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E84 Information Upload System Architecture20230109
E84 Information Upload System Architecture20230109
system architecture
l
• 環境介紹
• SECS 命令
e nti a
fi d
• EVEN ID
C
• ALARM ID
on
• 操作範例一 : 帳戶登入
• SECS MODE
環境介紹
頁面選擇
LP 狀態
al
1. Out of service
ti
2. READY_TO_LOAD
n
3. READY_TO_UNLO
e
AD
d
模式切換 ( 帳號密碼 ) 4. TRANSFER_BLOCK
fi
1.Admin
n
ED
o
2.Management 5. AUTO_MODE
C
3.USER 6. MANU_MODE
TAG 讀取信息
異常訊息
環境介紹
nti al
e
Load Port 1~4
d
LIGHT CLAMP
fi
訊號變化燈號
E84 設定欄
1.AUTO MODE
2.MANUAL MODE
3.ALARM RESET
4.VERSION E84 韌體版本
C on
E84 訊息欄
環境介紹
nti al
nfi d e
E84 IR 燈號
C o 機台 PSPL 燈號
環境介紹
nti al
LOADPORT
ALARM TEST
SECS 訊息 C o
畫面清除
環境介紹
al
LF-RFID
ti
PORT 1~4
e n
PAGE 1~17
d
寫入 8 個資料
nfi
RFID 訊息欄
UHF-RFID
PORT 1~4
天線 DB 值
寫入 12 個資料
讀出 12 個資料
C o
寫訊息給 TAP
TAP 告知訊息
環境介紹
SECS 設定
nti al決定是否開啟
e
IP 程式自動啟動
d
PORT
fi
DEVICE ID
n
TOOL_ID
LOPORT 設定
COM PORT
ENABLE 程式自動啟動 C o 決定 LOAD
PORT 使用哪
種 RFID
RFID PORT
S1F1
al
• S1F1 類型如下
• Receive S1F2(13569720).S1F2
• <L[2]
d e nti
fi
• <A[4] "UTMC">
on
• <A[15] "Version 1.0.0.0">
C
• >.
S1F13
al
• 21:39:46.029: Receive S1F13(65537).
ti
• S1F13 W<L[2]
n
• <A[4] "UTMC">
d e
• <A[15] "Version 1.0.0.0">
fi
• >.
on
• 21:39:46.042: Send S1F14(65537).S1F14
C
• <L[2]
• <B[1] 0x00>
• <L[0] >
• >.
SECS EVEN
• EVEN S6F11 類型如下
•<L [3]
al
•<U4 DATAID> DATAID
ti
•<U4 CEID> Collection Event ID
e n
•<L[1]
d
•<L [2]
nfi
•<U4 RPTID1> Report ID
o
•<L[8]
C
•<A”TOOL_ID ”>
•<A”Message”>
•<U4 PTN>
•<U1 Control mode>
•<U1 access>
•<U1 status>
•<U1 Safety >
•<U1 PSPL>
• SECS 資訊 HSMS SECS 過程資訊紀錄
S6F11 RPID 100
al
CEID CEID 說明
e nti
LOAD_COMPLTED 35001
fi d
UNLOAD_COMPLTED 35002 E84 Auto mode -> OHT 取貨成功時
on
E87_CE_LPTSM_SCT8_READY_LOAD 33001 判斷機況可下貨
C
E87_CE_LPTSM_SCT8_READY_LOAD
E87_CE_LPTSM_SCT9_READY_UNLOAD 33002 判斷機況可取貨
E87_CE_LPTSM_SCT9_READY_UNLOAD
E87_CE_LPTSM_SCT6_TRANSFER_BLOCKED 33003 該 Port 暫時不能接受上下貨命令
E87_CE_LPTSM_SCT6_TRANSFER_BLOCKED
E87_CE_LPTSM_SCT7_TRANSFER_BLOCKED 33004 該 Port 暫時不能接受上下貨命令
E87_CE_LPTSM_SCT7_TRANSFER_BLOCKED
l
CEID CEID 說明
ti a
CLAMP_ON 35003 CLAMP ON
CLAMP_OFF 35004
d
CLAMP OFF
fi e n
n
OHT_Communication 33005 OHT Communication Change State
C o
Reset_Alarm 35043 Reset Alarm
l
• EVEN S6F11 類型如下
a
•<L [3]
nti
•<U4 DATAID> DATAID
e
•<U4 CEID> Collection Event ID
fi d
•<L[1]
n
•<L [2]
C o
•<U4 RPTID1> Report ID
•<L[4]
•<A”TOOL_ID ”>
•<U4 PTN> Loadport number 100
•<A “01”> rfid page number
•<A “12345678”> rfid value data
S6F11 RPID 101
l
CEID CEID 說明
ti a
REPORT PORT1 40001 回報 PORT 1 RFID 數值
d
回報 PORT 2 RFID 數值
fi e n
n
REPORT PORT3 40003 回報 PORT 3 RFID 數值
C o
REPORT PORT4 40004 回報 PORT 4 RFID 數值
SVID LIST
Value name SVID Format Description
al
1-> Equipment Offline
Control mode 80001 U1
ti
5-> Online Remote
d e n
0-> Unknown
Loadport 1 access mode 80101 U1 1-> Auto
fi
2-> Manual
n
0-> Out of Service
o
1-> Transfer blocked
C
Loadport 1 status 80102 U1
2-> Ready
(Unlock/ LP 可安全控制升降 )
0-> Safe(OHT 交握完畢 )
Port 1 Safety( 可否動作 ) 80104 U1
1-> Not Safe(OHT 交握中 )
0-> Unknown
Loadport 2 access mode 80201 U1 1-> Auto
2-> Manual
0-> Out of Service
1-> Transfer blocked
Loadport 2 status 80202 U1
2-> Ready
(Unlock/ LP 可安全控制升降 )
0-> Safe(OHT 交握完畢 )
Port 2 Safety( 可否動作 ) 80204 U1
1-> Not Safe(OHT 交握中 )
