BÁO CÁO BÀI TẬP LỚN

CHỦ ĐỀ
KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ TRUYỀN QUA (TEM)
TRONG NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT LIỆU

GVHD: PGS.TS. Trần Văn Khải

Sinh viên thực hiện MSSV
Nguyễn Thị Linh 1913951
Phạm Minh Tuấn 2115187
Phạm Minh Tài 2114698

1/30
TỔNG QUAN NỘI DUNG BÁO CÁO

2. TỔNG QUAN VỀ
PHƯƠNG PHÁP 3. CHUẨN BỊ MẪU 4. ỨNG DỤNG 5. TỔNG KẾT
1. GIỚI THIỆU
PHÂN TÍCH

1.1 Tổng quát 2.1 Cấu tạo 3.1 Lưu ý khi chuẩn 4.1 Ứng dụng của 5.1 Ưu điểm và hạn
về kính hiển vi 2.2 Nguyên lý hoạt động bị mẫu TEM trong phân chế của phương
điện tử truyền 2.3 Kỹ thuật phân tích 3.2 Quá trình xử lý tích vật liệu pháp
qua mẫu 5.2 Tài liệu tham
khảo

2/30
 1. GIỚI THIỆU 1.2 PHÂN LOẠI KÍNH HIỂN VI

Có 4 loại kính hiển vi cơ bản:

1. Kính hiển vi quang học: Kính hiển vi trường sáng, kính hiển vi huỳnh quang....

2. Kính hiển vi điện tử: SEM, TEM,...

3. Kính hiển vi đầu dò quét: AFM, NSOM, STM,..

4. Kính hiển vi ion: FIB...

1 2 3 4

3/30
 1. GIỚI THIỆU 1.1 TỔNG QUÁT

• Kính hiển vi điện tử là tên gọi chung của nhóm thiết bị quan sát cấu trúc
vi mô của vật rắn, hoạt động dựa trên nguyên tắc sử dụng sóng điện tử
được tăng tốc ở hiệu điện thế cao để quan sát (khác với kính hiển vi quang
học sử dụng ánh sáng khả kiến để quan sát).

• Kính hiển vi điện tử có khả năng phân giải cao hơn kính hiển vi ánh
sáng, cho phép nó nhìn thấy các vật thể nhỏ hơn nhiều với chi tiết
tốt hơn (độ phân giải dưới nanomet)

• Chi phí đầu tư thiết bị lớn, kích thước to, và thường được đặt trong một
căn phòng cho chuyên biệt, và cần có chuyên viên được đào tạo để vận
hành,

4/30
 1. GIỚI THIỆU 1.1 TỔNG QUÁT

Kính hiển vi điện tử truyền qua (Transmission electron microscopy, viết tắt: TEM) là một thiết bị nghiên
cứu vi cấu trúc vật rắn.
• TEM có thể được sử dụng để quan sát các hạt ở độ phóng đại và độ phân giải cao hơn nhiều so với kính
hiển vi quang học vì bước sóng của electron ngắn hơn nhiều so với bước sóng của photon.
• Các electron được gia tốc lên mức năng lượng cao
• Chùm tia điện tử là đơn sắc
• Các chùm electron được định hình (ví dụ: hội tụ, chuẩn trực, v.v.) và hướng vào các mẫu bằng cách sử
dụng thấu kính tĩnh điện và từ tính cũng như cuộn dây làm lệch hướng
• Sự tương tác của các electron năng lượng cao tạo ra các tín hiệu thứ cấp có thông tin nội tại, đặc trưng cho
các đặc tính của mẫu.
• Có thể quan sát mẫu vật ở cấp độ nguyên tử nhỏ hơn 1 nm

5/30
 1. GIỚI THIỆU 1.2 PHÂN LOẠI KÍNH HIỂN VI

SO SÁNH KÍNH HIỂN VI QUANG VÀ KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ

SEM TEM OM

Nguồn phát Chùm điện tử Chùm điện tử Chùm ánh sáng

Thấu kính Thấu kính từ Thấu kính từ Thấu kính quang

Môi trường hoạt động Môi trường chân không Môi trường chân không Môi trường thường

