觀 摩 議 程 ： 半 導 體 產 業 能 源 供 需 管 理 與 競 爭 力 提 昇

時 間 講 題 主 講 人 地 點
報 到
能 源 會
能 源 會 /台 積 電 致 詞
台 積 電 / 賴 志 明 副 處 長
演 講 廳 (R6117)
1.能 源 管 理 組 織 介 紹
2.節 能 措 施 推 動 手 法 台 積 電 / 陳 勇 龍 經 理
3.能 源 耗 用 概 況
點 心 時 間 餐 廳
節 能 績 優 事 例 介 紹 台 積 電 六 廠 廠 務 部 演 講 廳 (R6117)
午 餐 餐 廳
台 積 電 六 廠 簡 介 演 講 廳 (R6117)
節 能 績 優 事 蹟 現 場 觀 摩 台 積 電 六 廠 廠 務 部 台 積 電 六 廠 廠 務 區
節 能 經 驗 交 流 綜 合 討 論 能 源 會 /台 積 電 六 廠 廠 務 部 演 講 廳 (R6117)
結 束
台積六廠節能措施簡介

Fab-6

Fab-14
 台積六廠節能措施簡介

 六廠介紹 ………………… .1~3

 節約能源措施
 建廠設計階段 ……… .. 4~22
 生產運轉階段 ……… . 23~29
 90 年度節能計劃 …… . 30~31

 參觀路線圖 …………… .. 32
 六廠介紹

Office Office
Admn
Fab-17 Central Fab-16 Central Fab-14
Fab-15
300 mm Support 300 mm R&D Support 300 mm
300 mm
Fab-15
300 mm

Warehouse
CUP 17 CUP 16
CUP 14/15CUP 6 Fab-6

Bulk Gas CUP 18

Yard Fab-18
300 mm

Dormitory

 Building Total Floor Space : 162,237 m2

 Total Clean Room Space : 17,648 m2

Technology Capability : 0.25/0.18/0.15/0.13mm

 Maximum Capacity : ≧60,000/month (8”)

1
 Fab-6 Profile

Fab-6 is the first of the six fabs TSMC plans to establish in the Tainan
Science Industrial Park(TSIP). Fab-6 broke ground in July 1997
and started production in January 2000.

Capacity 50,000 pcs of 8-inch wafer and 4,500 pcs of 12-inch wafer per month

Technology Advanced CMOS technology ranging from 0.25µm down to 0.10µm.

Featuring state-of-the-art manufacturing capabilities of all-scanner
lithography, shallow trench isolation, Titanium/Cobalt Salicide,
chemical mechanical polishing, low-k dielectrics, and copper
interconnect.

Product Mix Digital logic products, mixed-signal logic products, standard and
embedded memory products.

Clean Room Mini-environment: Class 0.1

Ballroom: Class 100

2
 Key Milestones

07/‘97 Fab-6 Ground-Breaking Ceremony

 The first fab in Tainan Science-based Industrial Park

09/’97 Pilling Start

 More than three thousands of RC piles were drilled into ground 25 meter deep to
reach bedrock.
02/’98 Erection of Steel Structure
10/’99 Process Tools Move In
 The most advanced 0.25~0.10 micron semiconductor technology

12/’99 Successful Pilot of 0.25 and 0.22 µm Products

01/’00 Production Start
06/’00 Achieved the First 10K Wafers Output
07/’00 Release 0.18um to Full Production

12/’00 Achieved 30K Wafers Output

3
 節約能源措施
 建廠設計階段 1. 儲冰式空調系統 2. 冰水主機熱回收系統
3. 5ºC 及 9ºC 之雙冰水
溫度系統 4. 潔淨室採 mini-environment 節能設計

5. 空調系統 , 排氣系統及製程用水系統 , 皆使用

變頻空制器 6. 水資源回收 7. 辦公室及停車場空調節能改善

 生產運轉階段 1. 製程用冷卻水 (pcw) 減量 2. 潔淨室調整正壓及風速設

定節能改善 3. 製程排氣減量 4. 降低冷卻水塔散熱風扇的負載
5. 照明減量節能改善

 90 年度節能計劃 1. 增加一台酸性洗滌塔，降低整座風管系統壓損
節省電能 2. 高階製程廢水 AOR / AWR 回收 3. 晶片乾燥槽廢
水 Maragoni Dryer 回收4. 化學機械研磨廢水回收 CMP recovery

4
 建廠設計階段

1. 儲冰式空調系統

. 措施 :
 利用離峰電價優惠時段來儲冰 ; 利用尖峰用電時段來溶冰 , 進而製造出
所需之冰水 .
 配合國家之能源政策 , 有效移轉尖峰電力負載 , 進而降低契約容量 .

