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汽车传感器与测试技术

2024年7月2日 1
第十二章 新型传感器

2024年7月2日 星 2
 新型传感器是利用新效应、新材料及新的
加工工艺制造的传感器。

2024年7月2日 星 3
本节主要内容

一 光纤传感器
二 智能传感器
三 图像传感器
四 超声波传感器
五 气体浓度传感器

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§12.1 光纤传感器

 光 ( 导 ) 纤 ( 维 ) 是 20 世纪 70 年代的重要发
明之一,它与激光器、半导体探测器一起构成了
新的光学技术,创造了光电子学的新天地 ( 领域 )

 光纤传感器始于 1977 年,把待测量与光纤


内的导光联系起来就形成光纤传感器。
2024年7月2日 星 5
 特点:极高的灵敏度和准确度、固有的安全性、
特点:
良好的抗电磁干扰能力、高绝缘强
度、耐
高温、耐腐蚀、轻质、柔韧、宽频带。
 应用:机械、电子仪器仪表、航空航天、通讯、
应用:
生物医学、环保、食品、化工… …
 测量对象:电流磁场、电压电场、温度、速度、
测量对象:
振动、压力、射线、图像… …

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一、光纤传感器的基本知识
1. 光纤的结构

包层 外套
纤芯

注:不同类型的光纤材料的折射率分布有区别

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2. 光纤的分类
梯度光纤纤芯内的折射率不是常量,而是从
中心轴线开始沿径向大致按抛物线形状递减
1 )按折射率分布
,中心轴折射率最大。因此,光纤在纤芯中
传播时会自动地从折射率小的界面向中心会
阶跃型
折射率变化规律聚,光纤传播的轨迹类似正弦波形。梯度光
分类 纤又称为自聚焦光纤。

梯度型
阶跃光纤的纤芯与包层间的折射率阶跃变化的,
即纤芯内的折射率分布大体上是均匀的,包层内
的折射率分布也大体均匀,均可视为常数,但是
纤芯和包层的折射率不同,在界面上发生突变,
采用梯度型光纤时,光射入光纤后会自动地从
如图 所示。光线的传播,依靠光在纤芯和包层界
界面向轴心会聚,因此也称为聚焦光纤。
面上发生的内全反射现象。
2024 年7月2日 星 8
2 )按传输模式
光纤传输模式是指光波传播的途径和
方式。对于不同入射角度的光线,在界面反射的
次数是不同的,传递的光波之间的干涉所产生的
横向强度分布也是不同的,这就是传播模式不同

在光纤中传播模式很多不利于光信号的传
播,因为同一种光信号采取很多模式传播将使一部
分光信号分为多个不同时间到达接收端的小信号,
从而导致合成信号的畸变,因此希望光纤信号模式
数量要少。
2024年7月2日 星 9
一般纤芯直径为 2~12μm ,只能传
输一种模式称为单模光纤。这类光纤传输性能
好,信号畸变小,信息容量大,线性好, 灵敏
度高, 但由于纤芯尺寸小,制造、连接和耦合
都比较困难。
纤芯直径较大( 50~100μm ),传
输模式较多称为多模光纤,这类光纤的性能较
差,输出波形有较大的差异,但由于纤芯截面积
大,故容易制造,连接和耦合比较方便。
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3. 光纤的导光原理

光是一种电磁波 , 一般采用波动理论来分析导光的基本
原理。然而根据光学理论指出:在尺寸远大于波长而折
射率变化缓慢的空间 , 可以用“光线”即几何光学的方
法来分析光波的传播现象 , 这对于光纤中的多模光纤是
完全适用的。为此 , 采用几何光学的方法来分析。

2024年7月2日 星 11
斯乃尔定理( Snell's Law )指出:当光由光密物质
(折射率大)入射至光疏物质(折射率小)时,发生
折射,其折射角大于入射角。即 n1 > n2 时,  2 >
 1 。n 、 n 、  、  之间的数学关
1 2 2 1

系为 2
n1sin 1 =n2sin 2 n2
n1 1
可见,入射角  1 增
大时,折射角  2 也随之增大 (a) 光的折射示意图
,且始终 2 >  1 。
2024年7月2日 星 12
当 2 =90º 时, 1 仍< 90º ,此时,出射光线沿界面
传播如图( b ),称为临界状态(  1→ 10 )。这
时有 sin 2 = sin90º = 1 n2 2
n1 1
sin 10=n2/n1
临界角
(b) 临 界 状 态 示 意
10=arcsin(n2/n1)