Chuẩn bị mẫu Phức tạp Phức tạp Đơn giản

Độ phóng đại ~ 500 000 lần >1 triệu lần 2-3000x

Độ phân giải ~ 1 nm (tối đa) ~50 pm 200nm

Điện thế 30-60 KeV >60 KeV

Vận hành Phức tạp Phức tạp Đơn giản

6/30
1. GIỚI THIỆU 1.2 PHÂN LOẠI KÍNH HIỂN VI

SO SÁNH KÍNH HIỂN VI QUANG VÀ KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ

7/30
1. GIỚI THIỆU 1.2 PHÂN LOẠI KÍNH HIỂN VI

SO SÁNH KÍNH HIỂN VI QUANG VÀ KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ

8/30
2. TỔNG QUAN VỀ PHƯƠNG
PHÁP PHÂN TÍCH 2.1 CẤU TẠO

Chùm súng điện tử

Mục đích Tạo ra chùm tia điện tử để tạo ra hình ảnh của mẫu
• Là một sợi dây nhỏ được nung chảy ở nhiệt độ cao
bằng dòng điện.
Dây tóc
• Khi dây tóc được nung chảy, nó tạo ra luồng electron
thông qua quá trình phát xạ nhiệt.

• Là một xi lanh kim loại nhỏ

Xi lanh
• Đặt xung quanh dây tóc súng điện tử và nạp một điện
Wehnelt
áp cao để kiểm soát hình dạng và cường độ của electron

Ống kính • Dùng để tập trung chùm electron vào mẫu

• Là một tấm kim loại đặt phía trước súng điện tử

Cực
• Được nạp điện ở điện áp cao và được sử dụng để gia
dương
tăng tốc độ của các electron trong chùm tia.
9
9/30
2. TỔNG QUAN VỀ PHƯƠNG
PHÁP PHÂN TÍCH 2.1 CẤU TẠO

Có 2 cách để tạo ra chùm điện tử

Nguồn phát xạ điện tử Súng phát xạ trường

Tại
Catot Đốt nóng → tạo năng lượng nhiệt → Áp dụng điện thế cực kì cao
điện tử thoát ra khỏi liên kết kim loại → tạo ra chùm điện tử

Sử dụng chùm tia điện tử với các thấu kính điện tử và khẩu độ giúp có khả
năng phân tích sâu vào trong cấu trúc của vật liệu.
Tại sao lựa chọn chùm tia điện tử làm đầu dò?
• Dễ dàng tạo ra chùm tia điện tử có độ sáng cao
• Dễ dàng thao tác
• Các electron năng lượng cao có bước sóng ngắn
• Tương tác mạnh với vật chất 10
10/30
2. TỔNG QUAN VỀ PHƯƠNG
PHÁP PHÂN TÍCH 2.1 CẤU TẠO

CÔNG THỨC TÍNH BƯỚC SÓNG CỦA ĐIỆN TỬ

Sau khi chùm điện tử được tạo ra, nó sẽ bay đến
Canot rỗng và được một điện thế cao áp một chiều
(lên đến vài trăm kV) giúp tăng tốc độ. Và ta có thể
tính được bước sóng của điện tử thông qua mối
liên hệ với thế tăng tốc theo công thức:

Trong đó: λ: bước sóng (nm)

h: hằng số Plank
m0: khối lượng tĩnh (9.11×10-31 kg)
e: điện tích điện tử (1.602×10-19 C)
c: tốc độ ánh sáng (2.998×108 m/s)
E: điện thế tăng tốc điện tử (Volt)
11/30
2. TỔNG QUAN VỀ PHƯƠNG
PHÁP PHÂN TÍCH 2.1 CẤU TẠO

HỆ THỐNG CHÂN KHÔNG

• Đóng vai trò quan trọng trong việc duy trì môi trường chân không
bên trong cột kính hiển vi.
• Chức năng chính là đảm bảo rằng chùm điện tử có thể đi qua
mẫu mà không bị tán xạ hoặc hấp thụ bởi các phân tử không khí.

