2013 機台設計規範定義

 <1>. CDU Cabinet 常用尺寸

 <2>. 機台區域定義
 <3>. CDU Cabinet 進出口管路定義
 <4>. Filter Housing 模組定義
 <5>. VALVE & Fitting 配管尺寸定義
 <6>. PUMP 擺放定義
 <7>. 機台穿強開孔大小定義
 <8>. 機台常用螺絲定義
 <9>. 機台配管注意事項
<1>. CDU Cabinet 常用尺寸

 2200*1600*1800( 含 Dual Drum 空間 )

 2400*1600*1800( 含 Dual Drum 空間 )

 2600*1600*1800( 含 Dual Drum 空間 )

 3000*1600*1800( 含 Dual Drum 空間 )

<2>. 機台區域定義

PROCESS 機台照明 機台孔位標示

CDA&N2

EXHAUST

三色燈
人機區 DRUM HEPA

儀
錶
區

管路區
DRUM&ROLLER PV 區
電控區 取樣區
<3>.CDU Cabinet 進出口管路定義

1. 出口端由左至右 定義 PROCESS1,2,3----- 等
2. 機台 DRUM 定義 :機台正面為主 左→ A , 右→ B
3. 機台 PROCESS 出口需與機台成平行 ,以利現場配管 ,如無法成一直線的話
請前後錯開 ,勿前後放置
<3>.CDU Cabinet 進出口管路定義

1. 機台遇有 TANK 放於機台左右兩側定義方式機台正面來看開孔方式

右→ A , 左→ B , 以利現場配管
2. 如遇到 TANK 放於機台正後方時左→ A , 右→ B ( 現場需先告知 )
3. 經理指示機台正面看 左 TANK A-B-C( 最新 )
<4>.Filter Housing 模組定義

1.Filter 前端 Tee 的安裝為分岔式，勿做成單邊 Tee ，將影響另一端 Filter 液體無法

補滿 .
2.Filter vent 比照定義 (1) 施作

Flowell fitting Entegris fitting

左 不優 PID 示意 右 優
<5>. VALVE & Fitting 配管尺寸定義

1.VALVE&FITTING 相對尺寸範例 :圖 (1)

2.FLOWEL70 系列 原廠尺寸 ,1-1/4” 比照圖 (1)

Flowell 70 系列原廠尺寸

圖 (1)
<6>. PUMP 擺放定義

1.Trebor 960PUMP,PUMP 與 PUMP 中間需有 150mm 的距離

以利博通拉線 (請務必執行 )

組裝對 65mm 有問題 , 傾斜之後拿取空間有問題 ? 可加到 80mm

<6>. PUMP 擺放定義

1. 磁浮 PUMP 出口端請務必轉正配管約 30 度 ,主要是為了避免吸入空氣

(請務必執行 )

出口端

MIC 設計定義 原廠資料

 <7>. 機台穿牆開孔大小定義

內牙接頭開孔尺寸 (SS) 穿牆接頭開孔尺寸 (PFA) 穿牆接頭開孔尺寸 迫緊式接頭開孔尺寸

SIZE 孔徑 SIZE 孔徑 SIZE 孔徑 SIZE 孔徑

2" ￠ 60 1" ￠ 34 1" ￠ 38 2分6孔 ￠ 34
1-1/2" ￠ 50 3/4" ￠ 27 3/4" ￠ 27 1分8孔 ￠ 26
1" ￠ 30 1/2" ￠ 20 1/2" ￠ 20 4mm6 孔 ￠ 26
3/4" ￠ 25 1/4" ￠ 12 1/4" ￠ 12 3/4" ￠ 26
1/2" ￠ 20 　 　 　 　 1/2" ￠ 22
　 　 　 　 　 　 3/8" ￠ 21
　 　 　 　 　 　 1/4" ￠ 17
　 　 　 　 　 　 1/8" ￠ 13

1/2“ ￠ 22 PUMP 氣源 Entegris VALVE 氣源 CKD VALVE 氣源

1.Trebor_MEGA960 2”---1/4” ￠ 17 1-1/4”~1/4”---1/8”(4mm) ￠ 26
2.VERDER PUMP 1-1/4”~1/4”---1/8”(1 分 ) ￠ 26

1/4" ￠ 17 DRAIN PUMP SS VALVE 氣源

1.NDP 5 2”~1/4”---1/4” ￠ 34
 <8>. 機台常用螺絲定義 (Coating)

