PZT를 이용한 2자유도 초정밀스테이지 제어

20194077 박경인
 목차

1. 지난 발표
2. 제어 시뮬레이션의 필요성
3. 제어의 흐름
4. Plant의 모델링
5. open-loop 제어
6. closed-loop 제어
7. 추후 계획
지난 발표

목표 : 초정밀스테이지 제작 및 제어

구동기 : Piezo Actuator

활용분야 : 전자현미경, 마이크로 가공 등

스펙목표 : 크기 대비 넓은 구동범위 및 정밀제어

주요 메커니즘 : 레버 증폭 메커니즘

제어 툴 : LabView
제어 시뮬레이션의 필요성

제어

LabView Program 스테이지

LabView
제어의 흐름, Plant 특성에 제어 시뮬레이션!
Programming..
대한 이해의 필요성을 느낌 With simulink
HOW?
제어의 흐름

※ 1/d의 단위 : v/m
센서

제어 블록도

1. x, y 목표위치가 입력된다. 5. 에러와 PI제어기를 통해 구동기에 가할 전압을 계산한다.

2. 1/d를 곱해 전압 값으로 변환한다. 6. 구동기 최대 입력전압을 고려하여 조절하고 전압을 가한다.

3. 센서로부터 현재 위치에 대한 전압 값을 받는다. 7. 이 과정을 반복하여 피드백 제어한다.

4. 에러를 계산한다.
Plant의 모델링
제어 블록을 시뮬레이션 하기 위해, Plant의 내부를 모델링 함.

input output

Plant 내부 블록

다음의 미분방정식을 근거로 블록을 구성함

m𝑥ሷ + c𝑥ሶ + 𝑘𝑥 = f = k(du – ℎ)
ℎሶ = αd𝑢ሶ - β 𝑢ሶ ℎ -γ𝑢ሶ ℎ

PZT를 사용한 스테이지의

입력전압과 출력변위의 관계를
나타내는 미분방정식
open-loop 제어

Plant의 입력에 따른 응답을 보고자

아래와 같이 open-loop 제어로 블록을 구성함.

open-loop 제어 블록도
open-loop 제어
시뮬레이션 결과

변 변
위 위

시간 시간

Step 입력에 대한 응답 그래프 삼각파 입력에 대한 응답 그래프

open-loop 제어
삼각파에서의 입력전압을 x축, 출력변위를 y축으로 그래프를 그려 보았더니
Hysteresis특성에 의한 Plant의 비선형성을 볼 수 있었다.

Piezo Stage의 비선형성을 보여주는 그래프

closed-loop 제어

PI제어기를 사용 하였을 때, 비선형성이 얼마나 감소되는지 확인하기

위해 아래와 같이 closed-loop 제어 블록을 구성함.
또한 임시적으로 Auto Turn 기능을 통해 P,I gain을 튜닝함.

closed-loop 제어 블록도
closed-loop 제어
시뮬레이션 결과

변 변
위 위

시간

삼각파 입력(0~50)V

삼각파 입력에 대한 응답 그래프 PI제어기에 의해 선형화된 그래프

제어 시뮬레이션 추후 계획
PI제어기 만으로도 충분할 것으로 생각되지만,
더욱 고급제어를 목표로 하여 모델기반제어를 시뮬레이션 하고자 함.

1. state-space 모델링

2. 상태 관측기를 활용한 피드포워드 제어

3. 피드포워드 제어와 피드백 제어를 병렬로 한 하이브리드 제어 시뮬레이션

또한 PI게인 튜닝법에 대해 이해하고 직접 적용 해보고자 함

1. 비선형 시스템에 적합한 튜닝법인 PSO-based pid tuning 적용