Cấu tạo
Bơm Loại bỏ các phân tử khí → tạo môi trường chân không
• Kiểm soát luồng khí vào và ra khỏi cột kính hiển vi
Van
• Được đặt tại các điểm đầu vào và đầu ra của cột.
• Loại bỏ các chất gây ô nhiễm khỏi khí được sử dụng để tạo
Bộ lọc chân không trong cột
• Duy trì môi trường chân không sạch.
Thiết bị
• Đo áp suất bên trong cột kính hiển vi
cảm
• Đảm bảo rằng độ chân không được duy trì ở mức thích hợp.
ứng
12/30
2. TỔNG QUAN VỀ PHƯƠNG
PHÁP PHÂN TÍCH 2.1 CẤU TẠO

THẤU KÍNH ĐIỆN TỬ

• Là một thiết bị bao gồm một chuỗi nam châm điện
• Cấu trúc là một cuộn dây cuốn trên lõi được làm từ vật liệu mềm sinh ra
từ trường ở khe từ để phân bố sao cho chùm tia điện tử truyền qua sẽ có
độ lệch thích hợp với từng loại thấu kính
• Sử dụng để thay đổi đường đi của các điện tử và tập trung vào mẫu.

13/30
2. TỔNG QUAN VỀ PHƯƠNG
PHÁP PHÂN TÍCH 2.1 CẤU TẠO

CÁC LOẠI THẤU KÍNH

Hệ thấu kính hội tụ • Tập trung chùm tia điện tử và điều khiển kích
(Condenser lens) thước độ hội tụ của chùm tia
• Nhận chùm tia điện tử đầu tiên từ mẫu vật và
Vật kính luôn được điều khiển sao cho vật sẽ vị trí có
(Objective lens) khả năng lấy nét (in-focus) khi độ phóng đại
của hệ được thay đổi.
• Hội tụ các chùm tia nhiễu xạ từ các góc chiếu
Thấu kính nhiễu xạ
khác nhau và tạo ra ảnh nhiễu xạ điện tử trên
(Diffraction lens)
mặt phẳng tiêu của thấu kính.
• Phóng đại ảnh, độ phóng đại được thay đổi
Thấu kính phóng đại
thông qua việc điều chỉnh tiêu cự của thấu
(Magnification lens)
kính.
• Tập trung electron beam và lấy hình ảnh chất
Thấu kính máy chiếu
lượng cao của các cấu trúc và chi tiết bên
(Projector lens)
trong mẫu.
14/30
2. TỔNG QUAN VỀ PHƯƠNG
PHÁP PHÂN TÍCH 2.1 CẤU TẠO

KHẨU ĐỘ
• Khẩu độ trong TEM là các tấm kim loại hình elip có khả năng ngăn cản đường đi của các
electron nằm quá xa trục quang học, nhưng lại cho phép các electron hướng trục đi qua.
• Cụm khẩu độ là các thiết bị cơ học cho phép người sử dụng lựa chọn giữa một loạt kích thước
khẩu độ, cho phép họ điều chỉnh sự cân bằng giữa truyền ánh sáng và lọc khi cần thiết

CÁC LOẠI KHẨU ĐỘ

• Đóng vai trò quan trọng trong hệ thấu kính hội tụ
Khẩu độ hội tụ
• Có khả năng thay đổi độ rộng và độ hội tụ của chùm tia điện tử,
(Condenser Aperture)
cũng như góc hội tụ
• Đặt phía dưới vật mẫu
Khẩu độ vật
• Chức năng là hứng và kiểm soát chùm tia điện tử sau khi chúng đã
(Objective Aperture)
xuyên qua mẫu.
Khẩu độ lựa chọn vùng • Xác định và lựa chọn diện tích cụ thể của mẫu mà bạn muốn ghi ảnh
(Selected Area Aperture) nhiễu xạ điện tử.
15/30
2. TỔNG QUAN VỀ PHƯƠNG
PHÁP PHÂN TÍCH 2.1 CẤU TẠO