. 效益 :
 可減少尖峰用電量 2,407,014 kwh / 年
 依台電夏月及非夏月之離峰與尖峰電價差計算 , 可省 3,606,955 元 / 年

5
 儲冰式空調系統系統

儲冰 25% 乙烯乙二醇
溶冰時
儲冰桶
出水溫 -3.9℃ 冰水出
時 ( 液態 )
水 5℃
25% 乙烯乙二醇
出水溫 3.9℃
儲冰桶
( 液態 )

儲冰桶
25% 乙烯乙二醇 ( 固態 )
入水溫 -0.28℃

儲冰桶
( 固態 ) 25% 乙烯乙二醇
出水溫 9.4℃
冰水進水
10.6℃
6
儲冰桶

7
2 、冰水主機熱回收系統

. 措施 :
 熱回收冰水主機除提供製冷能力外 , 並可將部分廢熱由熱回收熱
交
換器回收 , 產生溫水 , 減少鍋爐能源之耗費 .

. 效益 :
 熱回收冰水主機 , 可節省 29,941,680 KW-H/ 年 之電量 .
 抑制二氧化碳排放量 15869 Ton CO2/ 年
 節省電費成本 47,906,688 元 / 年 (1KW-H=1.6 元計算之 )

8
 冰水主機熱回收系統

C A
B 三通控制閥
輔助熱源
冷卻水塔 水冷式 熱回收
冷凝器 冷凝器 暖房負荷

冷卻水泵浦
熱回收溫水泵浦
冰水主機 9C 熱回收
蒸發器
冰水主機
冰水泵浦

冷房負荷

1. 9C 熱回收冰水主機以下列控制方式提供 37C 溫水。

2. 當冷卻水側三通控制閥 C 關閉，而 B 全開時，水冷式冷凝器無法散熱，所有
熱量必須由熱回收冷凝器負責排放（熱回收）。
3. 當三通控制閥 B 關閉，而 C 全開時，所有熱量由水冷式冷凝器負責排放。

9
 熱回收冰水機

熱回收
冷凝器

水冷式
冷凝器

冰水主機
蒸發器

10
3 、 5ºC & 9ºC 之雙冰水溫度系統

. 措施 :
 目前大部份的半導體廠皆只有單冰水溫度 (5ºC) 系統來供應負載 , 本公司為
響應政府推動節約能源措施 , 將冰水系統規劃為 5ºC & 9ºC 之雙冰水溫度系統來供
應負載 , 來達到節能的目的 .( 5ºC 離心式冰水機效能 < 9ºC 離心式冰水機效能 )

. 效益 :
 5ºC & 9ºC 之雙冰水溫度系統 , 可省之電量 2,896,056 KW-H/ 年 .
 抑制二氧化碳排放量 1,535 Ton CO2/ 年
 節省電費成本 4,633,689 元 / 年 (1KW-H=1.6 元計算之 )

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 冰水系統
A. 5o C 冰水系統
ACT-690 HPM MAU Office MAU
5o C 5o C冰水
冰水系統 區域泵浦

5o C冰水系統循環路徑

輔助熱源
支援9o C系統 潔淨室MAU

B. 9o C 冰水系統 潔淨室 E-Beam 製程真空

乾式冰盤管 UIP設備 集塵設備
9o C 9o C冰水
冰水系統 區域泵浦

9o C冰水系統循環路徑

UPW 熱交換器 PCW 熱交換器 AHU;FCU

12
4 、潔淨室採 mini-environment 節能設計
. 措施 :
 採用 mini-environment 的設計，僅提供局部高潔淨度的環境，到達
Class 1 等級，即可滿足製程需求，可大幅降低潔淨室之投資及運轉成本

. 效益 :
 潔淨室採 mini-environment, 可省之電量 17,582,633 KW-H/ 年 .
 抑制二氧化碳排放量 11,482 Ton CO2/ 年
 節省電費成本 28,132,214 元 / 年 (1KW-H=1.6 元計算之 )

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 mini-environment Cross Section

