌٖٔ٣ ٚر٢
حُو٣٬خ حُظ ٢طلظ ١ٞػِ ٖٓ ًَ ٠ؿٜخص ح٫طٜخٍ حُٔٞؿٞىس ك ٢حُوِق رٌَ٘ أٟٓٝ ٌٖٔ٣ٝ َٜؼٜخ رخُوَد ٖٓ رؼٜ٠خ
حُزؼ ٞك ٢حُِٞكش حُ٘ٔط٤ش ٫ ٚٗ٧طٞؿي كخؿش ٔٓ ١٧خكش ر ٖ٤حُو٣٬خ ٟٞ٣ ٌَٗ .ق طًَ٤ذ هِ٤ش )5( . IBC
145
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ًٝخٗض طٔٔ ٠حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ًحص ح٫طٜخٍ حُوِل ٢حُٔظزخىٍ ك ٢ح( FSF َٛ٧كوَ حُٔطق حٓ٧خٓ .)64( )٢طٔض ىٍحٓش
هِ٤ش ح٫طٜخٍ حُوِل ٢حُٔظيحهِش ( )IBCرٌَ٘ أٓخٓ ٢ك ٢أٝحهَ حُٔزؼ٤٘٤خص .طٌٔ٘ض هِ٤ش ٗ( PCوطش ح٫طٜخٍ) حُظ٢
ٍٞ١طٜخ ؿخٓؼش ٓظخٗلٍٞى ك ٢حُؼٔخٗ٤٘٤خص ٖٓ حُ ٍٞٛٞاًُ ٠لخءحص طِ٣ي ػٖ ٖٓ ٪20حُزيح٣ش ٝ ،هي طْ اٗ٘خء ه٣٬خ IBC
َٓ ٍٝ٧س ُِطخثَحص ري٤١ ٕٝخٍ ٤ٓٝخٍحص حُٔزخم حُظ ٢طؼَٔ رخُطخهش حُ٘ٔٔ٤ش ك ٢حُظٔؼ٤٘٤خصٝ ، .طْ طٔي٣يٛخ ٫كوًخ اُ٠
حٗ٩ظخؽ ػِٗ ٠طخم ٝحٓغ ٗ٧ظٔش ط٤ُٞي حُطخهش حٌَُٟٜٞٝث٤ش ك ٢حُؼوي ح ٖٓ ٍٝ٧حُوَٕ حُلخىٝ ١حُؼَُ٘ .ٖ٣ظوِ َ٤طٌخُ٤ق
حُظ٤ٜ٘غ ،طْ طط َ٣ٞحُؼي٣ي ٖٓ حُؼِٔ٤خص ٓ٘ول٠ش حُظٌِلش .
٘ٛخى ٗٞػخٕ ٓوظِلخٕ ٖٓ حُظٌ٘٣ٞخص ح٧هَُِ ٟو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ًحص ح٫طٜخٍ حُوِل ٢ؿٔٛٝ ، IBC َ٤خ ( EWTحُظلخف
حُزخػغ ) ( MWT ٝحُظلخف حُٔؼيٕ ) طلض ه٣٬خ Siحُ٘ٔٔ٤ش ٓظؼيىس حٌَُٔ٣ظخ٫ص )5( .
146
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
طٜيف حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حٌَُٟٜٞٝث٤ش حُؼ٣ٞ٠ش ( )OPVاُ ٠طٞك َ٤كَ ًَٟٜٞٝثٝ )PV( ٢ك٘ٓٝ َ٤ول ٞاٗظخؽ
حُطخهش .طظٔظغ ٌٙٛحُظٌُ٘ٞٞؿ٤خ أً٠٣خ رخٌٓ٩خٗ٤خص حُ٘ظَ٣ش ُظٞك َ٤حٌَُٜرخء رظٌِلش أهَ ٖٓ طو٘٤خص حُـ َ٤حٝ ٍٝ٧حُؼخٗ٢
ٗظَح ٌٖٔ٣ ٚٗ٧حٓظويحّ ٓٞحى حٓظٜخٓ ٙوظِلش ٘ٗ٩خء ه٣٬خ ِٗٞٓ OPVش أٗ ٝلخكش ،كبٕ ٌٙٛ ُِطخهش حُ٘ٔٔ٤ش ً .
حُظو٘٤ش ؿٌحرش رٌَ٘ هخُٞٔ ٙم حُطخهش حُٔيٓـش ك ٢حُٔزخٗ . ٢كووض حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش حُؼ٣ٞ٠ش ًلخءحص طوظَد ٖٓ
ٌُٖ ، ٪11هٞ٤ى حٌُلخءس رخٟ٩خكش اُ ٠حُٔٞػٞه٤ش ِ٣ٞ١ش ح٧ؿَ ٫طِحٍ كٞحؿِ ًزَ٤س.
ػِ ٠ػٌْ ٓؼظْ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ؿ َ٤حُؼ٣ٞ٠ش ،طٔظويّ ه٣٬خ ٓ OPVخٛخص ؿِ٣ج٤ش أ ٝر٣َٔ٤ُٞش ٔٓ ،خ ٘٣ظؾ
ػ٘ ٚأً٤ظٟٞٓ ٕٞؼ٣ . ٢ظْ حٓظويحّ ٓٞحى حٓ٫ظٜخ ٙرخ٫هظَحٕ ٓغ ٓٔظوزَ حٌُ٩ظَٓ ، ٕٝؼَ حُل ، ٖ٣َ٤ُٞحٌُ١
٣لظ ١ٞػِ ٠كخ٫ص ١خهش ٓيحٍ٣ش ؿِ٣ج٤ش طٔٗ َٜوَ حٌُ٩ظَ . ٕٝػ٘ي حٓظٜخ ٙحُلٞط٘٣ ، ٕٞظوَ ح٤ًٔ٩ظ ٕٞحُ٘خطؾ اُ٠
حُٔطق حُز ٢٘٤رٓ ٖ٤خىس حٓ٫ظٜخٝ ٙحُٔخىس حُٔٔظوزِش ٌُُ٪ظَٞ٣ , )65( . ٕٝكَ ػيّ حُظطخرن حُُِ٘٘ٔ ٢يحٍحص حُـِ٣ج٤ش
هٞس ىحكؼش ًخك٤ش ُظؤ ْ٤ح٤ًٔ٩ظٝ ٕٞاٗ٘خء ٗخه٬ص ٗلٖ كَس (اٌُظَٝ ٕٝػوذ) )65( .
147
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
طَطز ٢حٌُلخءحص حُٔ٘ول٠ش ُو٣٬خ OPVرؤٞ١حٍ حٗظ٘خٍ ح٤ًٔ٩ظ ٕٞحُٜـَ٤س ٞٗ ٝحهَ كخٓ٬ص حُ٘ل٘ش حُٔ٘ول٠ش .
طئىٛ ١خطخٕ حُوخ٤ٛظخٕ ك ٢حُٜ٘خ٣ش اُ ٠حٓظويحّ ١زوخص ٍه٤وش ٗ٘طش طئػَ ػِ ٠ح٧ىحء حُؼخّ ُِوِ٤ش .ػٝ٬س ػًُِ ٠ي ،
٣ظَ حُؼَٔ حُظ٘ـُ ٢ِ٤و٣٬خ OPVأهَ رٌؼ ٖٓ َ٤حُؼَٔ ح٫كظَحُِ ٢ٟو٣٬خ ؿ َ٤حُؼ٣ٞ٠ش .
ًَِ٣حُزلغ حُلخُ ٢ػِ٣ُ ٠خىس ًلخءس حُوِ٤ش ٝػَٔٛخ .طْ طلو٤ن ٌٓخٓذ ًزَ٤س ك ٢حٌُلخءس رخُلؼَ ٖٓ ه ٍ٬طلٔٓ ٖ٤خىس
حٓ٫ظٜخ. ٙ
طٔظويّ ه٣٬خ ً OPVحص حُـِ١ء حُٜـ َ٤ؿِ٣جخص ًحص حٓظٜخٝ ٙحٓغ ك ٢حُـِء حَُٔثٝ ٢حُوَ٣ذ ٖٓ حٗ٧ؼش طلض
حُلَٔحء ٖٓ حُط٤ق حٌَُٜٓٝـ٘خ . ٢ٔ٤١ػخىسً ٓخ ط ُٔظويّ حٗ٧ظٔش ٗي٣يس ح٫هظَحٕ ُ٘ظخّ حُظزَع رخٌُ٩ظَٓ ٕٝؼَ
حُلؼخُ٤ٓٞخٗٝ ٖ٤حُز ٢ُٞآٓ . ٖ٤ؿخُزًخ ٓخ طٔظويّ أٛزخؽ حُزٝ ٖ٤ِ٣َ٤حُلً٘ ٖ٣َ٤ُٞظْ هز ٍٞحٌُ٩ظَ٣ . ٕٝظْ اٗ٘خء ٌٙٛ
حُو٣٬خ رٌَ٘ ٗخثغ ػٖ ٣َ١ن حُظَٓ٤ذ حُلَحؿ٘ٗ٩ ٢خء ٓؼٔخٍ٣خص ػ٘خث٤ش حُطزوخص ٓٝظَحىكش .ك ٢حٗٝ٥ش ح٧هَ٤س ،طْ
طط َ٣ٞأٗظٔش حُـِ٣جخص حُٜـَ٤س حُٔؼخُـش رخُٔلِ. ٍٞ
طٔظويّ ه٣٬خ OPVحُوخثٔش ػِ ٠حُز َٔ٤ُٞأٗظٔش ؿِ٣ج٤ش ِ٣ٞ١ش حُِِٔٔش ُِٔٞحى حُٔظزَػش رخٌُ٩ظَ ( ٕٝػِٓ ٠زَ٤
حُٔؼخٍ ، ) MDMO-PPV ، P3HT ،ؿ٘ ًزخ اُ ٠ؿ٘ذ ٓغ حُل٘٣َ٤ُٞخص حُٔ٘ظوش ً٘ظخّ هز ٍٞحٌُ٩ظَ ( ٕٝػِٓ ٠زَ٤
حُٔؼخٍ ٓ . ) PC70BM ، PC60BM ،ؼَ ه٣٬خ OPVحُـِ٣ج٤ش حُٜـَ٤س ،كبٕ ٌٙٛحٗ٧ظٔش ُٜخ أٞ١حٍ ٛـَ٤س
ٗ٫ظ٘خٍ ح٤ًٔ٩ظ. ٕٞ
148
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
طؼِّي ٓٞحى حُزَٝكٌٔخ٣ض حُظ ٢حًظ٘لض هزَ ٗل ٞهَٕ رظطز٤وخص ٝحػيس كٓ ٢ـخ٫ص ػي٣يس٣ٝ .ؼٞى حُل َ٠ك ٢حًظ٘خكٜخ اُ٠
ٓـٔٞػش ٖٓ حُزخكؼ ٖ٤حَُ ّٝأٓٔٛٞخ ػِ ٠حْٓ أٓظخً ْٛػخُْ حُٔؼخىٕ حَُ٤ُ ٢ٓٝق رَٝكٌٔ. Perovski ٢
ٝطٌَ٘ ٌٙٛحُٔٞحى ١زوش ًزَ٤س ٖٓ ١زوخص حُوَ٘س ح٤ٍٟ٧شٝ ،طظٔ ِ٤رخُٔ٤ِٛٞش حُؼخُ٤ش ٌَُِٜرخءٝ .رٔزذ طِي حُٔٞحى كبٕ
حُوَ٘س ح٤ٍٟ٧ش طٔظ ٚحُ٘ل٘خص حٌَُٜرخث٤ش حُو٣ٞش ٖٓ حَُ٣خف حُ٘ٔٔ٤ش حُظ ٢طٔو ٢ػِ ٠ح ٍٝ٧ك٘ٓ ٢طوش حُوطزٖ٤
ٝطظٔزذ ك ٢ظخَٛس حُ٘لن حُوطز١ ٫ُٞٝ .٢زوش حُزَٝكٌٔخ٣ض ك ٢حُوَ٘س ح٤ٍٟ٧ش ُيَٓص طِي حُ٘ل٘خص حُٔٝ ٍٝ٧خ
ًخٗض ٘ٛخى ك٤خس ػِٜ٤خ.
