TRƯỜNG ĐẠI HỌC GIAO THÔNG VẬN TẢI

THÀNH PHỐ HỒ CHÍ MINH

BÁO CÁO MÔN HỌC

HỆ THỐNG CƠ ĐIỆN TỬ

Chủ đề thuyết trình:

MEMS SENSOR
SV thực hiện: Lê Đức Thịnh
Lục Văn Thiệu
04/22/2020 Hệ thống cơ điện tử 1
 Nôi dung trình bày

Công nghệ MEMS ?

Lịch sử hình thành MEMS !

Có gì bên trong cảm biến MEMS ?

Công nghệ chế tạo MEMS.

Làm thế nào để cảm biến MEMS hoạt động ?

Cảm biến MEMS hoạt động ở đâu?

04/22/2020 Hệ thống cơ điện tử 2

 Công nghệ MEMS ?

MEMS (Micro Electro-Mechanical Systems) là hệ thống tích hợp các cấu trúc vi cơ
khí, các cảm biến, các phần tử điện tử ở kích thước rất nhỏ, sử dụng lực tác động
(lực tĩnh điện, lực điện từ, hoặc năng lượng nhiệt...) để dịch chuyển và điều khiển
các thành phần theo yêu cầu.

04/22/2020 Hệ thống cơ điện tử 3

 Công nghệ MEMS ?
- Hệ thống thường có các cảm biến thu nhập thông tin từ môi trường
(qua các thông số cơ, nhiệt, sinh học, hóa, quang, từ...).
- Sau đó, mạch điện tử sẽ xử lý thông tin thu thập được và ra quyết định
(điều chỉnh các thông số phù hợp) cho bộ phận chấp hành để đáp ứng lại
các thay đổi này.

04/22/2020 Hệ thống cơ điện tử 4

 Công nghệ MEMS ?

Phạm vi ứng dụng các MEMS ngày càng mở rộng nhờ các loại cảm biến được
nghiên cứu phát triển có thể cảm thụ vạn vật ngày càng phong phú, có các chức
năng đa dạng: “nghe, thấy, ngửi, nếm, chạm,…”. MEMS đã tạo nên làn sóng công
nghệ tác động mạnh mẽ đến lối sống con người

04/22/2020 Hệ thống cơ điện tử 5

 Lịch sử hình thành MEMS !

04/22/2020 Hệ thống cơ điện tử 6

 Có gì bên trong cảm biến MEMS ?

1
3
2
4
3

1. Bảng in mạch
2. ASIC
3. Yếu tố MEMS
4. Dây liên kết
04/22/2020 Hệ thống cơ điện tử 5. Đơn vị tách 7
 Công nghệ chế tạo MEMS

- Các thiết bị MEMS này được chế tạo bằng vật liệu silic và do đó nó
có những ưu điểm về tính chất điện và tính chất cơ so với các loại vật
liệu khác.

- MEMS được chế tạo bằng công nghệ vi cơ mà nó có thể được phân
loại thành hai công nghệ chính: công nghệ vi cơ khối và công nghệ
vi cơ bề mặt.

04/22/2020 Hệ thống cơ điện tử 8

 Công nghệ vi cơ khối

- Công nghệ vi cơ khối là công nghệ tạo vi cấu trúc bằng cách gia công cả
khối vật liệu (ở đây là một tấm silíc).
- Phương pháp để tạo vi cấu trúc dùng trong công nghệ vi cơ khối là
phương pháp ăn mòn ướt (ăn mòn đẳng hướng, ăn mòn dị hướng) hoặc
phương pháp ăn mòn khô (ăn mòn nhờ phản ứng ion, ăn mòn bằng
plasma)

04/22/2020 Hệ thống cơ điện tử 9

 Công nghệ vi cơ bề mặt

Công nghệ vi cơ bề mặt liên quan đến quá trình tạo nên các lớp vật liệu
mỏng với cấu trúc khác nhau trên vật liệu đế.