SVID LIST
Value name SVID Format Description
l
0-> Unknown
a
Loadport 3 access mode 80301 U1 1-> Auto
2-> Manual
nti
0-> Out of Service
e
1-> Transfer blocked
d
Loadport 3 status 80302 U1
2-> Ready
fi
(Unlock/ LP 可安全控制升降 )
on
0-> Safe(OHT 交握完畢 )
Port 3 Safety( 可否動作 ) 80304 U1
C
1-> Not Safe(OHT 交握中 )
0-> Unknown
Loadport 4 access mode 80401 U1 1-> Auto
2-> Manual
l
ALID CEID 說明
ti a
RFID LFD READ 9527 Can't Find Tag
fi d e n
Can't Find Tag
n
RFID UFD READ 9529 Can't Find Tag
C o
RFID UFD WRITE 9530 Can't Find Tag
S3F27 - Change Access Request (CAR) H→E
• Structure S3F27
l
• S3F27 W
a
• <L [2]
nti
•<U1 ACCESSMODE> ACCESSMODE CODE
e
•<L[1]
fi d
•<U1 PTN> Port Number
n
• >
C o
• The Host sends this message to change the AccessMode of single port.
• ACCESSMODE (U1) specifies the desired new Access Mode
• 1= Auto
• 0 = Manual
• PTN specifies a desired port number, only a single port can be changed at one time.
• 1= Port 1
• 2 = Port 2
• 3 = Port 3
• 4 = Port 4
S3F28 - Change Access Request Acknowledge (CARA) H←E
• S3F28 W
l
• <L [2]
a
• < U1 CAACK> Carrier Action Acknowledge Code
nti
• < L[n]
e
< L3
d
•
fi
• < A PTN > Material port number
n
< A ERRCODE > Code identifying an error
o
•
C
• < A ERRTEXT > Text describing an error
• >
• >
• >
• If CAACK is 0 and please ignore error list, and if not, please check the Error Text.
S3F29 – Read Tag (CAR) H→E
l
• S6F11
a
• S3F29
• <L[3]
ti
• <L[4]
n
• <U4[1] 1>
e
• <A[5] “LP1">
d
• <U4[1] 40001>
<A[18]
fi
•
“CarrierTagReadData"> • <L[2]
on
• <A[1] "1"> • <U4[1] 101>
C
• <U4[1] 12> • <L[4]
• > • <A[6] "ABCD01">
• . • <U1[1] 1>
• <A[2] "01">
• <A[12] "2123456789ab">
• >
• >
• >
• .
S5F1 ALARM( H←E)
• S5F1
al
• <L[3]
nti
• <B[1] 0x80> ALCD: alarm code byte,128 alarm is set, bit field use is
d e
deprecated
nfi
• <U4[1] 9527> ALID: Alarm type ID
C o
• <A[25] “RFID Can't Find Tag"> ALTX:alarm text
• >
S5F1 ALARM( H←E)
• S5F1
l
• <L[3]
a
• <B[1] 0x80> ALCD: alarm code byte,128 alarm is set, bit field use is
ti
deprecated
e n
• <U4[1] 1> ALID: Alarm type ID
d
<A[16] "Load Port1 Alarm"> ALTX: Alarm text
fi
•
n
• >
C o
S5F1 ALARM
Alarm ID CEID 說明
al
READ RFID FAIL 9527 RFID ALARM
ti
WRITE RFID FAIL 9528 RFID ALARM
n
0~0x500D
E84 ALARM E84 alarm number
d e
E84 ALARM 0x0000
自動模式 Ready to Unload 時 ES OFF ERROR
fi
E84 ALARM 0x0001 自動模式 Ready to Unload 時 Clamp ON 。
n
E84 ALARM 0x0002 自動模式 Ready to Unload 時 EQ ERROR
o
E84 ALARM 0x0003 自動模式 Ready to Unload 時 Light Curtain ERROR
C
E84 ALARM 0x0004 自動模式 Ready to Unload 時 PS ON (任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x0005 自動模式 Ready to Unload 時 PL ON (任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x0006 自動模式 Ready to Unload 時 沒設定 PS PL
E84 ALARM 0x0007 Unload 流程︰ GO ON 時, Signal Error
E84 ALARM 0x0008 Unload 流程︰ GO ON , Signal Error 1
E84 ALARM 0x0009 Unload 流程︰ GO ON , Signal Error 2
E84 ALARM 0x000A Unload 流程︰ GO ON , Signal Error 3
E84 ALARM 0x000B Unload 流程︰ GO ON , Signal Error 4
E84 ALARM 0x000C Unload 流程︰ GO ON , Signal Error 8
E84 ALARM 0x000D Unload 流程︰ GO ON ,『 Clamp ON 』
l
E84 ALARM 0x0011
a
Unload 流程︰ GO ON ,『 PL OFF 』(任 1 顆觸發)
ti
E84 ALARM 0x0014 Unload 流程︰ CS_0 ON ,『 OHT PIO 離線』
n
E84 ALARM 0x0015 Unload 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 1
e