16/30
2. TỔNG QUAN VỀ PHƯƠNG
PHÁP PHÂN TÍCH 2.1 CẤU TẠO

HỆ THỐNG GHI ẢNH

• Màn hình huỳnh quang dùng để xem hình ảnh cùng
với thiết bị lấy nét
Cấu tạo
• Một máy ảnh kỹ thuật số được tích hợp để ghi lại hình
ảnh sau khi xem.
•Đơn sắc, màu xám, đen trắng
• Các điện tử phải được nhìn thấy bằng mắt. Do đó,
chúng được phép đi qua màn huỳnh quang ở gốc
• Kỹ thuật số, hình ảnh có thể được chụp và hiển thị trên
máy tính.
Hình ảnh
• Định dạng JPEG và TIFF cũng có thể được lưu.
thu được
• Hình ảnh có thể được chuyển đổi từ trạng thái đơn sắc
thành màu tùy thuộc vào thiết bị ghi được sử dụng.
Ví dụ: máy ảnh pixel có thể lưu trữ hình ảnh có màu.
• Hình ảnh màu giúp dễ dàng nhận biết và mô tả các
đặc điểm của hình ảnh.
17
17/30
2. TỔNG QUAN VỀ PHƯƠNG
PHÁP PHÂN TÍCH 2.2 NGUYÊN LÝ CẤU TẠO

• Một khẩu pháo điện tử trong kính hiển vi điện tử truyền qua bắn ra một chùm điện tử. Các

electron được gia tốc lên tốc độ cực cao nhờ các cuộn dây điện từ và hiệu điện thế lên tới vài

triệu vôn trong súng.

• Một thấu kính hội tụ có khẩu độ lớn loại bỏ các điện tử góc cao sẽ hội tụ chùm điện tử thành

một chùm hẹp, nhỏ. Sau khi đạt được vận tốc tối đa, các electron lao qua mẫu siêu mỏng, với

lượng truyền electron phụ thuộc vào độ trong suốt của mẫu.

• Vật kính tạo thành một hình ảnh từ một phần của chùm tia do mẫu phát ra. Một thành phần

khác của TEM là hệ thống chân không, cần thiết để ngăn va chạm giữa các electron và nguyên

tử khí.
18/30
2. TỔNG QUAN VỀ PHƯƠNG
PHÁP PHÂN TÍCH 2.2 NGUYÊN LÝ CẤU TẠO

• Sử dụng bơm quay hoặc bơm màng, trước tiên tạo ra độ chân không thấp, cho

phép áp suất đủ thấp để vận hành bơm khuếch tán, cuối cùng đạt được mức

chân không đủ để vận hành. TEMS điện áp cao đòi hỏi mức chân không đặc

biệt cao, do đó có thể sử dụng hệ thống chân không thứ ba.

• Hình ảnh do TEM tạo ra, được gọi là ảnh vi mô, được chiếu lên màn hình lân

quang để xem. Màn hình này phát ra các photon khi bị chùm tia điện tử bắn

phá. Có thể sử dụng máy ảnh phim đặt bên dưới màn hình để chụp ảnh hoặc có

thể sử dụng máy ảnh thiết bị kết hợp điện tích (CCD) để chụp ảnh kỹ thuật số.
19/30
2. TỔNG QUAN VỀ PHƯƠNG
PHÁP PHÂN TÍCH 2.3 KỸ THUẬT PHÂN TÍCH

Súng điện tử • Thường là một dây tóc vonfram được

1 (Dây tóc vonfram đốt nóng, được sử dụng để giải phóng
được đốt nóng) các chùm điện tử.

• Sau khi các electron được giải phóng,

được gia tốc lên tốc độ rất cao thông
Tăng tốc chùm
2 qua cuộn dây điện từ và áp điện cao).
điện tử
• Điều này giúp chúng đạt tốc độ cực
cao.

• Một hệ thống thấu kính tụ điện với

Thấu kính tụ điện khẩu độ lớn
(Thấu kính tụ • Được sử dụng để loại bỏ các electron
3 điện có khẩu độ ở góc độ cao và hội tụ tất cả chùm
lớn) điện tử thành một chùm tia nhỏ và
mỏng
20/30
2. TỔNG QUAN VỀ PHƯƠNG
PHÁP PHÂN TÍCH 2.3 KỸ THUẬT PHÂN TÍCH

Chùm tia điện • Các chùm tia điện tử tốc độ cao sau đó
4 tử truyền qua được truyền qua mẫu vật siêu mỏng cần
mẫu nghiên cứu.