ٝحُزَٝكٌٔخ٣ض ٓخىس رِ٣ٍٞش طظٌ ٕٞػخىس ٖٓ ػ٬ػش أٗٞحع ٖٓ حٌٍُحص أ ٝحُـِ٣جخصًٍ :س ٓؼيٕ ك ٢حُٔ٘ظٜق (طٌ ٕٞػخىس
ٖٓ حَُٛخ ٙأٝحُوٜي )َ٣طَطز ٢رٌٍحص ٛخُٞؿٛ ٖ٤ـَ٤س (ػخىس ٖٓ حٌُِ ٍٞأٝحُزَ ّٝأٝحُٞ٤ى) ًٝخط ٕٞ٤ػً ١ٞ٠زَ٤
حُلـْ ٘٣ـَ حُلَحؽ ر ٖ٤حُزٍِٞحص .طظَطذ حُزٍِٞحص ػِِٓ ٖ٤َٓٛ ٌَٗ ٠ظٜو ٖٓ ٖ٤حُوخػيس.
ك ٠ػخّ 2009حٓظويٓض طِي حُٔٞحى َُِٔس حً ٠ُٝ٧وِ٤ش ٗٔٔ٤ش ك ٢حُ٤خرخٕ رٔوظزَحص حُيًظ٤ٓ ٍٞخٓخًخٝ ،رؼيٛخ رؼخٖٓ٤
أٗظؾ حُزَٝك٤٘ٓ ١َ٘ٛ ٍٞٔ٤غ رـخٓؼش أًٔلٍٞى أ ٍٝهِ٤ش ٗٔٔ٤ش ٖٓ ٓٞحى حُزَٝكٌٔخ٣ض ٖٓ ١زوخص ِٛزشًُ ٌ٘ٓٝ .ي
حُلٜ٘ٗ ٖ٤ي أرلخػخ ًؼَ٤س ك ٍٞططز٤وخص طِي حُٔٞحى كٓ ٢ـخٍ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش رٍٜٞس أٓخٓ٤شٝ ،حُؼي٣ي ٖٓ حُظطز٤وخص
ح٧هَ.ٟ
ٝاىٍحى حُظط ٍٞحٌُز َ٤حٌُ ١أكيػظ ٚطِي حُٔٞحى ك ٢حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ٣ظز ٖٓ ٖ٤حٍطلخع ًلخءطٜخ ٖٓ %3.8ػخّ 2009
اُ %25.5 ٠ػخّ ،2020ك ٢ك ٖ٤حٓظـَهض ٓخىس حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤أًؼَ ٖٓ 50ػخٓخ ٖٓ حُ٘٘خ ١حُزلؼ ٍُِٞٛٞ ٢اُ ٠حٌُلخءس
ٗلٜٔخ.
ُٔ٤ض حٌُلخءس حٌُزَ٤س ٢ٛحُِٔ٣ش حُ ٞك٤يس ُِزَٝكٌٔخ٣ض ًٔخىس كؼخُش ك ٢حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش؛ كٜ٘خى حُؼي٣ي ٖٓ حُِٔح٣خ
ح٧هَٓ ،ٟؼَ ُٜٓٞش حُظ٤ٜ٘غ ك٤غ ١ ٌٖٔ٣زخػظٜخ رطَم ٘ٛيٓ٤ش ط٘ز – ٚاُ ٠كي ٓخ – ١زخػش حٍُٞم ٝحُٜلق ٓ ٕ٧خىس
حُزَٝكٌٔخ٣ض ط َُٓذ ٖٓ ٓلِ ٍٞكظٌ ٕٞك ٢كخُش ٓخثِش أػ٘خء حُظ٤ٜ٘غ ٝحُظل ٖٓٝ ،َ٤٠ػْ ٞ٣ ٫ؿي ً ٌّْ ٜٓيٍ ٖٓ حُٔٞحى
ٓؼَ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حٌُ٣ ١لوي ٓؼظٔ ٚأػ٘خء ػِٔ٤ش حُظوط٤غ.
149
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٌٙٛٝحُؼٞحَٓ حُٔخروش طٔ ْٜك ٢هل ٞطٌِلش اٗظخؽ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش رٌَ٘ ًزٓ َ٤وخٍٗش رو٣٬خ حُٔٓٝ ،ٌٕٞ٤ِ٤غ أٌٓخٗ٤ش
طلو٤ن ًلخءحص أػِ ٖٓٝ , ٠ػْ ٌٖٔ٣حٓظويحّ طِي حُو٣٬خ رٍٜٞس ٝحٓؼش ٗظَح ُِظٌِلش حُٔظيٗ٤ش حُظُ ٢طخُٔخ ًخٗض حُٔؼٍٞ
ػِ ٚ٤ك ٢حٗظ٘خٍ طِي حُو٣٬خ ٣ُٝخىس حٓظويحٜٓخ ك ًَ ٢حُٔـظٔؼخص) 72 , 66 ( .
حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض ٞٛٝ ,ك ٢حُـخُذ ػزخٍس ػٖ ٓخىس ٛـ٘٤ش ػ٣ٞ٠ش ٝؿ َ٤ػ٣ٞ٠ش أٓخٜٓخ حَُٛخ ٙأٛ ٝخُ٤ي حُوٜيَ٣
ًطزوش ٗخٗطش ُلٜخى حُٞ٠ء )66,67( .
ٓٞحى حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض ٓؼَ ٛخُ٤يحص حَُٛخ٤ٓ ٙؼ َ٤حٛ ٝ ّٞ٤ٗٞٓ٧خُ٤ي حَُٛخ ٙحُٔ ّٞ٣ِ٤حُـَ٤ػٍ , ١ٞ٠هٜ٤ش حٗ٧ظخؽ
ِٜٓٝش حُظ٤ٜ٘غ ) 70 , 69 , 68 ( .
طظٔ ٌٙٛ ِ٤حُو٣٬خ رؤٕ ٓٞحىٛخ حُوخّ حُٔٔظويٓش َ١ٝم أٗظخؿٜخ طؼظزَحٕ ٓ٘ول٠ش حٌُِلش ,رخٟ٧خكش ُٞؿٞى ؿ٘خء ٍه٤ن
ؿيح ٣زِؾ طوَ٣زخ ً ٗ 500خٗٓٞظَ ٣ظٔ ِ٤رخٓ٧ظٜخ ٙحُؼخُٞ٠ُِ ٢ء حُ٘ٔٔ ٢حَُٔث ٢رخٌُخَٓ ٌٙٛٝ , ) 74 , 73 ( ,حُِٔ٤حص
ٓـظٔؼش ُٝيص ٝكيحص ٗٔٔ٤ش ٓ٘ول٠ش حُظٌِلش ٝػخُ٤ش حٌُلخءس ٝهل٤لش حَُٗٓ ٝ ُٕٞش ) 76 , 75 ( .
طٔظِي ه٣٬خ حُزَٝكٌٔخ٣ض هٜخثًَٟٜٞٝ ٚث٤ش ٜٓٔش ٓ ,ؼ١ , ً٬خهش ٍر ٢ح٤ًٔ٩ظٛ ٕٞـَ٤س ٌٛٝ ,ح ٔٔ٣ق رلَٜ
حُلـٞحص ٝحٌُ٧ظَٗٝخص رُٜٔٞش ػ٘ي آظٜخ ٙحُلٞطًٌُٝ . ٕٞي كخَٓ حُ٘ل٘ش ٣ظٔ ِ٤رٔؼيٍ اٗظ٘خٍ ػخُ٘٣ ٝ ٢ظَ٘
ُٔٔخكخص ِ٣ٞ١ش ٓٔخ ٔٔ٣ق ُلخٓ٬ص حُ٘ل٘ش رخُظ٘وَ ُٔٔخكخص ِ٣ٞ١ش ىحهَ حُوِ٤ش ٓٔخ ٣لٖٔ كَٛش آظٜخٜٛخ ٝطلِٜ٣ٞخ
حُ١ ٠خهش ٝ .طظًٌُٔ ِ٤ي ر٘طخم آظٜخٝ ٙحٓغ ٓٝؼخَٓ أٓظٜخ ٙػخُٔٓ ٢خ ٣ِ٣ي ٖٓ ًلخءس اٗظخؽ حُطخهش ُوِ٤ش
حُزَٝكٌٔخ٣ض ػٖ ٣َ١ن ُ٣خىس ٗطخم ١خهخص حُلٞط ٕٞحُظ٣ ٢ظْ آظٜخٜٛخ ) 77 ( .
رخُ٘ٔزش ٌُلخثش طل َ٣ٞحُطخهش رخُ٘ٔزش ُِو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حكخى٣ش حُِٛٞش كٓ ٢ٜليىس رلي ٗshockly- ٚ٤ٔ٣ًٞ – ٢ًِٞ
٣ . Queisser limitليى ٌٛح حُلي حُٔلٔٞد حُلي ح٧هٌُِ ٠ٜلخءس حُ٘ظَ٣ش ُِوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش ربٓظويحّ ِٛٝش ٝحكيس
ى ٕٝأ ١هٔخٍس ربٓظؼ٘خء اػخىس حُظًَ٤ذ حٗ٩ؼخػ ٢ك ٢حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش .
151
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٓظؼيىس حُ٬ٛٞص هخىٍس ػِ ٠طلو٤ن ًلخءس أػِ ٠ك ٢طل َ٣ٞحُطخهش ٔٓ PCEخ ٣ِ٣ي ٖٓ حُلي حُ ٠أرؼي
ٖٓ حُلي ح٧هُِ ٠ٜي٘٣خٓ٤ٌ٤ش حُلَحٍ٣ش حٌُ ١كيىُ ٚ٤ٔ٣ًٞ – ٢ًِٞٗ ٙو٣٬خ حُ٬ٛٞص حُلَى٣ش .
ٖٓ هٝ ٍ٬ؿٞى كـٞحص ٗطخه٤ش ٓظؼيىس ك ٢هِ٤ش ٝحكيس ،كبٗ٘ٔ٣ ٚغ كويحٕ حُلٞطٗٞخص أػِ ٠أ ٝأٓلَ ١خهش كـٞس حُ٘طخم
ُوِ٤ش ٗٔٔ٤ش أكخى٣ش حُِٛٞش ) 78 ( .
ك ٢حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ًحص حُ٬ٛٞص حُظَحىك٤ش (حُِٔىٝؿش) ،طْ طٔـ PCE َ٤ر٘ٔزش ٝ ،%31.1طَطلغ اُ%37.9 ٠
ُِو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ػ٬ػ٤ش حُ٬ٛٞص ُِ %38.8ٝو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٍرخػ٤ش حُ٬ٛٞص ٓٝ .غ ًُي ،كبٕ ػِٔ٤ش طَٓ٤ذ حُزوخٍ
حٌُ٤ٔ٤خث ٢حُؼ ١ٞ٠حُٔؼيٗ )MOCVD( ٢حُُٓ٬ش ُظ٤ٜ٘غ حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُزِ٣ٍٞش ٝحُ٘زٌ٤ش ٓغ أًؼَ ٖٓ ِٛٝش ٢ٛ
ػِٔ٤ش ٌِٓلش ُِـخ٣شٔٓ ،خ ٣ـؼِٜخ أهَ ٖٓ َٓٗق ٓؼخُٓ٬ُ ٢ظويحّ ػِٗ ٠طخم ٝحٓغ .طويّ أٗزخ ٙحُٔ٬ٛٞص حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض
ه٤خٍح ُي ٚ٣حُويٍس ػِ٘ٓ ٠خكٔش ًلخءس حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش ٓظؼيىس حُ٬ٛٞص ٌٖٔ٣ ٝ ،ط٤ٜ٘ؼٜخ ك ٢ظَ ظَٝف أًؼَ ٗٞ٤ػًخ ً
ٝرظٌِلش ٓ٘ول٠ش ؿيًح .ه٣٬خ حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض حُ٘ٔٔ٤ش ٓظؼيىس حُ٬ٛٞص ،رخٟ٩خكش اًُٜٗٞ ٠خ ٓظخكش ُٗ٨ظخؽ حُلؼخٍ ٖٓ
ك٤غ حُظٌِلش ،طلخكع أً٠٣خ ػِ ٠حٍطلخع ٓؼيٍ ط٤ُٞي حُطخهش ك ٢ظَ حُظَٝف حُٔ٘خه٤ش حُوخٓ٤ش ٔٓ -خ ٣ـؼِٜخ هخرِش ُٓ٬ظويحّ
ك ٢ؿٔ٤غ أٗلخء حُؼخُْ ) 79 ( .
طظٔظغ ه٣٬خ حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض حُ٘ٔٔ٤ش رِٔ٤س ػِ ٠ه٣٬خ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُ٘ٔٔ٤ش حُظوِ٤ي٣ش ك ٢رٔخ١ش ٓؼخُـظٜخ ٝطلِٜٔخ ُِؼٞ٤د
حُيحهِ٤ش ] 80[.طظطِذ ه٣٬خ حُٔ ٌٕٞ٤ِ٤حُظوِ٤ي٣ش ػِٔ٤خص ٌِٓلش ٓٝظؼيىس حُوطٞحص٣ ،ظْ اؿَحإٛخ ك ٢ىٍؿخص كَحٍس ػخُ٤ش
(< 1000ىٍؿش ٓج٣ٞش) طلض كَحؽ ػخٍ ٝ .ك ٢حُٞهض ٗلٔ ٌٖٔ٣ ،ٚط٤ٜ٘غ ٓخىس حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض حُؼ٣ٞ٠ش ٝؿ َ٤حُؼ٣ٞ٠ش
حُٜـ٘٤ش رخٓظويحّ طو٘٤خص حٌُ٤ٔ٤خء حَُ١زش ح٧رٔ ٢ك ٢ر٤جش ٓؼ ِٔ٤ش طوِ٤ي٣ش .ػِٝ ٠ؿ ٚحُو ،ٜٙٞطْ اٗ٘خء ػ٬ػٛ ٢خُ٤يحص
حَُٛخ ٙحُٔ٤ؼ َ٤حٝ ّٞ٤ٗٞٓ٧حُلٍٓٞخٓٝ ،ّٞ٤٘٤حُٔؼَٝكش أً٠٣خ رخْٓ حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض حُٜـ ،ٖ٤رخٓظويحّ ٓـٔٞػش ٓظ٘ٞػش
ٖٓ طو٘٤خص طَٓ٤ذ حُٔلخُٓ ،َ٤ؼَ حُط٬ء حُيٍٝحٗٝ ،٢حُط٬ء رخُلظلش٬١ٝ ،ء حُ٘لَسٝ ،حُط٬ء رخَُٕٝ ،حُطزخػش حُ٘خكؼش
ُِلزَ١ٝ ،زخػش حُ٘خٗشٝ ،حُظَٓ٤ذ حٌَُٜرخثٝ ،٢طو٘٤خص طَٓ٤ذ حُزوخًٍِٜٝ ،خ ُيٜ٣خ حُويٍس ػِ ٠حُظٓٞغ رُٜٔٞش ٗٔز٤ش
رخٓظؼ٘خء ٬١ء حُيٍٝحٕ.
ٌٖٔ٣ط٤ٜ٘ق ٣َ١وش حُٔؼخُـش حُوخثٔش ػِ ٠حُٔلخُ َ٤اُ ٠طَٓ٤ذ ٓلِ ٖٓ ٍٞهطٞس ٝحكيس ٝطَٓ٤ذ ٓلِ ٖٓ ٍٞهطٞط.ٖ٤
ك ٢حُظَٓ٤ذ روطٞس ٝحكيس٣ ،ظْ طَٓ٤ذ ٓلًَِٓ ٍٞزخص حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض حٌُ٣ ١ظْ طل َٙ٤٠ػٖ ٣َ١ن هِٛ ٢خُ٤ي حَُٛخٙ
ٝحُٜخُ٤ي حُؼٓ ١ٞ٠ؼًخٓ ،زخَٗس ٖٓ هَ١ ٍ٬م ٬١ء ٓوظِلشٓ ،ؼَ حُط٬ء رخُيٍٝحٕٝ ،حَُٕ٬١ٝ ،ء حُ٘لَسٝ ،حُط٬ء
أَٓح رًٔ ٤طخ ٣َٓٝؼًخ ٝؿٌِٓ َ٤ق ٌُٚ٘ٝ ،أً٠٣خ أًؼَ
رخُلظلشُ ،ظٌ٘١ َ٤زوش حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض ٣ .ؼي حُظَٓ٤ذ ك ٢هطٞس ٝحكيس ً
ٛؼٞرش ُِظلٌْ ك ٢طـخْٗ ٝؿٞىس ١زوش حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض.
151
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ٓؼ ٌٖٔ٣ , ً٬اًحرش ٛخُ٤ي حَُٛخٛٝ ٙخُ٤ي ٓ٤ؼ َ٤ح ّٞ٤ٗٞٓ٧ك٣ٌٓ ٢ذ ٝطئَٛ٣ٝخ ػِ ٠حًَُِ٤س٣ .ئى ١حُظزوَ حُ٬كن
ٝحُظـٔ٤غ حٌُحط ٢رخُلَٔ حُلَحٍ ١أػ٘خء حُيٍٝحٕ اُ ٠ظ١ ٍٜٞزوخص ًؼ٤لش ٖٓ ٓخىس حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض حُٔظزٍِٞس ؿ٤يًحًُٝ ،ي
رٔزذ حُظلخػ٬ص ح٤ٗٞ٣٧ش حُو٣ٞش ىحهَ حُٔخىس (ٔ٣خ ْٛحٌُٔ ٕٞحُؼ ١ٞ٠أً٠٣خ ك ٢حٗولخ ٝىٍؿش كَحٍس حُظزِٓٝ .)ٍٞغ
ًُي ،كبٕ حُط٬ء حُيٍٝحٗ ٢حُزٔ٘٣ ٫ ٢٤ظؾ ػ٘١ ٚزوخص ٓظـخٗٔش ،رَ ٣ظطِذ ريًُ ٖٓ ً٫ي اٟخكش ٓٞحى ً٤ٔ٤خث٤ش أهَٓ ٟؼَ
ٝ ،DMSOٝ ،GBLهطَحص حُظ٘٣ٝ . ٖ٣ُٞٞظؾ ػٖ ٓؼخُـش حُٔلخُ َ٤حُزٔ٤طش ٝؿٞى كَحؿخص ٝػٞ٤د أهَ ٟك ٢حُطزوش،
ٓٔخ هي ٣ؼ٤ن ًلخءس حُوِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش.
٘ٛخى طو٘٤ش أهَ ٟطٔظويّ حٓظو ٙ٬حٌُٔ٣زخص ك ٢ىٍؿش كَحٍس حُـَكش ٝط٘ظؾ أؿ٘٤ش رِ٣ٍٞش ػخُ٤ش حُـٞىس ٓغ طلٌْ
ىه٤ن كٔٓ ٢ي َٜ٣اُٗ 20 ٠خٗٓٞظَ ػزَ ٓٔخكخص طزِؾ ػيس ٓ٘ظٔ٤ظَحص َٓرؼش ى ٕٝط٤ُٞي ػوٞد .ك ٌٙٛ ٢حُطَ٣وش،
"٣ظْ اًحرش ًَٓزخص حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض ك٣ٌٓ ٢ذ ٝ NMP ٠ٔٔ٣طَٓ٤زٜخ ػِِ٤ًٍ ٠س .ػْ ،ري ٖٓ ً٫حُظٔو٣ ،ٖ٤ظْ ؿَٔ
حًَُِ٤س ك ٢ا٣ؼَ ػ٘خث ٢ا٣ؼ٣ٌٓ ٞٛٝ ،َ٤ذ ػخٕ ِ٣ظو٣ٌٓ ٢ذ NMPرٌَ٘ حٗظوخثٓ .ِٚ٣ِ٣ٝ ٢خ ٣ظزو ٞٛ ٠ؿ٘خء كخثن حُ٘ؼٓٞش
ٖٓ رٍِٞحص حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض .
ك٣َ١ ٢وش حهَُٔ ٟؼخُـش حُٔلِ٣ ، ٍٞظْ طٔو ٖ٤هِٞ٣ ٢٤ى٣ي حَُٛخٛٝ ٙخُ٤ي ٓ٤ؼ َ٤ح ّٞ٤ٗٞٓ٧حٌُٔحد ك . DMF ٢ػْ
٣ظْ طي َ٣ٝحُوِ ٢٤ػِِ٤ًٍ ٠س ٣ظْ حُللخظ ػِٜ٤خ ػ٘ي ىٍؿش كَحٍس أػِ . ٠ط٘ظؾ ٌٙٛحُطَ٣وش أؿ٘٤ش ٓٞكيس رلـْ كز٤ز٢
َٜ٣اُ. ْٓ 1 ٠
ك ٢حُظَٓ٤ذ حٌُٔ ٖٓ ٕٞهطٞط٣ ،ٖ٤ظْ طَٓ٤ذ ١زوش ٛخُ٤ي حَُٛخ ٙأ ً٫ٝػْ ٣ظلخػَ ٓغ حُٜخُ٤ي حُؼُ ١ٞ٠ظٌ١ ٖ٣ٞزوش
حُزَٝ٤كٌٔخ٣ضٔ٣ .ظـَم حُظلخػَ ٝهظ ًخ كظٌ٣ ٠ظَٔ ٌٖٔ٣ ٌُٖٝطٔ ِٚ٤ٜػٖ ٣َ١ن اٟخكش هٞحػي ُ ْ٣ٞأٛ ٝخُ٤ي ػ١ٞ٠
ؿِث ٢آًَُ ٠زخص ٛخُ٤ي حَُٛخ . ٙك٣َ١ ٢وش حُظَٓ٤ذ حٌُٔٗٞش ٖٓ هطٞطُ ٌٖٔ٣ ،ٖ٤ظٓٞغ حُلـْ أػ٘خء طلٛ َ٣ٞخُ٤ي
حَُٛخ ٙاُ ٠حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض إٔ ٨ٔ٣أ ١ػوٞد ُظلو٤ن ؿٞىس ١زوش أك. َ٠
ك ٢ػخّ ،2015طْ حػظٔخى ٜٗؾ ؿي٣ي ُظٌ٘ َ٤حُز٘٤ش حُ٘خٗ٣ٞش ٝ PbI2حٓظويحّ طًَ CH3NH3I ِ٤حُؼخُُ ٢ظٌَ٘٤
ؿ٘خء رَٝ٤كٌٔخ٣ض ػخُ ٢حُـٞىس (كـْ رًِ ١ٍٞزٗٝ َ٤خػْ) ٓغ أىحء ًَٟٜٞٝث ٢أكٗ ٖٓ . َ٠خك٤ش٣ ،ظْ طٌ٘PbI2 َ٤
حُٔٔخٓ ٢حُٔـٔغ ًحطً٤خ ٖٓ ه ٍ٬ىٓؾ ًٔ٤خص ٛـَ٤س ٖٓ حٟ٩خكخص حُٔوظخٍس رٔؼخٓ َ٤٣ؼ٘٤ش كٓ ٢لًَِٓ ٍٞذ ،PbI2
ٝحُظ ٢طٔ َٜرٌَ٘ ًز َ٤حُظل ٍٞحُ ٠حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض ى ٕٝأ ١روخ٣خ ٗ ٖٓ . PbI2خك٤ش أهَ ٖٓ ،ٟه ٍ٬حٓظويحّ طًَِ٤
َٓ CH3NH3Iطلغ ٗٔزً٤خ٣ ،ظْ طٌ٘ َ٤كٓ CH3NH3PbI3 ِْ٤ظزِ ٍٞروٞس ٞٓٝكي ٝ .ػٝ٬س ػًُِ ٠يٌٛ ،ح ٜٗؾ ؿَ٤
ٌِٓق .
152
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
حُظَٓ٤ذ حُزوخٍ١
ٌٖٔ٣ط٤ٜ٘ق ػِٔ٤خص طَٓ٤ذ ٍٞ١حُزوخٍ اُ ٠طَٓ٤ذ حُزوخٍ حُل٣ِ٤خثٝ )PVD( ٢طَٓ٤ذ حُزوخٍ حٌُ٤ٔ٤خث.)CVD( ٢
PVD َ٤٘٣اُ ٠طزوَ حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض أًَٓ ٝزخطُ ٚظٌ١ ٖ٣ٞزوش ٍه٤وش ٖٓ حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض ػِ ٠حًَُِ٤س ٢ٛٝ ،هخُ٤ش ٖٓ
حٌُٔ٣زخص .رٔ٘٤خ ٣ظ CVD ٖٔ٠طلخػَ روخٍ حُٜخُ٤ي حُؼٓ ١ٞ٠غ ١زوش ٍه٤وش ٖٓ ٛخُ٤ي حَُٛخُ ٙظل ِٚ٣ٞاُ١ ٠زوش
حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض .
ك ٢ح ُظو٘٤خص حُٔٔخػيس رخُزوخٍ٣ ،ظْ طِيٛ ٖ٣خُ٤ي حَُٛخ ٙحُٔطِ ٢أ ٝحُٔوَ٘ كٝ ٢ؿٞى روخٍ ٞ٣ى٣ي ٓ٤ؼ َ٤أٓ ّٞ٤ٗٞػ٘ي
ىٍؿش كَحٍس كٞحُ 150 ٢ىٍؿش ٓج٣ٞش .طٔظِي ٌٙٛحُظو٘٤ش ِٓ٤س ػِٓ ٠ؼخُـش حُٔلخُ ،َ٤ك٤غ أٜٗخ طلظق آٌخٗ٤ش اٗظخؽ
أؿ٘٤ش ٍه٤وش ٓظؼيىس حُطزوخص ػِٔٓ ٠خكخص أًزَ ٌٖٔ٣ .إٔ ٘٣طزن ٌٛح ػِ ٠اٗظخؽ حُو٣٬خ ٓظؼيىس حُ٬ٛٞص .رخٟ٩خكش اُ٠
ًُي ،طئى ١طو٘٤خص حُظَٓ٤ذ حُزوخٍ ١اُ ٠حهظ٬ف ٓٔي أهَ ٖٓ حُطزوخص حُٔؼخُـش رخُٔلِ ٍٞحُزٔٓٝ . ٢٤غ ًُي ٌٖٔ٣ ،إٔ
طئىًِ ١ظخ حُطَ٣وظ ٖ٤اُ١ ٠زوخص ٍه٤وش ٓٔظ٣ٞش أٓ٧ ٝظويحٜٓخ ك ٢طٔ٤ٜٔخص ٓـ٣َٜشٓ ،ؼَ ٌٛح حُظٗ ْ٤ٜٔخثغ ك ٢ه٣٬خ
حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض حُلخُ٤ش أ ٝحُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُلٔخٓش ُِٜزؾ .
هخرِ٤ش حُظٓٞغ
٫طظ ٖٔ٠هخرِ٤ش حُظٓٞغ كو ٢ط٤ٓٞغ ٗطخم ١زوش حٓظٜخ ٙحُزَٝ٤كٌٔخ٣ض ،رَ طَ٘ٔ أً٠٣خ ط٤ٓٞغ ٗطخم ١زوخص ٗوَ
حُ٘ل٘ش ٝحُوطذ حٌَُٜرخث . ٢طلَٔ ًَ ٖٓ ػِٔ٤خص حُٔلخُٝ َ٤حُزوخٍ ٗظخثؾ ٝحػيس ٖٓ ك٤غ هخرِ٤ش حُظٓٞغ .طٌِلش حُؼِٔ٤ش
ٝطؼو٤يٛخ أهَ رٌؼ ٖٓ َ٤طٌِلش حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُٔ٤ٌٗٞ٤ِ٤ش .طَٓ٤ذ حُزوخٍ أ ٝحُظو٘٤خص حُٔٔخػيس رخُزوخٍ طوَِ ٖٓ
حُلخؿش اُ ٠حٓظويحّ حُِٔ٣ي ٖٓ حٌُٔ٣زخصٔٓ ،خ ٣وَِ ٖٓ هطَ روخ٣خ حٌُٔ٣زخص .طي ٍٝحٌُٔ٘٬ص حُلخُ٤ش حُٔظؼِوش رو٣٬خ
حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض حُ٘ٔٔ٤ش ك ٍٞحٓ٫ظوَحٍ ،ك٤غ ُٞكع إٔ حُٔخىس طظلَِ ك ٢حُظَٝف حُز٤ج٤ش حُو٤خٓ٤شٔٓ ،خ ٣ئى ١اُ٠
حٗولخ ٝك ٢حٌُلخءس .
ٖٓ أؿَ ط٤ٓٞغ ٗطخم ١زوش حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض ٓغ حُللخظ ػًِ ٠لخءس ػخُ٤ش ،طْ طط َ٣ٞطو٘٤خص ٓوظِلش ُظـط٤ش ١زوش
ٔخ .ػِٓ ٠ز َ٤حُٔؼخٍ ،طْ طط َ٣ٞرؼ ٞحٓ٧خُ٤ذ حُل٣ِ٤خث٤ش ُظؼِ ِ٣حُظ٘زغ حُلخثن ٖٓ هٍ٬
حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض رٌَ٘ أًؼَ طـخٗ ً
حُ٩حُش حَُٔ٣ؼش ٌُِٔ٣زخصٝ ،رخُظخُ ٢طوِٝ َ٤هض ٗٔ ٞحُلز٤زخص ٛٝـَس حٌُٔحد .
حُظٔو ،ٖ٤طيكن حُـخُ ،حُلَحؽ٠ٓٝ ،خىحص حٌُٔ٣زخص ٌٖٔ٣إٔ طٔخػي ؿٔ٤ؼٜخ ك ٢اُحُش حٌُٔ٣زخصٝ .حُٔ٠خكخص حٌُ٤ٔ٤خث٤ش،
ٓؼَ ٓ٠خكخص حٌُِ٣ٍٞي٠ٓ ،خكخص هخػيس ُ٠ٓ ،ْ٣ٞخكخص حُلخػِش رخُٔطقٝ ،طؼي َ٣حُٔطق ٌٖٔ٣ ،إٔ طئػَ ػِٞٔٗ ٠
حُزٍِٞس ُِظلٌْ ك ٌَٗ ٢حُـ٘خء ) 84 ( .