当 1 > i0 并继续增大时, 2 n2 2

> 90º ,这时便发生全反射现 n1 1

象,如图 (c) ,其出射光不再 (c) 光全反射示意图


折射而全部反射回来。
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阶跃型光纤传光示意图

n2

1 n1
1
0
n0

sin  0 n1
1  C  arcsin  n2 n  sin 1

n0
?习题:  1

若空气的光折射率为 n0 ,要使光纤的入射
光在光纤纤芯内全反射,则
2024年7月2日 星  0 至多为多少 14
4. 光纤特性

1 )数值孔径
数值孔径反映纤芯接收光量的多少,是标志光纤接
收性能的一个重要参数。

2 )损耗:
光纤吸收损耗、散射损耗以及弯曲损耗等。定
义损耗系数 入射端光功率
10 P1
  lg ,L  光纤长度
L Po
出射端光功率
2024年7月2日 星 15
吸收损耗,目前常用的光纤材料有石英玻璃、多成
分玻璃、复合材料等。 在这些材料中,由于存在
杂质离子、原子的缺陷等都会吸收光,从而造成
材料损耗。
散射损耗,是由于材料密度及浓度不均匀引起的。
光纤拉制时粗细不均匀,造成纤维尺寸沿轴线变
化, 同样会引起光的散射损耗。另外纤芯和包层
界面的不光滑、污染等,也会造成严重的散射损
耗。
弯曲损耗是使用过程中可能产生的一种损耗。光纤
弯曲会引起传输模式的转换,激发高阶模进入包
层产生损耗。
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二、光纤传感器的结构及特性

1. 电流磁场、电压电场
功能型传感器:传感
 光纤传感器分类
型、探测型

(利用光纤本身的某种
2. 温度
敏感特性)
3. 速度
2. 非功能型传感器:传
4. 振动、压力
 光纤传感器可测参量 光型、结构型、强度
5. 型、混合型
射线
(6.光纤只作为传光介质
图像 )

2024年7月2日 星 17
以电为基础的传统传感器是一种把测量的
状态转变为可测的电信号的装置。它的电源、敏感元
件、信号接收和处理系统以及信息传输均用金属导线
连接,见图 (a) 。
光纤传感器则是一种把被测量的状态转变
为可测的光信号的装置。由光发送器、敏感元件 ( 光
纤或非光纤的 ) 、光接收器、信号处理系统以及光纤
构成,见图 (b) 。 电
源 导线 敏感元件
由光发送器发出的光经源光纤引 信号处理 信号接收
导至敏感元件。这时,光的某一 ( a )传统传感器
性质受到被测量的调制,已调光
光发送器
经接收光纤耦合到光接收器,使 光纤 敏感元件
信号处理 光接收器
光信号变为电信号,最后经信号
2024年7月2日 星
处理得到所期待的被测量。 ( b )光纤传感器 18
光纤传感器由光源、敏感元件(光纤或非光纤的)
、光探测器、信号处理系统以及光纤等组成。由光源发出的
光通过源光纤引到敏感元件,被测参数作用于敏感元件,在
光的调制区内,使光的某一性质受到被测量的调制,调制后
的光信号经接收光纤耦合到光探测器,将光信号转换为电信
号, 最后经信号处理得到所需要的被测量。

2024年7月2日 星 19
(1) 根据光纤在传感器中的作用
光纤传感器分为功能型、非功能型和拾光型三大类。
1 )功能型(全光纤型)光纤传感器
利用对外界信息具有敏感能力和检测能力的光纤 ( 或特殊光
纤 ) 作传感元件,将“传”和“感”合为一体的传感器。光纤
不仅起传光作用,而且还利用光纤在外界因素 ( 弯曲、相变 )
的作用下,其光学特性 ( 光强、相位、偏振态等 ) 的变化来实
现“传”和“感”的功能。因此,传感器中光纤是连续的。由
于光纤连续,增加其长度,可提高灵敏度。
光发送器

