机械工程测试技术

机械工程测试技术基础

机械工程学院机电教研室
机械楼 543 室
方记文
 机械工程测试技术
工程测试技术基础

第三章、传感器测量原理
本章学习要求：
1. 了解传感器的分类　　　

2. 掌握常用传感器测量原理

3. 了解传感器测量电路
第三章、传感器测量原理 机械工程测试技术

3.3 电容式传感器
变换原理 : 将被测量的变化转化为电容量变化

两平行极板组成的电容
+
A 器 , 它的电容量为 :
+

 0A
+

C  
δ 、 A 或 ε 发
 生变化时，都会
引起电容的变化。
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a) 极距 δ 变化型 + +
+ +
 0A
C  
+ +
 3.3 电容式传感器 机械工程测试技术

1
极距变化时， dC   0 A 2 d

dC 1
传感器灵敏度 S   0 A 2
d 
由于灵敏度 S 与极距 有关， S 不是常数，引起非
线性误差。解决方法：①在较小间隙变换范围内工
 /   0.1
作一般取 ；②采用差动式结构。
极距变化型电容传感器的特点：
优点：可进行动态非接触测量；灵敏度高。

缺点：非线性；杂散电容影响大；后接电路复杂。
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驻极体电容传声器
它采用聚四氟乙烯材料作为振动膜片。这种
材料经特殊电处理后，表面永久地驻有极化电荷，
取代了电容传声器极板，故名为驻极体电容传声器。
特点是体积小、性能优越、使用方便。
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b) 面积变化型
 0r 2
角位移型 C 2
+
+
+

 —— 覆盖面积对应的中心角， r—— 极板半径

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 0bx
平面线位移型 C  
， b －极板宽
度
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2 0x dC
柱面线位移型 . C  ，S   常数
ln( D / d ) dx

x －覆盖长度

D －定板（圆
筒）孔径

d －动板（圆
柱）外径
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产品 .

液体压力
作用在陶
瓷膜片的
  表面，使
                             
膜片产生
位移。

压力变送器
陶瓷电容压力传感器
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 0 A
c) 介质变化型 C  
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产品 .

电容式液位传感器（液位计 / 料位
计）
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电容式测厚仪 : 测量金属带材在轧制过程中厚度 .
C1 、 C2 工作极板与带材之
间形成两个电容， 其总电
容为 C= C1+C2 。当金属带
材在轧制中厚度发生变化时，
将引起电容量的变化。通过
检测电路可以反映这个变化，
并转换和显示出带材的厚度。
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电容式转速传感器 .
当齿轮转动时，电容量发生
周期性变化，通过测量电路
转换为脉冲信号，则频率计
显示的频率代表转速大小。
设齿数为 z, 频率为 f, 则转速
为:
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测量头构成电容器的一个极板，
电容式接近开关 另一个极板是物体本身，当物体
移向接近开关时，物体和接近开
关的介电常数发生变化，使得和
被测物体 感应电极 测量头相连的电路状态也随之发
生变化 . 接近开关的检测物体，
并不限于金属导体，也可以是绝
缘的液体或粉状物体。
振荡电路

被测电容
3.3 电容式传感器 机械工程测试技术
3.3 电容式传感器 机械工程测试技术

3 测量电路
a) 电桥电路
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1
b) 谐振电路 f0 
2π LC
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c) 运算放大器电路

u0 uy Zx C x
 uy   u0   0 u0   C 0 u0
Z0 Zx Z0 Cx  r 0 A
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3.4 电感式传感器
电感式传感器是基于电磁感应原理，它是
把被测量转化为电感量的一种装置。

分类 :
电感式传感器 自感型 可变磁阻型

涡流式

互感型
3.4 电感式传感器 机械工程测试技术

1 自感型 -- 可变磁阻式
N 2  0 A0
原理 : 电磁感应。 自感 L 2
线圈

铁芯

差动型
可变导磁面积型
灵敏度提高一倍
自感 L 与 A0 成
 衔铁 线性关系，灵敏
度较低
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 自感 L 与气隙 
变化成反比，当 变化时，
传感器的灵敏度
N 2  0 A0
S 2
2
 灵敏度 S 与气隙长度的平方成反比。由于灵敏
度不是常数，因此会出现非线性误差。
 实际应用中，取  /   0.1
 为了避免非线性误差，变气隙式电感传感器只
适合较小位移的测量。
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 常用可变磁阻式自感传感器的形式：

工作原理：当
铁芯在线圈中
运动时，将改
变磁阻，使线
圈自感发生变
化。
♦ 变面积式自感传感器
（气隙型）
♦ 螺管式自感传感器
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♦ 差动式自感传感器
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电感式接近传感器（金属）
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2 涡流式
原理 : 涡流效应

δ φ

φ1
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原线圈的等效阻抗 Z 变化：

Z  f ( ,  ,  ,  )
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涡流传感器的测量电路：

分压式调幅电路
谐振频率：
1 L
f  C
2 LC

分压式调幅电路
调频电路
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涡流传感器的特点：
可以实现非接触测量，分辨率高，结构简单，不受
油污介质的影响。

涡流传感器的应用：
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产品：
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原理
案例：无损探伤 裂纹检测，缺陷造成涡流变化。
火车轮检测 油管检测
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2 互感型 -- 差动变压 W1
器
工作原理 : 互感现象 . W

W2

Eout

Ew Es

-x x
E out   M di
dt
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单螺管线圈型 螺管线圈差动

双螺管线圈差动型
传感器测量电路

~
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差动变压器测量电路
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差动变压器位移传感器
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案例：板的厚度测量