153
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
٣ؼي ط٤ٓٞغ ٗطخم ١زوش ٗوَ حُ٘ل٘ش ً٣ٍَٟٝخ أً٠٣خ ُوخرِ٤ش حُظٓٞغ ١ .زوش ٗوَ حٌُ٩ظَ ٕٝحُٔ٘ظًَش (TiO2 ٢ٛ )ETL
. ZnOٝ SnO2ٝكخًُ٤خُ ،ـؼَ طَٓ٤ذ ١زوش ٓ TiO2ظٞحك ًوخ ٓغ ًٍِ٤س حُز َٔ٤ُٞحَُٔٗش ،طْ طط َ٣ٞطو٘٤خص ىٍؿخص
حُلَحٍس حُٔ٘ول ٠شٓ ،ؼَ طَٓ٤ذ حُطزوش حٌٍُ٣ش ،طَٓ٤ذ حُطزوش حُـِ٣ج٤ش ،حُظلخػَ حُلَحٍ ١حُٔخثٝ ،٢حُظَٓ٤ذ
حٌَُٜرخث ٖٓ ،٢أؿَ طَٓ٤ذ ١زوش TiO2حُٔيٓـش كٔٓ ٢خكش ًزَ٤س .ط٘طزن ٗلْ حٓ٧خُ٤ذ أً٠٣خ ػِ ٠طَٓ٤ذ . SnO2
أٓخ رخُ٘ٔزش ُطزوش ٗوَ حُؼوذ (٣ ، )HTLظْ حٓظويحّ ٝ ، NiOxحٌُ ٌٖٔ٣ ١طَٓ٤ز ٖٓ ٚهٓ ٍ٬ؼخُـش ٓلِ ٍٞك ٢ىٍؿش
كَحٍس حُـَكش )84( .
ؿخ٣ .ؼي طَٓ٤ذ حُوطذ حُوِل ٢حُوخُٖٓ ٢٣ؼظزَ طَٓ٤ذ حُظزوَ ُِوطذ حُوِلٗ ٢خؿلخ ً ٝهخرُِ ً٬ظط٣ ٌُٚ٘ٝ َ٣ٞظطِذ كَح ً
أَٓح ًٓٔ ٜخ ٌٓ٩خٗ٤ش ٓؼخُـش حُٔلِ ٍٞحٌُخَٓ ُـو٣٬خ حُزَٝكٌٔخ٣ض ١ ٌٖٔ٣ .PSCsزخػش ح٧هطخد حٌَُٜرخث٤ش حُل٤٠ش حُلَحؽ ً
ػِ ٠حُٔطق٬١ ٌٖٔ٣ٝ ،ء ٗزٌش ح٬ٓ٧ى حُل٤٠ش حُ٘خٗ٣ٞش رخَُٕ ًوطذ ًَٜرخث ٢هِل٣ . ٢ؼظزَ حٌَُر ٕٞأً٠٣خ َٓٗلًخ
ٓلظًٔ ٬وطذ ًَٜرخث ٢هخرَ ُِظطٓ ،َ٣ٞؼَ حُـَحك٤ضٝ ،أٗخر٤ذ حٌَُر ٕٞحُ٘خٗ٣ٞشٝ ،حُـَحك)84( . ٖ٤ً
حُٔٔ٤ش
ه٠خ٣خ حُٔٔ٤ش حَُٔطزطش رٔلظ ٟٞحَُٛخ ٙك ٢حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض ط٠ـ ٢ػِ ٠هز ٍٞحُظٌُ٘ٞٞؿ٤خُ .وي ًخٕ
حُظؤػ َ٤حُٜلٝ ٢حُز٤جُِٔ ٢ؼخىٕ حُؼوِ٤ش حُٔخٓش ٟٓٞغ ٗوخٕ ًز َ٤ك ٢كخُش ه٣٬خ حٌُخىٓ ّٞ٤حُ٘ٔٔ٤ش ،CdTeحُظ٢
أٛزلض ًلخءطٜخ ًحص أ٤ٔٛش ٘ٛخػ٤ش ك ٢حُظٔؼ٤٘٤خص .ػِ ٠حَُؿْ ٖٓ إٔ ًَٓ CdTeذ ٓٔظوَ ؿيًح كَحًٍ٣خ ٤ٔ٤ًٝخثً٤خ ٓغ
ٓ٘ظؾ ٓ٘ول ٞحٌُٝرخٕ ٝ ،رخُظخُ ،٢طْ حٌُ٘ق ػٖ ٓٔ٤ظ ٚػِ ٠أٜٗخ ٓ٘ول٠ش ُِـخ٣ش ،ػِ ٠حُ٘و ،CdTe ٖٓ ٞ٤كبٕ
حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض حُٜـ ٖ٤ؿٔٓ َ٤ظوَ ُِـخ٣ش ٣ٝظلَِ رُٜٔٞش آًَُ ٠زخص هخرِش ٌُِٝرخٕ اُ ٠كي ٓخ ٖٓ حَُٛخ Pb ٙأٝ
حُوٜئٓ Sn َ٣خ ٣ِ٣ي رٌَ٘ ًز ٖٓ َ٤حُظٞحكَ حُزُٞٞ٤ؿ ٢حُٔلظَٔ ُٜخ ٝهطَ ػِٛ ٠لش حٔٗ٩خًٕٔ ،خ أًيط ٚىٍحٓش
حُٔٔ ّٞحُلي٣ؼش ٖٓ إٔ حُـَػش حُٔٔ٤ظش ر٘ٔزش ٖٓ %50حَُٛخ ٙأهَ ٖٓ ِٓ 5ـْ ٌَُ ًِٞ٤ؿَحّ ٖٓ ُٕٝحُـْٔ ،ا٫
إٔ حٌُٔ٘٬ص حُٜل٤ش ط٘٘ؤ ػ٘ي ٓٔظ٣ٞخص طؼَ ٝأهَ رٌؼٔ٣ .َ٤ظ ٚح١٧لخٍ حُٜـخٍ ٓخ ر 4 ٖ٤اُ 5 ٠أٟؼخف ًٔ٤ش
حَُٛخ ٙحُظٔ٣ ٢ظٜٜخ حُزخُـ ْٛٝ ٕٞحً٧ؼَ ػَٟش ُ٦ػخٍ حُ٠خٍس َُِٛخ)84(.ٙ
طْ اؿَحء ىٍحٓخص ٓوظِلش ُظلِ َ٤حُزيحثَ حُٔ٘خٓزش َُِٛخ ٙك ٢حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض ٝحُظ ٢طظٔ ِ٤رٌَ٘ ٓؼخُ ٢رٔٔ٤ش
ٓ٘ول٠شٝ ،كـٞحص ٗطخم ٓزخَٗس ٤ٟوشٓٝ ،ؼخٓ٬ص حٓظٜخ ٙر ١َٜػخُ٤شٝ ،كًَش كخِٓش ٗل٘ش ػخُ٤شٝ ،هٜخثٚ
ٗوَ ؿ٤يس ُِ٘لٖٓ ،ؼَ رَٝ٤كٌٔخ٣ض حُوٜيٛ/َ٣خُ٤ي حُـَٓخٗٝ ، ّٞ٤حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض حُِٔىٝؽ ٛٝ ،خُ٤يحص
حُزِٓٞص/حٗ٧ظٓ ٕٞٔ٤غ حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض .
154
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
أظَٜص ح٧رلخع حُظ ٢أؿَ٣ض ػِٛ ٠خُ٤ي حُوٜي َ٣إٔ ُيٜ٣خ ًلخءس طل١ َ٣ٞخهش أهَ ( ،)PCEك٤غ كووض ًلخءس طلَ٣ٞ
١خهش طزِؾ َ٣ . ٪9.6ؿغ ٌٛح حٗ٫ولخٔٗ ٝز ً٤خ ك PCE ٢ؿِث ً٤خ اُ ٠أًٔيس Sn2اُٝ ، Sn4 ٠حُظٓ ٢ظٌ ٕٞرٔؼخرش ٓخىس
ٖٓ حُ٘ٞع pك ٢حُز٘٤ش ٝطئى ١اُ ٠حٍطلخع طًَ ِ٤حُ٘خهَ حُيحًٖ ٣ُٝخىس ٓؼي٫ص اػخىس طًَ٤ذ حُ٘خهَ .
أػزظض رَٝ٤كٌٔخ٣ض ٛخُ٤ي حُـَٓخٗ ّٞ٤ػ يّ ٗـخكٜخ رخُٔؼَ رٔزذ حٗولخ ٝحٌُلخءس ٘ٓٝخًَ ٓغ ٓ ٍٞ٤حًٔ٧يس ،ك٤غ
أظَٜص اكي ٟحُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُظـَ٣ز٤ش PCEر٘ٔزش ٪0.11كو. ٢
طْ حُل ٍٜٞػِ ٠حٍطلخع كٔٓ ٢ظ٣ٞخص ٖٓ PCEرؼ ٞحُزَٝ٤كٌٔخ٣ض حُٔٔظ٘يس آُ ٠زخثي حُـَٓخٗٝ ّٞ٤حُوٜيٓ ،َ٣غ
ٝؿٞى ١زوش ٖٓ Ge0.5I3 CsSn0.5ؿ َ٤ػ ١ٞ٠رخٌُخَٓ ٣لظ ١ٞػِ PCE ٠ر٘ٔزش . ٪7.11رخٟ٩خكش اٌُٙٛ ٠
حٌُلخءس حُؼخُ٤ش ،طْ حُؼؼ ٍٞأً٠٣خ ػِ ٠إٔ ٓزخثي حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض ٖٓ ٓزخثي حُـَٓخٗٝ ّٞ٤حُوٜيُ َ٣يٜ٣خ ػزخص ٟٞث ٢ػخُ. ٢
طْ أً٠٣خ اؿَحء أرلخع ٓ٫ظٌ٘خف ؿيٛ ٟٝخُ٤يحص حُزِٓٞص/حٗ٧ظ ٕٞٔ٤ك ٢حٓظزيحٍ رَٝ٤كٌٔخ٣ض حَُٛخ ،ٙهخٛش ٓغ
ٝ ، Cs3Bi2I9 ٝ Cs3Sb2I9حُظ ٢طلظ ١ٞػِ ٠كـٞحص ٗطخم طزِؾ كٞحُ 2 ٢حٌُظَ ٕٝكُٞضٝ .هي أظَٜص حُ٘ظخثؾ
حُظـَ٣ز٤ش أً٠٣خ أٗ ٚك ٢ك ٖ٤طظٔظغ ًَٓزخص PSCحُوخثٔش ػِٛ ٠خُ٤ي حٗ٧ظٝ ٕٞٔ٤حُزِٓٞص رخٓظوَحٍ ؿ٤ي ،كبٕ هخرِ٤ظٜخ
ُِلَٔ حُٔ٘ول٠ش ٝهٜخثٗ ٚوَ حُ٘ل٘ش حُ٠ؼ٤لش طلي ٖٓ ٬ٛك٤ظٜخ ك ٢حٓظزيحٍ حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض حُٔؼظٔي ػِ ٠حَُٛخ. ٙ
()84
طْ اؿَحء أرلخع كي٣ؼش ك ٍٞحٓظويحّ حُظـِ٤ق ًِ٤ٓٞش ُظوِ َ٤طَٔد حَُٛخٓ ،ٙغ حُظًَ ِ٤رٌَ٘ هخ ٙػِ ٠حٓظويحّ
حُزَٔ٤ُٞحص .طْ اؿَحء ح٧رلخع ػِ ٠حػ٘ ٖٓ ٖ٤حُزَٔ٤ُٞحص ٍ ٝ Surlyn ،حط٘ؾ ح٣٩ز ٢ًٔٞحُٔظ٘خري حُلَحٍ ، ١ػ٘خث٢
ًزَ٤ح ك ٢طَٔد حَُٛخ ٙرخٓظويحّ ٌٙٛحُزَٔ٤ُٞحص )84( .
