微機械加工技術概述

微機械加工是一種利用精密加工技術製造微小零部件的過程。它結合了機
械加工、微加工、奈米加工等多種先進技術 , 能夠實現高精度、高效率的微
件製造。這種加工技術已經廣泛應用於電子、光學、生物醫療等領域 , 在促
進新興產業發展中發揮著重要作用。
微機械加工的特點

高精度 微小尺度 高效率

微機械加工具有極高的加工精度 , 微機械加工的主要對象是微米和 微機械加工擁有較高的生產效率 ,
可以達到微米乃至納米級別 , 遠 亞微米級別的零件 , 其尺寸遠小 能夠一次性批量生產大量微小零
高於傳統機械加工。這得益於先 於傳統機械加工產品。這要求特 件。同時也可以實現自動化和集
進的加工設備和工藝技術 , 能夠 殊的加工技術和設備 , 以確保零 成化 , 進一步提高生產效率。
製造出微小而複雜的零件。 件的尺寸精度和表面質量。
微機械加工的應用領域
電子工業 光學工業
微機械加工技術在電子工業中扮演著重要角色 , 微機械加工技術可以用於製造高精度的光學元
可用於製造微型元件和零部件 , 如微處理器、 件 , 如微鏡頭、微反射鏡、微光波導等 , 應用
微傳感器、微機電系統 (MEMS) 等 , 有助於電 於光學成像、光通信和光電子等領域。
子產品的小型化和功能集成化。

生物醫療 航空航天
微機械加工技術在生物醫療領域有廣泛應用 , 微機械加工技術可用於製造航空航天領域的微
如製造微型醫療診斷設備、微型植入物以及微 型零件 , 如微型傳感器、微型驅動器等 , 能夠
小的藥物運輸系統 , 有助於實現精準醫療。 提高航空航天設備的性能和可靠性。
微機械加工的工藝流程
材料選擇
1
根據加工要求選擇合適的材料

工具準備
2
選擇微小精密的加工工具

加工製程
3
利用高精度加工設備進行微米加工

表面處理
4
進行電化學拋光或離子淀積等表面處理

微機械加工的工藝流程一般包括材料選擇、工具準備、加工製程和表面處理等步驟。首先根據產品性能要
求選擇合適的材料 , 如硅、金屬或高分子材料等。然後準備高精度的微型加工工具 , 如微銑刀、微鑽頭等。
接下來利用高精度加工設備 , 如微銑床、微放電加工機等 , 進行微米級別的加工製造。最後採用電化學拋光、
離子淀積等方法來改善零件表面質量。整個工藝流程需要嚴格的參數控制和環境要求 , 以確保加工精度和
產品性能。
微機械加工的常用設備
微機械加工所需的主要設備包括微銑床、微放電加工機、微線切割機、微
激光加工機等。這些先進的加工設備不僅具有超高的精度和分辨率 , 而且可
以一次性生產大量微小零件。它們通常採用電腦數控 (CNC) 技術 , 可實現
自動化和高效生產。在微機械加工中 , 這些精密的數控加工設備是實現高品
質微件製造的關鍵。

除了主要加工設備 , 微機械加工還需要輔助設備 , 如高精度測量儀器、表面

處理設備、清洗設備等。這些設備能夠確保加工過程的精度、表面質量和
清潔度 , 是微機械加工不可或缺的組成部分。
微機械加工的材料選擇
硅基材料 金屬材料 高分子材料 複合材料

硅是微機械加工中最 金屬材料如不銹鋼、 聚合物材料如 為滿足特殊的性能要

常用的材料之一。它 鈦合金和鎳鈷合金等 PMMA 、聚碳酸酯 求 , 微機械加工也會
具有高度的晶體結構 也被廣泛用於微機械 和 SU-8 光刻膠等也 使用由兩種或多種材
和機械穩定性 , 能夠 加工。它們具有良好 被應用於微機械加工。 料組成的複合材料。
實現高精度的微米級 的機械性能和耐磨性 , 這些材料具有良好的 例如 , 碳纖維增強複
加工。此外 , 硅的加 適合製造各種微小機 成型性和化學穩定性 , 合材料具有高強度和
工工藝成熟 , 有利於 械零件。通過表面拋 適合用於製造微流體 低密度的特點 , 適用
大規模生產和批量製 光等工藝 , 可以進一 器件、微光學元件等。 於製造微小的結構零
造。 步提高金屬零件的精 與硅和金屬相比 , 高 件。
度和光潔度。 分子材料的加工成本
較低。
微機械加工的精度控制
微機械加工要求極高的加工精度 , 需要嚴格的參數控制和環境管理。在材料選擇、工具準備、加工過程和
後處理等各個環節都需要採取相應的措施 , 確保最終產品的尺寸精度、表面質量和性能可靠性。

如上圖所示 , 影響微機械加工精度的主要因素包括材料特性、加工工藝、機床精度和環境條件等。因此在
實際生產中 , 需要對這些關鍵因素進行嚴格控制 , 如選擇高純度和均勻的材料、優化加工參數、保證機床
的高精度運轉 , 並維持潔淨穩定的加工環境。通過系統的精度控制措施 , 才能夠確保微米級甚至納米級的
加工精度。
微機械加工的表面處理
微機械加工製造的零件表面通常需要進行額外的處理 , 以提高其性能和外觀。常見的表面處理技術包括電
化學拋光、離子淀積和薄膜沉積等。這些方法能夠有效地改善零件表面的粗糙度、淨度和硬度 , 使其達到
所需的規格要求。

在微機械加工中 , 電化學拋光是一種廣泛應用的表面處理技術。它利用電解液和電流 , 能夠高效地去除表面

的微小凹凸不平 , 獲得鏡面級的光滑表面。這種方法能夠很好地控制表面的幾何精度和光澤度 , 是製造高性
能微器件的關鍵步驟。
微機械加工的環境要求
微機械加工涉及極微小尺度的零件製造 , 對加工環境有嚴格的要求。為確保加工精度和產品品質 , 微機械加
工通常需要在潔淨無塵的環境中進行 , 以避免灰塵和雜質的污染。

1. 溫濕度控制：加工車間溫度和濕度必須嚴格控制在規定範圍內 , 以防止材料變形和加工精度的下降。
2. 振動控制：機床和加工設備必須置於避震基座上 , 以減少外部振動對加工精度的影響。
3. 淨化處理：車間採用高效空氣淨化系統 , 確保空氣潔淨度符合標準要求。同時加工過程中需要定期
清洗和保養設備。

4. 無塵管控：工作人員需穿戴無塵服和戴無塵帽 , 避免人體污染對加工產品造成影響。
微機械加工的未來發展趨勢
隨著科技的日新月異 , 微機械加工技術也在持續進步和創新。未來的發展趨勢包括進一步提升加工精度、
擴大應用範圍以及提高生產效率。預計將出現更多基於微米和納米加工技術的尖端產品 , 滿足市場對小型
化、高集成度和智能化的需求。

• 升級加工精度：微機械加工的精度水平將不斷提高 , 達到納米級別甚至亞納米級別。這需要開發更
加先進的加工設備和工藝技術 , 同時也對材料特性和環境控制提出更高要求。
• 擴大應用領域：微機械加工技術將在電子、光學、生物醫療、航空航天等領域得到更廣泛的應用。
同時也會衍生出新的前沿應用 , 如柔性電子、微流體裝置和微機器人等。
• 提升生產效率：微機械加工將實現更高程度的自動化和智能化 , 結合信息技術和工業 4.0 理念 , 大
幅提升生產效率和製造靈活性。未來微工廠和智能製造將成為主流趨勢。