• Một vật kính được sử dụng để tập trung

Hình ảnh tập
5 các chùm điện tử vào một hình ảnh cụ
trung
thể.

• Buồng vắc-xin của TEM giữ cho các

Buồng vắc-
6 electron không va chạm với các nguyên
xin (Chamber)
tử khí, đảm bảo môi trường chân không

Chiếu ảnh lên

• Các chùm điện tử sau đó được chiếu lên
7 màn hình lân
một màn hình lân quang
quang

Ghi lại hình • Tất cả các hình ảnh được chụp bởi một
8
ảnh máy ảnh thiết bị kết hợp điện tích (CCD)
21/30
3. CHUẨN BỊ MẪU 3.1 LƯU Ý KHI CHUẨN BỊ MẪU

Hình 1-2. Hình chụp mẫu TEM

22/30
3. CHUẨN BỊ MẪU 3.1 LƯU Ý KHI CHUẨN BỊ MẪU

Tại sao việc chuẩn bị mẫu vật cho kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM) lại quan trọng

3.1.1 Cỡ mẫu và độ dày:

ác mẫu dùng cho TEM phải đủ mỏng để cho phép các electron đi qua chúng và phải được gắn

trên giá đỡ trong suốt, chẳng hạn như phim hoặc lưới. Mẫu không được dày hơn khoảng 100 nm

và các mẫu quá dày có thể cần được pha loãng bằng phương pháp cơ học hoặc hóa học.

3.1.2 Kỹ thuật chuẩn bị mẫu:

Có một số kỹ thuật có thể được sử dụng để chuẩn bị mẫu cho TEM, bao gồm mài và đánh bóng

cơ học, ăn mòn hóa học và nghiền chùm ion hội tụ. Kỹ thuật cụ thể được sử dụng phụ thuộc vào

loại mẫu và các yêu cầu cụ thể của thí nghiệm.

23/30
3. CHUẨN BỊ MẪU 3.1 LƯU Ý KHI CHUẨN BỊ MẪU

1. Giữ mẫu vật:

Các mẫu cho TEM phải được gắn trên giá đỡ mẫu, chẳng hạn như phim hoặc lưới, sử dụng một

lớp keo mỏng hoặc chất kết dính khác. Giá đỡ mẫu thử phải trong suốt và không cản trở sự truyền

điện tử qua mẫu.

2. Chuẩn bị mẫu trong chân không:

Các mẫu cho TEM phải được chuẩn bị trong môi trường chân không để tránh nhiễm bẩn bởi các

phân tử không khí. Mẫu phải được đặt trong buồng chân không và phải được xử lý bằng găng tay

hoặc các biện pháp bảo vệ khác để tránh nhiễm bẩn.

24/30
3. CHUẨN BỊ MẪU 3.1 LƯU Ý KHI CHUẨN BỊ MẪU

3. Hình ảnh chất lượng cao:

Chuẩn bị mẫu thích hợp là điều cần thiết để tạo ra hình ảnh chất lượng cao bằng TEM. Các mẫu

không được chuẩn bị đúng cách có thể tạo ra hình ảnh bị biến dạng hoặc chứa vật giả, điều này có

thể ảnh hưởng đến độ chính xác của kết quả.

4. Bảo toàn tính toàn vẹn của mẫu:

Chuẩn bị mẫu thích hợp cũng rất quan trọng để bảo toàn tính toàn vẹn của mẫu. Các mẫu không

được chuẩn bị đúng cách có thể bị hỏng hoặc nhiễm bẩn, điều này có thể ảnh hưởng đến độ chính

xác của kết quả.