光纤敏感元件
信号处理 光受信器
2024年7月2日 星 20
2 )非功能型(或称传光型)光纤传感器
光纤仅起导光作用,只“传”不“感”,对外界信息的“感觉”
功能依靠其他物理性质的功能元件完成。光纤不连续。此类光纤
传感器无需特殊光纤及其他特殊技术,比较容易实现,成本低。
但灵敏度也较低,用于对灵敏度要求不太高的场合。
光发送器
光纤 敏感元件
信号处理 光受信器

3 )拾光型光纤传感器
用光纤作为探头,接收由被测 耦合器
光发送器
对象辐射的光或被其反射、散射的 光纤 被测对象
光。其典型例子如光纤激光多普勒 信号 光受
处理 信器
速度计、辐射式光纤温度传感器等
。 2024年7月2日 星 21
光纤传感器的基本结构
测 测
量 量
对 对
象 象

功能型 传光型

测 测
量 量
对 对
象 象

传光型 传光(拾光)型
2024年7月2日 星 22
( 2 )根据光受被测对象的调制形式
形式:强度调制型、偏振调制、频率调制、相位调制。
1 )强度调制型光纤传感器
是一种利用被测对象的变化引起敏感元件的折射率、吸收
或反射等参数的变化,而导致光强度变化来实现敏感测量的传感
器。有利用光纤的微弯损耗;各物质的吸收特性;振动膜或液晶
的反射光强度的变化;物质因各种粒子射线或化学、机械的激励
而发光的现象;以及物质的荧光辐射或光路的遮断等来构成压力
、振动、温度、位移、气体等各种强度调制型光纤传感器。
优点:结构简单、容易实现,成本低。
缺点:受光源强度波动和连接器损耗变化等影响较大 。
2024年7月2日 星 23
2 )偏振调制光纤传感器
是一种利用光偏振态变化来传递被测对象信息的传感
器。有利用光在磁场中媒质内传播的法拉第效应做成的电流、磁
场传感器;利用光在电场中的压电晶体内传播的泡尔效应做成的
电场、电压传感器;利用物质的光弹效应构成的压力、振动或声
传感器;以及利用光纤的双折射性构成温度、压力、振动等传感
器。这类传感器可以避免光源强度变化的影啊,因此灵敏度高。
3 )频率调制光纤传感器
是一种利用单色光射到被测物体上反射回来的光的频率发
生变化来进行监测的传感器。有利用运动物体反射光和散射光的
多普勒效应的光纤速度、流速、振动、压力、加速度传感器;利
用物质受强光照射时的喇曼散射构成的测量气体浓度或监测大气
污染的气体传感器;以及利用光致发光的温度传感器等。
2024年7月2日 星 24
4 )相位调制传感器
其基本原理是利用被测对象对敏感元件的作用,
使敏感元件的折射率或传播常数发生变化,而导致光
的相位变化,使两束单色光所产生的干涉条纹发生变
化,通过检测干涉条纹的变化量来确定光的相位变化
量,从而得到被测对象的信息。通常有利用光弹效应
的声、压力或振动传感器;利用磁致伸缩效应的电流
、磁场传感器;利用电致伸缩的电场、电压传感器以
及利用光纤赛格纳克( Sagnac )效应的旋转角速度
传感器(光纤陀螺)等。这类传感器的灵敏度很高。
但由于须用特殊光纤及高精度检测系统,因此成本高

2024年7月2日 星 25
2024年7月2日 星 26
四、产品

压力 应力

2024年7月2日 星 温度 27
温度、应变仪 分析仪

2024年7月2日 星 网络分析仪 28
§12.2 智能传感器
所谓智能传感器指带有微处理器的兼有信
息检测、信息处理 、逻辑思维与判断功
能的传感器。它具有人工智能。
( 1 )自诊断、自校准功能。
( 2 )多传感器多参数复合测量;
( 3 )数据可存取;
( 4 )具有数字通信接口,与计算机连接。

2024年7月2日 星 29
2024年7月2日 星 30
 1 )基于智能传感器的汽车轮胎压力监测系统

2024年7月2日 星 31
2 )汽车运行信息智能传感器测试系统

 ( 1 )驾驶员驾驶资质确认单元。
 ( 2 )驾驶员超速驾驶检测单元。
 ( 3 )驾驶员疲劳驾驶检测单元。
 ( 4 )车辆承重检测单元

2024年7月2日 星 32
2024年7月2日 星 33
§12.3 固态图像传感器

 固态图像传感器利用光敏单元的光电转换功能将
投射到光敏单元上的光学图像转换成电信号“图
像”,即将光强的空间分布转换为与光强成比例
的大小不等的电荷包空间分布。然后利用移位寄
存器的移位功能将这些电荷包在时钟脉冲控制下
实现读取与输出,形成一系列幅值不等的时序脉
冲序列