Fan Make-up Air Unit

Mini-environment Mini-environment
FFU
Better Class 1 Class 100
SMIF

EQ EQ
EQ

Clean Sub-fab

E E
Utility Sub-fab
VAC Pump VAC Pump

14
mini-environment

15
5 、空調系統，排氣系統與製程用水系統，使用變頻控制

. 措施 :
 加裝變頻器以控制輸出功率，依使用端負載之需求，自動調整風量或水量
之供應，以減少能源之消耗

16
變頻控制控制盤

17
6 、全廠節水設計

. 措施 :
1) 超純水系統本身節水設計：
 過濾塔 Multimedia filters (MMF) 反洗最後一次清洗水回收至原水池
。
 第一段離子交換樹脂再生最後一次清洗水回收。
 逆滲透 (R/O) 多段式效率達 95%, 濃縮水供給再利用系統使用 , 零排
放。
 混床 (MGR) 再生最後一次清洗水回收。
 超過濾 Ultra filtration (UF) 濃縮水回收系統 , UF 系統效率達 99% 。
1% 濃縮水回收至前處理廠 tank, 零排放。
 過濾塔 MMF 及 AC filters 反洗廢水並入 CMP 處理 , 處理後水將評
估回
收至冷卻水塔 (cooling tower) 之可行性。

2) 低 TOC 回收系統 (DI reclaim system) ：

將製程設備用水之較乾淨部份經過處理，直接回收回超純水系統使用。
基本包括 RCA 製程第二次以上清洗廢水； HF 1% 及 APM QDR 槽之
第
一次以上清洗廢水。 18
 3) 高 TOC 回收系統 (Advance waste water reclaim system) ：
將 RCA 製程第一次以上清洗廢水，較高 TOC 之製程廢水中符合處
理
效益之製程廢水處理回收。

4) 再利用系統 (Reuse water system) ：

 MMF 及 AC filters 反洗廢水處理後澄清水評估回收至本系統。
 CMP ， BG 廢水，處理後澄清水將評估回收至至本系統。
 R/O 系統濃縮水供給再利用系統使用。
 空調冷凝水回收至本系統。
 高 TOC 回收系統部分處理水再利用系統。
估計約可利用 8% 製程廢水。

19
另外  Scrubber 由本系統供應用水，並調整酸鹼以減低 blow down
次數 , 節約用水。
 Cooling tower 加裝過濾槽 ( 未來 ) ，循環過濾 cooling tower 用水 ,
提高濃縮率。
 高 TOC 回收系統部分處理水入超純水系統，部分處理水入再利
用系統降低系統導電度，提高冷卻水塔濃縮率。可提高至六倍以
上。

. 效益 :
 每年可節省 5,530,845 m3 自來水使用量及減少廢水排放量，可節省
運轉成本 113,382,320 元

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7 、辦公室及停車場空調節能設計

. 措施 :
. 空調系統出風口採用變風量控制 VAV (Variable Air Volume) system
. 空調箱風車馬達加裝變頻器 (VFD) ，對風車運轉速度做變頻控制。
. 空調設備之運轉由 DCS(Distribution Control System) 設定時間控制點以
提 高使用效率

. 效益 :
 辦公室及停車場空調節能設計 , 可省之電量 1,721,437 KW-H/ 年 .
 抑制二氧化碳排放量 1,118 Ton CO2/ 年
 節省電費成本 2,754,299 元 / 年 (1KW-H=1.6 元計算之 )

21
辦公室及停車場空調節能設計

22
 生產運轉階段

1. 製程用冷卻水 (pcw) 減
量
. 措施 :
 降低超出需求表使用之機台流量
 調整 PCW 回水溫度至標準值
 加藥改善 PCW 系統管路腐蝕及熱交換問題

. 效益 :
 可減少尖峰用電量 326,748 kwh / 年

 抑制二氧化碳排放量 212 Ton CO2/ 年

 節省電費成本 1,018,797 元 / 年 (1KW-H=1.6 元計算之 )

23
2 潔淨室調整正壓及風速設定節能改善

. 措施 :
 由 FFU 控制電腦主機逐步調降馬達轉速 (original:1200 rpm) 觀察六廠潔淨
室 壓力值的變化 (original:65 Pa) 持續調降轉速至潔淨室壓力為 45 Pa 記
錄 FFU 最後的轉速 , 並觀察潔淨壓力變化
 將 Mezzanine level 之壓力設為 1pa (original:5pa) 觀察潔淨室壓力值的變
化 (original:65 Pa) 記錄 MAU 最後的轉速 , 並觀察潔淨壓力變化調整
. 效益 :
 可減少尖峰用電量 7,435,430 kwh / 年

 抑制二氧化碳排放量 4,833 Ton CO2/ 年

 節省電費成本 11,896,688 元 / 年 (1KW-H=1.6 元計算之 )