~
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案例：张力测量
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3.5 磁电式传感器
1. 变换原
理: 磁电式传感器是把被测量的物理量转换为
感应电动势的一种转换器。
d
感应线圈的感应电动势为： e  W dt

磁通变化率与磁场强度、磁阻、线圈运动速度有
关，改变其中一个因素，都会改变感应电动势。

  B  S  cos  d
dt  ( B, Rm , )
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2 分类
线速度型
e  WBlv sin 
动圈式

磁 角速度型
电 e  kWBA
式

磁阻式 N
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动圈式传感器
线速度型 e  WBlv sin 
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角速度型 e  kWBA
测速电机
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磁阻式传感器

磁电式车速传感器
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3.6 压电式传感器
1. 变换原理 : 压电效应
某些物质，如石英，受到外力作用时，不
仅几何尺寸会发生变化，而且内部会被极化，表面
产生电荷；当外力去掉时，又重新回到原来的状态，
这种现象称为压电效应。
只适合做动态测量。
F + +

+ 串联
并联
c
q=DF c'  , Q '  Q , e '  2e c '  2c, e '  e, Q '  2Q
2
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2 、测量电路
压电式传感器输出电信号很微弱，通常应把
传感器信号先输入到高输入阻抗的前置放大器中，
经过阻抗变换后，方可输入到后续显示仪表中。

前置放大器的作用：
（ 1 ）将与传感器的高阻抗输出转变为低阻抗输出；
（ 2 ）放大微弱信号。

前置放大器的种类：
电压放大器：灵敏度会因电缆长度变化而变化。
电荷放大器：灵敏度不随电缆长度变化。
3.6 压电式传感器 机械工程测试技术

qa  ui (Ca  Cc  Ci )  (U i  U 0 )C y  ui C  (ui  u0 )C f
 Aq
u0 
C  C f  AC f
q
AC f  (C  C f ),
若 A 足够大， u0 
Cf
则
 3.6 压电式传感器 机械工程测试技术

压电传感器的应用：

压力、应力、振动加速度测量，声、超声测
量。

压电传感器的特点：

体积小、重量轻、固有频率高；

难以测量低频信号，信噪比差；

环境温度、湿度的变化会引起压电常数的变
化，需要经常校准灵敏度。
 3.6 压电式传感器 机械工程测试技术

加速度计
产品

压力变送器

力传感器
 3.6 压电式传感器 机械工程测试技术
案例：热轧设备诊断
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3.7 热电式传感器
1. 热电温度计 ( 热电偶 )
热电效应
将两种不同材料的导体 A 和 B 串接成一个闭
合回路，当两个接点温度不同时，在回路中就会
产生热电势，形成电流，此现象称为热电效应。

eA(t,t0) 温差电动势

接触电动势
接触电动势
温差电动势 eB(t,t0)
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3.7 热电式传感器
A kT N A
E AB (T )  ln
T T0 q NB
B kT0 N A
E AB (T0 )  ln
q NB
回路总电势 E AB (T , T0 )  E AB (T )  E AB (T0 )
k—— 玻耳兹曼常数，

q—— 电子电荷量， T—— 接触处的温度

NA ， NB—— 分别为导体 A 和 B 的自由电子

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3.7 热电式传感器

热电偶测温基本定律
T T0
1) 均质导体定律
由一种均质导体组成的闭合回路，不论导
体的横截面积、长度以及温度分布如何均不产
生热电动势。
T T0 V

2) 中间导体定律
在热电偶回路中接入第三种材料的导体，
只要其两端的温度相等，该导体的接入就不会影
响热电偶回路的总热电动势。
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3.7 热电式传感器

3) 参考电极定律
两种导体 A,B 分别与参考电极 C 组成热电偶，
如果他们所产生的热电动势为已知， A 和 B 两极
配对后的热电动势可用下式求得：
E AB (T , T0 )  E AC (T , T0 )  ECB (T , T0 )
A A C

T T0 = T T0 + T
T0
B C B
由于铂的物理化学性质稳定、人们多采用铂作为参考电极。
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3.7 热电式传感器
4) 中间温度定律
当热电偶两个接点的温度分别为 T 和 T0 时，所产
生的热电势等于该热电偶两接点温度为 T 、 Tn 和 Tn 、
T0 时所产生的热电势之代数和，即 :
E AB (t , t0 )  E A B (t , tn )  E A B (tn , t0 )
tn 称为中间温度。
中间温度定律在热电偶测温中应用极为广泛。根据该
定律，我们可以在冷端温度为任一恒定值时，利用热
电偶分度表求出工作端的被测温度值。
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3.7 热电式传感器
 机械工程测试技术
3.7 热电式传感器
常见热电偶型号：
铂铑－铂热电偶（ WRLB ）：
复制精度和重复精度高，稳定性好；热电势较弱，成
本高。
镍铬－镍硅热电偶（ WREU ）：热电势大、线性好，
价格便宜；精度较低。工业中最常用的热电偶之一。
镍铬－考铜热电偶（ WREA ）：热电灵敏度高、价
格便宜；测温范围窄，易氧化变质。
铂铑 30 －铂铑 6 热电偶（ WRLL ）：性能稳定、精
度高、适合在氧化或中性介质中使用；热电势小，价
格高。
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3.7 热电式传感器
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3.7 热电式传感器
2. 热电阻传感器
—— 导体的电阻随温度变化。
金属热电阻——简称热电阻
半导体热电阻——热敏电阻
常用热电阻
铂电阻：精度高、稳定性好、性能可靠
2
Rt  R0 (1  At  Bt )
铜电阻：线性好、电阻温度系数高、价格低
Rt  R0 (1  t )