2024年7月2日 星 34
一 光电器件 - 电荷耦合器

2024年7月2日 星 35
基于 CCD 光电耦器件的输入
设备:数字摄像机、数字相
机、平板扫描仪、指纹机

2024年7月2日 星 36
二、电荷耦合器件的结构和工作原理

1. 基本结构
CCD 基本结构分两部分:
( 1 ) MOS (金属—氧化物—半导
体)
光敏元阵列;
电荷耦合器件是在半导体硅片上 显微镜下的 MOS 元表
制作成百上千(万)个光敏元, 面
一个光敏元又称一个像素,在半
导体硅平面上光敏元按线阵或面
阵有规则地排列。
年7月2日 星
( 2 )读出移位寄存器。
2024 CCD 结构示意图 37
MOS 电容

CCD 是由规则排列的金属—氧化物—半导体( Metal


Oxide Semiconductor,MOS )电容阵列组成。

Metal
Oxide
Semiconductor

2024年7月2日 星 38
2. 电荷耦合器件的工作原理

CCD
光信息 电脉冲

脉冲只反映一个光敏元的受光情况

脉冲幅度的高低反映该光敏元受光照的强弱

输出脉冲的顺序可以反映一个光敏元的位置

2024年7月2日 星 完成图像传感 39
信号电荷的产生

信号电荷的存贮
CCD 基本工作原
理 信号电荷的传输

信号电荷的检测

基本功能:电荷的存贮和转移

特点:以电荷作为信号
2024年7月2日 星 40
(1) 信号电荷的产生

光电导效应
2024年7月2日 星 41
(2) 信号电荷的存储

 当金属电极上加正电压时,
由于电场作用,电极下 P 型
硅区里空穴被排斥入地成耗
尽区。对电子而言,是一势
能很低的区域,称“势阱”
。有光线入射到硅片上时,
光子作用下产生电子—空穴
对,空穴被电场作用排斥出
耗尽区,而电子被附近势阱
(俘获),此时势阱内吸的
光子数与光强度成正比。

2024年7月2日 星 42
( 3 )电荷转移原理
读出移位寄存器
a.CCD 电荷耦合器件是以
电荷为信号。
b. 读出移位寄存器也是
MOS 结构。
c. 由三个十分邻近的电
极组成一个耦合单元 , 在
三个电极上分别施加脉冲
波三相时钟脉冲
Φ1Φ2Φ3 。

2024年7月2日 星 43
(4) 电荷耦合器信号输出

 CCD 信号电荷
的输出的方式
主要有电流输
出、电压输出
两种 , 以电压
输出型为例:
有浮置扩散放
大器( FDA )
、浮置栅放大
器( FGA )

2024年7月2日 星 44
三、 CCD 器件
1 、分类
CCD 器件分为线阵 CCD 和面阵 CCD ,结构上有多
种不同形式,如单沟道 CCD 、双沟道 CCD 、帧转移结
构 CCD 、行间转移结构 CCD 。
 线阵 CCD 结构
 线阵 CCD 传感器是由一列 MOS 光敏元和一列移位
寄存器并行构成。光敏元和移位寄存器之间有一个转
移控制栅, 1024 位线阵,由 1024 个光敏元 1024 个
读出移位寄存器组成。读出移位寄存器的输出端 Ga
一位位输出信息,这一过程是一个串行输出过程。
2024年7月2日 星 45
a. 线阵型

电荷输出控制波形

2024年7月2日 星 46
64 位线阵 CCD 结构

2024年7月2日 星 47
b .面型 CCD 图像传感器 b. 面阵电荷耦合器
面型 CCD 图像传感器由感光区、信号存储区和输出转移部
分组成。目前存在三种典型结构形式,如图所示。
图 (a) 所示结构由行扫描电路、垂直输出寄存器、感光区
和输出二极管组成。行扫描电路将光敏元件内的信息转移到水
平(行)方向上,由垂直方向的寄存器将信息转移到输出二极
管,输出信号由信号处理电路转换为视频图像信号。这种结构
易于引起图像模糊。