24
3 製程排氣減量

. 措施 :
 降低製程排氣靜壓設計，針對製程機台排氣靜壓設定進行討論因系統管路末端
之靜壓設定愈高，風車輸出動力愈大，愈浪費能源，故可將原始之各系統
靜壓設定值調降以減少能源浪費
 在一般排氣方面，許多機台之散熱溫度並不高 ( 約 30ºC) ，且未接觸到製程
chamber 與相關管路，排氣特性是相當安全。這類之 exhaust 可以考慮
不 排出潔淨室外，而直接排到 clean subfab 中，如此可以減少一般排氣之
排 氣量。雖然如此需損失一些 dry coil 的冷凍噸去將氣體溫度降低，但比較
起 補充外氣之耗能還是節省得多
. 效益 :
 可減少用電量 2,463,068 kwh / 年

 抑制二氧化碳排放量 1,305 Ton CO2/ 年

 節省電費成本 3,940,909 元 / 年 (1KW-H=1.6 元計算之 )

25
4 降低冷卻水塔散熱風扇負載

. 措施 :
 將低溫 (18℃) 之空調箱冷凝水直接排放至冷卻水塔取代部份 29℃ 之 RCW 補
給水 以降低水池內之水溫。有效幫助冷卻水供水溫度降至設定溫度 ( 外氣溼球
溫 度加 3℃), 減少風扇負載。

. 效益 :
 可減少尖峰用電量 339,247 kwh / 年

 抑制二氧化碳排放量 220 Ton CO2/ 年

 節省電費成本 542,796 元 / 年 (1KW-H=1.6 元計算之 )

26
冷卻水塔

27
5 照明節能改善

. 措施 :
 廠區機房大部分區域燈具為高壓鈉燈，此類燈點亮時需要比較長的時間，無法做
到隨手開關的目的，在不影響作業安全情形 ( 照度 320~340lux) 下只開啟 50% 。
FAB 及 Support 變電站的區域燈具為日光燈平時保持關閉一天可省下不少電
力。
Office 公共區域平時 ( 走道、樓梯間、茶水間、廁所 ) 維持 50% 的照明， OA 區
在夜
間 11:00~ 翌日清晨 7:00 實施水電管制，保全人員會將日光燈關掉。

. 效益 :
 可減少尖峰用電量 1,339,586 kwh / 年

 抑制二氧化碳排放量 709 Ton CO2/ 年

 節省電費成本 2,143,338 元 / 年 (1KW-H=1.6 元計算之 )
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5 照明節能改善

經常開啟 紅色
經常關閉 綠色
不用時關閉 橙色

現場節能標示

29
 90 年度節能計劃

預計執行 預 計 投 資 全　年　能　源　節　約　量
項
預計採行之節約能源措施 之 時 間 金 額 電　力 燃　料　煤 燃　料　油 液化石油氣 天　然　氣 水
次
（起－迄） （千元） （度） （公噸） （公秉） （公斤） （立方公尺） （立方公尺）

增加一台酸性洗滌塔，降低 Apr. 90 ~
1 5,220 262,800
整座風管系統壓損節省電能 Jun. 90

高階製程廢水 AOR / AWR 回 Jan. 89 ~

2 80,000 19,687 /天 1,260 /天
收 Aug. 90

晶片乾燥槽廢水 Maragoni Apr. 90 ~

3 1,000 3,437 /天 220 /天
Dryer 回收 Aug. 90

化學機械研磨廢水回收 Jan. 90 ~
4 1,200 3,906 /天 250 /天
CMP recovery Aug. 90

30
 結論
首先台積電要感謝經濟部能源會 , 工研院能資所及各位評審委員的指導
而使台積電六廠能在眾多的競爭者中脫穎而出得到這個來之不易的節約
能源傑出獎項 .

節約能源是台積電公司一貫的基本政策 , 本廠從建廠規劃開始一直以此
政策為最高指導原則來設計及建造 , 用最先進及高效率的設備以及最佳
的控制方式來達到節能的目的 . 實際運轉到目前二年的時間內更利用持
續改善及提案改善制度等活動 , 執行許多節約能源方案來節省寶貴的能
源 , 光是在 89 年度我們省下了貳仟萬元 , 約佔總耗電量比例的 6.7%.

我們已將本廠實施節約能源的成果與經驗 , 推廣至台積各廠 , 擴大整體

效益。也希望能將此經驗分享給其他業界 , 共同推行節約能源活動。

台積六廠未來將持續地配合國家政策 , 以及更進一步的發展新的方法減
少能源消耗 , 降低生產成本。期望能成為業界節約能源之楷模。

31
 廠務系統參觀路線圖

CUP 1F UPW Fab 4F Clean Room HPM B1

純水系統 MAU & FFU AAS 廢氣處理系統

HPM

CUP
Fab 1F tool utility /
SUPPORT 純水系統
OFFICE
Line-A

CUP B2 WWT/AOR
Line-B
/AWR/ 冰桶

CUP 1F Chiller
冰機系統 Office 3F
gowning room

CUP RF Cooling tower

32