E84 ALARM 0x0016 Unload 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 2
E84 ALARM 0x0017 Unload 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 3
d
E84 ALARM 0x0018 Unload 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 4
fi
E84 ALARM 0x0019 Unload 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 5
n
E84 ALARM 0x001A Unload 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 6
o
E84 ALARM 0x001B Unload 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 7
C
E84 ALARM 0x001C Unload 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 8
E84 ALARM 0x001D Unload 流程︰ CS_0 ON ,『 Clamp ON 』
E84 ALARM 0x001E Unload 流程︰ CS_0 ON ,『 EQ_ER ON 』
E84 ALARM 0x001F Unload 流程︰ CS_0 ON ,『 Light Curtain ON 』
E84 ALARM 0x0020 Unload 流程︰ CS_0 ON ,『 PS ON 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x0021 Unload 流程︰ CS_0 ON ,『 PL ON 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x0035 Unload 流程︰ U_REQ ON ,『 OHT PIO 離線』
E84 ALARM 0x0036 Unload 流程︰ U_REQ ON , Signal Error 1
E84 ALARM 0x0037 Unload 流程︰ U_REQ ON , Signal Error 2
al
E84 ALARM 0x003C Unload 流程︰ U_REQ ON , Signal Error 7
E84 ALARM 0x003D Unload 流程︰ U_REQ ON , Signal Error 8
ti
E84 ALARM 0x003E Unload 流程︰ U_REQ ON ,『 Clamp ON 』
n
E84 ALARM 0x003F Unload 流程︰ U_REQ ON ,『 EQ_ER ON 』
e
E84 ALARM 0x0040 Unload 流程︰ U_REQ ON ,『 Light Curtain ON 』
d
E84 ALARM 0x0041
fi
Unload 流程︰ U_REQ ON ,『 PS OFF 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x0042
n
Unload 流程︰ U_REQ ON ,『 PL OFF 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x0056
o
Unload 流程︰ READY ON ,『 OHT PIO 離線』
E84 ALARM 0x0057
C
Unload 流程︰ READY ON , Signal Error 1
E84 ALARM 0x0058 Unload 流程︰ READY ON , Signal Error 2
E84 ALARM 0x0059 Unload 流程︰ READY ON , Signal Error 3
E84 ALARM 0x005A Unload 流程︰ READY ON , Signal Error 4
E84 ALARM 0x005B Unload 流程︰ READY ON , Signal Error 5
E84 ALARM 0x005C Unload 流程︰ READY ON , Signal Error 6
E84 ALARM 0x005D Unload 流程︰ READY ON , Signal Error 7
E84 ALARM 0x005E Unload 流程︰ READY ON , Signal Error 8
E84 ALARM 0x005F Unload 流程︰ READY ON ,『 Clamp ON 』
E84 ALARM 0x0060 Unload 流程︰ READY ON ,『 EQ_ER ON 』
E84 ALARM 0x0061 Unload 流程︰ READY ON ,『 Light Curtain ON 』
E84 ALARM 0x0062 Unload 流程︰ READY ON ,『 PS OFF 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x0063 Unload 流程︰ READY ON ,『 PL OFF 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x0066
Unload 流程︰ BUSY ON ,『 OHT PIO 離線』
S5F1 alarm
Alarm ID CEID 說明
al
E84 ALARM 0x0067 Unload 流程︰ BUSY ON , Signal Error 1
ti
E84 ALARM 0x0068 Unload 流程︰ BUSY ON , Signal Error 2
n
E84 ALARM 0x0069 Unload 流程︰ BUSY ON , Signal Error 3
e
E84 ALARM 0x006A
Unload 流程︰ BUSY ON , Signal Error 4
d
E84 ALARM 0x006B Unload 流程︰ BUSY ON , Signal Error 5
E84 ALARM 0x006C
fi
Unload 流程︰ BUSY ON , Signal Error 6
E84 ALARM 0x006D
n
Unload 流程︰ BUSY ON , Signal Error 8
E84 ALARM 0x006E
o
Unload 流程︰ BUSY ON ,『 ES OFF 』
E84 ALARM 0x006F
C
Unload 流程︰ BUSY ON ,『 Clamp ON 』
E84 ALARM 0x0070 Unload 流程︰ BUSY ON ,『 EQ_ER ON 』
E84 ALARM 0x0071 Unload 流程︰ BUSY ON ,『 Light Curtain ON 』
E84 ALARM 0x0084 Unload 流程︰ U_REQ OFF ,『 OHT PIO 離線』
E84 ALARM 0x0085
Unload 流程︰ U_REQ OFF , Signal Error 1
E84 ALARM 0x0086 Unload 流程︰ U_REQ OFF , Signal Error 2
E84 ALARM 0x0087 Unload 流程︰ U_REQ OFF , Signal Error 3