COATING
1 耗材 白鐵螺絲外六角 (材質 :COATING) M16*80L CCB,WASTE 機台
2 耗材 白鐵螺帽 (材質 :COATING) M16 螺帽 CCB,WASTE 機台
3 耗材 白鐵華司 (材質 :COATING) M16 華司 CCB,WASTE 機台
4 耗材 白鐵螺絲外六角 (材質 :COATING) M12*60L CCB,WASTE 機台
5 耗材 白鐵螺帽 (材質 :COATING) M12 螺帽 CCB,WASTE 機台

6 耗材 白鐵華司 (材質 :COATING) M12 華司 CCB,WASTE 機台

7 耗材 白鐵螺絲外六角 (材質 :COATING) M10*30L VA25,40,50 SUPPORT,CCB 機台

8 耗材 白鐵螺絲外六角 (材質 :COATING) M10*20L PP 機台 PV 使用
9 耗材 白鐵華司 (材質 :COATING) M10 華司 PP 機台 PV 使用
10 耗材 白鐵螺帽 (材質 :COATING) M10 螺帽 　
11 耗材 白鐵螺絲外六角 (材質 :COATING) M6*20L 960 PUMP,VA8 DRAIN PUMP,NDP5
12 耗材 白鐵華司 (材質 :COATING) M6 華司 　
13 耗材 白鐵螺絲外六角 (材質 :COATING) M8*35L NDP 15 使用 , 磁浮 PUMP
14 耗材 白鐵華司 (材質 :COATING) M8 華司 　
 <8>. 機台常用螺絲定義 ( 白鐵 )

白鐵
1 耗材 白鐵螺絲外六角 (材質 :SS) M16*80L SS/PFA CCB 機台
2 耗材 白鐵螺帽 (材質 :SS) M16 螺帽 SS/PFA CCB 機台
3 耗材 白鐵華司 (材質 :SS) M16 華司 SS/PFA CCB 機台
4 耗材 白鐵螺絲外六角 (材質 :SS) M16*65L SS/SS CCB,WCB 機台
5 耗材 白鐵螺絲外六角 (材質 :SS) M12*65L SS/SS CCB 機台
6 耗材 白鐵螺帽 (材質 :SS) M12 螺帽 SS/SS CCB 機台
7 耗材 白鐵華司 (材質 :SS) M12 華司 SS/SS CCB 機台
8 耗材 白鐵螺絲外六角 (材質 :材質 :SS) M10*30L VA40,50 SUPPORT,CCB 機台
9 耗材 白鐵螺帽 (材質 :SS) M10 螺帽 SS CCB 機台
10 耗材 白鐵華司 (材質 :SS) M10 華司 SS CCB 機台
11 耗材 白鐵螺絲外六角 (材質 :SUS) M8*35L NDP 15 使用
12 耗材 白鐵螺絲外六角 (材質 :SUS) M8*15L IPA PV 使用
13 耗材 白鐵螺絲外六角 (材質 :SUS) M6*20L 960 PUMP,NDP5
14 耗材 白鐵華司 (材質 :SS) M6* 華司 960 PUMP,NDP5
15 耗材 白鐵丸頭十字 (材質 :SUS) M3*5L REV 使用
<9>. 機台設計注意事項
(9-1) 取消 N2 BOX 到 DRUM 的 ELBOW
(9-2) 機台管路 SUPPORT 定義

 1/2” TUBE 管路 每間隔 300mm 架一段 SUPPORT

 3/4”&1”&1-1/4” TUBE 管路每間隔 400mm 架一段 SUPPORT

 以上如遇到干涉位置請避開架設
CCB 槽車接頭液端 & 氣端定義 ( 自動清洗的槽車接頭除外 )

 請使用此作法 ( 也請考慮管路拆卸方式 - 開大孔 )

 發生案例 : 旺宏 (M411C038 NH4OH CCB)
o-ring 材質分類

 FKM-Acid&HF&H2O2&Solvent
 EPDM-Caustic
HOUSING SUPPORT

 螺絲固定 10t
 角座 15t
 旁通式 PT 擺法

主管路下方 ~OK
Drum empty sensor 位置修改建議 (tsmc12p5~15p3)

 修改方式 : 由蛇管上方改由ㄇ字型後下方
 修改原因 : 避免作動不良
50A&40A BA 管 VALVE 統一尺寸

 WASTE 統一尺寸 VALVE 全長 165mm

 FILTER HOUSING BOWL 朝下安裝相關位置 ,VENT 時泡泡產生問題

 案例 :M413C030 TSMC14P5 CR168

1/4”(F) TEE
1/2”(S)*1/4”(F) REDUCER

FILTER 串聯時造成泡泡積在末端 FILTER 串聯時 ,TEE 請安裝在末端 HOUSING

HOUSING, 適用於並聯設計 上 , 泡泡才會大量帶出
HOUSING 距離電控隔板最少 160mm

 Drain 共管保壓時移動需要空間