25/30
3. CHUẨN BỊ MẪU 3.2 QUÁ TRÌNH XỬ LÝ MẪU
Có 2 loại mẫu: Lưu ý: Cả 2 loại mẫu đều phải không có từ tính.
• Mẫu dạng bột (khô / hòa tan trong dung môi)
• Mẫu dạng khối rắn
Mẫu khối kim loại Mẫu bột khô
Nghiền và trộn bột trong cloroform/ methanol/ ethanol
Bước 1 Cắt lát mỏng ra khoảng 0.5mm
để tạo huyền phù
Dùng pipet nhỏ một giọt huyền phù lên lưới đỡ có
Bước 2 Làm mỏng mẫu đến 120 m
lớp phủ màng Carbon
Bước 3 Lấy tiết diện mẫu phù hợp với máy Dung môi sẽ bay hơi và để lại bột phân tán trên lưới
Làm mỏng tiếp đến độ dày khoảng
Bước 4 Để khô và gắn lên TEM
50-100 m với hạt mài grit 1200
Sau đó làm đánh bóng mẫu bằng
Bước 5
phương pháp điện hóa hay bắn ion
Làm sạch, sấy khô và để lên lưới
Bước 6
có phủ màng Carbon của TEM

26/30
3. CHUẨN BỊ MẪU 3.2 QUÁ TRÌNH XỬ LÝ MẪU

KẾT LUẬN
• Nhìn chung, việc chuẩn bị mẫu cho TEM đòi hỏi phải chú ý cẩn thận đến từng chi tiết và sử dụng các kỹ

thuật và thiết bị chuyên dụng. Chuẩn bị mẫu đúng cách là điều cần thiết để tạo ra hình ảnh chất lượng

cao và để bảo toàn tính toàn vẹn của mẫu.

• Trong phương pháp này, hạt đang nghiên cứu phải chịu các chùm điện tử sử dụng kính hiển vi điện tử

truyền qua, và các vi ảnh hoặc ảnh thu được được đánh giá bằng máy tính.

• Chuẩn bị mẫu là một giai đoạn quan trọng trong kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM) và quy trình

chuẩn bị mẫu khác nhau tùy thuộc vào bản chất của vật liệu và thông tin thu được từ mẫu.

27/30
4. ỨNG DỤNG 4.1 ỨNG DỤNG CỦA TEM TRONG PHÂN TÍCH VẬT LIỆU

• Ứng dụng rộng rãi trong các lĩnh vực chủ yếu sau:
• Nghiên cứu cấu trúc và thành phần vật liệu: xác định cấu trúc tinh thể và thành phần của các vật liệu, đặc
biệt là chất bán dẫn
• Kiểm tra lỗi và hư hỏng: xác định và phát hiện lỗi, vết nứt và hỏng hóc trong các vật thể có kích thước siêu
nhỏ, đặc biệt là trong ngành công nghiệp.
• Giáo dục và nghiên cứu: nghiên cứu về cấu trúc tinh thể, vi khuẩn, virus, nấm và các hệ thống siêu nhỏ
khác.
• Nghiên cứu nano-hạt: nghiên cứu và phát triển công nghệ nano để nghiên cứu các hạt nano như hạt nano
ZnO và xem xét các tính chất của chúng
• Xem kích thước và hình dạng của bào quan tế bào vi sinh vật
• Nghiên cứu cấu trúc tế bào và vi khuẩn

28/30
 5. TỔNG KẾT 5.1 ƯU ĐIỂM, HẠN CHẾ CỦA PHƯƠNG PHÁP

ƯU ĐIỂM HẠN CHẾ

• Tạo ra ảnh cấu trúc vật rắn với độ tương phản, độ phân
giải (kể cả không gian và thời gian) rất cao • Giá thành cao

• Cho ảnh thật của cấu trúc bên trọng vật rắn nên đem • Điều kiện làm việc khắt khe về điều kiện chân không, áp
nhiều thông tin hơn suất, điện áp, nhiệt độ....

• Bắt buộc phải có sự ổn định về điện và nhiều phụ kiện

• Tạo ra các hình ảnh ở độ phân giải tới cấp độ nguyên tử đi kèm

• Nhiều phép phân tích hữu ích đem lại nhiều thông tin
cho nghiên cứ vật liệu • Chuẩn bị mẫu phức tạp, cần phải phá hủy mẫu

• Tạo hình ảnh có độ phân giải cao hơn SEM, OM • Không thích hợp với các tiêu bản sinh học

• Đòi hỏi chuyên viên phải được đào tạo chuyên sâu từ 9-
12 tháng trước khi vận hành và độ chính xác khi thực
hiện cực cao