E84 ALARM 0x0088 Unload 流程︰ U_REQ OFF , Signal Error 4
E84 ALARM 0x008B Unload 流程︰ U_REQ OFF , Signal Error 8
E84 ALARM 0x008C Unload 流程︰ U_REQ OFF ,『 Clamp ON 』
E84 ALARM 0x008D Unload 流程︰ U_REQ OFF ,『 EQ_ER ON 』
E84 ALARM 0x008E Unload 流程︰ U_REQ OFF ,『 Light Curtain ON 』
E84 ALARM 0x008F Unload 流程︰ U_REQ OFF ,『 PS ON 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x0090 Unload 流程︰ U_REQ OFF ,『 PL ON 』(任 1 顆觸發)
S5F1 alarm
l
Alarm ID CEID 說明
a
E84 ALARM 0x00B2 Unload 流程︰ READY OFF ,『 OHT PIO 離線』
ti
E84 ALARM 0x00B4 Unload 流程︰ READY OFF , Signal Error 1
n
E84 ALARM 0x00B5 Unload 流程︰ READY OFF , Signal Error 2
e
E84 ALARM 0x00B6 Unload 流程︰ READY OFF , Signal Error 3
d
E84 ALARM 0x00B7 Unload 流程︰ READY OFF , Signal Error 8
fi
E84 ALARM 0x00B8 Unload 流程︰ READY OFF ,『 Clamp ON 』
n
E84 ALARM 0x00B9 Unload 流程︰ READY OFF ,『 EQ_ER ON 』
o
E84 ALARM 0x00BA Unload 流程︰ READY OFF ,『 Light Curtain ON 』
C
E84 ALARM 0x00BB Unload 流程︰ READY OFF ,『 PS OFF 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x00BC
Unload 流程︰ READY OFF ,『 PL OFF 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x1000 自動模式 Ready to Load 時 ES OFF ERROR
E84 ALARM 0x1001 自動模式 Ready to Load 時 Clamp ON 。
E84 ALARM 0x1002 自動模式 Ready to Load 時 EQ ERROR
E84 ALARM 0x1003 自動模式 Ready to Load 時 Light Curtain ERROR
E84 ALARM 0x1004 自動模式 Ready to Load 時 PS ON (任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x1005
自動模式 Ready to Load 時 PL ON (任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x1007
Load 流程︰ GO ON , Signal Error 1
E84 ALARM 0x1008 Load 流程︰ GO ON , Signal Error 2
E84 ALARM 0x1009 Load 流程︰ GO ON , Signal Error 3
E84 ALARM 0x100A Load 流程︰ GO ON , Signal Error 4
E84 ALARM 0x100B
Load 流程︰ GO ON , Signal Error 5
E84 ALARM 0x100C
Load 流程︰ GO ON , Signal Error 8
S5F1 alarm
l
Alarm ID CEID 說明
a
E84 ALARM 0x100D Load 流程︰ GO ON ,『 Clamp ON 』
ti
E84 ALARM 0x100E Load 流程︰ GO ON ,『 EQ_ER ON 』
n
E84 ALARM 0x100F Load 流程︰ GO ON ,『 Light Curtain ON 』
e
E84 ALARM 0x1010 Load 流程︰ GO ON ,『 PS ON 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x1011
d
Load 流程︰ GO ON ,『 PL ON 』(任 1 顆觸發)
fi
E84 ALARM 0x1014 Load 流程︰ CS_0 ON ,『 OHT PIO 離線』
E84 ALARM 0x1015
n
Load 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 1
E84 ALARM 0x1016
o
Load 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 2
E84 ALARM 0x1017 Load 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 3
C
E84 ALARM 0x1018 Load 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 4
E84 ALARM 0x1019
Load 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 5
E84 ALARM 0x101A Load 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 6
E84 ALARM 0x101B Load 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 7
E84 ALARM 0x101C Load 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 8
E84 ALARM 0x101D Load 流程︰ CS_0 ON ,『 Clamp ON 』
E84 ALARM 0x101E Load 流程︰ CS_0 ON ,『 EQ_ER ON 』
E84 ALARM 0x101F Load 流程︰ CS_0 ON ,『 Light Curtain ON 』
E84 ALARM 0x1020 Load 流程︰ CS_0 ON ,『 PS ON 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x1021
Load 流程︰ CS_0 ON ,『 PL ON 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x1035 Load 流程︰ L_REQ ON ,『 OHT PIO 離線』
E84 ALARM 0x1036
Load 流程︰ L_REQ ON , Signal Error 1