2024年7月2日 星 48
P1 沟阻
P2
二相驱动 视频输出 P3
感光区
检波二极管
析像单元
P1
P2










P3
存储区

感光区 视频输

P1
二相驱动 P2 输出栅
(a) P3
串行读出 (b)
2024年7月2日 星 49
图( b )所示结构增加了具有公共水平方向电极的不透
光的信息存储区。在正常垂直回扫周期内,具有公共水平方向
电极的感光区所积累的电荷同样迅速下移到信息存储区。在垂
直回扫结束后,感光区回复到积光状态。在水平消隐周期内,
存储区的整个电荷图像向下移动,每次总是将存储区最底部一
行的电荷信号移到水平读出器,该行电荷在读出移位寄存器中
向右移动以视频信号输出。当整帧视频信号自存储移出后,就
开始下一帧信号的形成。该 CCD 结构具有单元密度高、电极简
单等优点,但增加了存储器。

2024年7月2日 星 50
二相驱动 输出寄存器 检波二极管

视频输

垂直转移
寄存器

感光区

二相驱动

光栅报时钟

(c)
2024年7月2日 星 51
图 (c) 所示结构是用得最多的一种结构形式。它将图
(b) 中感光元件与存储元件相隔排列。即一列感光单元,一列
不透光的存储单元交替排列。在感光区光敏元件积分结束时,
转移控制栅打开,电荷信号进入存储区。随后,在每个水平回
扫周期内,存储区中整个电荷图像一次一行地向上移到水平读
出移位寄存器中。接着这一行电荷信号在读出移位寄存器中向
右移位到输出器件,形成视频信号输出。这种结构的器件操作
简单,但单元设计复杂,感光单元面积减小,图像清晰。
目前,面型 CCD 图像传感器使用得越来越多,所能生产的
产品的单元数也越来越多,最多已达 1024×1024 像元。我国也
能生产 512×320 像元的面型 CCD 图像传感器。
2024年7月2日 星 52
 对不同型号的 CCD 器件而言,其工作机理是相
同的。
 不同型号的 CCD 器件具有完全不同的外型结构
和驱动时序,在实际使用时必须加以注意。
 我们可以通过器件供货商或直接向生产厂家索
取相关资料,为 CCD 器件的应用提供技术支持

2024年7月2日 星 53
2 、特性参数(自学)
CCD 器件的物理性能可以用特性参数来描述
内部参数描述的是 CCD 存储和转移信号电荷
有关的特性 , 是器件理论设计的重要依据;
外部参数描述的是与 CCD 应用有关的性能指
标主要包括以下内容:电荷转移效率、转移损
失率、工作频率、电荷存储容量、灵敏度、分
辨率。

2024年7月2日 星 54
三、应用举例
 CCD 传感器应用时是将不同光源与透镜、镜头、
光导纤维、滤光镜及反射镜等各种光学元件结合
,主要用来装配轻型摄像机、摄像头、工业监视
器。
 CCD 应用技术是光、机、电和计算机相结合的高
新技术,作为一种非常有效的非接触检测方
法, CCD 被广泛用于在线检测尺寸、位移、速度
、定位和自动调焦等方面。

2024年7月2日 星 55
• 利用 CCD 测量几何量, CCD 诞生后,首先在工
业检测中制成测量长度的光电传感器,物体通过
物镜在 CCD 光敏元上造成影像, CCD 输出的脉
冲表征测量工件的尺寸或缺陷;
• 用于传真技术,文字、图象识别。例如用 CCD 识
别集成电路焊点图案,代替光点穿孔机的作用;
• 自动流水线装置,机床、自动售货机、自动监视
装置、指纹机;

2024年7月2日 星 56
§12.4
超声波传感器
一、概述
 基本原理:利用某种待测的非声量与某些描述媒质声学
基本原理:
特性的超声量之间存在着的直接或间接的关系。
 测量对象:密度、流量、液位、厚度、缺陷等
测量对象:

基于反射原理的示意图
2024年7月2日 星 57
1 、超声波及其基本特性
 波(动):振动在弹性介质内的传播称为波动。
次声波:低于 16 Hz 的机械波;
声波:其频率在 16~2×104 Hz 之间,能为人耳所闻的机械波;
频率:次声波、声波、超声波、微波

超声波:高于 2×104 Hz 的机械波;


微波:频率在 3×108~3×1011 Hz 之间的波;
次声波 声波 超声波 微波

音乐

语言 探测

10 1 10 2 10 3 10 4 10 5 10 6 10 7 f (H z)

2024年7月2日 星
声波频率界限图
58
2 、超声波的波型及其转换和波速
 纵波:质点的振动方向 1
L
与波的传播方向一致。 S1
L1
 2
(固、液、气)
 横波:质点的振动方向 介质 1 界面
垂直于波的传播方向。 介质

L2
(固) 2
 S2
 表面波:质点的振动介
于纵波和横波之间,沿
着表面传播,振幅随深 L— 入射纵波; L1 — 反射纵波; L2 — 折射纵
度增加而迅速衰减。 波

(固体表面) S1 — 反射横波; S2— 折射横波。


2024年7月2日 星 59
超声波的传播速度
取决于介质的弹性常数及介质的密度,与自身频率无关。
声速= 弹性率 密度

在固体介质中,纵波、横波、表面波三者的声速分别为
E 1 
c纵=
 (1   )(1-2  )
E 1 G E — 杨氏模量;
c横= =  — 泊松比;
 2(1   ) 
G — 剪切弹性模量。
G
c表面  0.9  0 .9 c 横

2024年7月2日 星 60
3 、超声波的反射和折

( 1 )反射定律
当波速一致时 入射波 反射波
= '
 ′

( 2 )折射定律 介质 1 界面

sin  c1 介质

 2
sin  c2 折射波

c1— 入射声波速; c2— 折射声波速

2024年7月2日 星 61
4 、声波的衰
减 超声波在一种介质中传播时,随着距离的增加,能量
逐渐衰减。其声压和声强的衰减规律为
P  P0 e x

I  I 0e  2x

P0 、 I0— 声波在 x=0 处的声压和声强;


P 、 I — 声波在 x 处的声压和声强;
 — 衰减系数。
 应用:工件的厚度、球墨铸铁的球化程度、泥浆
的浓度等。
2024年7月2日 星 62
5 、超声波与介质的相互作用
 机械效应
超声波可以引起质点的运动
 空化效应
一般表现在液体中微气泡的振动
 热效应
介质吸收超声波的能量

2024年7月2日 星 63
二、超声波传感器

1 、定义:
能够完成产生超声波和接收超声波功能的装置就是超
声波传感器,也称为超声波换能器获超声波探头。
 应用:超声波传播时间传感器、目标探测、流量测量、液
位测量、超声清洗、超声医疗等。
 特点:精度高,被测物体不受影响。

2024年7月2日 星 64
2 、分类
 结构:直探头、斜探头、双探头和液浸探头
 工作原理:压电式、磁致伸缩式、电磁式

2024年7月2日 星 65
3 、压电式探
头
超声波传感器大多数利用压电材料制成,逆压电效应将
电振动转换成机械振动产生超声波,作为发射探头;正
压电效应将超声波转换成电信号,作为接收探头。
 压电探头主要通过压电晶片将超声振动转换为电信号

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三、超声波传感器的应用
1 、超声波测厚
脉冲回波法:

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2 、液位测
量 通过测量发射和接收信号之间的时间差测距离。

超声波物位传感器检测框图
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液位计

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3 、超声波探伤
 穿透法探伤:
穿透法探伤是根据超声波穿透工件后能量的
变化情况来判断工件内部质量。
 反射法探伤:
反射法探伤是根据超声波在工件中反射情况的不同
来探测工件内部是否有缺陷。它又分为一次脉冲反射法
和多次脉冲反射法两种。

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穿透法探伤
 优点:指示简单,适
用于自动探伤;可避
免盲区,适宜探测薄
板。
 缺点:探测灵敏度较
低,不能发现小缺陷;
根据能量的变化可判
断有无缺陷,但不能
定位;对两探头的相
对位置要求较高。

穿透法探伤原理

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本章要点:

1 、光纤传感器的基本原理;
2 、 CCD 的基本原理;
3 、超声波传感器的基本原理。

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