29/30
5. TỔNG KẾT
[1] https://tinyurl.com/bddkjcy6
[2] https://tinyurl.com/f6kps3p7
[3] https://tinyurl.com/3fazf5yy
[4] https://tinyurl.com/4v2br775tps:/
[5] https://tinyurl.com/yswkrh2h
[6] https://tinyurl.com/2uneb59j
[7] https://tinyurl.com/bdds7ry5
[8] https://tinyurl.com/3br4u767
5.2 TÀI LIỆU THAM KHẢO
[9] https://tinyurl.com/4nwusv23
[10] https://tinyurl.com/4bkvr3bm
[11] https://tinyurl.com/bdh3dzjb
[12] https://tinyurl.com/aneh4rw3
[13] https://tinyurl.com/3z8ewfkt
[14] https://tinyurl.com/t5mhep2u
[15] https://tinyurl.com/cp9uuv7c
[16] https://tinyurl.com/2s4auzrj
[17] https://tinyurl.com/55sxtju7
30/30
 5. TỔNG KẾT 5.2 TÀI LIỆU THAM KHẢO

https://e-learning.hcmut.edu.vn/pluginfile.php/569850/mod_resource/content/1/Intruduction%20and%20Summaries_HK23
1_2023.pdf

https://microbiologynote.com/vi/how-are-samples-prepared-for-a-transmission-electron-microscope/
https://chem.libretexts.org/Courses/Williams_School/Advanced_Chemistry/21%3A_Basic_Science_of_Nanomaterials/21.0
6%3A_Transmission_Electron_Microscopy
https://www.news-medical.net/life-sciences/Sample-Preparation-in-TEM.aspx
https://www.tandfonline.com/doi/abs/10.1080/15533174.2013.831901
https://www.researchgate.net/publication/329589989_Sample_Preparation_for_Transmission_Electron_Microscopy_Metho
ds_and_Protocols
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/30539461/
https://en.wikipedia.org/wiki/Cryogenic_electron_microscopy
https://link.springer.com/protocol/10.1007/978-1-4939-8935-5_33
https://link.springer.com/article/10.1557/mrs.2019.283
https://www.researchgate.net/publication/
325299676_Synthesis_characterization_and_electrical_properties_of_TiO2_modified_with_SiO2_and_antimony-
doped_tin_oxide
31/30
 5. TỔNG KẾT 5.2 TÀI LIỆU THAM KHẢO

https://www.researchgate.net/post/
What_is_the_appropriate_solvent_to_dissolve_the_Mg_ion_battery_cathodes_to_disperse_on_TEM_grid?
_tp=eyJjb250ZXh0Ijp7ImZpcnN0UGFnZSI6InF1ZXN0aW9uIiwicGFnZSI6InF1ZXN0aW9uIiwicHJldmlvdXNQYWdlIjoi
cXVlc3Rpb24ifX0
https://www.researchgate.net/post/How_to_prepare_a_well_dispersed_TEM_sample_of_oxide_nanoparticles_magnetic
https://www.researchgate.net/post/
How_i_can_prepare_the_nickel_chromium_alloy_sample_for_cross_sectional_TEM_investigations
https://www.researchgate.net/post/TEM_sample_preparation_Aluminum_as_a_bulk_material?
_tp=eyJjb250ZXh0Ijp7ImZpcnN0UGFnZSI6InF1ZXN0aW9uIiwicGFnZSI6InF1ZXN0aW9uIiwicHJldmlvdXNQYWdlIjoi
cXVlc3Rpb24ifX0
https://www.researchgate.net/publication/
305035099_Transmission_Electron_Microscopy_Specimen_Preparation_of_Delicate_Materials_Using_Tripod_Polisher
https://www.researchgate.net/publication/
299441805_TEM_Sample_Preparation_Technique_for_Deep_Trench_Structure_Observation_shiyongyushengoucaojiegoug
uancedeTEMyangpinzhibeijishu
https://www.researchgate.net/post/TEM_sample_catalyst_powder_preparation?
_tp=eyJjb250ZXh0Ijp7ImZpcnN0UGFnZSI6InF1ZXN0aW9uIiwicGFnZSI6Il9kaXJlY3QifX0 32/30
CÁM ƠN THẦY VÀ CÁC BẠN!

33/30
34/30