ؿِ٤ٔ٤ي َ٣ا٣ؼَ ػ٘خث ٢حُل . ٍٞ٘٤أظَٜص حُظـخٍد حٗولخًٟخ ً
ًٔخ طْ أً٠٣خ حٓظويحّ حُط٬ءحص حَُٔطزطش رخَُٛخ٤ٔ٤ً ٙخثً٤خ رٌَ٘ طـَ٣زُ ٢ظوِ َ٤طَٔد حَُٛخ . ٙػِٝ ٠ؿٚ
حُوٍ ،ٜٙٞحط٘ـخص طزخىٍ حٌُخطٝ )CERs( ٕٞ٤كٔ ٞحُٔ٤ؼخٗ٤ي٣لٓٞل٤ٗٞي )84( .
حُوٜخث ٚحُل٣ِ٤خث٤ش
ٖٓ حُوٜخث ٚحُٜٔٔش ُ٘ظخّ حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض حً٧ؼَ حٓظويح ًٓخٛ ،خُ٤يحص ٓ٤ؼ َ٤أٓ ّٞ٤ٗٞحَُٛخٝ ،ٙؿٞى كـٞس ٗطخه٤ش
ٌٖٔ٣حُظلٌْ كٜ٤خ ٖٓ هٓ ٍ٬لظ ٟٞحُٜخُ٤ي .طؼَ ٝحُٔٞحى أً٠٣خ ٍٞ١حٗظ٘خٍ ٌَُ ٖٓ حُؼوٞد ٝحٌُ٩ظَٗٝخص ٣ِ٣ي ػٖ
ٓٝ ٌَٕٝ٤حكي٣ٝ .ؼ٘ ٍٞ١ ٢حٗ٫ظ٘خٍ حُط َ٣ٞإٔ ٌٙٛحُٔٞحى ٌٖٔ٣إٔ طؼَٔ رلؼخُ٤ش ك ٢ر٘٤ش ح٧ؿ٘٤ش حَُه٤وشٝ ،إٔ
حُ٘ل٘خص ٗ ٌٖٔ٣وِٜخ ك ٢حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض ٗلٔ ٚػزَ ٓٔخكخص ِ٣ٞ١ش.
ا ٕ حُ٘ل٘خص حُٔٞؿٞىس كٓ ٢خىس حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض ٓٞؿٞىس ك ٢حُـخُذ ًبٌُظَٗٝخص كَس ٝكـٞحصً ْ٤ُٝ ،بًٔ٤ظٗٞخص
ٗظَح ١ ٕ٧خهش ٍر ٢ح٤ًٔ٩ظ٘ٓ ٕٞول٠ش رٔخ ٌ٣لُ ٢ظٌٔ ٖ٤ك َٜحُ٘ل٘ش ك ٢ىٍؿش كَحٍس حُـَكش)84( .
َٓطزطشً ،
155
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
طؼَٔ ه٣٬خ حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض حُ٘ٔٔ٤ش رٌلخءس اُ ٠كي ٓخ حػظٔخىًح ػِ ٠ىٓ ٍٝخىس حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض ك ٢حُوِ٤ش ،أ١ ٝز٤ؼش حُوطذ
حُؼِٝ ١ٞحُٔلِ. ٢
حُو٣٬خ حُظ٣ ٢ظْ كٜ٤خ حٓظو ٙ٬حُ٘ل٘خص حُٔٞؿزش رٞحٓطش حُوطذ حُٔلِ ٢حُ٘لخف (حٌُخػٞى) ٌٖٔ٣ ،طؤٜٔ٤خ ك ٢حُـخُذ
اُ ٠ه٣٬خ "كٔخٓش" ،ك٤غ ٣ؼَٔ حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض رٌَ٘ أٓخًٓٔٔ ٢ظٞ٠ُِ ٚء٣ٝ ،ليع ٗوَ حُ٘ل٘ش كٞٓ ٢حى أهَ ،ٟأٝ
"أؿ٘٤ش ٍه٤وش" ،ك٤غ ٣ليع ٓؼظْ ٗوَ حٌُ٩ظَ ٕٝأ ٝحُؼوذ ك ٢حُـِء حً٧زَ ٖٓ حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض ٗلٔ٣ .ٚظْ طـِ٤ق ٓخىس
حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض ػِ١ ٠زوش ٓٔخٓ٤ش ِٓٛٞش ُِ٘ل٘ش -حً٧ؼَ ٗٞ٤ػًخ ًٔٔ - TiO2ظٞ٠ُِ ٚء٣ .ظْ ٗوَ حٌُ٩ظَٗٝخص
حُُٔٞيس ٟٞثً٤خ ٖٓ ١زوش حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض اُ ٠حُطزوش حُلٔخٓش حُٔٔخٓ٤ش ٝحُظ٣ ٢ظْ ٖٓ هُٜ٬خ ٗوِٜخ اُ ٠حُوطذ ٝ
حٓظوٜٛ٬خ ك ٢حُيحثَس ) 81 ( .
رؼي حٓظٜخ ٙحُٞ٠ء ٝط٤ُٞي حُ٘ل٘ش حُ٬كوش٣ ،ظْ ٗوَ ًَ ٖٓ كخَٓ حُ٘ل٘ش حُٔخُزش ٝحُٔٞؿزش ػزَ حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض حُ٠
حُٔ٬ٛٞص .
156
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
أ ) ٍْٓ طوط٤طُ ٢وِ٤ش ٗٔٔ٤ش ٖٓ حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض حُلٔخٓش ( ) 84ك٤غ طظٌ ٕٞحُطزوش حُ٘٘طش ٖٓ ١زوش ٖٓ TiO2
حُٔٔخٓ٤ش حُٔـِلش رٔخىس حٓظٜخ ٙحُزَٝ٤كٌٔخ٣ض٣ .ظْ ح٫طٜخٍ رخُطزوش حُ٘٘طش رٔخىس ٖٓ حُ٘ٞع ٓ٫ nظوَحؽ حٌُ٩ظَٕٝ
ٓٝخىس ٖٓ حُ٘ٞع ٓ٫ pظوَحؽ حُؼوذ .د) ٍْٓ طوط٤طُِ ٢وِ٤ش حُ٘ٔٔ٤ش حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض ًحص ح٧ؿ٘٤ش حَُه٤وش) 84 (.
حُظ٣ ٢ظْ كٜ٤خ ٟٝغ ١زوش ٓٔطلش ٖٓ حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض رٗ ٖ٤وطظ ٢حطٜخٍ حٗظوخث٤ظ .ٖ٤ؽ) ط٤ُٞي حُ٘ل٘ش ٝحٓظوَحؿٜخ ك٢
حُز٘٤ش حُلٔخٓش .رؼي حٓظٜخ ٙحُٞ٠ء ك ٢حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض٣ ،ظْ كوٖ حٌُ٩ظَ ٕٝحُُٔٞي ٟٞثً٤خ ك TiO2 ٢حُٔٔخٓ ٢حٌُ١
٣ظْ ٖٓ ه ُٚ٬حٓظو٣ .ٚٛ٬ظْ ٗوَ حُؼوذ حٌُ ١طْ اٗ٘خإ ٙرٌَ٘ ٓظِحٖٓ آُ ٠خىس ٖٓ حُ٘ٞع .pى) ط٤ُٞي حُ٘ل٘ش
ٝحٓظوَحؿٜخ ك ٢ر٘٤ش ح٧ؿ٘٤ش حَُه٤وش .رؼي حٓظٜخ ٙحُٞ٠ء٣ ،ليع ط٤ُٞي حُ٘ل٘ش ًٌُٝي حٓظوَحؽ حُ٘ل٘ش ك١ ٢زوش
حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض) 82,84 (.
ك ٢حٗٝ٥ش ح٧هَ٤س ،أػزض رؼ ٞحُزخكؼ ٖ٤أً٠٣خ ر٘ـخف آٌخٗ٤ش ط٤ٜ٘غ ه٣٬خ َٓٗش رخٓظويحّ حُزَٝ٤كٌٔخ٣ضٔٓ ،خ ٣ـؼِٜخ
ٝحػيس أًؼَ ُِطِذ حَُٕٔ ػِ ٠حُطخهش ٖٓ .حُٔئًي إٔ ؿخٗذ حُظي ٍٞٛحُ٘خؿْ ػٖ حٗ٧ؼش كٞم حُز٘لٔـ٤ش ك ٢حُز٘٤ش
ٟخٍح ُِـخٗذ حُٔ ْٜحُٔظٔؼَ ك ٢حٓ٫ظوَحٍ ػِ ٠حُٔي ٟحُط) 83 ( .َ٣ٞ
ً حُلٔخٓش هي ٌٕٞ٣
حػظٔيص حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض ح ٠ُٝ٧ػِ ٠حُو٣٬خ حُ٘ٔٔ٤ش حُلٔخٓش ُِٜزـش ًحص حُلخُش حُِٜزش (،)DSSCs
ٝرخُظخُ ٢حٓظويٓض ٓ TiO2ظٓٞطش حُٔٔخّ .حطزؼض حُؼي٣ي ٖٓ حُو٣٬خ ٌٓ٘ ًُي حُلٌٛ ٖ٤ح حُوخُذ أ ٝحٓظويٓض ، Al2O3
ٌُٖ هطٞحص ىٍؿش حُلَحٍس حُؼخُ٤ش حُٔطِٞرش ُِظ٤ٜ٘غٝ ،ػيّ حٓظوَحٍ حٗ٧ؼش كٞم حُز٘لٔـ٤ش ُـ ،TiO2أىص اُ ٠اىهخٍ
ر٘٤ش ٓٔخػِش ُِو٣٬خ حَُه٤وش ح٧هَ .ٟرؼي ػيس ٓ٘ٞحص أٛزلض حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض حُٔٔظ٣ٞش ح ٕ٥ر٘لْ حٌُلخءس طوَ٣زًخ.
