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Silicon Directional Solidification Simulation: Liguo Chen GCL Technology Research Center
Silicon Directional Solidification Simulation: Liguo Chen GCL Technology Research Center
保利協鑫控股有限公司
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Bringing Green Power to Life
Furnace Structure
Top Insulation
Side Insulation
Silicon
Crucible Support
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Bringing Green Power to Life
Geometry Modification & Broken Ingots
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Bringing Green Power to Life
JJL660 长晶过程
深紫色代表温度
低于 1385 K ,
浅紫色代表温度
高于 1685 K.
硅液内黑线代表
温度差为 1K ,
分布范围 1685
K 到 1695 K 。
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Bringing Green Power to Life
JJL700 长晶过程
深紫色代表温度
低于 1385 K ,
浅紫色代表温度
高于 1685 K.
硅液内黑线代表
温度差为 1K ,
分布范围 1685
K 到 1695 K 。
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Bringing Green Power to Life
长晶阶段温度场比较
JJL 660 硅晶底部温度分布
1692
1685
JJL 700
两种情况的设置为,大致相同的固液
界面高度,大致相同的长晶速度。
JJL660 硅液及硅晶内的纵向温度梯度
深紫色代表温度
1689
比 JJL700 要大。由此推断, JJL660 在
低于 1725 K , 1685
长晶过程中形成的残余应力也要大。
浅紫色代表温度 JJL660 需要的加热器功率稍大。
高于 1775 K. JJL660 固液界面形状及硅晶内的温度
梯度为凹形。
JJL700 固液界面形状及硅晶内的的温
度梯度为中部微凸。
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Bringing Green Power to Life
退火阶段温度场比较
硅晶底部和顶部温度分布
JJL 660
裂锭基本可以分为两大类,一类以整块或很深的裂缝为标志,另外一类为底部中心的浅裂。
第一类裂锭基本都是由粘锅引起的。因为石英坩埚的热膨胀系数,小于固体硅,在最后冷却的时候,固体硅的收缩
程度要大于石英坩埚。粘锅会阻碍固体硅的收缩,造成裂锭。
第二类裂锭是由固体硅内部的热应力造成,有可能是在长晶过程中造成的残余应力所致,也有可能是退火后冷却过
程中新生成的应力所致。也有可能是两者的合并效应。
如果第二类裂锭主要是由长晶过程中的残余应力造成,退火的时间延长可进一步释放应力,降低裂锭的程度。实验
证明退火时间延长或缩短并不能改变 JJL660 裂锭的情况,所以 JJL660 的裂锭很可能是由退火后冷却过程中新生
成的应力所致。
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Bringing Green Power to Life
Geometry Modification & Energy Gain
Power Curve
120
100
80
Power (kw)
60
40
20 Geometry
Modification
s
0
0 500 1000 1500 2000
Time (minute)
Added Solid Blocks
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Bringing Green Power to Life
2D Simulation
Grids
84
82
80
78
Power (kw)
76 Power Curve
74
72
70 Original Configuration
68 Geometry Modifications
66
0 10000 20000 Time (s)
30000 40000 50000 10 60000
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Bringing Green Power to Life
Growth Periods
GT450 节能改造
Pivoting
Surfaces
冷热区分离使 DS 块底部温度降低,导致辐射散热降低,是节能的主要原因。
节能改造后,加热器功率明显降低 TC2 的温度会明显偏低,要和原 GT 炉区别对待
节能改造后,界面形状更凸 理想 TC1 比原工艺曲线值要低些
节能改造后,硅液内温度梯度稍高。 可根据长晶速率或 TC2 的变化适当 调节 TC1
节能改造后,固体硅及 DS 块的温度梯度变
大。 12 工艺调节
Bringing Green Power to Life