S5F1 alarm
l
Alarm ID CEID 說明
a
E84 ALARM 0x1037 Load 流程︰ L_REQ ON , Signal Error 2
ti
E84 ALARM 0x1038 Load 流程︰ L_REQ ON , Signal Error 3
n
E84 ALARM 0x1039 Load 流程︰ L_REQ ON , Signal Error 4
e
E84 ALARM 0x103A Load 流程︰ L_REQ ON , Signal Error 5
d
E84 ALARM 0x103B Load 流程︰ L_REQ ON , Signal Error 6
fi
E84 ALARM 0x103C Load 流程︰ L_REQ ON , Signal Error 7
n
E84 ALARM 0x103D Load 流程︰ L_REQ ON , Signal Error 8
o
E84 ALARM 0x103E Load 流程︰ L_REQ ON ,『 Clamp ON 』
C
E84 ALARM 0x103F Load 流程︰ L_REQ ON ,『 EQ_ER ON 』
E84 ALARM 0x1040 Load 流程︰ L_REQ ON ,『 Light Curtain ON 』
E84 ALARM 0x1041 Load 流程︰ L_REQ ON ,『 PS ON 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x1042 Load 流程︰ L_REQ ON ,『 PL ON 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x1056 Load 流程︰ READY ON 時,『 OHT PIO 離線』
E84 ALARM 0x1057 Load 流程︰ READY ON , Signal Error 1
E84 ALARM 0x1058 Load 流程︰ READY ON , Signal Error 2
E84 ALARM 0x1059
Load 流程︰ READY ON , Signal Error 3
E84 ALARM 0x105A Load 流程︰ READY ON , Signal Error 4
E84 ALARM 0x105B
Load 流程︰ READY ON , Signal Error 5
E84 ALARM 0x105C Load 流程︰ READY ON , Signal Error 6
E84 ALARM 0x105D
Load 流程︰ READY ON , Signal Error 7
E84 ALARM 0x105E Load 流程︰ READY ON , Signal Error 8
S5F1 alarm
Alarm ID CEID 說明
al
E84 ALARM 0x105F
Load 流程︰ READY ON ,『 Clamp ON 』
ti
E84 ALARM 0x1060 Load 流程︰ READY ON ,『 EQ_ER ON 』
E84 ALARM 0x1061 Load 流程︰ READY ON ,『 Light Curtain ON 』
n
E84 ALARM 0x1062
e
Load 流程︰ READY ON ,『 PS ON 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x1063 Load 流程︰ READY ON ,『 PL ON 』(任 1 顆觸發)
d
E84 ALARM 0x1066 Load 流程︰ BUSY ON ,『 OHT PIO 離線』
fi
E84 ALARM 0x1067 Load 流程︰ BUSY ON , Signal Error 1
n
E84 ALARM 0x1068 Load 流程︰ BUSY ON , Signal Error 2
o
E84 ALARM 0x1069 Load 流程︰ BUSY ON , Signal Error 3
C
E84 ALARM 0x106A Load 流程︰ BUSY ON , Signal Error 4
E84 ALARM 0x106B Load 流程︰ BUSY ON , Signal Error 5
E84 ALARM 0x106C Load 流程︰ BUSY ON , Signal Error 6
E84 ALARM 0x106D Load 流程︰ BUSY ON , Signal Error 7
E84 ALARM 0x106E Load 流程︰ BUSY ON , Signal Error 8
E84 ALARM 0x106F Load 流程︰ BUSY ON ,『 Clamp ON 』
E84 ALARM 0x1070 Load 流程︰ BUSY ON ,『 EQ_ER ON 』
E84 ALARM 0x1071 Load 流程︰ BUSY ON ,『 Light Curtain ON 』
E84 ALARM 0x1084 Load 流程︰ L_REQ OFF 等待 BUSY OFF 時,『 OHT PIO 離線』
E84 ALARM 0x1085 Load 流程︰ L_REQ OFF , Signal Error 1
E84 ALARM 0x1086 Load 流程︰ L_REQ OFF , Signal Error 2
E84 ALARM 0x1087 Load 流程︰ L_REQ OFF , Signal Error 3
E84 ALARM 0x1088 Load 流程︰ L_REQ OFF , Signal Error 4
E84 ALARM 0x1089 Load 流程︰ L_REQ OFF , Signal Error 5
S5F1 alarm
Alarm ID CEID 說明
al
E84 ALARM 0x108A Load 流程︰ L_REQ OFF , Signal Error 6
E84 ALARM 0x108B
ti
Load 流程︰ L_REQ OFF , Signal Error 8
n
E84 ALARM 0x108C
Load 流程︰ L_REQ OFF ,『 Clamp ON 』
e
E84 ALARM 0x108D Load 流程︰ L_REQ OFF ,『 EQ_ER ON 』
d
E84 ALARM 0x108E Load 流程︰ L_REQ OFF ,『 Light Curtain ON 』
fi
E84 ALARM 0x108F Load 流程︰ L_REQ OFF ,『 PS OFF 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x1090
n
Load 流程︰ L_REQ OFF ,『 PL OFF 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x10B2
o
Load 流程︰ READY OFF 等待 CS_0 OFF 時,『 OHT PIO 離線』
E84 ALARM 0x10B4
C
Load 流程︰ READY OFF , Signal Error 1
E84 ALARM 0x10B5 Load 流程︰ READY OFF , Signal Error 2
E84 ALARM 0x10B6 Load 流程︰ READY OFF , Signal Error 3