ػخىسً ٓخ طظْ ٓؼخُـش ١زوش حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض ٗلٜٔخ آخ ػٖ ٣َ١ن حُظَٓ٤ذ رخُلَحؽ أ ٝحُٔلخُ .َ٤ؿٞىس حُطزوخص حُٔظَٓزش
ٜٓٔش ؿيًح .ك ٢حُزيح٣ش ،أػطض أؿ٘٤ش حُظَٓ٤ذ حُلَحؿ ٢أك َ٠حُو٣٬خ ٌٙٛ ٌُٖ ،حُؼِٔ٤ش طظطِذ حُظزو َ٤حُٔ٘ظَى ٌُِٕٔٞ
حُؼ٤ٓ( ١ٞ٠ؼ َ٤ح )ّٞ٤ٗٞٓ٧كٗ ٢لْ حُٞهض ٓغ حٌُٔٗٞخص ؿ َ٤حُؼ٣ٞ٠ش (ٛخُ٤ي حَُٛخٔٓ ،)ٙخ ٔ٣ظِِّ ؿَف طزوَ٤
ٓظوٜٜش ٗٝ .ظ٤ـش ٌُُي ،رٌُُض ؿٜٞى ًزَ٤س ُظلٔ ٖ٤حُو٣٬خ حُظ ٢طظْ ٓؼخُـظٜخ رخُٔلِ ،ٍٞك٤غ اٜٗخ أرٔٝ ٢طٔٔق
رخُٔؼخُـش ك ٢ىٍؿخص كَحٍس ٓ٘ول٠شٝ ،أٛزلض ٌٙٛحُو٣٬خ حٓ ٕ٥ظٔخ٣ٝش ك ٢حٌُلخءس ٓغ حُو٣٬خ حُٔظَٓزش ك ٢حُلَحؽ.
ػخىسً٣ ،ظْ طَٓ٤ذ حُطزوش حُ٘٘طش ٖٓ هِ٤ش حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض حُ٘ٔٔ٤ش ػزَ ػِٔ٤ش ٌٓٗٞش ٖٓ هطٞس ٝحكيس أ ٝهطٞطًٔ .ٖ٤خ
ٍٝى ًًَٓ ٙخروخ ً ,ك ٢ػِٔ٤ش ٖٓ هطٞس ٝحكيس٣ ،ظْ ٬١ء ٓلِ ٍٞأٓ( ٢ُٝؼَ ِٓ٣ؾ ٖٓ ٝ )PbI2ٝ CH3NH3Iحٌُ١
٣ظل ٍٞرؼي ًُي اُ١ ٠زوش حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض ػ٘ي حُظٔو .ٖ٤أكي ح٫هظ٬كخص كٌٛ ٢ح ٣َ١ ٞٛوش "ٓ٠خى حً٩حرش" ،ك٤غ ٣ظْ
٬١ء حُٔلِ ٍٞح ٢ُٝ٧ك٣ٌٓ ٢ذ هطز ،٢ػْ ٣ظْ اُحُظ ٚأػ٘خء ػِٔ٤ش حُط٬ء حُيٍٝحٗ ٢رٞحٓطش ٌٓ٣ذ ؿ َ٤هطزٓ .٢طِٞد
طٞه٤ض ىه٤ن ُُ٪حُش ٝأكـخّ حٌُٔ٣زخص ٩ػطخء ح٧ىحء حٓ٧ؼَُِٔٔ .خػيس كٌٛ ٢ح ح ،َٓ٧طْ ر٘خء ٓـٔٞػش ٖٓ ٓ٠وخص
حُلؤٖٓ ،خ ٓٔق رخٓظويحّ ٌٙٛحُؼِٔ٤ش َُكغ هً ْ٤لخءس طل َ٣ٞحُطخهش حُيحهِ٤ش آُ ٠خ ٣ِ٣ي ػٖ .%16
157
٘ٛخػش حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش ٝطو٘٤خطٜخ
ك ٢حُؼِٔ٤ش حٌُٔٗٞش ٖٓ هطٞط٣ ،ٖ٤ظْ طـِ٤ق حُٜخُ٤ي حُٔؼيٗٓ( ٢ؼَ )PbI2رخٌُٔٗٞخص حُؼ٣ٞ٠ش (ٓؼَ )CH3NH3I
ك٤غ ٬١ ٌٖٔ٣ء أؿ٘٤ش حُٜخُ٤ي حُٔؼيٗ٤ش ٝط ُِيٜ٘٣خ ك ٢ؿَكش ِٓٔٞءس رزوخٍ حٌُٔ ٕٞحُؼٝ ،١ٞ٠حُٔؼَٝكش رخْٓ "ػِٔ٤ش
حُٔلِ ٍٞرٔٔخػيس حُلَحؽ" (.)VASP
طؼظٔي ٓؼظْ حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض حُلي٣ؼش ػِٓ ٌَ٤ٛ ٠ؼيٗٗ ٢لخف ٓ / ETL / َٛٞرَٝ٤كٌٔخ٣ض ٓ / HTL /ؼيٗ ،٢ك٤غ
HTL ٝ ETL َ٤٘٣اُ١ ٠زوخص ٗوَ حٌُ٩ظَ١ٝ ٕٝزوخص ٗوَ حُؼوذ ػِ ٠حُظٞحًُٔ .٢خ ٍٝى ًًَٓ ٙخروخ ً ,طَ٘ٔ ١زوخص
ٗوَ حُؼوذ حًُ٘ٔٞؿ٤ش Spiro-OMeTADأٝ ،PEDOT:PSS ٝطَ٘ٔ ١زوخص ٗوَ حٌُ٩ظَ ٕٝحًُ٘ٔٞؿ٤ش TiO2أٝ
ٓؼَ٤ح
ً ً
ٓـخ ٫رلؼ ً٤خ .SnO2إ كٝ ْٜطلٔٔٓ ٖ٤ظ٣ٞخص حُطخهش ٝحُظلخػ٬ص ر ٖ٤حُٔٞحى حُٔوظِلش ك ٌٙٛ ٢حُٞحؿٜخص ٞ٣كَ
ُِـخ٣ش ِ٣ ٫حٍ ه٤ي حُٔ٘خه٘ش.
حُو٠خ٣خ حَُث٤ٔ٤ش ُظ٤ٜ٘غ ح٧ؿِٜس حُؼِٔ٤ش ُِو٣٬خ حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض حُ٘ٔٔ٤ش ٢ٛؿٞىس حُـ٘خء .ٌٚٔٓٝطلظخؽ ١زوش
حُزَٝ٤كٌٔخ٣ض (حُ٘٘٤طش) حُظ ٢طلٜي حُٞ٠ء اُ ٠إٔ طٌٔٓ ٕٞخًظٜخ ػيس ٓجخص ٖٓ حُ٘خٗٓٞظَحص ،أ ١أًؼَ ػيس َٓحص ٖٓ
أَٓح ٛؼزًخٓ .خ
حُو٣٬خ حٌَُٟٜٞٝث٤ش حُؼ٣ٞ٠ش حُو٤خٓ٤شٝ ،هي ٌٕٞ٣اٗ٘خء ٓؼَ ٌٙٛحُطزوخص حٌُٔٔ٤ش ًحص حُظـخْٗ حُؼخًُ ٢
ُْ ٣ظْ طلٔ ٖ٤ظَٝف حُظَٓ٤ذ ٝىٍؿش كَحٍس حُظِيٞٓ ،ٖ٣ف طظٌَ٘ حٓ٧طق حُو٘٘ش ًحص حُظـط٤ش ؿ َ٤حٌُخِٓش .كظٓ ٠غ
حُظلٔ ٖ٤حُـ٤يٓ ،ظظَ ٘ٛخى ه٘ٗٞش ٓطل٤ش ًزَ٤س ٓظزو٤شٌُُٝ .ي ِِّ٣ ،أً٠٣خ ٝؿٞى ١زوخص أًؼَ ًٌٓٔخ ٓٔخ ٌٖٔ٣
حٓظويحٓ ٚػخىسً.
طْ طلو٤ن طلٔ٘٤خص ك ٢ؿٞىس حُـ٘خء ٖٓ هٓ ٍ٬ـٔٞػش ٓظ٘ٞػش ٖٓ حٓ٧خُ٤ذ .اكي ٌٙٛ ٟحُطَم ٢ٛاٟخكش ًٔ٤خص
ٛـَ٤س ٖٓ ح٧كٔخٓ ،ٝؼَ كٔ ٞحُ٤ٜيٍٞ٣ٝى٣ي أ ٝحُ٤ٜيٍٝرَ٤ٓٝيٓ ،وخرَ هخرِ٤ش ًٝرخٕ ًِ٣ٍٞي حَُٛخ ،ٙأ٣ُ ٝخىس
ٞ٣ى٣ي حَُٛخ.ٙ
ٖٓ ه ٍ٬حُـٜٞى حُزلؼ٤ش حٌُٔؼلش ،طْ طلو٤ن ًلخءحص طِ٣ي ػٖ %22رخٓظويحّ ٬١ء حُيٍٝحًٕٔ،خ طْ طلو٤ن ًلخءحص
ػخُ٤ش رخٓظويحّ طو٘٤خص ٓؼخُـش حُٔلخُ َ٤ح٧هَٓ( ٟؼَ ٬١ء حُوخُذ رخُلظلش)ٌٛ َ٤٘٣.ح اُ ٠إٔ ٓؼخُـش حُٔلخُ َ٤ػِٗ ٠طخم
ٝحٓغ ُِزَٝ٤كٌٔخ٣ض أَٓ ٌٖٓٔ ُِـخ٣ش.
158
خٜخط٤٘ طوٝ ش٤ثٌَُٟٜٞٝخ ح٣٬٘خػش حُوٛ
ٍخىُٜٔح
1 - Solar cell technologies and the transition to PERC technology - Prof. Dr. Marwan
Dhamarin - Head of Toyo Aluminum Semiconductor Factory - International Relations
Officer at the Solar Energy Association .
2 - PERC Solar Cell Technology 2018 Edition - ‗PERC+ : How to Improve High Efficiency
Crystalline Solar Cells Shravan Kumar Chunduri - Michael Schmela -
https://www.researchgate.net/publication/354810773 .
6 - TOPCon Solar Technology - 2021 Edition - Shravan Kumar Chunduri - Michael Schmela -
https://www.researchgate.net/publication/356891798 .
7 - Processing of Silicon wafers - Kelly Pickerel (May 9, 2016): Busbars: A solar panel necessity
or hindrance, in solar world - Fraunhofer ISE (September 2013): Copper metallization for silicon
solar cells. Link to the information brochure - Haomin Chen, Chienyu Chen, Maoyi Chang, C. H.