A: Đế silíc ban đầu

B: Phủ lớp silíc nitride bảo vệ đế
C: Phủ tiếp một lớp oxide trên bề mặt silicon nitride
D: Tạo mẫu oxide bằng mặt nạ và ánh sáng cực tím
E: Phủ một lớp polysilicon lên trên bề mặt oxide
F: Loại bỏ lớp oxide

04/22/2020 Hệ thống cơ điện tử 10

 Công nghệ LIGA

- LIGA (Lithographie Galvanoformung Abformung) được hiểu là quy trình

công nghệ vi đúc.
- Thuật ngữ tiếng Đức này có nghĩa là quang khắc (lithography), mạ điện, và
đúc. Công nghệ này sử dụng các khuôn "đúc" hay "dập" vật liệu với độ chính
xác cao làm công cụ trong việc chế tạo các vi cấu trúc.
- Quy trình này có thể được sử dụng cho việc sản xuất các vi cấu trúc ba
chiều, có tỷ số cạnh cao (highaspect-ratio) với nhiều loại vật liệu khác nhau
như kim loại, polymers, gốm và thuỷ tinh.
- Hạn chế chủ yếu của công nghệ LIGA là cần phải có một nguồn chuẩn trực
sóng ngắn tia X giống như một máy synchrotron.

04/22/2020 Hệ thống cơ điện tử 11

 Sự tối ưu của MEMS

Ưu điểm công nghệ MEMS là chính xác, tiết kiệm năng lượng, độ tin cậy
cao nhờ linh kiện MEMS được bao gói trong môi trường sạch và kiểm soát
chặt chẽ.
- Có thể sản xuất hàng loạt (có thể lên đến hàng triệu sản phẩm), giúp hạ
giá thành sản phẩm.
- Kích thước nhỏ bé của MEMS cho phép chúng tương thích với các hệ
thống mà những sản phẩm có kích thước lớn hơn không thể thực hiện
được.

04/22/2020 Hệ thống cơ điện tử 12

 Làm thế nào để cảm biến MEMS hoạt động ?

- Cảm biến áp suất bao gồm 1 đế với màn silicon mỏng

- Khi điện áp thay đổi để tạo ra một giá trị đo tỉ lệ thuận với mức áp suất
04/22/2020 Hệ thống cơ điện tử 13
 Làm thế nào để cảm biến MEMS hoạt động ?

- Gia tốc thay đổi khoảng cách giữa các cấu trục giống như chiếc lược
- Sự thay đổi kết quả trong điện dung tạo ra một tín hiệu điện
- Lệnh này đi đến CPU để kích hoạt 1 hành đông.
04/22/2020 Hệ thống cơ điện tử 14
 Làm thế nào để cảm biến MEMS hoạt động ?

- Khi khung bên ngoài trong cảm biến bắt đầu dao động theo hướng ngược lại
trong 1 chuyển động quay
- Cấu trúc như một chiếc lược bê n tron g sẽ bị lệch đi
- Tín
04/22/2020 hiệu sẽ gửi đến chương trình ổn
Hệ thống cơ định
điện tử điện tử ESP để báo cáp sự cố 15
 Làm thế nào để cảm biến MEMS hoạt động ?

Một từ trường chạy vuông góc với hướng của dòng điện trong 1 dây dẫn tạo ra sự
giảm sụt áp cũng chạy vuông góc với hướng của dòng điện và từ trường
04/22/2020 Hệ thống cơ điện tử 16
 Một số cảm biến MEMS
Cảm biến gia tốc

04/22/2020 Hệ thống cơ điện tử 17

 Một số cảm biến MEMS
Con quay hồi chuyển (Gyroscope)

- Chức năng của cảm biến này là giữ nguyên hoặc điều chỉnh vị trí và định hướng dựa
trên các nguyên tắc của gia tốc theo các hướng khác nhau.
- Khi con quay được sử dụng cùng cảm biến gia tốc, cảm biến này sẽ nhận diện chuyển
động trên 6 chiều khác nhau (trái, phải, trên dưới, trước và sau).
- Cảm biến này cũng sẽ nhận diện các chuyển động dựa trên 3 chiều không gian X, Y, Z.
- Sử dụng Hệ thống Điện và Cơ Siêu Nhỏ (MEMS), có khả năng nhận diện các cử chỉ
cảm ứng, bên cạnh tính năng điều hướng GPS quen thuộc.

04/22/2020 Hệ thống cơ điện tử 18

 Cảm biến MEMS hoạt động ở đâu?

Nhà thông minh

Chế tạo Ứng dụng cho gia đình

Ứng dụng cho các công ty

Vận chuyển Trợ lý cá nhân

Ứng dụng cho giao thông đường bộ Ứng dụng cho người đang
di chuyển

Sự giải trí
Ứng dụng cho các game vui ve

04/22/2020 Hệ thống cơ điện tử 19

04/22/2020 Hệ thống cơ điện tử 20
 !!! THANK YOU

04/22/2020 Hệ thống cơ điện tử 21