E84 ALARM 0x10B7 Load 流程︰ READY OFF , Signal Error 8
E84 ALARM 0x10B8 Load 流程︰ READY OFF ,『 Clamp ON 』
E84 ALARM 0x10B9 Load 流程︰ READY OFF ,『 EQ_ER ON 』
E84 ALARM 0x10BA Load 流程︰ READY OFF ,『 Light Curtain ON 』
E84 ALARM 0x10BB Load 流程︰ READY OFF ,『 PS OFF 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x10BC Load 流程︰ READY OFF ,『 PL OFF 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x2000 UtoLoad 流程︰ BUSY ON + CONT ON ,『 OHT PIO 離線』
E84 ALARM 0x2001 UtoLoad 流程︰ BUSY ON + CONT ON , Signal Error 1
E84 ALARM 0x2002 UtoLoad 流程︰ BUSY ON + CONT ON , Signal Error 2
E84 ALARM 0x2003
UtoLoad 流程︰ BUSY ON + CONT ON , Signal Error 3
S5F1 alarm
Alarm ID CEID 說明
al
E84 ALARM 0x2004 UtoLoad 流程︰ BUSY ON + CONT ON , Signal Error 4
ti
E84 ALARM 0x2005 UtoLoad 流程︰ BUSY ON + CONT ON , Signal Error 5
n
E84 ALARM 0x2006 UtoLoad 流程︰ BUSY ON + CONT ON , Signal Error 6
e
E84 ALARM 0x2007 UtoLoad 流程︰ BUSY ON + CONT ON , Signal Error 8
d
E84 ALARM 0x2009 UtoLoad 流程︰ BUSY ON + CONT ON , Signal Error
fi
E84 ALARM 0x200A UtoLoad 流程︰ BUSY ON + CONT ON ,『 Clamp ON 』
E84 ALARM 0x200B UtoLoad 流程︰ BUSY ON + CONT ON ,『 EQ_ER ON 』
n
E84 ALARM 0x200C UtoLoad 流程︰ BUSY ON + CONT ON ,『 Light Curtain ON 』
o
E84 ALARM 0x2020 UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF ,『 OHT PIO 離線』
C
E84 ALARM 0x2021 UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF , Signal Error 1
E84 ALARM 0x2022 UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF , Signal Error 2
E84 ALARM 0x2023 UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF , Signal Error 3
E84 ALARM 0x2024 UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF , Signal Error 4
E84 ALARM 0x2028 UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF , Signal Error 8
E84 ALARM 0x2029
UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF ,『 Clamp ON 』
E84 ALARM 0x202A UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF ,『 EQ_ER ON 』
E84 ALARM 0x202B UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF ,『 Light Curtain ON 』
E84 ALARM 0x202C
UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF ,『 PS ON 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x202D
UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF ,『 PL ON 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x204F
UtoLoad 流程︰ READY OFF ,『 OHT PIO 離線』
E84 ALARM 0x2050 UtoLoad 流程︰ READY OFF , Signal Error 1
E84 ALARM 0x2051 UtoLoad 流程︰ READY OFF , Signal Error 2
S5F1 alarm
Alarm ID CEID 說明
al
E84 ALARM 0x2052 UtoLoad 流程︰ READY OFF , Signal Error 3
E84 ALARM 0x2053
ti
UtoLoad 流程︰ READY OFF , Signal Error 4
E84 ALARM 0x2054 UtoLoad 流程︰ READY OFF , Signal Error 5
n
E84 ALARM 0x2055 UtoLoad 流程︰ READY OFF , Signal Error 8
e
E84 ALARM 0x2056 UtoLoad 流程︰ READY OFF ,『 Clamp ON 』
d
E84 ALARM 0x2057 UtoLoad 流程︰ READY OFF ,『 EQ_ER ON 』
fi
E84 ALARM 0x2058 UtoLoad 流程︰ READY OFF ,『 Light Curtain ON 』
n
E84 ALARM 0x2059 UtoLoad 流程︰ READY OFF ,『 PS ON 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x205A UtoLoad 流程︰ READY OFF ,『 PL ON 』(任 1 顆觸發)
o
E84 ALARM 0x205F UtoLoad 流程︰等待 CS_0 ON , Signal Error 1
C
E84 ALARM 0x2060 UtoLoad 流程︰等待 CS_0 ON , Signal Error 2
E84 ALARM 0x2061 UtoLoad 流程︰等待 CS_0 ON , Signal Error 3
E84 ALARM 0x2062 UtoLoad 流程︰等待 CS_0 ON , Signal Error 4