Hsueh, Eva Yen and K. L. Ho (2014
8 - Transfer of POCl3 diffusion processes from atmospheric pressure to high throughput low
pressure –Sabrina Lohmüller (née Werner), Stefan Schmidt, Elmar Lohmüller -
https://doi.org/10.1063/1.5049301 / 2018
159
خٜخط٤٘ طوٝ ش٤ثٌَُٟٜٞٝخ ح٣٬٘خػش حُوٛ
9 - Industrial Silicon Solar Cells - Mehul C. Raval and Sukumar Madugula Reddy
10 - Improving the performance of heterojunction silicon solar cells from the band diagram and
surface passivation BODOLALAINA Randriamanalina1, RASTEFANO Elisée2 – 1 PhD
student, SE-I-MSDE, ED-STII, Antananarivo ,Madagascar - 2 Thesis Director, SE-I-MSDE,
ED-STII, Antananarivo, Madagascar // 2022
11 - POCl3 diffusion for industrial Si solar cell emitter formation - Hongzhao Li - Kyung Kim -
Brett Hallam https://www.researchgate.net/publication/309821641 // November 2016
13 - SiliconPV: April 03-05, 2012, Leuven, Belgium - Rear contact and BSF formation for local
Al-BSF solar cells A. Uruenaa,b,*, J. Horzela, S. Singha, I. Kuzma-Filipeka, E. Cornagliottia, B.
J. Johna, R. Mertensa,b, J. Poortmansa,b aImec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium
bKatholieke University Leuven, Oude Markt 13, Bus 5005, B-3000 Leuven, Belgium –
www.sciencedirect.com
15 - Physics of Solar Energy – C. Julian Chen – Columbia University – NewYourk - April 2011
20 - Ashcroft ،Neil W. ؛Mermin ،N. David (1976). Solid State Physics
161
خٜخط٤٘ طوٝ ش٤ثٌَُٟٜٞٝخ ح٣٬٘خػش حُوٛ
23 - Kelly Pickerel (May 9, 2016): Busbars: A solar panel necessity or hindrance, in Solar Power
World .
24 - Fraunhofer ISE (September 2013): Copper metallization for silicon solar cells. Link to the
information brochure
25 - Haomin Chen, Chienyu Chen, Maoyi Chang, C. H. Hsueh, Eva Yen and K. L. Ho
(2014): The influence of cell busbars pattern on PV module reliability. Conference Paper – 29th
European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition, Amsterdam, p. 2562-5. Link to
research gate article
26 - Solar Cell Production: from silicon wafer to cell , Niclas is Chief Technology Officer at
Sinovoltaics Group.
28 - W. Zulehner and B Neuer, Ullmann‘s Encyclopedia of Industrial Chemistry, Vol. 23, 5th
edition, VCH, 1993, pp.722–740
29 - J. Xue, S. Li, and Z. Wang, Technology developments of silicon metal production in China,
Silicon for the Chemical Industry VIII, (H.A. Oye, et al., editors), Trondheim, Norway, June
2006, pp.247–254
30 - C. C. Borges, et al., Development and qualification of reductants for silicon metal smelting,
Silicon for the Chemical Industry VIII, Trondheim, Norway, 12–15 June 2006, pp.19–22.
31 - A. Schei, J.K. Tuset, and H. Tveit, Production of high silicon alloys, Trondheim: Tapir
Forlag, 1998, pp.52–64.
32 - H. Tveit, et al., The tapping process in silicon production, Silicon for the Chemical Industry
VI, (H.A. Oye, et al., editors), Loen, Norway, June 2002, pp.39–46
33 - Production of High Purity Silicon Silica Using AC-arc Furnace with by Carbothermic
Reduction of Heated Shaft , High-Technology Research Laboratories, Technical Research
Division, Kawasaki Steel Corporation, Kawasaki-cho, Chiba, 1) Chiba-ken, 260Japan.
34 - Siemens Process , The Siemens process involves deposition of silicon from a mixture of
purified silane or trichlorosilane (TCS) gas with an excess of hydrogen onto high-purity
polysilicon filaments. From: Comprehensive Renewable Energy, 2012
161
خٜخط٤٘ طوٝ ش٤ثٌَُٟٜٞٝخ ح٣٬٘خػش حُوٛ
37 - Floating Zone , A floating zone crystallization method melts a feed rod locally by a radio
frequency coil and the melted material is just kept between a feed rod and a crystal rod.
From: Transport Phenomena in Heat and Mass Transfer, 1992
162
خٜخط٤٘ طوٝ ش٤ثٌَُٟٜٞٝخ ح٣٬٘خػش حُوٛ
51 - A.W. Blakers et al., ―22.6% efficient silicon solar cells,‖ in Proc. 4th Int.Photovolt. Sci. Eng.
Conf., Sydney, Australia, Feb. 1989, pp. 801–806.
163
خٜخط٤٘ طوٝ ش٤ثٌَُٟٜٞٝخ ح٣٬٘خػش حُوٛ
63 - Wenham S. R., Green M. A. and Watt M. E, «Applied Photovoltaic», Bridge Printer, Sidney,
(1994).2015
64 - S. M. Sze & K. Ng Kwok. Physics of semiconductor devices. John Wiley & Sons, 3 edition,
2007.
66 - Manser, Joseph S.; Christians, Jeffrey A.; Kamat, Prashant V. (2016). "Intriguing
Optoelectronic Properties of Metal Halide Perovskites". Chemical Reviews. 116 (21): 12956–13008.
67 - Hamers, Laurel (26 July 2017). "Perovskites power up the solar industry". Science News.
164
خٜخط٤٘ طوٝ ش٤ثٌَُٟٜٞٝخ ح٣٬٘خػش حُوٛ
68 - Kojima, Akihiro; Teshima, Kenjiro; Shirai, Yasuo; Miyasaka, Tsutomu (May 6, 2009).
"Organometal Halide Perovskites as Visible-Light Sensitizers for Photovoltaic Cells". Journal of
the American Chemical Society. 131 (17): 6050–6051. doi:10.1021/ja809598r. PMID 19366264
70 - Min, Hanul; Lee, Do Yoon; Kim, Junu; Kim, Gwisu; Lee, Kyoung Su; Kim, Jongbeom;
Paik, Min Jae; Kim, Young Ki; Kim, Kwang S.; Kim, Min Gyu; Shin, Tae Joo; Il Seok, Sang (21
October 2021). "Perovskite solar cells with atomically coherent interlayers on SnO2
electrodes". Nature. 598 (7881): 444–450
71 - Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie. "World record again at HZB:
Almost 30 % efficiency for next-generation tandem solar cells". HZB Website.
72 - Sun, Kai; Wang, Yanyan; Xu, Haoyuan; Zhang, Jing; Zhu, Yuejin; Hu, Ziyang (2019).
"Short-Term Stability of Perovskite Solar Cells Affected by In Situ Interface
Modification". Solar RRL. 3 (9): 1900089.
74 - Wan-Jian Yin; Tingting Shi; Yanfa Yan (15 May 2014). "Unique Properties of Halide
Perovskites as Possible Origins of the Superior Solar Cell Performance". Advanced
Materials. 26 (27): 4653–
4658. Bibcode:2014AdM....26.4653Y. doi:10.1002/adma.201306281. PMID 24827122. S2CID 2711
3056.
75 - Sai Nithin R. Kantareddy; Ian Mathews; Shijing Sun; Mariya Layurova; Janak Thapa;
Juan-Pablo Correa-Baena; Rahul Bhattacharyya Tonio Buonassisi; Sanjay E. Sarma; Ian Marius
Peters (2019). "Perovskite PV-powered RFID: enabling low-cost self-powered IoT
sensors". IEEE Sensors Journal. 20 (1): 471–
478. arXiv:1909.09197. Bibcode:2020ISenJ..20..471K. doi:10.1109/JSEN.2019.2939293. S2CID 20
2712514.
76 - O‘Connor, David; Hou, Deyi (November 2021). "Manage the environmental risks of
perovskites". One Earth. 4 (11): 1534–1537.
165
خٜخط٤٘ طوٝ ش٤ثٌَُٟٜٞٝخ ح٣٬٘خػش حُوٛ
77 - Chen, Xiang; Zhou, Hai; Wang, Hao (2021). "2D/3D Halide Perovskites for Optoelectronic
Devices". Frontiers in Chemistry. 9: 715157.
78 - McMeekin, David; Mahesh, Suhas; Noel, Nakita; Klug, Matthew; Lim, JongChul; Warby,
Jonathan; Ball, James; Herz, Laura; Johnston, Michael; Snaith, Henry (2019-02-11). "Solution-
Processed All-Perovskite Multi-Junction Solar Cells". Proceedings of the 11th International
Conference on Hybrid and Organic Photovoltaics. Vol. 3. València: Fundació Scito.
79 - Werthen, J.G. (June 1987). "Multijunction concentrator solar cells". Solar Cells. 21 (1–4):
452. doi:10.1016/0379-6787(87)90150-5
80 - Jun, Kang (10 January 2017). "High Defect Tolerance in Lead Halide Perovskite
CsPbBr3". The Journal of Physical Chemistry Letters. 8 (2): 489–
493. doi:10.1021/acs.jpclett.6b02800. OSTI 1483838. PMID 28071911
81 - Stranks, S. D.; Eperon, G. E.; Grancini, G.; Menelaou, C.; Alcocer, M. J. P.; Leijtens, T.;
Herz, L. M.; Petrozza, A.; et al. (October 17, 2013). "Electron-Hole Diffusion Lengths Exceeding
1 Micrometer in an Organometal Trihalide Perovskite Absorber". Science. 342 (6156): 341–
344. Bibcode:2013Sci...342..341S. doi:10.1126/science.1243982. PMID 24136964. S2CID 10314803.
82 - Eperon, Giles E.; Burlakov, Victor M.; Docampo, Pablo; Goriely, Alain; Snaith, Henry J.
(2014). "Morphological Control for High Performance, Solution-Processed Planar
Heterojunction Perovskite Solar Cells". Advanced Functional Materials. 24 (1): 151–157.
83 - Docampo, Pablo; Ball, James M.; Darwich, Mariam; Eperon, Giles E.; Snaith, Henry J.
(2013). "Efficient organometal trihalide perovskite planar-heterojunction solar cells on flexible
polymer substrates". Nature Communications.
84 - Tan, Hairen (November 2020). "All-perovskite tandem solar cells with 24.2% certified
efficiency and area over 1 cm2 using surface-anchoring zwitterionic antioxidant". Nature
Energy. 5 (11): 870–880.
85 - Crystalline Silicon (c-Si)-Based Tunnel Oxide Passivated Contact (TOPCon) Solar Cells: A
Review Hayat Ullah 1 , Stanislaw Czapp 1,* , Seweryn Szultka 1 , Hanan Tariq 1 , Usama Bin
Qasim 2 and Hassan Imran 3
166
الطبعة األولى