E84 ALARM 0x2063 UtoLoad 流程︰等待 CS_0 ON , Signal Error 5
E84 ALARM 0x2064 UtoLoad 流程︰等待 CS_0 ON , Signal Error 8
E84 ALARM 0x2065 UtoLoad 流程︰等待 CS_0 ON ,『 Clamp ON 』
E84 ALARM 0x2066 UtoLoad 流程︰等待 CS_0 ON ,『 EQ_ER ON 』
E84 ALARM 0x2067 UtoLoad 流程︰等待 CS_0 ON ,『 Light Curtain ON 』
E84 ALARM 0x2068 UtoLoad 流程︰等待 CS_0 ON ,『 PS ON 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x2069 UtoLoad 流程︰等待 CS_0 ON ,『 PL ON 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x206C UtoLoad 流程︰ CS_0 ON ,『 OHT PIO 離線』
E84 ALARM 0x206D UtoLoad 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 1
E84 ALARM 0x206E UtoLoad 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 2
E84 ALARM 0x206F UtoLoad 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 3
S5F1 alarm
Alarm ID CEID 說明
al
E84 ALARM 0x2070 UtoLoad 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 4
E84 ALARM 0x2071
ti
UtoLoad 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 5
E84 ALARM 0x2072
n
UtoLoad 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 6
E84 ALARM 0x2073 UtoLoad 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 7
e
E84 ALARM 0x2074 UtoLoad 流程︰ CS_0 ON , Signal Error 8
d
E84 ALARM 0x2075 UtoLoad 流程︰ CS_0 ON ,『 Clamp ON 』
fi
E84 ALARM 0x2076 UtoLoad 流程︰ CS_0 ON ,『 EQ_ER ON 』
n
E84 ALARM 0x2077 UtoLoad 流程︰ CS_0 ON ,『 Light Curtain ON 』
o
E84 ALARM 0x2078 UtoLoad 流程︰ CS_0 ON ,『 PS ON 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x2079
C
UtoLoad 流程︰ CS_0 ON ,『 PL ON 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x208D UtoLoad 流程︰ L_REQ ON ,『 OHT PIO 離線』
E84 ALARM 0x208E UtoLoad 流程︰ L_REQ ON , Signal Error 1
E84 ALARM 0x208F UtoLoad 流程︰ L_REQ ON , Signal Error 2
E84 ALARM 0x2090 UtoLoad 流程︰ L_REQ ON , Signal Error 3
E84 ALARM 0x2091 UtoLoad 流程︰ L_REQ ON , Signal Error 4
E84 ALARM 0x2092 UtoLoad 流程︰ L_REQ ON , Signal Error 5
E84 ALARM 0x2093 UtoLoad 流程︰ L_REQ ON , Signal Error 6
E84 ALARM 0x2094 UtoLoad 流程︰ L_REQ ON , Signal Error 7
E84 ALARM 0x2095 UtoLoad 流程︰ L_REQ ON , Signal Error 8
E84 ALARM 0x2096 UtoLoad 流程︰ L_REQ ON ,『 Clamp ON 』
E84 ALARM 0x2097 UtoLoad 流程︰ L_REQ ON ,『 EQ_ER ON 』
E84 ALARM 0x2098 UtoLoad 流程︰ L_REQ ON ,『 Light Curtain ON 』
E84 ALARM 0x2099 UtoLoad 流程︰ L_REQ ON ,『 PS ON 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x209A
UtoLoad 流程︰ L_REQ ON ,『 PL ON 』(任 1 顆觸發)
S5F1 alarm
Alarm ID CEID 說明
al
E84 ALARM 0x209D UtoLoad 流程︰ READY ON ,『 OHT PIO 離線』
E84 ALARM 0x209E UtoLoad 流程︰ READY ON , Signal Error 1
ti
E84 ALARM 0x209F UtoLoad 流程︰ READY ON , Signal Error 2
n
E84 ALARM 0x20A0 UtoLoad 流程︰ READY ON , Signal Error 3
e
E84 ALARM 0x20A1 UtoLoad 流程︰ READY ON , Signal Error 4
E84 ALARM 0x20A2 UtoLoad 流程︰ READY ON , Signal Error 5
d
E84 ALARM 0x20A3 UtoLoad 流程︰ READY ON , Signal Error 6
fi
E84 ALARM 0x20A4 UtoLoad 流程︰ READY ON , Signal Error 7
n
E84 ALARM 0x20A5 UtoLoad 流程︰ READY ON , Signal Error 8
o
E84 ALARM 0x20A6 UtoLoad 流程︰ READY ON ,『 Clamp ON 』
E84 ALARM 0x20A7 UtoLoad 流程︰ READY ON ,『 EQ_ER ON 』
C
E84 ALARM 0x20A8 UtoLoad 流程︰ READY ON ,『 Light Curtain ON 』
E84 ALARM 0x20A9 UtoLoad 流程︰ READY ON ,『 PS ON 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x20AA UtoLoad 流程︰ READY ON ,『 PL ON 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x20AD UtoLoad 流程︰ BUSY ON & CONT OFF ,『 OHT PIO 離線』
E84 ALARM 0x20AE UtoLoad 流程︰ BUSY ON & CONT OFF , Signal Error 1
E84 ALARM 0x20AF UtoLoad 流程︰ BUSY ON & CONT OFF , Signal Error 2
E84 ALARM 0x20AC UtoLoad 流程︰ BUSY ON & CONT OFF , Signal Error 3
E84 ALARM 0x20B0 UtoLoad 流程︰ BUSY ON & CONT OFF , Signal Error 4
E84 ALARM 0x20B1 UtoLoad 流程︰ BUSY ON & CONT OFF , Signal Error 5
E84 ALARM 0x20B2 UtoLoad 流程︰ BUSY ON & CONT OFF , Signal Error 6
E84 ALARM 0x20B3 UtoLoad 流程︰ BUSY ON & CONT OFF , Signal Error 7
E84 ALARM 0x20B4 UtoLoad 流程︰ BUSY ON & CONT OFF , Signal Error 8
E84 ALARM 0x20B5 UtoLoad 流程︰ BUSY ON & CONT OFF ,『 Clamp ON 』
E84 ALARM 0x20B6 UtoLoad 流程︰ BUSY ON & CONT OFF ,『 EQ_ER ON 』
S5F1 alarm
Alarm ID CEID 說明
E84 ALARM 0x20B7 UtoLoad 流程︰ BUSY ON & CONT OFF ,『 Light Curtain ON 』
E84 ALARM 0x20B8 UtoLoad 流程︰ BUSY ON & CONT OFF ,『 PS ON 』(任 1 顆觸發)
l
E84 ALARM 0x20B9 UtoLoad 流程︰ BUSY ON & CONT OFF ,『 PL ON 』(任 1 顆觸發)
a
E84 ALARM 0x20BC UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF ,『 OHT PIO 離線』
ti
E84 ALARM 0x20BD UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF , Signal Error 1
n
E84 ALARM 0x20BE UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF , Signal Error 2
E84 ALARM 0x20BF
e
UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF , Signal Error 3
E84 ALARM 0x20C0 UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF , Signal Error 4
d
E84 ALARM 0x20C1
UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF , Signal Error 5
fi
E84 ALARM 0x20C2 UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF , Signal Error 6
n
E84 ALARM 0x20C3 UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF , Signal Error 7
o
E84 ALARM 0x20C4 UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF ,『 Clamp ON 』
C
E84 ALARM 0x20C5 UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF ,『 EQ_ER ON 』
E84 ALARM 0x20C6 UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF ,『 Light Curtain ON 』
E84 ALARM 0x20C7 UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF ,『 PS OFF 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x20C8 UtoLoad 流程︰ U_REQ OFF ,『 PL OFF 』(任 1 顆觸發)
E84 ALARM 0x20CB UtoLoad 流程︰ WAIT CS_0 OFF ,『 OHT PIO 離線』
E84 ALARM 0x20CD UtoLoad 流程︰ WAIT CS_0 OFF , Signal Error 1
E84 ALARM 0x20CE UtoLoad 流程︰ WAIT CS_0 OFF , Signal Error 2
E84 ALARM 0x20CF UtoLoad 流程︰ WAIT CS_0 OFF , Signal Error 3
E84 ALARM 0x20D0 UtoLoad 流程︰ WAIT CS_0 OFF , Signal Error 4
E84 ALARM 0x20D1 UtoLoad 流程︰ WAIT CS_0 OFF , Signal Error 5
E84 ALARM 0x20D2 UtoLoad 流程︰ WAIT CS_0 OFF ,『 Clamp ON 』
E84 ALARM 0x20D3 UtoLoad 流程︰ WAIT CS_0 OFF ,『 EQ_ER ON 』
E84 ALARM 0x20D4 UtoLoad 流程︰ WAIT CS_0 OFF ,『 Light Curtain ON 』
0x0080 0x20D5
UtoLoad 流程︰ WAIT CS_0 OFF ,『 PS OFF 』(任 1 顆觸發)
0x0080 0x20D6
S5F1 alarm
l
Alarm ID CEID 說明
a
E84 ALARM 0x20D4 UtoLoad 流程︰ WAIT CS_0 OFF ,『 Light Curtain ON 』
nti
E84 ALARM 0x20D5
UtoLoad 流程︰ WAIT CS_0 OFF ,『 PS OFF 』(任 1 顆觸發)
e
E84 ALARM 0x20D6
UtoLoad 流程︰ WAIT CS_0 OFF ,『 PL OFF 』(任 1 顆觸發)
d
E84 ALARM 0x5000 TP1 timeout
fi
E84 ALARM 0x5001 TP2 timeout
n
E84 ALARM 0x5002 TP3 timeout
o
E84 ALARM 0x5003
C
TP4 timeout
E84 ALARM 0x5004
TP5 timeout
E84 ALARM 0x5005
TP6 timeout
E84 ALARM 0x5006
TD0 timeout
E84 ALARM 0x5007
Link timeout
E84 ALARM 0x5008 TP3 ANY ERROR